CN103274605A - 光阻涂布设备及其光阻涂布方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种光阻涂布设备及光阻涂布方法。所述光阻涂布设备，包括平台及光阻涂布装置，所述平台用于置放并固定待涂布光阻的基板，所述光阻涂布装置包括位于所述平台上方的控制机构及喷嘴，所述光阻涂布设备进一步包括设于所述平台两侧并随所述光阻涂布装置同步移动的检测器，所述检测器用于量测所述基板待涂布光阻表面位置的高度，并将量测结果实时反馈给所述光阻涂布装置的控制机构，所述控制机构根据所述量测结果修正所述喷嘴的涂布高度后，再由所述喷嘴对所述基板待涂布光阻表面位置涂布光阻。本发明的光阻涂布设备及光阻涂布方法，能够提升光阻在基板上涂布厚度的均一性。
Description
技术领域
本发明涉及一种涂布设备和涂布方法，尤其涉及一种用于涂布光阻材料的光阻涂布设备及其光阻涂布方法。
背景技术
在液晶显示器件制作过程中，需要在基板上均匀涂上一层特定厚度的光阻材料，以便于制作电路图案。所述基板通常为玻璃基板，在涂布光阻之前，已经在所述玻璃基板的表面上形成有金属薄膜、绝缘层和半导电层等。目前通常采用喷嘴式涂布装置对基板进行涂布光阻，通过将涂布装置的喷嘴从基板的一端移动到基板的另一端的过程中向基板表面连续喷涂光阻材料，以在基板上形成一层光阻材料。然而，从基板的一端到另一端，基板的厚度会有所不同，而现有涂布装置在涂布光阻时喷嘴与基板之间的距离保持不变，因此难以保证光阻涂布厚度的均一性，从而影响液晶显示器件的性能的一致性。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种光阻涂布设备及其光阻涂布方法，旨在提升光阻在基板上涂布厚度的均一性，使液晶显示器件的性能具一致性。
为了实现上述目的，本发明提供一种光阻涂布设备，包括平台及光阻涂布装置，所述平台用于置放并固定待涂布光阻的基板，所述光阻涂布装置包括位于所述平台上方的控制机构及喷嘴，所述光阻涂布设备进一步包括设于所述平台两侧并随所述光阻涂布装置同步移动的检测器，所述检测器用于量测所述基板待涂布光阻表面位置的高度，并将量测结果实时反馈给所述光阻涂布装置的控制机构，所述控制机构根据所述量测结果修正所述喷嘴的涂布高度后，由所述喷嘴对所述基板待涂布光阻表面位置涂布光阻。
优选地，所述检测器为光透过型数字激光感测器，所述光透过型数字激光感测器包括发射器、接收器及计算单元，所述发射器和接收器分别设于所述平台的两侧并呈相对设置，所述发射器和接收器与所述喷嘴正对或在涂布方向上位于所述喷嘴的前方，对所述基板表面涂布光阻时，所述光阻涂布装置与所述光透过型数字激光感测器沿涂布方向同步移动，所述接收器接收所述发射器发射的激光束并产生对应的数字信号，所述计算单元与所述接收器相连接，用于接收所述接收器产生的所述数字信号并计算得出所述量测结果。
优选地，所述光阻涂布设备进一步包括一对导轨及支架，该对导轨设于所述平台的两侧，所述支架安装于该对导轨上并可沿该对导轨上在涂布方向上往复移动，所述喷嘴通过所述控制机构安装于所述支架上，并通过所述控制机构的控制可使所述喷嘴相对所述支架沿竖直方向上下移动以修正所述喷嘴的涂布高度。
优选地，所述支架包括分别设于该对导轨上的两支柱及连接于所述两支柱之间的横梁，所述光透过型数字激光感测器的发射器与接收器分别安装在所述两支柱上，所述光阻涂布装置安装在所述横梁上。
优选地，所述喷嘴具有相对的第一端与第二端，所述第一端与第二端分别靠近发射器与接收器，所述喷嘴的第一端与所述发射器之间设有挡光机构。
