CN103250046B - 玻璃基板 - Google Patents

Abstract

提供至少一个表面不会膨胀的玻璃基板。设玻璃基板(51)的板厚为T(μm)。另外，设从该玻璃基板(51)的表面(52)到玻璃基板(51)内存在的气泡(57)的距离为D(μm)。在设该气泡的换算球形直径为e(μm)时，距至少一个表面(52)为T/2(μm)以内的层中存在的气泡的换算球形直径e满足：e≤0.01×D^1.6+15。在玻璃基板(51)是从通过浮法制造的玻璃带进行采板而得的玻璃基板的情况下，以与玻璃基板的底面对应的面为基准来确定到气泡(57)的距离D。

Description

玻璃基板

技术领域

本发明涉及玻璃基板。

背景技术

提出了各种测量玻璃基板内的缺陷的高度方向位置等的方法。

作为测量玻璃基板内的缺陷的高度方向位置的一般方法，有拍摄缺陷时调节相机的焦点来测量缺陷的高度方向位置的方法。方便起见将该方法称为第1测量方法。图13A是示意地表示第1测量方法的说明图。在第1测量方法中，如图13A所示，在使光通过玻璃基板82的状态下传送玻璃基板82。另外，用线性相机81拍摄被传送的玻璃基板82的内部。若玻璃基板82的内部存在缺陷83，则拍摄缺陷83。图13B表示所拍摄到的缺陷的图像的例。图13A中，用长方形示意地表示缺陷83，图13B中也用长方形表示在玻璃基板的图像内显现的缺陷的像86，但缺陷的形状并不限定于长方形。然而，在以下所示的图14A、图14B、图15A、图15B、图16、图17中也用长方形示意地表示缺陷。此外，图13B所示的箭头为玻璃基板82的传送方向。用线性相机81拍摄玻璃基板82的内部时，调节相机的焦点，使缺陷的存在位置与相机的焦点一致，测量从线性相机81到缺陷的绝对距离，并基于该距离计算缺陷的高度方向位置。作为调节相机的焦点以使缺陷的存在位置与相机的焦点一致的方法，有DFF(DepthfromFocus，对焦深度)法等。另外，关于缺陷的尺寸，对所拍摄到的图像进行图像处理来测量缺陷的尺寸。

例如在专利文献1～3等记载了调节相机的焦点来测量缺陷的高度方向位置的方法、装置。

另外，作为测量玻璃基板内的缺陷的高度方向位置的其他一般方法，有如下方法：利用入射到玻璃基板的光的反射光在两个位置拍摄同一缺陷，根据结果得到的两个像的位置关系测量缺陷的高度方向位置。方便起见将该方法记作第2测量方法。图14A是示意地表示第2测量方法的说明图。在第2测量方法中，例如，如图14A所示，在玻璃基板82上，使光在与线性相机81相同的一侧入射，以使其反射光到达线性相机81。另外，传送玻璃基板82并用线性相机81拍摄玻璃基板82的内部。玻璃基板内的光的路径将在之后参照图16的上层所示的侧视图进行说明。缺陷83随玻璃基板82的传送一起移动，在缺陷83与反射前的光的路径重叠时以及缺陷83与反射后的光的路径重叠时，分别在线性相机81中被捕捉为像。结果，即使是一个缺陷83，在所拍摄到的图像中也显现出两个像。图14B是通过第2测量方法所拍摄到的图像的例。如图14B所示，对同一缺陷显现出两个像84、85。在第2测量方法中，根据图14B所例示的图像中的两个像的位置关系，计算缺陷83的高度方向位置。另外，关于缺陷的尺寸，对所拍摄到的图像进行图像处理来测量缺陷的尺寸。此外，图14B所示的箭头为玻璃基板82的传送方向。

例如专利文献4～6、8等记载了利用入射到透明基板等的光的反射光在两个位置拍摄同一缺陷，根据两个像的位置关系来测量缺陷的高度方向位置的方法、装置。

另外，有如下方法：在玻璃基板的两面，与第2测量方法同样地拍摄图像，根据在玻璃基板的各个面所拍摄到的图像内的像的位置关系来测量缺陷的高度方向位置。方便起见将该方法记作第3测量方法。图15A是示意地表示第3测量方法的说明图。在第3测量方法中，例如，如图15A所示，在玻璃基板82上，使光在与第1线性相机81_a相同的一侧入射，以使其反射光到达第1线性相机81_a。同样地，使光在与第2线性相机81_b相同的一侧入射，以使其反射光到达第2线性相机81_b。另外，传送玻璃基板82并用第1线性相机81_a及第2线性相机81_b分别拍摄玻璃基板82的内部。这样一来，在第1线性相机81_a，与第2测量方法的情况相同地捕捉到两个像。另外，在第2线性相机81_b也捕捉到两个像。图15B是通过第3测量方法所拍摄到的图像的例。在第3测量方法中，如图15B所示，获得一个线性相机从玻璃基板的上侧拍摄到的图像和另一个线性相机从玻璃基板的下侧拍摄到的图像。在各图像中均分别显现出两个像。在第3测量方法中，根据从玻璃基板的上侧及下侧拍摄到的各图像中的像的位置关系，计算缺陷83的高度方向位置。此外，图15B例示在从上侧拍摄的图像中像重叠的情况。另外，关于缺陷的尺寸，对所拍摄到的图像进行图像处理来测量缺陷的尺寸。此外，图15B所示的箭头为玻璃基板82的传送方向。

例如专利文献7记载了从透明基板等的两侧拍摄图像从而求出缺陷的高度方向位置的方法。

在第2测量方法、第3测量方法中，以同一缺陷的像在图像内不重叠为条件，计算缺陷的高度方向位置。此外，在第3测量方法中，如图15B所例示的那样，在一个图像中像重叠时，可以用另一个图像来计算缺陷的高度方向位置。

下面，表示在第2测量方法中根据所拍摄到的图像内的两个像的位置关系来测量缺陷的高度方向位置的具体例。图16是表示由线性相机拍摄被传送的玻璃基板内的缺陷时的位置的说明图。图16的上层所示的图是玻璃基板的侧视图，图16的下层的左侧所示的图是与图16的上层所示的侧视图对应的俯视图。另外，图16的下层的右侧所示的图表示拍摄被传送的玻璃基板82内的一个缺陷83时获得的图像。

图16所示的侧视图及俯视图内所示的长方形表示玻璃基板82内的缺陷83。在本例中缺陷为一个。一个缺陷83与传送的玻璃基板82一起移动。图16所示的侧视图及俯视图中，分别图示有移动到位置91时的缺陷83和移动到位置92时的缺陷83。图16所示的侧视图及俯视图中并不是存在两个缺陷。

如图16的上层的侧视图所示，到达线性相机81的光是从玻璃基板82的线性相机侧的面入射到传送的玻璃基板82。然后，入射的光到达与玻璃基板82的入射侧相反侧的界面后，经该界面反射，通过入射侧的界面到达线性相机81。到达线性相机81的光的入射角α取决于线性相机81的设置位置。通过固定线性相机81的设置位置，将入射角α确定为固定值。另外，光的折射角β取决于光的入射角α及玻璃基板82的折射率n而决定。在此，已知入射角α及折射率n，折射角β也确定为固定值。对于折射率n、入射角α及折射角β，式(1)的关系成立。

n＝sinα/sinβ式(1)

