CN103311162A - 取晶机 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及集成电路芯片处理技术领域，公开了一种取晶机，包括取晶臂、垂直驱动装置和旋转驱动装置，所述垂直驱动装置驱动所述取晶臂上下运动，所述旋转驱动装置驱动所述取晶臂转动，所述旋转驱动装置设置在所述垂直驱动装置的下方，所述取晶臂设置在所述旋转驱动装置的下方，所述取晶臂通过一个长轴连接至所述垂直驱动装置，所述长轴的中间穿过所述旋转驱动装置的中空转轴。本发明的垂直驱动装置和旋转驱动装置布置在同一直线上，节省空间，旋转驱动装置通过中空伺服电机对取晶臂提供旋转动力，与垂直驱动装置互不相涉。
Description
技术领域
本发明涉及集成电路芯片处理技术领域，特别是一种取晶机。
背景技术
集成电路芯片的晶粒加工完成后，要进行检测、分类等一系列操作，这就要求将每个晶粒进行取放，取晶机就是完成上述工作的机器。其包括取晶臂和驱动机构，取晶臂上安装吸盘对晶料进行吸起和存放，驱动机构驱动取晶臂进行下降、吸晶、上升、转动、放晶、转动等循环工步。
现有技术中的取晶机通过两个独立的垂直驱动和旋转驱动装置分别完成。
如中国专利文献“固晶机取晶臂的驱动控制装置”（公开号：CN101281878A），其包括旋转驱动控制装置和上下驱动控制装置,且均装设于主座上。所述旋转驱动控制装置包括旋转电机,与旋转电机相连且安装于主座内的主轴,连接主轴和直线导轨滑块的旋转臂连杆,该直线导轨滑块位于直线导轨上并装设于直线导轨座内,旋转电机带动主轴旋转,并通过旋转臂连杆带动直线导轨滑块在直线导轨上移动,同时使固定直线导轨的直线导轨座旋转。所述上下驱动控制装置包括电机,与电机相连的偏心轴,偏心轴通过轴承安装于主座上,电机带动偏心轴转动使主座上下运动。这种结构不仅复杂，而且占用空间大，取晶臂的运动过程不平稳。
再如中国专利文献“一种固晶机邦头机构”（公开号：CN101958380A），其包括取晶臂驱动控制装置和取晶臂,取晶臂驱动控制装置带动取晶臂运动,所述的取晶臂驱动控制装置包括上下驱动控制装置和旋转驱动控制装置,所述的旋转驱动控制装置安装在所述的上下驱动控制装置上,所述的上下驱动控制装置包括包括伺服马达、联轴器、一体式引动器,所述的伺服马达通过联轴器带动一体式引动器上下运动,所述的旋转驱动控制机构包括伺服马达、联轴器、旋转轴,所述的伺服马达通过联轴器带动旋转轴旋转运动。这种结构虽然比上述结构进行了改进，但旋转驱动装置与上下驱动装置呈垂直布置，占用空间大，当取晶臂上下运动时，旋转驱动装置也跟着上下运动，能耗大。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述技术问题，提供一种取晶机，以期在实现取晶臂垂直运动和旋转运动的同时，简化取晶机的结构，减少生产成本。
本发明采取的技术方案是：
一种取晶机，包括取晶臂、垂直驱动装置和旋转驱动装置，所述垂直驱动装置驱动所述取晶臂上下运动，所述旋转驱动装置驱动所述取晶臂转动，其特征是，所述旋转驱动装置设置在所述垂直驱动装置的下方，所述取晶臂设置在所述旋转驱动装置的下方，所述取晶臂通过一个长轴连接至所述垂直驱动装置，所述长轴的中间穿过所述旋转驱动装置的中空转轴。
进一步，所述长轴为花键轴，所述旋转驱动装置的转轴为花键孔转轴。
进一步，所述垂直驱动装置包括驱动电机及垂直传动部件，所述垂直传动部件将所述驱动电机的旋转运动转化为垂直运动传递给所述长轴。
进一步，所述垂直传动部件为丝杆传动部件或凸轮传动部件。
进一步，所述旋转驱动装置包括中空伺服电机，所述中空伺服电机的两端分别安装花键套。
进一步，在所述长轴上设置运动感应器，所述感应器电连接至所述取晶机的控制单元，所述感应器用于将所述长轴的垂直运动信息和旋转运动信息传递给所述控制单元。
进一步，所述取晶机还包括支架，所述支架为框形结构，所述旋转驱动装置设置在所述框形结构的开口内，所述垂直驱动部件设置于所述框形结构的上方。
进一步，在所述取晶臂的前端设置吸嘴。
进一步，所述取晶臂上开有多个通孔。
进一步，所述取晶臂的转动范围为0至180度，所述取晶臂的垂直运动范围为0至50mm。
本发明的有益效果是：
（1）垂直驱动装置和旋转驱动装置布置在同一直线上，节省空间；
（2）旋转驱动装置通过中空伺服电机对取晶臂提供旋转动力，与垂直驱动装置互不相涉；