优选地，所述光透过型数字激光感测器的感测区涵盖所述喷嘴下刀位置到所述平台的范围。
本发明还提供一种光阻涂布方法，包括如下步骤：
提供前述的光阻涂布设备；
将待涂布光阻的基板固定于所述平台上；
将所述光阻涂布装置设于所述基板的一端并调整所述喷嘴的涂布高度至预设高度，将所述光阻涂布装置由所述基板的该端移动到所述基板的另一端，在所述移动过程中，所述检测器随所述光阻涂布装置同步移动以量测所述基板待涂布光阻表面位置的高度，并将量测结果实时反馈给所述光阻涂布装置的控制机构，所述控制机构根据所述量测结果修正所述喷嘴的涂布高度后，再由所述喷嘴对所述基板待涂布光阻表面位置涂布光阻。
优选地，所述检测器采用光透过型数字激光感测器，所述光透过型数字激光感测器包括发射器、接收器及计算单元，所述发射器与接收器分别设于所述平台的两侧并呈相对设置，所述计算单元与所述接收器相连接，对所述基板表面涂布光阻时，所述光阻涂布装置与所述光透过型数字激光感测器沿涂布方向同步移动，所述接收器接收所述发射器发射的激光束并输出对应的数字信号，所述计算单元接收所述接收器输出的所述数字信号并计算得出所述量测结果。
优选地，所述计算单元接收所述接收器输出的所述数字信号并计算得出所述量测结果的步骤中：以所述接收器在所述基板初始待涂布光阻表面位置所接收到的激光束的光量作为基准光量，以所述喷嘴在所述基板初始待涂布光阻表面位置处的涂布高度为基准高度，在所述移动过程中，将所述接收器在所述基板待涂布光阻表面位置所接收到的激光束的光量作为量测光量，所述基板待涂布光阻表面位置的高度量测结果计算公式为：（1-量测光量/基准光量）*基准高度，计算得到的量测结果为所述基板待涂布光阻表面位置与所述基板初始待涂布光阻表面位置之间的高度差，如果量测结果为正，表示所述基板待涂布光阻表面位置的高度比所述基板初始待涂布光阻表面位置高出所述计算结果，如果量测结果为负，则表示所述基板待涂布光阻表面位置的高度比所述基板初始待涂布光阻表面位置低出所述计算结果的绝对值。
优选地，如果量测结果为正，所述控制机构根据所述量测结果修正所述喷嘴的涂布高度时，将所述喷嘴上移所述量测结果，再由所述喷嘴对所述基板待涂布光阻表面位置涂布光阻；如果量测结果为负，所述控制机构根据所述量测结果修正所述喷嘴的涂布高度时，将所述喷嘴下移所述量测结果的绝对值，再由所述喷嘴对所述基板待涂布光阻表面位置涂布光阻。
本发明的光阻涂布设备与光阻涂布方法，通过设置检测器来量测所述基板待涂布光阻表面位置的高度，并将量测结果实时反馈给光阻涂布装置的控制机构，通过控制机构根据量测结果修正喷嘴的涂布高度后，再由喷嘴对基板的待涂布光阻表面位置涂布光阻，从而能够提升光阻在基板上涂布厚度的均一性，使液晶显示器件的性能具一致性。
附图说明
图1为本发明光阻涂布设备一较佳实施例的俯视图。
图2为图1所示光阻涂布设备的侧视图。
图3为图1所示光阻涂布设备的正视图。
图4为光透过型数字激光感测器的测量原理图。
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
应当理解，此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
如图1至图3所示，为本发明光阻涂布设备的一较佳实施例。
所述光阻涂布设备，用于对液晶显示器件的基板10涂布光阻。