因此，若已知入射角α及折射率n，则通过对β求解式(1)来求出折射角β。

另外，在图16所示的例中，从玻璃基板82的与线性相机81相反侧的面到缺陷83的高度方向位置d为测量对象。

线性相机81持续对玻璃基板82的内部进行拍摄。缺陷83与玻璃基板82一起向传送方向移动。另外，当缺陷83移动到与入射到玻璃基板82并经界面反射后到达线性相机81的光的路径的第一次的交差位置91时，线性相机81拍摄第一个像(以下记作第1像)作为缺陷83的像。进一步，当缺陷83移动到与光的路径的第二次的交差位置92时，线性相机81拍摄第二个像(以下记作第2像)作为缺陷83的像。结果，如图16的下层的右侧所示，在所拍摄到的图像中显现第1像98及第2像99。

此外，当缺陷83为透光性时，透过缺陷83的光到达线性相机81，被捕捉为像。当缺陷83为遮光性的缺陷时，缺陷83在图像中显现为黑色的像。缺陷83无论是否为遮光性，均在移动到位置91、92时被捕捉为像。

另外，如图16所示，使缺陷83从第1像的拍摄位置91到第2像的拍摄位置92的移动距离为y_d。另外，将线性相机81的正面方向的拍摄位置的连线称为中心线95。更具体而言，将线性相机81的正面方向的拍摄位置的连线正投影到玻璃基板82的界面而得的直线为中心线95。基于在所拍摄到的图像(参照图16的下层的右侧)中将第1像98及第2像99正投影到相当于中心线95的图像内的线96时的像98、99的距离，能够测量y_d。

在基于图像测量y_d的值后，通过利用折射角β计算下示的式(2)，能够求出缺陷83的高度方向位置d。

d＝y_d/(2·tanβ)式(2)

另外，将从线性相机81朝向第1像的拍摄位置91的直线正投影到玻璃基板的界面所成的直线与中心线95所成的角设为θ。此时，在所拍摄到的图像(参照图16的下层的右侧)中，使通过第1像98及第2像99的各中心的直线与线96所成的角也为θ。另外此时，可如下那样计算tanθ。下面，在说明了图16的下层的左侧的俯视图所示的y_c的基础上，说明tanθ的计算。

图16中表示了缺陷83从线性相机81的正面偏离的情况。如图17所示，在假设缺陷83存在于线性相机81的正面时，将拍摄第2像的位置92正投影到玻璃基板82的界面的位置与将线性相机81的透镜部分正投影到玻璃基板82的界面的位置的距离称为摄像距离y_c。但是，摄像距离y_c随缺陷83的高度方向位置d而变化。d为最大时，摄像距离为最小值y₁，d为最小时，摄像距离y_c为最大值y₂(参照图17的上层所示的侧视图)。即，y₁≤y_c≤y₂。如此，y_c严格来说取决于d，但也可以例如在y₁≤y_c≤y₂的范围内预先决定y_c。即使y_c不是正确的值，只要其为y₁≤y_c≤y₂的范围的值，则tanθ仅包含可以忽略的误差。

另外，将缺陷83从线性相机的正面方向的偏离记作x_cc(参照图16的下层的左侧)。在所拍摄到的图像(参照图16的下层的右侧)中，能够基于相当于中心线95的线96到第2像99的距离来确定x_cc。即，在图像内，对相当于从线96到第2像99的距离的像素数进行计数。由于线性相机81的位置固定，因而每像素在实际空间中的距离也确定为固定值。通过将相当于从线96到第2像99的距离的像素数乘以每像素在实际空间中的距离，能够计算x_cc的长度。

在此，如下式(3)所示，可以利用y_c及x_cc以近似式来表示tanθ。即，能够利用y_c及x_cc通过式(3)的计算求出tanθ。

[数1]

$tan\mathrm{\θ}=\frac{X_{cc}}{y_d+y_c}\≈\frac{X_{cc}}{y_c}$ 式(3)

另外，专利文献8记载了在移动玻璃板的同时使光入射到玻璃板，利用其入射光及反射光检测缺陷来运算缺陷的高度方向位置的方法。专利文献8所记载的方法中，在检测缺陷的图案时，在玻璃板的移动方向上没有大致相同大小的图案的情况下，即，在玻璃板的背面附近存在缺陷的情况、缺陷较大的情况下，判断为该缺陷的高度方向位置为0。因此，在上述情况下，专利文献8所记载的方法不能正确地求出缺陷的高度方向的位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-305072号公报

专利文献2：日本特开2004-361384号公报

专利文献3：日本特开2008-76071号公报

专利文献4：日本专利第2920056号公报

专利文献5：日本特开平9-61139号公报

专利文献6：日本特表2003-508786号公报

专利文献7：国际公开第2006/057125号

专利文献8：日本特开2010-8177号公报

发明内容

发明要解决的课题

优选在玻璃基板的表面没有由缺陷引起的膨胀。例如，作为玻璃基板内的缺陷的例，列举气泡。若气泡位于玻璃基板的表面附近，则会产生在玻璃基板的表面产生膨胀的问题。

例如，若使用像这样表面有膨胀的玻璃基板作为液晶显示面板的透明基板，则会因该膨胀而导致盒厚不均匀。特别是在显示立体图像(三维图像)的液晶显示面板的情况下，由于处理左眼用图像和右眼用图像两种图像，因而与显示二维图像的液晶显示面板相比，所处理的影像信息量变为两倍。另外，需要高速切换左眼用图像和右眼用图像，需要使盒厚较窄。因此，在显示立体图像(三维图像)的液晶显示面板的情况下，盒厚的均匀性要求更为严格，不再允许以往所允许的因在玻璃基板的表面附近存在的气泡引起的玻璃基板的微小的表面膨胀。

另外，若表面膨胀超过某界限，则在将玻璃基板重叠时，会在该膨胀部分集中荷重而导致破裂。

因此，优选用于液晶显示面板的玻璃基板至少在一侧的表面(液晶侧的表面)不存在膨胀。

因此，本发明的目的在于提供至少在一个表面不存在膨胀的玻璃基板。

用于解决课题的手段

本发明的玻璃基板的特征在于，设玻璃基板的板厚为T(μm)、从该玻璃基板的表面到该玻璃基板内存在的气泡的距离为D(μm)、上述气泡的换算球形直径为e(μm)时，距至少一个表面为T/2(μm)以内的层中存在的气泡的换算球形直径e满足：e≤0.01×D^1.6+15。本发明的玻璃基板的板厚T(μm)并未特别限定，但由于在玻璃基板内存在气泡时，玻璃基板的板厚T(μm)越薄，从玻璃基板的表面到玻璃基板内存在的气泡的距离D(μm)越小、玻璃基板表面膨胀的可能性越高，因而优选在10μm以上700μm以下，更优选在10μm以上400μm以下，进一步优选在10μm以上100μm以下，特别优选在10μm以上50μm以下。

例如本发明的玻璃基板，通过如下的玻璃基板检查方法判断为距至少表面为T/2(μm)以内的层中存在的气泡的换算球形直径e满足：e≤0.01×D^1.6+15，所述玻璃基板检查方法包括以下步骤：拍摄步骤，从光源(例如光源2)向沿着痕纹方向传送的玻璃基板照射光，通过在经玻璃基板反射的光所到达的位置配置的拍摄单元(例如线性相机3)，对玻璃基板进行拍摄；运算步骤，基于由拍摄单元拍摄到的图像内的、由玻璃基板内的同一气泡引起的两个相互重叠的椭圆形的像的位置关系，计算玻璃基板内的气泡的高度方向位置；换算球形直径计算步骤，计算气泡的换算球形直径e；以及判断步骤，判断在由气泡的高度方向位置决定的从玻璃基板的表面到气泡的距离D和气泡的换算球形直径e之间，是否满足e≤0.01×D^1.6+15。

