CN103309167B

CN103309167B - 运动台定位精度的测量系统及测量方法

Info

Publication number: CN103309167B
Application number: CN201210062953.1A
Authority: CN
Inventors: 毛方林; 李术新; 李煜芝
Original assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Current assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Priority date: 2012-03-09
Filing date: 2012-03-09
Publication date: 2015-06-17
Anticipated expiration: 2032-03-09
Also published as: CN103309167A

Abstract

本发明公开了一种运动台定位精度的测量系统及测量方法，所述测量系统包括：运动台控制系统，用于驱动运动台按照一设定路线步进或扫描；第一位置测量系统，用于实时测量运动台的当前位置并反馈至运动台控制系统，从而由运动台控制系统根据所述当前位置驱动运动台步进或扫描至一设定位置；第二位置测量系统，用于当运动台控制系统驱动运动台每次经过所述设定位置时，分别测量运动台位于所述设定位置时的实际位置，计算每次实际位置之间的偏差并与运动台精度指标比较，从而判断运动台定位精度是否达标。所述测量方法可离线测量运动台的定位精度，无需依赖于光刻机其它部件，在光刻机集成中可提前诊断运动台定位问题。

Description

运动台定位精度的测量系统及测量方法

技术领域

本发明涉及一种微电子生产制造领域的质量检测，特别涉及关于集成电路生产和制造过程中的运动台定位精度的测量系统与离线测量方法。

背景技术

光刻技术或称光学刻蚀术，已经被广泛应用于集成电路制造工艺中。该技术通过光学投影装置曝光，将设计的掩模图形转移到光刻胶上。“掩模”和“光刻胶”的概念在光刻工艺中是公知的：掩模也称光掩模版，是薄膜、塑料或玻璃等材料的基底上刻有精确定位的各种功能图形的一种模版，用于对光刻胶层的选择性曝光；光刻胶是由光敏化合物、基体树脂和有机溶剂等混合而成的胶状液体，受到特定波长光线作用后，其化学结构发生变化，使得在某种溶液中的溶解特性改变。

随着光刻特征尺寸的不断减小，集成电路集成度不断提高，光学投影装置的定位精度对光刻工艺精度的影响越来越显著。在曝光过程中，由于承载定位硅片的工件台与承载定位掩模的掩模台会发生步进或者扫描运动，工件台和掩模台的定位精度势必直接影响曝光于硅片上的图样质量。因此，运动台(包括工件台和掩模台)定位精度的原位检测已成为目前光刻工艺中不可缺少的功能。

一般常见的测量运动台性能的方法是测试运动台伺服性能，驱使运动台至固定位置，在不同时刻读取实际位置，统计定位重复精度。但运动台位置由测量系统读取，故该方法依赖于运动台位置测量系统，无法区分测量系统本身系统误差。公开号为CN101261451A的中国专利公开了一种光刻机成像质量及运动台定位精度的现场测量方法，该方法在运动台集成至光刻机后，通过曝光手段读取套刻误差，由此测量运动台定位精度。该方案可分辨运动台位置测量系统自身误差，但需依赖于光刻机其它部件，如投影物镜等。

因此，如何提供一种运动台定位精度的测量系统及测量方法，能够更准确地检测运动台的定位精度、且离线测量运动台的定位精度而无需依赖于光刻机其它部件，仍是现在技术发展中急需解决的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种运动台定位精度的测量系统及测量方法，能够离线测量运动台的定位精度而无需依赖于光刻机其它部件。

为解决上述问题，本发明提供一种运动台定位精度的测量系统，包括：

运动台控制系统，用于驱动运动台沿X方向或Y方向按照一设定路线步进或扫描，所述X方向和Y方向为在水平面上相互正交的两个方向；

第一位置测量系统，用于实时测量运动台在X方向和Y方向的当前位置并反馈至运动台控制系统，从而由运动台控制系统根据第一位置测量系统实时反馈的所述当前位置驱动运动台步进或扫描至一设定位置；

第二位置测量系统，用于当运动台控制系统驱动运动台每次经过所述设定位置两次时，分别测量运动台位于所述设定位置时在X方向和Y方向的实际位置，计算每次实际位置之间的偏差并与运动台精度指标比较，从而判断运动台定位精度是否达标。