所述光阻涂布设备，包括平台20、光阻涂布装置30及检测器40，所述平台20用于置放并固定待涂布光阻的基板10。所述光阻涂布装置30包括位于所述平台20上方的控制机构31及喷嘴32。所述检测器40设于所述平台20两侧并随所述光阻涂布装置30同步移动，用于量测所述基板10待涂布光阻表面位置的高度，并将量测结果实时反馈给所述光阻涂布装置30的控制机构31，所述控制机构31根据量测结果修正所述喷嘴32的涂布高度后，再由所述喷嘴32对所述基板10的待涂布光阻表面位置涂布光阻。
在本实施例中，所述检测器40为光透过型数字激光感测器，包括发射器41、接收器42及计算单元。所述发射器41与接收器42分别设于平台20的两侧并呈相对设置，所述发射器41和接收器42与所述喷嘴32正对或在涂布方向上位于所述喷嘴32的前方，对所述基板10表面涂布光阻时，所述光阻涂布装置30与所述光透过型数字激光感测器沿涂布方向同步移动。所述接收器42接收所述发射器41发射的激光束并输出对应的数字信号，所述计算单元与所述接收器42相连接，用于接收所述接收器42输出的所述数字信号并计算得出所述量测结果。所述计算单元可以与所述接收器42集成在一起，或者是单独设置。
如图4所示，为所述光透过型数字激光感测器的测量原理图，其测量原理为，所述发射器41朝向接收器42发射平行的激光光束43，当发射器41与接收器42之间无物体遮挡时，发射器41所发出的全部激光光束43将全部被接收器42所接收，而当发射器41与接收器42之间有物体遮挡时，被遮挡的激光光束43将无法被接收器42所接收。所述接收器42能够精确地感测到所接收到的激光光束的光量的微量变化。
所述光阻涂布设备进一步包括一对导轨50及支架60，该对导轨50设于所述平台20的两侧，所述支架60安装于该对导轨50上并可沿该对导轨50在涂布方向上往复移动，所述喷嘴32通过所述控制机构31安装于所述支架60上，并通过控制机构31的控制可使所述喷嘴60相对所述支架60沿竖直方向上下移动以修正所述喷嘴32的涂布高度。
所述支架60包括分别设于该对导轨50上的两支柱61及连接于所述两支柱61之间的横梁62，所述光透过型数字激光感测器的发射器41与接收器42分别安装在所述两支柱61上。所述光透过型数字激光感测器的感测区涵盖所述喷嘴32下刀位置到所述平台20的范围。所述光阻涂布装置30安装在所述横梁62上。
所述喷嘴32具有相对的第一端321与第二端322，所述第一端321与第二端322分别靠近所述发射器41与接收器42，所述喷嘴32的第一端321与所述发射器41之间设有第一挡光机构70，所述喷嘴32的第二端322与所述接收器42之间设有第二挡光机构80，以对发射器41发出的激光束进行阻挡，使激光束仅通过喷嘴32喷涂位置与所述基板10待涂布光阻表面位置之间的空隙射向所述接收器42，以保证量测结果的准确性。其中，可仅设置第一挡光机构70或第二挡光机构80。
请参照图1至图4，本发明实施例的光阻涂布方法，包括如下步骤：
提供前述的光阻涂布设备；
将待涂布光阻的基板10固定于所述平台20上；
将所述光阻涂布装置30设于所述基板10的一端并调整所述喷嘴32的涂布高度至预设高度，将所述光阻涂布装置30由所述基板10的该端移动到所述基板10的另一端，在所述移动过程中，所述检测器40随所述光阻涂布装置30同步移动以量测所述基板10待涂布光阻表面位置的高度，并将量测结果实时反馈给所述光阻涂布装置30的控制机构31，所述控制机构31根据所述量测结果修正所述喷嘴32的涂布高度后，再由所述喷嘴32对所述基板10待涂布光阻表面位置涂布光阻。