（3）通过运动感应器精确控制取晶臂的升降量和转角。
附图说明
附图1为本发明的结构示意图；
附图2为本发明的工作状态示意图。
附图中的标记分别为：
1．取晶机； 2．取晶臂；
3．伺服电机； 4．运动转换机构；
5．中空伺服电机； 6．长轴；
7．底座； 8．花键套；
9．通孔； 10．吸嘴；
11．工作架； 12．待取晶排；
13．待放晶盒。
具体实施方式
下面结合附图对本发明取晶机的具体实施方式作详细说明。
参见附图1，取晶机1包括取晶臂2、垂直驱动装置和旋转驱动装置，垂直驱动装置可以采用产生直线运动的机构来实现，比如气缸、直线电机以及运动转换机构，本发明是通过伺服电机3和运动转换机构4来实现的，伺服电机3产生转动后，由运动转换机构4将旋转运动转换为直线运动传送给取晶臂2实现取晶臂2的升降。旋转驱动装置通过一个中空伺服电机5产生旋转动力并传递给取晶臂2。取晶臂2通过一根长轴6接收垂直驱动装置和旋转驱动装置的传递过来的运动。取晶机1的底座7为框形结构，中空伺服电机5安装于底座7的开口处，伺服电机3和运动转换机构4安装于底座7开口处的上方。运动转换机构4可选为丝杆传动部件或凸轮传动部件。伺服电机3和中空伺服电机5呈直线排列，运动转换机构4连接在伺服电机3与中空伺服电机5的之间，长轴6的上端固定连接至运动转换机构4的输出端，并穿过中空伺服电机5，长轴6的下端固定连接到取晶臂2。长轴6在中空伺服电机5内具有轴向自由度而限制法向旋转自由度。长轴6可采用棱柱轴或花键轴与中空伺服电机5的通孔相配合，通孔的结构与长轴6的轴截面相对应。本发明的长轴6采用花键轴，中空伺服电机5与底座7的固定处安装花键套8将中空伺服电机5进行固定。在取晶臂2的前端设置吸嘴10，取晶臂2上还设置有多个大小不同的通孔9，通孔9的设置可以减轻取晶臂2的重量。在长轴6上设置运动感应器，感应器电连接至取晶机1的控制单元，感应器用于将长轴6的垂直运动信息和旋转运动信息传递给控制单元，控制单元对取晶机实现精确运动控制，使取晶臂2的转动范围控制在0至180度，垂直运动范围为0至50mm。
参见附图2，取晶机的工作过程如下，将取晶机1通过其底座7安装于工作架11上，在取晶臂2的运动路径上放置待取晶排12和待放晶盒13，工作人员操作取晶机1，其控制单元控制旋转驱动装置将取晶臂2转动至待取晶排12的上方，再控制垂直驱动装置使取晶臂2下降至上吸嘴10位于待取晶片的上方，给吸嘴10提供真空，吸取晶片，再控制垂直驱动装置使取晶臂2上升至预定高度，控制旋转驱动装置将取晶臂2转动至待放晶盒13的上方，给吸嘴10去除真空吸力，使晶片落入放晶盒。如此反复实现自动取晶。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种取晶机，包括取晶臂、垂直驱动装置和旋转驱动装置，所述垂直驱动装置驱动所述取晶臂上下运动，所述旋转驱动装置驱动所述取晶臂转动，其特征在于：所述旋转驱动装置设置在所述垂直驱动装置的下方，所述取晶臂设置在所述旋转驱动装置的下方，所述取晶臂通过一个长轴连接至所述垂直驱动装置，所述长轴的中间穿过所述旋转驱动装置的中空转轴。
2.根据权利要求1所述的取晶机，其特征在于：所述长轴为花键轴，所述旋转驱动装置的转轴为花键孔转轴。
3.根据权利要求1所述的取晶机，其特征在于：所述垂直驱动装置包括驱动电机及垂直传动部件，所述垂直传动部件将所述驱动电机的旋转运动转化为垂直运动传递给所述长轴。
4.根据权利要求3所述的取晶机，其特征在于：所述垂直传动部件为丝杆传动部件或凸轮传动部件。
5.根据权利要求2所述的取晶机，其特征在于：所述旋转驱动装置包括中空伺服电机，所述中空伺服电机的两端分别安装花键套。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的取晶机，其特征在于：在所述长轴上设置运动感应器，所述感应器电连接至所述取晶机的控制单元，所述感应器用于将所述长轴的垂直运动信息和旋转运动信息传递给所述控制单元。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的取晶机，其特征在于：所述取晶机还包括支架，所述支架为框形结构，所述旋转驱动装置设置在所述框形结构的开口内，所述垂直驱动部件设置于所述框形结构的上方。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的取晶机，其特征在于：在所述取晶臂的前端设置吸嘴。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的取晶机，其特征在于：所述取晶臂上开有多个通孔。