另外，例如本发明的玻璃基板中，玻璃基板检查方法在运算步骤中，计算从由同一气泡引起的两个相互重叠的像(例如像21、22)的外切矩形的、与相当于玻璃基板的传送方向的方向平行的边的像素数所对应的在实际空间中的长度(例如h)减去气泡的与传送方向平行的直径的长度(例如s)所得的值，通过所计算的该值和玻璃基板内的光的折射角来计算玻璃基板内的气泡的高度方向位置；包括利用由拍摄单元拍摄到的图像来计算气泡的与传送方向正交的方向的直径的长度的步骤；在换算球形直径计算步骤中，设气泡的与传送方向平行的直径的长度为s(μm)、气泡的与传送方向正交的方向的直径的长度为t(μm)时，通过计算(s×t²)^1/3来计算该气泡的换算球形直径e；以及在判断步骤中，判断在由气泡的高度方向位置决定的从玻璃基板的表面到气泡的距离D和气泡的换算球形直径e之间，是否满足e≤0.01×D^1.6+15，通过上述玻璃基板检查方法，判断为距至少表面为T/2(μm)以内的层中存在的气泡的换算球形直径e满足：e≤0.01×D^1.6+15。

另外，例如本发明的玻璃基板中，玻璃基板检查方法在运算步骤中，根据由同一气泡引起的两个相互重叠的像的位置关系，利用包含与传送方向正交的玻璃基板的宽度方向上的像的位置作为变量(例如变量u)的、预先确定的计算式(例如式(6)、式(7))，计算气泡的特征量(例如s、r)，利用该特征量，计算从两个相互重叠的像的外切矩形的、与相当于玻璃基板的传送方向的方向平行的边的像素数所对应的在实际空间中的长度减去气泡的与传送方向平行的直径的长度所得的值，通过所计算的该值和玻璃基板内的光的折射角来计算玻璃基板内的气泡的高度方向位置；包括利用由拍摄单元拍摄到的图像来计算气泡的与传送方向正交的方向的直径的长度的步骤；在换算球形直径计算步骤中，设气泡的与传送方向平行的直径的长度为s(μm)、气泡的与传送方向正交的方向的直径的长度为t(μm)时，通过计算(s×t²)^1/3来计算该气泡的换算球形直径e；以及在判断步骤中，判断在由气泡的高度方向位置决定的从玻璃基板的表面到气泡的距离D和气泡的换算球形直径e之间，是否满足e≤0.01×D^1.6+15，通过上述玻璃基板检查方法，判断为距至少表面为T/2(μm)以内的层中存在的气泡的换算球形直径e满足：e≤0.01×D^1.6+15。

另外，例如本发明的玻璃基板中，玻璃基板检查方法在运算步骤中，根据由同一气泡引起的两个相互重叠的像的位置关系，利用预先确定的计算式(例如式(6))，作为特征量而计算气泡的与传送方向平行的直径的长度(例如s)，并计算从两个相互重叠的像的外切矩形的、与相当于传送方向的方向平行的边的像素数所对应的在实际空间中的长度减去该直径的长度所得的值，通过所计算的该值和玻璃基板内的光的折射角，计算玻璃基板内的气泡的高度方向位置；包括利用由拍摄单元拍摄到的图像来计算气泡的与传送方向正交的方向的直径的长度的步骤；在换算球形直径计算步骤中，设气泡的与传送方向平行的直径的长度为s(μm)、气泡的与传送方向正交的方向的直径的长度为t(μm)时，通过计算(s×t²)^1/3来计算该气泡的换算球形直径e；以及在判断步骤中，判断在由气泡的高度方向位置决定的从玻璃基板的表面到气泡的距离D和气泡的换算球形直径e之间，是否满足e≤0.01×D^1.6+15，通过上述玻璃基板检查方法，判断为距至少表面为T/2(μm)以内的层中存在的气泡的换算球形直径e满足：e≤0.01×D^1.6+15。

另外，例如本发明的玻璃基板中，玻璃基板检查方法在运算步骤中，利用预先确定的计算式(例如式(7))，根据由同一气泡引起的两个相互重叠的像的位置关系，作为特征量而计算气泡的两个直径的比(例如r)，通过相当于拍摄单元的正面方向的拍摄位置的图像内的线与经过两个像的各中心的线所成的角以及上述比，计算两个相互重叠的像的外切矩形的、与相当于玻璃基板的传送方向的方向平行的边的像素数所对应的在实际空间中的长度减去气泡的与传送方向平行的直径的长度所得的值，通过所计算的该值和玻璃基板内的光的折射角，计算玻璃基板内的气泡的高度方向位置；包括利用由拍摄单元拍摄到的图像来计算气泡的与传送方向正交的方向的直径的长度的步骤；在换算球形直径计算步骤中，设气泡的与传送方向平行的直径的长度为s(μm)、气泡的与传送方向正交的方向的直径的长度为t(μm)时，通过计算(s×t²)^1/3来计算该气泡的换算球形直径e；以及在判断步骤中，判断在由气泡的高度方向位置决定的从玻璃基板的表面到气泡的距离D和气泡的换算球形直径e之间，是否满足e≤0.01×D^1.6+15，通过上述玻璃基板检查方法，判断为距至少表面为T/2(μm)以内的层中存在的气泡的换算球形直径e满足：e≤0.01×D^1.6+15。

另外，例如优选本发明的玻璃基板是从通过浮法制造的玻璃带进行采板而得的玻璃基板，距与玻璃带的底面对应的一侧的表面为T/2(μm)以内的层中存在的气泡的换算球形直径e满足：e≤0.01×D^1.6+15。

另外，例如优选本发明的玻璃基板是液晶显示面板的玻璃基板，距面向液晶侧的一侧的表面为T/2(μm)以内的层中存在的气泡的换算球形直径e满足：e≤0.01×D^1.6+15。

发明效果

根据本发明的玻璃基板，能够防止至少一侧的表面的膨胀。

附图说明

图1是表示本发明的玻璃基板的侧视图的例的说明图。

图2是表示气泡的形状的说明图。

图3是表示从上方观察气泡的状态的说明图。

图4是表示检查式(4)在从玻璃基板的表面到气泡的距离D和气泡的换算球形直径e之间是否成立的检查系统的结构例的示意图。

图5A是表示中心线的说明图。

图5B是表示图像内的相当于中心线的线的说明图。

图6是表示玻璃基板内的气泡的长径的方向和传送辊1的传送方向的关系的说明图。

图7是表示第1玻璃基板检查方法的例的流程图。

图8是表示两个相互重叠的像的外切矩形的区域的说明图。

图9是表示第2玻璃基板检查方法的例的流程图。

图10是表示显现到图像内的玻璃基板的例的说明图。

图11是表示第3玻璃基板检查方法的例的流程图。

图12是表示显现到图像内的玻璃基板的例的说明图。

图13A是示意地表示第1测量方法的说明图。

图13B是表示通过第1测量方法拍摄到的缺陷的图像的例的说明图。

图14A是示意地表示第2测量方法的说明图。

图14B是表示通过第2测量方法拍摄到的缺陷的图像的例的说明图。

图15A是示意地表示第3测量方法的说明图。

图15B是表示通过第3测量方法拍摄到的缺陷的图像的例的说明图。

图16是表示线性相机拍摄被传送的玻璃基板内的缺陷时的位置的说明图。

图17是摄像距离y_c的说明图。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。

图1是表示本发明的玻璃基板的侧视图的例的说明图。本发明的玻璃基板51是满足以下条件的玻璃基板。即，本发明的玻璃基板51在设玻璃基板的板厚为T(μm)、从该玻璃基板的表面到该玻璃基板内存在的气泡的距离为D(μm)、该气泡的换算球形直径为e(μm)时，距玻璃基板的两个表面中至少一个表面为T/2(μm)以内的层中存在的气泡的换算球形直径e满足符合下示的式(4)的条件。

e≤0.01×D^1.6+15式(4)

在此，D≤T/2。具体而言，从玻璃基板的表面到气泡的距离是以距该气泡较近的表面为基准确定的。图1所示的例中，从玻璃的表面到气泡57的距离D是指，在以作为玻璃基板的主面的两个表面52、53中距气泡57较近的表面52为基准的情况下的、从表面52到气泡57的距离。

另外，气泡是玻璃基板、玻璃带内的缺陷的一种。图1中，为了表示换算球形直径e，方便起见用球形图示气泡57，但实际的气泡为近似于使椭圆以椭圆的长轴为中心旋转而成的旋转椭圆体的形状。因此，可将玻璃内的气泡视为使椭圆以椭圆的长轴为中心旋转而成的旋转椭圆体。另外，设该椭圆的短轴的长度为t(μm)、长轴的长度为s(μm)。图2是表示这样的气泡的形状的说明图。另外，图3是表示从上方观察这样的气泡的状态的说明图。如图2所示，可将气泡的高度和气泡的宽度视为共用的值，均为t。另外，气泡的长度是与椭圆的长轴相等的值，为s。

若设该气泡的换算球形直径为e(μm)，则可通过下示的式(5)的计算来求出换算球形直径e。

e＝(s×t²)^1/3式(5)

即，换算球形直径e为(s×t²)的三次方根。

例如，使玻璃基板51为用作液晶显示面板的透明基板的玻璃基板。这种情况下，在作为玻璃基板51的主面的两个表面中至少以面向液晶侧的表面为基准，设从该表面到气泡的距离为D(μm)时，只要式(4)在该气泡的换算球形直径e和距离D之间成立即可。但是，该气泡是距面向液晶侧的表面为T/2(μm)以内的层中存在的气泡，D≤T/2。此外，在以玻璃基板的另一个表面为基准时，也可以使同样的关系在换算球形直径e和距离D之间成立。此外，也可以说作为玻璃基板的主面的两个表面中面向液晶侧的表面是指例如配置透明电极的面。

因此，图1所示的玻璃基板51是用于液晶显示面板的玻璃基板，若表面52为面向液晶侧的面，则以表面52为基准测量从表面到气泡的距离D即可。

另外，在从通过浮法制造的玻璃带采板玻璃基板，制造用于液晶显示面板的玻璃基板时，对与玻璃带的底面对应的面进行研磨，将该面作为面向液晶侧的结构来制造液晶显示面板。因此，在从通过浮法制造的玻璃带采板玻璃基板而制造用于液晶显示面板的玻璃基板时，只要在作为玻璃基板51的主面的两个表面中至少以与玻璃带的底面对应的表面为基准，设从该底面到气泡的距离为D(μm)时，式(4)在该气泡的换算球形直径e和距离D之间成立即可。在此，该气泡是距与底面对应的一侧的表面为T/2(μm)以内的层中存在的气泡，D≤T/2。此外，在以与玻璃带的顶面对应的面为基准时，也可以使同样的关系在换算球形直径e和距离D之间成立。此外，通过浮法制造的玻璃带的下侧的面称为底面，上侧的面称为顶面。

因此，图1所示的玻璃基板51是从通过浮法制造的玻璃带进行采板而得的玻璃基板，若表面52为与底面对应的面，则以表面52为基准来测量从表面到气泡的距离D即可。

关于距玻璃基板的表面(在此为图1所示的表面52)为T/2(μm)以内的层中存在的气泡，式(4)在从表面到气泡的距离D和气泡的换算球形直径e之间成立是指，距表面52越近的气泡其换算球形直径越小。换言之，在表面52的附近，不存在换算球形直径大的气泡。因此，能够防止因气泡的影响而引起的表面52的膨胀，能够提高玻璃基板的品质。另外，由于本发明的玻璃基板51能够像这样防止表面52的膨胀，因而在用作液晶显示面板的透明基板时，能够使盒厚均匀。

此外，在将从通过浮法制造的玻璃带进行采板而得的玻璃基板用于液晶显示面板时，对与玻璃带的底面对应的面进行研磨，但本发明的玻璃基板51也可以是以研磨前的表面52为基准，式(4)在从表面52到气泡的距离D(其中，D≤T/2)和气泡的换算球形直径e之间成立的玻璃基板。

另外，在通过浮法等制造的玻璃带、从该玻璃带进行采板而得的玻璃基板上，产生有沿玻璃带的主要延伸方向的痕纹。玻璃带的主要延伸方向并不是基于引导部件的向玻璃带的宽度方向的延伸，而是指沿玻璃带的前进方向的延伸的方向。以下，将玻璃带的主要延伸方向简记为玻璃带的延伸方向。痕纹是指因与玻璃带的延伸方向垂直的方向的板厚的变动及起伏而引起的、在玻璃带的延伸方向产生的纹路。从玻璃带进行采板而得的玻璃基板上也产生有痕纹。另外，由于玻璃带的延伸方向与玻璃带从玻璃带制造装置(未图示)送出的前进方向相同，因而痕纹方向、玻璃带的延伸方向以及制造时送出的玻璃带的前进方向均为相同的方向。

下面，说明用于测量从玻璃基板的表面到气泡的距离D、计算气泡的换算球形直径e以及检查式(4)是否成立的玻璃基板检查方法的检查系统的例、玻璃基板检查方法。通过该玻璃基板检查方法判断为式(4)成立的玻璃基板对应于本发明的玻璃基板51。

在该玻璃基板检查方法中，以玻璃基板的各种缺陷中的气泡作为对象，计算从玻璃基板的表面到气泡的距离D。玻璃带、玻璃基板内的气泡为椭圆体。因此，拍摄玻璃基板内的气泡而得的图像中气泡的像为椭圆。另外，在作为图像进行拍摄的气泡的像(椭圆形的像)中，中心部分为白色。因此，可以将显现到图像的气泡的像的中心部分作为特征性的点(以下记作特征点)来利用。

在关于玻璃基板检查式(4)是否成立的玻璃基板检查方法中，首先说明第1玻璃基板检查方法。图4是表示检查式(4)在从玻璃基板的表面到气泡的距离D和气泡的换算球形直径e之间是否成立的检查系统的结构例的示意图。该检查系统具备传送辊1、光源2、线性相机3以及运算装置4。

传送辊1支撑作为检查对象的玻璃基板5，并以一定速度向一定方向传送玻璃基板5。向沿玻璃基板5自身的痕纹方向的方向传送玻璃基板5。因此，传送辊1的玻璃基板5的传送方向与玻璃基板5的痕纹方向为相同的方向。另外在本例中，以使玻璃基板的两个表面中作为决定到气泡的距离的基准的表面(为图1中的表面52)面向与光源2及线性相机3相反的一侧，由传送辊1支撑玻璃基板5的情况为例。例如，在玻璃基板5为从通过浮法制造的玻璃带进行采板的玻璃基板时，可以使与玻璃带的底面对应的面面向与光源2及线性相机3相反的一侧，由传送辊1支撑玻璃基板5。另外，若玻璃基板5用作液晶显示面板的透明基板，则可以使面向液晶侧的面面向与光源2及线性相机3相反的一侧，由传送辊1支撑玻璃基板5。另外，在该玻璃基板检查方法中，测量从玻璃基板5的传送辊1侧的表面52到气泡的高度方向位置(距离)。在此，高度方向位置为从传送辊1侧的表面到气泡的距离。因此，在使作为基准的表面面向传送辊1侧时，高度方向位置的测量值是指从作为基准的表面到气泡的距离D。