所述检测器40优选采用前述的光透过型数字激光感测器，所述光透过型数字激光感测器包括发射器41、接收器42及计算单元，所述发射器41与接收器42分别设于所述平台20的两侧并呈相对设置，所述计算单元与所述接收器42相连接，对所述基板10表面涂布光阻时，所述光阻涂布装置30与所述光透过型数字激光感测器沿涂布方向同步移动，所述接收器42接收所述发射器41发射的激光束并输出对应的数字信号，所述计算单元接收所述接收器42输出的所述数字信号并计算得出所述量测结果。
所述计算单元接收所述接收器42输出的所述数字信号并计算得出所述量测结果的步骤中：以所述接收器42在所述基板10初始待涂布光阻表面位置所接收到的激光束的光量作为基准光量，以所述喷嘴32在所述基板10初始待涂布光阻表面位置处的涂布高度为基准高度，在所述移动过程中，将所述接收器42在所述基板10待涂布光阻表面位置所接收到的激光束的光量作为量测光量，所述基板10待涂布光阻表面位置的高度量测结果计算公式为：（1-量测光量/基准光量）*基准高度，其中，计算得到的量测结果为所述基板10待涂布光阻表面位置与所述基板10初始待涂布光阻表面位置之间的高度差，如果量测结果为正，表示所述基板10待涂布光阻表面位置的高度比所述基板10初始待涂布光阻表面位置高出所述计算结果，如果量测结果为负，则表示所述基板10待涂布光阻表面位置的高度比所述基板10初始待涂布光阻表面位置低出所述计算结果的绝对值。
如果量测结果为正，所述控制机构31根据所述量测结果修正所述喷嘴32的涂布高度时，将所述喷嘴32上移所述量测结果，再由所述喷嘴32对所述基板10待涂布光阻表面位置涂布光阻；如果量测结果为负，所述控制机构31根据所述量测结果修正所述喷嘴32的涂布高度时，将所述喷嘴32下移所述量测结果的绝对值，再由所述喷嘴32对所述基板10待涂布光阻表面位置涂布光阻。
上述光阻涂布设备与光阻涂布方法，通过采用检测器来量测所述基板待涂布光阻表面位置的高度，并将量测结果实时反馈给光阻涂布装置的控制机构，通过控制机构根据量测结果修正喷嘴的涂布高度后，再由喷嘴对基板的待涂布光阻表面位置涂布光阻，从而能够提升光阻在基板上涂布厚度的均一性，使液晶显示器件的性能具一致性。
本发明并不局限于以上实施方式，在上述实施方式公开的技术内容下，还可以进行各种变化。凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种光阻涂布设备，包括平台及光阻涂布装置，所述平台用于置放并固定待涂布光阻的基板，所述光阻涂布装置包括位于所述平台上方的控制机构及喷嘴，其特征在于，所述光阻涂布设备进一步包括设于所述平台两侧并随所述光阻涂布装置同步移动的检测器，所述检测器用于量测所述基板待涂布光阻表面位置的高度，并将量测结果实时反馈给所述光阻涂布装置的控制机构，所述控制机构根据所述量测结果修正所述喷嘴的涂布高度后，再由所述喷嘴对所述基板待涂布光阻表面位置涂布光阻。
2.如权利要求1所述的光阻涂布设备，其特征在于，所述检测器为光透过型数字激光感测器，所述光透过型数字激光感测器包括发射器、接收器及计算单元，所述发射器和接收器分别设于所述平台的两侧并呈相对设置，所述发射器和接收器与所述喷嘴正对或在涂布方向上位于所述喷嘴的前方，对所述基板表面涂布光阻时，所述光阻涂布装置与所述光透过型数字激光感测器沿涂布方向同步移动，所述接收器接收所述发射器发射的激光束并输出对应的数字信号，所述计算单元与所述接收器相连接，用于接收所述接收器输出的所述数字信号并计算得出所述量测结果。