10.根据权利要求1至5中任一项所述的取晶机，其特征在于：所述取晶臂的转动范围为0至180度，所述取晶臂的垂直运动范围为0至50mm。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN110444498A (zh) * | 2018-05-03 | 2019-11-12 | 苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司 | 一种长距离、精准快速取装芯片装置 |
| CN111874543A (zh) * | 2019-05-02 | 2020-11-03 | 万润科技股份有限公司 | 搬送方法及装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01305533A (ja) * | 1988-06-03 | 1989-12-08 | Toshiba Corp | 搬送装置 |
| CN101740355A (zh) * | 2009-12-23 | 2010-06-16 | 东莞华中科技大学制造工程研究院 | 芯片分拣设备的移送装置 |
| CN101958380A (zh) * | 2010-09-03 | 2011-01-26 | 深圳市因沃客科技有限公司 | 一种固晶机邦头机构 |
| CN203339122U (zh) * | 2013-06-28 | 2013-12-11 | 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 | 取晶机 |
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01305533A (ja) * | 1988-06-03 | 1989-12-08 | Toshiba Corp | 搬送装置 |
| CN101740355A (zh) * | 2009-12-23 | 2010-06-16 | 东莞华中科技大学制造工程研究院 | 芯片分拣设备的移送装置 |
| CN101958380A (zh) * | 2010-09-03 | 2011-01-26 | 深圳市因沃客科技有限公司 | 一种固晶机邦头机构 |
| CN203339122U (zh) * | 2013-06-28 | 2013-12-11 | 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 | 取晶机 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110444498A (zh) * | 2018-05-03 | 2019-11-12 | 苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司 | 一种长距离、精准快速取装芯片装置 |
| CN111874543A (zh) * | 2019-05-02 | 2020-11-03 | 万润科技股份有限公司 | 搬送方法及装置 |
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Denomination of invention: Crystal extractor Granted publication date: 20160921 Pledgee: Shanghai Rural Commercial Bank Co.,Ltd. Zhejiang Yangtze River Delta Integrated Demonstration Zone Sub branch Pledgor: JIAXING JINGYAN INTELLIGENT EQUIPMENT TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2024980018023 |