此外，可以使作为决定到气泡的距离的基准的表面52面向与传送辊1相反的一侧，由传送辊1支撑玻璃基板5。此时，从作为基准的表面到气泡的距离D为从玻璃基板5的板厚T减去高度方向位置的测量值所得的值。已知板厚T，无论使作为决定到气泡的距离的基准的表面52面向哪一侧，都可以根据气泡的高度方向位置的测量值来确定从作为基准的表面到气泡的距离D。

如已经说明的那样，在此，以使作为决定到气泡的距离的基准的表面52面向与光源2及线性相机3相反的一侧(即，传送辊1侧)，由传送辊1支撑玻璃基板5的情况为例。

光源2配置于玻璃基板5的两个面中的一面侧，向玻璃基板5照射光。该光从界面8入射到玻璃基板5，在玻璃基板内通过并经与入射侧相反的一侧的面52反射。反射光通过入射侧的界面8到达线性相机3。此外，图4中简化地表示光的路径，如图16的上层的侧视图所示，当光的路径在光入射到界面8时及在经界面52反射后通过界面8时，分别发生折射。

线性相机3配置于从光源2照射并经玻璃基板5反射的光所到达的位置。具体而言，以玻璃基板5为基准，与光源2配置在同一侧。另外，例如线性相机3以光源2为基准，配置在玻璃基板5的传送方向。另外，线性相机3拍摄玻璃基板5的内部，作为拍摄结果而生成图像。

通过决定光源2及线性相机3的配置位置，在光的路径中入射角α(参照图16的上层)也被确定为固定值。进一步，已知玻璃基板5的折射率n，通过求解式(1)，将从光源2到线性相机3的光的路径中的折射角β的值也确定为固定值。

传送玻璃基板5，线性相机3在固定位置持续进行玻璃基板5的拍摄。因此，在玻璃基板5，被拍摄的部位随着时间经过而发生变化。因此，若将线性相机3的正面方向的拍摄位置的连线正投影到玻璃基板5的界面8上，则其表现为直线。将该直线称为中心线。图5A是表示中心线的说明图，图5B是表示图像内的相当于中心线的线的说明图。图5A为玻璃基板5的俯视图。线性相机3的正面的拍摄位置随玻璃基板5的传送而发生变化，将其连线的向界面的正投影图示为中心线95。另外，图5B表示由线性相机3拍摄到的图像。在图像内，用点划线表示相当于中心线95的线96。该线96可以说是与线性相机3的正面方向的拍摄位置对应的像素的连线。另外，中心线95与玻璃基板5的传送方向平行，可以说相当于中心线95的图像内的线96表示图像内的相当于玻璃基板5的传送方向的方向。此外，由于玻璃基板5是沿其痕纹方向被传送的，因而可以说图像内的线96表示相当于痕纹方向的方向。将相当于中心线95的图像内的线96记作传送方向线。此外，图5B中为了说明而图示了传送方向线96，但在实际的拍摄图像中，传送方向线96并未显现到图像内。

在玻璃基板5内存在气泡时，一个气泡会导致在线性相机3所拍摄的图像内出现两个该气泡的像。另外，在拍摄气泡的图像内显现的气泡的像为椭圆形，其中心部为白色。

运算装置4参照由线性相机3拍摄到的图像，测量气泡的高度方向位置。该气泡的高度方向位置为图16的上层的侧视图中表示为“d”的长度。即为在玻璃基板5中从与光源2相反的一侧的表面52到气泡的距离。运算装置4在拍摄同一气泡而得的成对的椭圆形的像相互重叠时，基于该成对的椭圆形的位置关系，计算玻璃基板5内的气泡的高度方向位置。具体而言，运算装置4计算从在图像内相互重叠的两个椭圆形的像的外切矩形的、与相当于玻璃基板的传送方向的方向平行的边的像素数所对应的在实际空间中的距离减去气泡的直径中与传送方向平行的直径的长度所得的值。此外，在图像内，与相当于玻璃基板的传送方向的方向平行即为与传送方向线96(参照图5B)平行。运算装置4利用通过上述减法运算求得的值和在玻璃基板5的折射角β来计算气泡的高度方向位置。该计算将在之后参照图8进行说明。

另外，在沿玻璃基板的痕纹方向传送玻璃基板时，玻璃基板内的气泡的长径与传送辊1的传送方向(即玻璃基板5的痕纹方向)大致平行。如图6所示，气泡的长径72的方向和传送辊1对玻璃基板5的传送方向71的偏离最大为10°。这样一来，由于气泡的长径72与传送辊1的传送方向71大致平行，因而在线性相机3所拍摄到的图像中，表现为椭圆形的气泡的像的长径也与传送方向线96(参照图5B)大致平行。下面，以在所拍摄到的图像中气泡的像的长径与传送方向线96平行的情况为例进行说明。

此外，在成对的像未相互重叠的情况下，运算装置4可以利用公知的方法计算气泡的高度方向位置。

另外，线性相机3的配置位置固定。因此，线性相机3所拍摄到的图像中的1像素所对应的在实际空间中的距离也被确定为固定值。使图像中的1像素所对应的在实际空间中的距离为已知。

图7是表示对于玻璃基板中存在的气泡检查是否满足式(4)的条件的玻璃基板检查方法中的第1玻璃基板检查方法的例的流程图。

首先，光源2开始对检查对象的玻璃基板5照射光(步骤S1)。

然后，传送辊1向固定的方向传送在传送辊1上配置的玻璃基板5，线性相机3持续拍摄被传送的玻璃基板5的内部。此时，玻璃基板5以玻璃基板5自身的痕纹方向与传送方向相同的方式配置于传送辊1上，并沿痕纹方向被传送。另外，线性相机3作为拍摄结果而生成图像(步骤S2)。线性相机3将拍摄所得的图像发送到运算装置4。

在玻璃基板5的内部存在气泡时，在步骤S2得到的图像中包含气泡的像。具体而言，在图像内作为气泡的像而显现椭圆形的像。另外，如图16中所说明的那样，气泡在移动到与反射前的光的路径重叠的位置(图16的上层的侧视图所示的位置91)时和气泡在移动到与反射后的光的路径重叠的位置(图16的上层的侧视图所示的位置92)时，分别作为像而被显现到图像中。因此，存在一个气泡时，在图像2中显现两个像。另外，在气泡较大、气泡存在于玻璃基板5的表面52(参照图4)附近时，该两个像相互重叠。

运算装置4接收在步骤S2中生成的图像后，从图像中检测两个相互重叠的像的外切矩形的区域。然后，对该外切矩形的边中与在图像内相当于玻璃基板5的传送方向的方向平行的边(即，与图像内的传送方向线96平行的边)的像素数进行计数。然后，运算装置4通过将该边的像素数乘以每像素在实际空间中的距离，计算该边的像素数所对应的在实际空间中的长度(步骤S3)。

图8是表示两个相互重叠的像的外切矩形的区域的说明图。如图8所示，作为相互重叠的两个像21、22的外切矩形，确定图8所示的外切矩形23。像21、22为椭圆，可认为其全等。在图8所示的例中，使外切矩形23的长边与传送方向线96(参照图5B)平行。此时，运算装置4对像21、22的外切矩形23的长边24的像素数进行计数，将该像素数乘以每像素在实际空间中的距离。用“h”表示该长边24所对应的在实际空间中的长度。在此，使h的单位为μm。

另外，在缺陷为气泡的情况下，像21的中心部21_a在图像上呈白色。该中心部21_a为像21的特征点。运算装置4对从一个像21的中心部21_a至外切矩形23的短边中较近的短边为止的像素数进行计数。即，对图8中用符号A表示的部分的像素数进行计数。运算装置4将该像素数乘以每像素在实际空间中的距离。该乘法运算的结果为相当于图8所示的A的部分所对应的在实际空间中的长度，具体而言，是与传送方向平行的气泡的直径(气泡的直径中与传送方向平行的直径)的1/2的长度。在图8所示的例中，该直径为气泡的长径。运算装置4通过将上述乘法运算的结果翻倍来计算气泡的与传送方向平行的直径的长度(步骤S4)。该气泡的直径的长度相当于图3所示的s。在此，使s的单位为μm。与实际空间中的s/2的长度对应的图像内的部分为图8中用符号A表示的部分。另外，由于可认为两个像21、22全等，因此在图8中，可认为A＝A'。

另外在此，以利用像21的中心部21_a来计算s的情况为例进行了说明，但也可以利用像22的中心部来计算s。

另外，在图8中，以气泡的像的长径与传送方向线平行的情况为例进行了说明，但也存在气泡的像的长径与传送方向线不完全平行的情况。然而，玻璃基板内的气泡的长径与玻璃基板的传送方向的偏离最大仅为10°(参照图6)。因此，即使气泡的像的长径与传送方向线不完全平行，也可以视为两者平行，与上述步骤S3、S4同样地计算h、s。即，在求h时，对相互重叠的两个像的外切矩形的长边的像素数进行计数，并将该像素数乘以每像素在实际空间中的距离即可。另外，在求s时，对从一个像的中心部至外切矩形的短边中较近的短边为止的像素数进行计数，将该像素数乘以每像素在实际空间中的距离并将该乘法运算的结果翻倍即可。即使气泡的像的长径与传送方向线不完全平行，如上所述那样计算h、s并利用该h、s来计算气泡的高度方向位置，也仅包含可以忽略的程度的误差。另外，在该情况下，也可以将s视为气泡的长径。

接下来，运算装置4从在步骤S3算出的h减去在步骤S4算出的s(步骤S5)。设该减法运算的结果为y_d。y_d为气泡从拍摄到第一个像的位置移动到拍摄到第二个像的位置的移动距离。即，在步骤S5计算的y_d为拍摄气泡的像的两点间的距离。此外，与实际空间中的y_d的长度对应的图像内的部分为图8中用符号B表示的部分。

运算装置4利用在步骤S5算出的y_d和预先确定的折射角β，进行式(2)的计算，计算气泡的高度方向位置d。即，计算y_d/(2·tanβ)，将其计算结果设为d(步骤S6)。气泡的高度方向位置d为从玻璃基板5的传送辊1侧的表面52(参照图4)到气泡的距离。

接下来，运算装置4根据气泡的高度方向位置d来确定从作为基准的表面52到气泡的距离D(步骤S7)。像本例那样，在使作为决定到气泡的距离的基准的表面面向传送辊1侧而配置玻璃基板时，从该表面到气泡的距离D等于在步骤S6算出的气泡的高度方向位置d。因此，可以使气泡的高度方向位置d的值为从作为基准的表面52到气泡的距离D。即，运算装置4可以将距离D的值确定为D＝d。

此外，在使作为决定到气泡的距离的基准的表面面向与传送辊1相反的一侧而配置玻璃基板时，从该表面到气泡的距离D为从玻璃基板的板厚T(μm)减去气泡的高度方向位置d的值而得。即此时，运算装置4可以将距离D的值确定为D＝T-d。其中，玻璃基板的板厚T为已知。

在步骤S7之后，运算装置4基于在步骤S2所拍摄到的图像来计算气泡的与传送方向正交的方向的直径的长度(步骤S8)。在步骤S8，利用在步骤S3检测出的两个相互重叠的像的外切矩形的区域(参照图8)。具体而言，运算装置对从相互重叠的两个像中的一个像的中心部至外切矩形的长边中较近的长边为止的像素数进行计数，将该像素数乘以每像素在实际空间中的距离并将该乘法运算的结果翻倍即可。该值为气泡的宽度，相当于图2所示的t。在此，使t的单位为μm。另外，由于气泡为旋转椭圆体，因而气泡的高度也与气泡的宽度一样为t(μm)。

接下来，运算装置4利用在步骤S4算出的气泡的与传送方向平行的直径的长度s和在步骤S8算出的气泡的与传送方向正交的方向的直径的长度t，计算该气泡的换算球形直径e(步骤S9)。运算装置4可以通过进行式(5)的计算来计算换算球形直径e。即，运算装置4通过计算(s×t²)的三次方根来计算换算球形直径e。在此，使e的单位为μm。

此外，分别按各组成对的椭圆形的像来进行步骤S3～S9。

接下来，运算装置4检测距玻璃基板5的表面52的距离D为T/2以下的气泡。T为玻璃基板5的板厚。然后，运算装置4依次选择该气泡，并判断对于所选择的气泡，式(4)在算出的距离D及换算球形直径e之间是否成立(步骤S10)。运算装置按各组成对的椭圆形的像来计算距表面52的距离D及换算球形直径e。在步骤S10中，运算装置4可以通过判断为每组距离D为T/2以下的椭圆形存在一个气泡来检测距表面52的距离D为T/2以下的气泡。然后，逐一地依次选择检测出的气泡，并判断对于所选择的气泡，在算出的距离D及换算球形直径e之间，“e≤0.01×D^1.6+15”的关系是否成立。对于各个距表面52的距离D为T/2以下的气泡，“e≤0.01×D^1.6+15”的关系成立的玻璃基板对应于本发明的玻璃基板。另一方面，在距表面52的距离D为T/2以下的气泡中，存在“e≤0.01×D^1.6+15”的关系不成立的气泡时，该玻璃基板不符合本发明的玻璃基板。

因此，在对本发明的玻璃基板51(参照图1)进行上述玻璃基板检查方法(图7所示的步骤S1～S10)的情况下，能够判断为“e≤0.01×D¹.⁶+15”的关系对于距表面52的距离D为T/2以下的各个气泡成立。

在拍摄到存在于传送辊1(参照图4)侧的表面52的附近的气泡的图像中，由该气泡引起的两个像表现为相互重叠。另外，在气泡较大时，在拍摄到该气泡的图像中，两个像表现为相互重叠。在参照图14A说明的第2测量方法中，在由同一缺陷引起的两个像重叠时，无法测量该像的高度方向位置。另外，在参照图15A说明的第3测量方法中，如图15B所示，拍摄来自上侧的图像和来自下侧的图像，因而只要任意一侧的图像中像未重叠，就能够测量缺陷的高度方向位置。然而，在缺陷较大时，也存在由两个线性相机拍摄到的各图像中像均重叠的情况，在该情况下，无法测量缺陷的高度方向位置。与此相对，在上述玻璃基板检查方法(图7所示的步骤S1～S10)中，即使由同一气泡引起的像重叠，也能够计算气泡的高度方向位置。因此，能够确定距表面52的距离D，能够判断对于距表面52的距离D为T/2以下的气泡，式(4)在该距离D和气泡的换算球形直径e之间是否成立。

另外，在参照图14A说明的第1测量方法中，缺陷的高度方向位置的测量结果易受被传送的玻璃基板的上下振动的影响，但在上述步骤S1～S10所示的玻璃基板检查方法中难以受到那样的影响，能够高精度地计算气泡的高度方向位置。结果，能够高精度地判断对于距表面52的距离D为T/2以下的气泡，式(4)在该距离D和气泡的换算球形直径e之间是否成立。

对于距作为玻璃基板的基准的表面52的距离D为T/2以下的气泡，检查式(4)在该距离D和气泡的换算球形直径e之间是否成立的玻璃基板检查方法并不限定于图7所示的方法(步骤S1～S10)。下面，说明进行同样的检查的第2玻璃基板检查方法及第3玻璃基板检查方法。无论哪一种情况都能够使用例如图4所例示的检查系统进行检查。光源2及线性相机3相对于作为检查对象的玻璃基板5的位置关系与第1玻璃基板检查方法相同，省略其说明。但是，运算装置4对气泡的高度方向位置d的测量方法与第1玻璃基板检查方法不同。

此外，在第2玻璃基板检查方法及第3玻璃基板检查方法中，玻璃基板也是以向沿玻璃基板自身的痕纹方向的方向传送的方式配置于传送辊1并被传送。

在第2玻璃基板检查方法中，运算装置4计算检查对象的玻璃基板5内的气泡的特征量。另外，运算装置4利用该特征量，计算从相互重叠的两个像的外切矩形的、与相当于玻璃基板的传送方向的方向平行的边的像素数所对应的在实际空间中的长度减去气泡的与玻璃基板的传送方向平行的直径(气泡的直径中与传送方向平行的直径)的长度所得的值。另外，运算装置4在计算上述特征量时，基于相互重叠的两个像的位置关系，利用预先确定的计算式来计算特征量。

另外，在第2玻璃基板检查方法中，作为特征量计算气泡的与玻璃基板的传送方向平行的直径的长度。

将用于计算上述特征量的式子预先决定为以与以玻璃基板的端部为基准的像的特征点对应的位置的坐标、在第1玻璃基板检查方法中说明的h、两个相互重叠的像的面积为变量的函数。用于确定该特征量(气泡的直径中与传送方向平行的直径)的计算式例如可用下面的式(6)来表示。

s＝a₁u²+a₂h²+a₃p²+a₄uh+a₅hp+a₆up+a₇u+a₈h+a₉p+a₁₀式(6)

式(6)中，“u”为与以玻璃基板的端部为基准的像的特征点对应的位置的坐标，具体而言，是从与传送方向平行的玻璃基板的侧面到气泡的中心的距离。在此，使u的单位为mm。“h”为基于拍摄到气泡的图像，通过与第1玻璃基板检查方法中的步骤S3相同的计算而得的值。在此，使h的单位为μm。p为在拍摄到气泡的图像中，两个像所占的区域(两个像的区域的并集)的面积，具体而言，用图像内的像素数来表示。式(6)中的a₁～a₁₀为系数。另外，式(6)中的s为气泡的与玻璃基板的传送方向平行的直径。

作为特征量的直径s易受玻璃带的宽度方向的气泡的位置影响。另外，从带状的玻璃带采板玻璃基板的位置一般在玻璃带的宽度方向上固定。例如，若设从玻璃带的侧部到玻璃基板的采板位置的距离为X，则一般使X固定，并依次采板玻璃基板群。由此，可以说作为特征量的直径s也容易受到与玻璃基板的传送方向垂直的方向的气泡的位置(即与玻璃基板的痕纹方向垂直的方向的气泡的位置)影响。因此，用包含上述变量u的计算式(例如，上述式(6))来计算s。

另外，在所拍摄到的图像中，气泡的像的长径与传送方向线平行时，上述s对应于气泡的长径。但是，即使在图像中气泡的像的长径与传送方向线不完全平行时，由于两者大致平行，因而可以视为上述特征量s为气泡的长径。即使像这样将s视为气泡的长径，也只是包含可以忽略的程度的误差，不影响气泡的高度方向位置的计算。

通过最小二乘法预先求出式(6)中的系数a₁～a₁₀。具体而言，使用作为样本的气泡，实际测量s、u。另外，对包含作为样本的气泡的玻璃基板进行与在第1玻璃基板检查方法中说明的步骤S1～S3相同的处理来求得h。另外，通过那时在步骤S2所得的图像来对成为两个像的并集的区域的像素数p进行计数。准备多个作为样本的气泡，对各气泡像这样得到s、u、h、p。若得到多组s、u、h、p，则可以通过这些s、u、h、p的组，利用最小二乘法来求出式(6)中的系数a₁～a₁₀。

s与u、h、p之间具有相关性，能够通过最小二乘法求出式(6)中的各系数。

运算装置4通过拍摄作为气泡的高度方向位置的测量对象的玻璃基板而得的图像求出u、h、p，并代入式(6)从而计算s。然后，运算装置4计算h-s(＝y_d)，利用该计算结果和折射角β计算气泡的高度方向位置。

图9是表示第2玻璃基板检查方法的例的流程图。对于与第1玻璃基板检查方法相同的处理，与图7标记同一符号，省略其说明。

至步骤S3中计算h为止的动作与第1玻璃基板检查方法相同。

图10是表示显现到图像内的玻璃基板的例的说明图。存在气泡时，图像内也会显现气泡的像21、22。另外，在图10所示的例中，作为像的特征点，各像21、22的中心部分21_a、22_a也在图像内表现为白色的区域。此外，图示有像21、22的外切矩形23，但外切矩形23并不会显现到图像内。

在步骤S3之后，运算装置4对图像内的从玻璃基板的端部31到像的特征点的像素数进行计数。即，对图10中用符号C表示的部分的像素数进行计数。然后，运算装置4将该像素数乘以每像素在实际空间中的距离(步骤S11)。该乘法运算的结果相当于实际空间中的从玻璃基板的端部(侧面)到气泡的距离u。即，在步骤S11中计算u。

但是，在上述步骤S11的说明中，为了使说明简化，以玻璃基板的端部31显现到图像内的情况为例进行了说明。在玻璃基板的端部31未显现到图像内的情况下，可以如下计算距离u。由于线性相机3的设置位置固定，因而能够预先求出从玻璃基板的端部到由线性相机3拍摄到的图像内的玻璃基板端部侧的端部在实际空间中的距离(设为u₀)。然后，运算装置4计算所拍摄到的图像中的从该端部的部分到像的特征点的距离。在该计算中，例如可以对图像中的从该端部的部分到特征点的像素数进行计数，并将该像素数乘以每像素在实际空间中的距离。运算装置4可以通过将该距离加上由线性相机设置位置所决定的u₀，计算实际空间中的从玻璃基板的端部(侧面)到缺陷的距离u。

此外，在图10所示的例中，以使用像21的中心部分21_a作为特征点而求出图像内的从玻璃基板的端部31到中心部分21_a的距离的情况为例。作为特征点，也可以使用另一个像22的中心部分22_a。无论使用哪一个中心部分作为特征点，都能够求出实际空间中的从玻璃基板的端部(侧面)到气泡的距离u。像素数的计数结果因使用哪一个中心部分21_a，22_a作为特征点而不同，但其差很微小，仅包含距离u可以忽略的误差。另外，作为特征点，也可以使用外切矩形23内的特征性的点(例如，外切矩形23的任意顶点)。此时，也仅包含距离u可以忽略的误差。

在步骤S11之后，运算装置4作为相互重叠的两个像21、22所占的区域(两个像的区域的并集)的面积而对该区域内的像素数p进行计数(步骤S12)。

然后，运算装置4将在步骤S3、S11、S12中求得的h、u、p代入式(6)，从而计算气泡的直径中与传送方向平行的直径s(步骤S13)。如图10所示，在像的长径与传送方向线平行的情况下，该直径s为气泡的长径。如已经说明的那样，在拍摄图像中，即使像的长径与传送方向线不完全平行，由于两者大致平行，因而也可以将在步骤S13中算出的直径s视为气泡的长径。

以后的处理与第1玻璃基板检查方法中的步骤S5～S10相同。

即，运算装置4通过从在步骤S3中算出的h减去在步骤S13中算出的s，求出y_d(步骤S5)。另外，运算装置4利用y_d和折射角β来进行式(2)的计算，计算气泡的高度方向位置d(步骤S6)。