优选的，所述第一位置测量系统包括X方向位置测量系统和Y方向位置测量系统，所述X方向位置测量系统用于实时测量运动台在X方向的当前位置并反馈至运动台控制系统；所述Y方向位置测量系统用于实时测量运动台在Y方向的当前位置并反馈至运动台控制系统。

优选的，所述第二位置测量系统包括X方向位置测量系统和Y方向位置测量系统，所述X方向位置测量系统用于测量运动台位于所述设定位置时在X方向的实际位置；所述Y方向位置测量系统用于测量运动台位于所述设定位置时在Y方向的实际位置。

优选的，所述设定路线为沿X方向或Y方向步进，或者为沿X方向和Y方向交替步进。

为解决上述问题，本发明还提供一种利用所述的测量系统进行运动台定位精度测量的方法，包括以下步骤：

步骤1，运动台控制系统驱动运动台按照一设定路线步进，所述设定路线上分布有一组设定位置；当第一位置测量系统测量到运动台步进至所述一组设定位置中的各设定位置时，运动台控制系统控制运动台停止步进，第二位置测量系统测量运动台的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台的第一组实际位置；

步骤2，运动台控制系统驱动运动台按照所述设定路线再次步进；当第一位置测量系统测量到运动台步进至所述一组设定位置中的各设定位置时，运动台控制系统控制运动台停止步进，第二位置测量系统测量运动台的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台的第二组实际位置；

步骤3，统计运动台的第一组实际位置和第二组实际位置之间的偏差，得到一组运动台的实际位置偏差，并将所述一组偏差与运动台精度指标比较，从而判断运动台定位精度是否达标。

步骤1，运动台控制系统驱动运动台按照一设定路线步进，所述设定路线上分布有一组设定位置；当第一位置测量系统测量到运动台步进至所述一组设定位置中的各设定位置时，运动台控制系统控制运动台停止步进并进行扫描，第二位置测量系统测量运动台扫描完成之后的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台的第一组实际位置；

步骤2，运动台控制系统驱动运动台按照所述设定路线再次步进；当第一位置测量系统测量到运动台步进至所述一组设定位置中的各设定位置时，运动台控制系统控制运动台停止步进并进行扫描，第二位置测量系统测量运动台扫描完成之后的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台的第二组实际位置；

步骤3，统计运动台的第一组实际位置和第二组实际位置之间的偏差，得到运动台的第一组实际位置偏差；

步骤4，运动台控制系统驱动运动台按照所述设定路线反向步进；当第一位置测量系统测量到运动台步进至所述一组设定位置中的各设定位置时，运动台控制系统控制运动台停止步进并进行扫描，第二位置测量系统测量运动台扫描完成之后的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台的第三组实际位置；

步骤5，统计运动台的第一组实际位置和第三组实际位置之间的偏差，得到运动台的第二组实际位置偏差；

步骤6，统计运动台的第一组实际位置偏差和第二组实际位置偏差的一组差值，并将所述一组差值与一指标约束比较，从而判断运动台的扫描方向对运动台定位精度有无影响。

本发明所提出的运动台定位精度的测量方法所采用的测量系统结构简单，易于实施；所述测量方法步骤明确，计算简便。所述测量方法可离线测量运动台的定位精度，无需依赖于光刻机其它部件，在光刻机集成中可提前诊断运动台定位问题，从而缩短运动台在光刻机上的集成时间以提高集成效率。此外，所述测量系统和方法由于采用了第二位置测量系统，可分辨第一位置测量系统自身的误差，从而更精确地测量运动台的定位精度。