3.如权利要求2所述的光阻涂布设备，其特征在于，所述光阻涂布设备进一步包括一对导轨及支架，该对导轨设于所述平台的两侧，所述支架安装于该对导轨上并可沿该对导轨上在涂布方向上往复移动，所述喷嘴通过所述控制机构安装于所述支架上，并通过所述控制机构的控制可使所述喷嘴相对所述支架沿竖直方向上下移动以修正所述喷嘴的涂布高度。
4.如权利要求3所述的光阻涂布设备，其特征在于，所述支架包括分别设于该对导轨上的两支柱及连接于所述两支柱之间的横梁，所述光透过型数字激光感测器的发射器与接收器分别安装在所述两支柱上，所述光阻涂布装置安装在所述横梁上。
5.如权利要求2所述的光阻涂布设备，其特征在于，所述喷嘴具有相对的第一端与第二端，所述第一端与第二端分别靠近所述发射器与接收器，所述喷嘴的第一端与所述发射器之间设有挡光机构。
6.如权利要求2所述的光阻涂布设备，其特征在于，所述光透过型数字激光感测器的感测区涵盖所述喷嘴喷涂位置到所述平台的范围。
7.一种光阻涂布方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供如权利要求1所述的光阻涂布设备；
将待涂布光阻的基板固定于所述平台上；
将所述光阻涂布装置设于所述基板的一端并调整所述喷嘴的涂布高度至预设高度，将所述光阻涂布装置由所述基板的该端移动到所述基板的另一端，在所述移动过程中，所述检测器随所述光阻涂布装置同步移动以量测所述基板待涂布光阻表面位置的高度，并将量测结果实时反馈给所述光阻涂布装置的控制机构，所述控制机构根据所述量测结果修正所述喷嘴的涂布高度后，再由所述喷嘴对所述基板待涂布光阻表面位置涂布光阻。
8.如权利要求7所述的光阻涂布方法，其特征在于，所述检测器采用光透过型数字激光感测器，所述光透过型数字激光感测器包括发射器、接收器及计算单元，所述发射器与接收器分别设于所述平台的两侧并呈相对设置，所述计算单元与所述接收器相连接，对所述基板表面涂布光阻时，所述光阻涂布装置与所述光透过型数字激光感测器沿涂布方向同步移动，所述接收器接收所述发射器发射的激光束并输出对应的数字信号，所述计算单元接收所述接收器输出的所述数字信号并计算得出所述量测结果。
9.如权利要求8所述的光阻涂布方法，其特征在于，所述计算单元接收所述接收器输出的所述数字信号并计算得出所述量测结果的步骤中：以所述接收器在所述基板初始待涂布光阻表面位置所接收到的激光束的光量作为基准光量，以所述喷嘴在所述基板初始待涂布光阻表面位置处的涂布高度为基准高度，在所述移动过程中，将所述接收器在所述基板待涂布光阻表面位置所接收到的激光束的光量作为量测光量，所述基板待涂布光阻表面位置的高度量测结果计算公式为：（1-量测光量/基准光量）*基准高度，计算得到的量测结果为所述基板待涂布光阻表面位置与所述基板初始待涂布光阻表面位置之间的高度差，如果量测结果为正，表示所述基板待涂布光阻表面位置的高度比所述基板初始待涂布光阻表面位置高出所述计算结果，如果量测结果为负，则表示所述基板待涂布光阻表面位置的高度比所述基板初始待涂布光阻表面位置低出所述计算结果的绝对值。
10.如权利要求9所述的光阻涂布方法，其特征在于，如果量测结果为正，所述控制机构根据所述量测结果修正所述喷嘴的涂布高度时，将所述喷嘴上移所述量测结果，再由所述喷嘴对所述基板待涂布光阻表面位置涂布光阻；如果量测结果为负，所述控制机构根据所述量测结果修正所述喷嘴的涂布高度时，将所述喷嘴下移所述量测结果的绝对值，再由所述喷嘴对所述基板待涂布光阻表面位置涂布光阻。
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |