CN103290356A - 一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置 - Google Patents
一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103290356A CN103290356A CN 201210047693 CN201210047693A CN103290356A CN 103290356 A CN103290356 A CN 103290356A CN 201210047693 CN201210047693 CN 201210047693 CN 201210047693 A CN201210047693 A CN 201210047693A CN 103290356 A CN103290356 A CN 103290356A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gas
- container
- stainless steel
- photovoltaic glass
- baffles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
本发明系提供一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置，其系将不锈钢内抛光容器由卡套接管接至进气管前方，而该不锈钢内抛容器另一端再以卡套衔接所需要的两种反应气体，不锈钢抛光容器内部设置4片气体隔板，厚度3mm，长度150mm，与容器壁间隔50mm，隔板间有50mm的间距，以左右对称的形式设置在容器内，再焊接达到密封，当两种气体分别由进气管引入后，因压力差的关系，会沿着不锈钢内抛容器设置的隔板前进，而隔板左右对称安装增长了气体行进路径，同时也让气体有足够的时间在充入进气管前充分混合，使溅射沈积的薄膜能达到想要的混合的反应比例。
Description
所属技术领域
本发明关于属于光伏玻璃溅射设备气体引入混合装置领域，具体涉及一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置。
背景技术
本发明系为一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置，反应溅射气体引入装置是磁控溅射设备的关键零部件，主要用于向溅射制程腔充入反应溅射气体，再通过调节反应气体沿靶材长度方向分布以获得反应溅射沈积的薄膜沿靶材长度方向的厚度均匀，通常是设置一沿靶材长度的长行进气管。当反应溅射气体为两种以上时，若直接将气体接入进气管后直接充入溅射制程腔中，无法使两种气体充分混合就被制程腔内等离子体反应，无法有效达到想要的沈积薄膜比例，进而导致加大某种气体充入流量，使薄膜各分子所占的比例更难得到有效的控制。
发明内容
本发明主要目的系提供一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置，它可以克服上述的缺点，使两种气体再进入进气管前就能达到充分的混合后再进入制程腔内反应。
其系将不锈钢内抛光容器由卡套接管接至进气管前方，而该不锈钢内抛容器另一端再以卡套衔接所需要的两种反应气体，不锈钢抛光容器内部设置4片气体隔板，厚度3mm，长度150mm，与容器壁间隔50mm，隔板间有50mm的间距，以左右对称的形式设置在容器内，再焊接达到密封，当两种气体分别由进气管引入后，因压力差的关系，会沿着不锈钢内抛容器设置的隔板前进，而隔板左右对称安装增长了气体行进路径，同时也让气体有足够的时间在充入进气管前充分混合，使溅射沈积的薄膜能达到想要的混合的反应比例。
附图说明
图1系为本发明之剖面示意图。
主要组件符号说明
11．．．气体进入口
12．．．气体进入口
13．．．不锈钢内抛容器
14．．．气体隔板
15．．．气体引出出口
具体实施方式
为使方便简捷了解本发明之其他特征内容与优点及其所达成之功效能够更为显现，兹将本发明配合附图，详细说明如下：请参阅图1本发明之主要目的系提供一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置，其系将不锈钢内抛光容器13由卡套接管经由气体引出出口15接至进气管前方，而该不锈钢内抛容器13另一端再以卡套衔接气体进入口11、12所需要的两种反应气体，不锈钢抛光容器13内部设置4片气体隔板14，厚度3mm，长度150mm，与不锈钢内抛光容器13壁间隔50mm，气体隔板14间有50mm的间距，以左右对称的形式设置在不锈钢内抛光容器13内，再焊接达到密封，当两种气体分别由气体进入口11、12引入后，因压力差的关系，会沿着不锈钢内抛容器13设置的气体隔板14前进，而气体隔板14左右对称安装增长了气体行进路径，同时也让气体有足够的时间在充入气体引出出口15前充分混合，使溅射沈积的薄膜能达到想要的混合的反应比例。
综上所述，本发明在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且也非熟悉该项技艺者所易于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合发明专利之申请要件，惟上列详细说明系针对本发明之一可行实施例之具体说明，该实施例并非用以限制本发明之专利范围，而凡未脱离本发明技艺精神所为之等效实施或变更，均应包含于本案之专利范围中。
Claims (4)
1.一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置，该混合装置有两个制程气体进入口及一个气体引出出口，通过内置气体隔板的设置使气体流通路径变长，而在此路径中两种制程气体充分混合。
2.根据权利要求1所述之一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置，其中该混合装置为一不锈钢内抛光圆桶容器，直径10cm。
3.根据权利要求1所叙述之一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置，其中气体进入口及气体引出出口为1/2寸直径圆管接头。
4.根据权利要求1所叙述之一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置，其中为4片内置隔板厚度3mm，长度150mm，与对向桶壁留有50mm宽度使气体通过，而隔板之间留有50mm间隙。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201210047693 CN103290356A (zh) | 2012-02-29 | 2012-02-29 | 一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201210047693 CN103290356A (zh) | 2012-02-29 | 2012-02-29 | 一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103290356A true CN103290356A (zh) | 2013-09-11 |
Family
ID=49091873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201210047693 Pending CN103290356A (zh) | 2012-02-29 | 2012-02-29 | 一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103290356A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104451601A (zh) * | 2014-12-02 | 2015-03-25 | 浙江大学 | 一种常压化学气相沉积镀膜反应器 |
-
2012
- 2012-02-29 CN CN 201210047693 patent/CN103290356A/zh active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104451601A (zh) * | 2014-12-02 | 2015-03-25 | 浙江大学 | 一种常压化学气相沉积镀膜反应器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MX2019001256A (es) | Metodos continuos para fabricar paneles de concreto reforzados con fibra. | |
| MY171362A (en) | Flow splitter for slurry distribution system | |
| GB201015495D0 (en) | Waste processing apparatus and methods | |
| CN103290356A (zh) | 一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置 | |
| CN203990481U (zh) | 聚合物负压抽吸分散装置 | |
| MX2009004393A (es) | Espesador y metodo de espesamiento. | |
| GB2621760A (en) | A method for reducing the risk of coronary disease | |
| WO2010022523A3 (de) | Hinterlüftete feuerfeste wand, insbesondere für einen verbrennungsofen | |
| CN109534468A (zh) | 一种污水处理旋流混合加药系统 | |
| CN105854655A (zh) | 新型消防静态管道混合器及其消防装置 | |
| CN203007396U (zh) | 一种异质结太阳能电池溅射制程气体混合装置 | |
| CN206262515U (zh) | 一种有加速结构的微球成型反应器 | |
| CN103596696A (zh) | 用于从含有含金属的有价值矿物的悬浮液中获得含金属的有价值矿物的方法 | |
| CN210613652U (zh) | 一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器 | |
| CN203128277U (zh) | 加药絮凝池 | |
| CN104368175A (zh) | 一种动态气液分离器 | |
| CN205412714U (zh) | 一种分流式静态混合器 | |
| CN216050768U (zh) | 一种选矿采样装置 | |
| CN102213240A (zh) | 多喷嘴并联引射器 | |
| CN111013670B (zh) | 液晶纯化装置及液晶纯化方法 | |
| CN207031817U (zh) | 投料装置和洗衣机 | |
| CN207551966U (zh) | 一种超滤集成模块化装置及自净化超滤装置 | |
| CN202516490U (zh) | 高粘度混合器 | |
| CN208617392U (zh) | 废水处理装置及废水处理系统 | |
| WO2020211886A2 (zh) | 一种电镀废水混合处理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130911 |