附图说明

图1为本发明实施例的运动台定位精度的测量系统的示意图；

图2为本发明一实施例中运动台按照一设定路线步进的示意图；

图3为本发明一实施例中运动台的一组实际位置偏差的示意图；

图4为本发明另一实施例中运动台按照一设定路线步进的示意图；

图5为本发明另一实施例中运动台的一组实际位置偏差的示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

本发明提出一种运动台定位精度的测量系统，如图1所示，包括：

运动台控制系统102，用于驱动运动台101沿X方向或Y方向按照一设定路线步进或扫描。其中，所述X方向和Y方向为在水平面上相互正交的两个方向。

第一位置测量系统，用于实时测量运动台101在X方向和Y方向的当前位置并反馈至运动台控制系统，从而由运动台控制系统根据第一位置测量系统实时反馈的所述当前位置驱动运动台101步进或扫描至一设定位置。根据本发明一优选实施例，所述第一位置测量系统包括X方向位置测量系统103和Y方向位置测量系统104，所述X方向位置测量系统103用于实时测量运动台101在X方向的当前位置并反馈至运动台控制系统102；所述Y方向位置测量系统104用于实时测量运动台101在Y方向的当前位置并反馈至运动台控制系统102。

第二位置测量系统，独立于运动台101、运动台控制系统102和第一位置测量系统，用于当运动台控制系统102驱动运动台101每次经过所述设定位置时，分别测量运动台101位于所述设定位置时在X方向和Y方向的实际位置，计算每次实际位置之间的偏差并与运动台精度指标比较，从而判断运动台定位精度是否达标。根据本发明一优选实施例，所述第二位置测量系统包括X方向位置测量系统105和Y方向位置测量系统106，所述X方向位置测量系统105用于测量运动台101位于所述设定位置时在X方向的实际位置；所述Y方向位置测量系统106用于测量运动台101位于所述设定位置时在Y方向的实际位置。

本发明还提供一种利用所述的测量系统进行运动台定位精度测量的方法，包括以下步骤：

步骤1，运动台控制系统102驱动运动台101按照一设定路线步进，所述设定路线上分布有一组设定位置；当X方向位置测量系统103和Y方向位置测量系统104测量到运动台101步进至所述一组设定位置中的各设定位置时，运动台控制系统102控制运动台101停止步进，X方向位置测量系统105和Y方向位置测量系统106测量运动台101的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台101的第一组实际位置。

步骤2，运动台控制系统102驱动运动台101按照所述设定路线再次步进；当X方向位置测量系统103和Y方向位置测量系统104测量到运动台101步进至所述一组设定位置中的各设定位置时，运动台控制系统102控制运动台101停止步进，X方向位置测量系统105和Y方向位置测量系统106测量运动台101的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台101的第二组实际位置。

步骤3，统计运动台101的第一组实际位置和第二组实际位置之间的偏差，得到运动台101的一组实际位置偏差，并将所述一组实际位置偏差与运动台精度指标比较，从而判断运动台101的定位精度是否达标。

如图2、图3所示，为利用本发明的测量系统进行运动台定位精度测量的一具体实施例，其测量过程包括以下步骤：

步骤1，运动台控制系统102驱动运动台101按照一设定路线步进，所述设定路线上分布有一组设定位置，如图2所示，每个圆圈代表一个设定位置，所述设定路线是按照1～36的次序沿图中箭头方向构成；当X方向位置测量系统103和Y方向位置测量系统104测量到运动台101步进至所述一组设定位置(1～36)中的各设定位置时，运动台控制系统102控制运动台101停止步进，X方向位置测量系统105和Y方向位置测量系统106测量运动台101的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台101的第一组实际位置(x_ai，y_ai)，其中i＝1，2，3......36。

其中，图2所示为所述设定路线：运动台控制系统102驱动运动台101从设定位置1沿正X方向步进经过设定位置2，3，4和5并到达设定位置6，接着沿负Y方向步进至设定位置7，然后沿负X方向步进经过设定位置8，9，10和11并到达设定位置12，再沿负Y方向步进至设定位置13，然后沿正X方向步进经过设定位置14，15，16和17并到达设定位置18，接着沿负Y方向步进至设定位置19，再沿负X方向步进经过设定位置20，21，22和23并到达设定位置24，再沿负Y方向步进至设定位置25，然后沿正X方向步进经过设定位置26，27，28和29并到达设定位置30，再沿负Y方向步进至设定位置31，最后沿负X方向步进经过设定位置32，33，34和35并最终到达设定位置36。

步骤2，运动台控制系统102驱动运动台101按照所述设定路线再次步进；当X方向位置测量系统103和Y方向位置测量系统104测量到运动台101步进至所述一组设定位置(1～36)中的各设定位置时，运动台控制系统102控制运动台101停止步进，X方向位置测量系统105和Y方向位置测量系统106测量运动台101的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台101的第二组实际位置(x’_ai，y’_ai)。

步骤3，统计运动台101的第一组实际位置(x_ai，y_ai)和第二组实际位置(x’_ai，y’_ai)之间的偏差(Δx_i，Δy_i)，其中Δx_i＝|x’_ai-x_ai|和Δy_i＝|y’_ai-y_ai|。请参考图3，图中圆圈内的数字代表运动台101两次经过同一设定位置时的偏差值，单位为纳米。请结合参阅图2，在运动台101沿X方向步进的路线上只计算Δx_i，得到：Δx₁＝32纳米，Δx₂＝32纳米，Δx₃＝33纳米，Δx₄＝33纳米，Δx₅＝31纳米，Δx₆＝33纳米，Δx₈＝34纳米，Δx₉＝31纳米，Δx₁₀＝32纳米，Δx₁₁＝33纳米，Δx₁₂＝31纳米，Δx₁₄＝32纳米，Δx₁₅＝33纳米，Δx₁₆＝32纳米，Δx₁₇＝32纳米，Δx₁₈＝31纳米，Δx₂₀＝32纳米，Δx₂₁＝32纳米，Δx₂₂＝31纳米，Δx₂₃＝33纳米，Δx₂₄＝32纳米，Δx₂₆＝31纳米，Δx₂₇＝30纳米，Δx₂₈＝30纳米，Δx₂₉＝31纳米，Δx₃₀＝31纳米，Δx₃₂＝33纳米，Δx₃₃＝31纳米，Δx₃₄＝32纳米，Δx₃₅＝31纳米和Δx₃₆＝33纳米。在运动台101沿Y方向步进的路线上只计算Δy_i，得到：Δy₇＝58纳米，Δy₁₃＝59纳米，Δy₁₉＝60纳米，Δy₂₅＝62纳米和Δy₃₁＝61纳米。

步骤4，以40纳米作为运动台精度指标，将所述一组偏差{Δx₁，Δx₂，Δx₃，Δx₄，Δx₅，Δx₆，Δy₇，Δx₈，Δx₉，Δx₁₀，Δx₁₁，Δx₁₂，Δy₁₃，Δx₁₄，Δx₁₅，Δx₁₆，Δx₁₇，Δx₁₈，Δy₁₉，Δx₂₀，Δx₂₁，Δx₂₂，Δx₂₃，Δx₂₄，Δy₂₅，Δx₂₆，Δx₂₇，Δx₂₈，Δx₂₉，Δx₃₀，Δy₃₁，Δx₃₂，Δx₃₃，Δx₃₄，Δx₃₅，Δx₃₆}与所述运动台精度指标比较，可得到偏差Δy₇，Δy₁₃，Δy₁₉，Δy₅和Δy₃₁超标。由此推得运动台101沿Y方向步进时存在定位精度超标问题，应该重点排查运动台101Y向机械结构以及控制参数。本领域技术人员应当理解，根据系统的精度要求可以调整运动台精度指标的数值，不应以40纳米为限。

如图4、图5所示，为利用本发明的测量系统进行运动台定位精度测量的又一具体实施例，其测量过程包括以下步骤：

步骤1，运动台控制系统102驱动运动台101按照一设定路线步进，所述设定路线上分布有一组设定位置，如图4所示，每个圆圈代表一个设定位置，所述设定路线是按照1～36的次序沿图中箭头方向构成；当X方向位置测量系统103和Y方向位置测量系统104测量到运动台101步进至所述一组设定位置(1～36)中的各设定位置时，运动台控制系统102控制运动台101停止步进，X方向位置测量系统105和Y方向位置测量系统106测量运动台101的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台101的第一组实际位置(x_ai，y_ai)，其中i＝1，2，3......36。

其中，图4所示为所述设定路线：运动台控制系统102驱动运动台101从设定位置1沿负Y方向步进经过设定位置2，3，4和5并到达设定位置6，接着沿正X方向步进至设定位置7，然后沿正Y方向步进经过设定位置8，9，10和11并到达设定位置12，再沿正X方向步进至设定位置13，然后沿负Y方向步进经过设定位置14，15，16和17并到达设定位置18，接着沿正X方向步进至设定位置19，再沿正Y方向步进经过设定位置20，21，22和23并到达设定位置24，再沿正X方向步进至设定位置25，然后沿负Y方向步进经过设定位置26，27，28和29并到达设定位置30，再沿正X方向步进至设定位置31，最后沿正Y方向步进经过设定位置32，33，34和35并最终到达设定位置36。

步骤3，统计运动台101的第一组实际位置(x_ai，y_ai)和第二组实际位置(x’_ai，y’_ai)之间的偏差(Δx_i，Δy_i)，其中Δx_i＝|x’_ai-x_ai|和Δy_i＝|y’_ai-y_ai|。请参考图5，图中圆圈内的数字代表运动台101两次经过同一设定位置时的偏差值，单位为纳米。请结合参阅图4，在运动台101沿Y方向步进的路线上只计算Δy_i，得到：Δy₁＝32纳米，Δy₂＝31纳米，Δy₃＝33纳米，Δy₄＝32纳米，Δy₅＝32纳米，Δy₆＝33纳米，Δy₈＝31纳米，Δy₉＝33纳米，Δy₁₀＝32纳米，Δy₁₁＝33纳米，Δy₁₂＝32纳米，Δy₁₄＝32纳米，Δy₁₅＝33纳米，Δy₁₆＝31纳米，Δy₁₇＝30纳米，Δy₁₈＝32纳米，Δy₂₀＝30纳米，Δy₂₁＝32纳米，Δy₂₂＝32纳米，Δy₂₃＝31纳米，Δy₂₄＝33纳米，Δy₂₆＝34纳米，Δy₂₇＝32纳米，Δy₂₈＝32纳米，Δy₂₉＝31纳米，Δy₃₀＝33纳米，Δy₃₂＝31纳米，Δy₃₃＝33纳米，Δy₃₄＝31纳米，Δy₃₅＝32纳米和Δy₃₆＝33纳米。在运动台101沿X方向步进的路线上只计算Δx_i，得到：Δx₇＝56纳米，Δx₁₃＝55纳米，Δx₁₉＝65纳米，Δx₂₅＝55纳米和Δx₃₁＝62纳米。

步骤4，以40纳米作为运动台精度指标，将所述一组偏差{Δy₁，Δy₂，Δy₃，Δy₄，Δy₅，Δy₆，Δx₇，Δy₈，Δy₉，Δy₁₀，Δy₁₁，Δy₁₂，Δx₁₃，Δy₁₄，Δy₁₅，Δy₁₆，Δy₁₇，Δy₁₈，Δx₁₉，Δy₂₀，Δy₂₁，Δy₂₂，Δy₂₃，Δy₂₄，Δx₂₅，Δy₂₆，Δy₂₇，Δy₂₈，Δy₂₉，Δy₃₀，Δx₃₁，Δy₃₂，Δy₃₃，Δy₃₄，Δy₃₅，Δy₃₆}与所述运动台精度指标比较，可得到偏差Δx₇，Δx₁₃，Δx₁₉，Δx₂₅和Δx₃₁超标。由此推得运动台101沿X方向步进时存在定位精度超标问题，应该重点排查运动台101X向机械结构以及控制参数。本领域技术人员应当理解，根据系统的精度要求可以调整运动台精度指标的数值，不应以40纳米为限。

本发明还提供一种利用所述的测量系统进行运动台定位精度测量的方法，用于诊断运动台的扫描问题。所述测量方法包括以下步骤：

步骤1，运动台控制系统102驱动运动台101按照一设定路线步进，所述设定路线上分布有一组设定位置；当X方向位置测量系统103和Y方向位置测量系统104测量到运动台101步进至所述一组设定位置中的各设定位置时，运动台控制系统102控制运动台101停止步进并进行扫描，X方向位置测量系统105和Y方向位置测量系统106测量运动台101扫描完成之后的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台101的第一组实际位置。

步骤2，运动台控制系统102驱动运动台101按照所述设定路线再次步进；当X方向位置测量系统103和Y方向位置测量系统104测量到运动台101步进至所述一组设定位置中的各设定位置时，运动台控制系统102控制运动台101停止步进并进行扫描，X方向位置测量系统105和Y方向位置测量系统106测量运动台101扫描完成之后的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台101的第二组实际位置。

步骤3，统计运动台101的第一组实际位置和第二组实际位置之间的偏差，得到运动台101的第一组实际位置偏差(Δx_pi，Δy_pi)。

步骤4，运动台控制系统102驱动运动台101按照所述设定路线反向步进；当X方向位置测量系统103和Y方向位置测量系统104测量到运动台101步进至所述一组设定位置中的各设定位置时，运动台控制系统102控制运动台101停止步进并进行扫描，X方向位置测量系统105和Y方向位置测量系统106测量运动台101扫描完成之后的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台101的第三组实际位置。

步骤5，统计运动台101的第一组实际位置和第三组实际位置之间的偏差，得到运动台101的第二组实际位置偏差(Δx_ni，Δy_ni)。

本发明在利用示意图详述本发明实施例时，为了便于说明，表示器件结构的剖面图不依一般比例作局部放大，不应以此作为对本发明的限定。此外，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种运动台定位精度的测量系统，其特征在于，包括：

第二位置测量系统，用于当运动台控制系统驱动运动台每次经过所述设定位置时，分别测量运动台位于所述设定位置时在X方向和Y方向的实际位置，计算每次实际位置之间的偏差并与运动台精度指标比较，从而判断运动台定位精度是否达标。

2.如权利要求1所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述第一位置测量系统包括X方向位置测量系统和Y方向位置测量系统，所述X方向位置测量系统用于实时测量运动台在X方向的当前位置并反馈至运动台控制系统；所述Y方向位置测量系统用于实时测量运动台在Y方向的当前位置并反馈至运动台控制系统。

3.如权利要求1所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述第二位置测量系统包括X方向位置测量系统和Y方向位置测量系统，所述X方向位置测量系统用于测量运动台位于所述设定位置时在X方向的实际位置；所述Y方向位置测量系统用于测量运动台位于所述设定位置时在Y方向的实际位置。

4.如权利要求1所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述设定路线为沿X方向或Y方向步进，或者为沿X方向和Y方向交替步进。

5.一种利用如权利要求1所述的测量系统进行运动台定位精度测量的方法，其特征在于，包括以下步骤：

6.如权利要求5所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述第一位置测量系统包括X方向位置测量系统和Y方向位置测量系统，所述X方向位置测量系统用于实时测量运动台在X方向的当前位置并反馈至运动台控制系统；所述Y方向位置测量系统用于实时测量运动台在Y方向的当前位置并反馈至运动台控制系统。

7.如权利要求5所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述第二位置测量系统包括X方向位置测量系统和Y方向位置测量系统，所述X方向位置测量系统用于测量运动台位于所述设定位置时在X方向的实际位置；所述Y方向位置测量系统用于测量运动台位于所述设定位置时在Y方向的实际位置。

8.如权利要求5所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述设定路线为沿X方向或Y方向步进，或者为沿X方向和Y方向交替步进。

9.一种利用如权利要求1所述的测量系统进行运动台定位精度测量的方法，其特征在于，包括以下步骤：

10.如权利要求9所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述第一位置测量系统包括X方向位置测量系统和Y方向位置测量系统，所述X方向位置测量系统用于实时测量运动台在X方向的当前位置并反馈至运动台控制系统；所述Y方向位置测量系统用于实时测量运动台在Y方向的当前位置并反馈至运动台控制系统。

11.如权利要求9所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述第二位置测量系统包括X方向位置测量系统和Y方向位置测量系统，所述X方向位置测量系统用于测量运动台位于所述设定位置时在X方向的实际位置；所述Y方向位置测量系统用于测量运动台位于所述设定位置时在Y方向的实际位置。

12.如权利要求9所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述设定路线为沿X方向或Y方向步进，或者为沿X方向和Y方向交替步进。