进一步，运算装置4根据气泡的高度方向位置d来确定从作为基准的表面52到气泡的距离D(步骤S7)。在使作为决定到气泡的距离的基准的表面面向传送辊1侧而配置玻璃基板时，可以使D＝d。另外，在使作为决定到气泡的距离的基准的表面面向与传送辊1相反的一侧而配置玻璃基板时，运算装置4可以将距离D的值确定为D＝T-d。

然后，运算装置4基于在步骤S2中所拍摄到的图像，计算气泡的与传送方向正交的方向的直径的长度t(步骤S8)。该t的计算方法可以与第1玻璃基板检查方法中的步骤S8相同。接下来，运算装置4通过计算(s×t²)的三次方根来计算气泡的换算球形直径e(步骤S9)。

此外，分别按各组成对的椭圆形的像来进行步骤S3～S9的处理。

进一步，运算装置4检测距玻璃基板5的表面52的距离D为T/2以下的气泡。然后，运算装置4依次选择该气泡，并判断对于所选择的气泡，在算出的距离D及换算球形直径e之间，式(4)的关系(即e≤0.01×D^1.6+15)是否成立(步骤S10)。

在对本发明的玻璃基板51(参照图1)进行第2玻璃基板检查方法(图9所示的步骤S1～S10)的的情况下，对于距表面52的距离D为T/2以下的各个气泡也能够判断为“e≤0.01×D^1.6+15”的关系成立。

另外，在图9所示的第2玻璃基板检查方法中，与第1玻璃基板检查方法(参照图7)同样地，即使由同一气泡引起的像重叠，也能够计算气泡的高度方向位置。另外，难以受到被传送的玻璃基板的上下振动的影响，对于距表面52的距离D为T/2以下的气泡，能够高精度地判断式(4)在该距离D和气泡的换算球形直径e之间是否成立。

接下来，说明第3玻璃基板检查方法。在第3玻璃基板检查方法中，光源2及线性相机3(参照图4)相对于作为检查对象的玻璃基板5的位置关系也与第1玻璃基板检查方法相同，省略其说明。

在第3玻璃基板检查方法中，运算装置4也计算玻璃基板5内的气泡的特征量，并利用该特征量来计算y_d。但是，在第2玻璃基板检查方法中作为特征量计算了气泡的直径s，但在第3玻璃基板检查方法中，计算气泡的两个直径的比。具体而言，运算装置4作为气泡的特征量而求出气泡的直径中传送方向的直径相对于与传送方向正交的方向的直径的比例。即，若设气泡的直径中与传送方向正交的方向的直径为r₁，传送方向的直径为r₂，则作为特征量而计算r₂/r₁。下面，将r₂/r₁记作r。

此外，在所拍摄到的图像中，气泡的像的长径与传送方向线平行时，上述r₁相当于气泡的短径，r₂相当于气泡的长径。即，作为特征量r计算“长径/短径”。但是，在图像中，即使气泡的像的长径与传送方向线不完全平行时，由于两者大致平行，因而可以将上述r₁视为气泡的短径，将上述r₂视为气泡的长径。即，在图像中，即使气泡的像的长径与传送方向线不完全平行时，也可以将作为特征量而算出的r视为气泡的“长径/短径”。即使这样，r也仅包含可以忽略的程度的误差，不会影响气泡的高度方向位置d的计算。

运算装置4在作为气泡的特征量而算出r后，利用该r求出y_d(气泡从拍摄到第一个像的位置移动到拍摄到第二个像的位置的移动距离)。

另外，运算装置4在计算上述特征量r时，基于相互重叠的两个像的位置关系，利用预先确定的计算式来计算特征量。

将用于计算该特征量r的式子预先决定为以与以玻璃基板的端部为基准的像的特征点对应的位置的坐标、在第1玻璃基板检查方法中说明的h、两个相互重叠的像的面积为变量的函数。用于求出特征量r的计算式例如可用下面的式(7)来表示。

r＝b₁u²+b₂h²+b₃p²+b₄uh+b₅hp+b₆up+b₇u+b₈h+b₉p+b₁₀式(7)

该函数中的变量u、h、p与第2玻璃基板检查方法所示的式(6)中的变量u、h、p相同。即，“u”为从与传送方向平行的玻璃基板的侧面到气泡的中心的距离。“h”为基于拍摄到气泡的图像，通过与第1玻璃基板检查方法中的步骤S3相同的计算而得的值。p为在拍摄到气泡的图像中两个像所占的区域(两个像的区域的并集)的面积，具体而言，用图像内的像素数来表示。式(7)中的b₁～b₁₀为系数。

特征量r容易受到玻璃带的宽度方向的气泡的位置的影响。另外，如已经说明的那样，从带状的玻璃带采板玻璃基板的位置一般在玻璃带的宽度方向上固定。由此，可以说特征量r容易受到与玻璃基板的传送方向垂直的方向的气泡的位置(即与玻璃基板的痕纹方向垂直的方向的气泡的位置)的影响。因此，用包含上述变量u的计算式(例如，上述式(7))来计算r。

通过最小二乘法式预先求出(7)中的系数b₁～b₁₀。具体而言，使用作为样本的气泡，实际测量r、u。另外，对包含作为样本的气泡的玻璃基板进行与在第1玻璃基板检查方法中说明的步骤S1～S3相同的处理来求得h。另外，根据那时在步骤S2所得的图像，对成为两个像的并集的区域的像素数p进行计数。准备多个作为样本的气泡，对各气泡像这样得到r、u、h、p。若得到多组r、u、h、p的组，则可以通过这些r、u、h、p的组利用最小二乘法来求出式(7)中的系数b₁～b₁₀。

r与u、h、p之间具有相关性，能够通过最小二乘法求出式(7)中的各系数。

运算装置4根据拍摄作为气泡的高度方向位置的测量对象的玻璃基板而得的图像求出u、h、p，并代入式(7)从而计算r。

另外，运算装置4在拍摄到的图像中，使传送方向线96和通过两个像的中心的线所成的角为θ时，求出tanθ的值。然后，运算装置4利用h、u、r、tanθ计算y_d。运算装置4利用该y_d和折射角β来计算气泡的高度方向位置d。

图11是表示第3玻璃基板检查方法的例的流程图。对于与第1玻璃基板检查方法、第2玻璃基板检查方法相同的处理，与图7、图9标记同一符号，省略其说明。

至步骤S12中求出p为止的动作(步骤S1、S2、S3、S11、S12)与第2玻璃基板检查方法相同。

在步骤S12之后，运算装置4通过将在步骤S3、S11、S12中求得的h、u、p代入式(7)，计算r(即，气泡的直径中传送方向的直径的长度相对于与传送方向正交的方向的直径的长度的比例)(步骤S21)。

图12是表示显现到图像内的玻璃基板的例的说明图。对于与图10相同的要素，与图10标记同一符号，省略其说明。

在步骤S21之后，运算装置4对两个相互重叠的像21、22的外切矩形23的边中与相当于玻璃基板的传送方向的方向正交的边(即与图像中的传送方向线正交的边)的像素数进行计数。即，对图12中用符号D表示的部分的像素数进行计数。然后，运算装置4将该像素数乘以每像素在实际空间中的距离(步骤S22)。将结果得到的长度记作w。即，w为图12中用符号D表示的部分所对应的在实际空间中的长度。

另外，运算装置4求出外切矩形的边中与相当于玻璃基板的传送方向的方向平行的边和通过两个像21、22的中心部分21_a、22_a的线所成的角θ的正切即tanθ(步骤S23)。

θ也可以说是通过两个像21、22的中心部分21_a、22_a的线和传送方向线所成的角。因此，运算装置4例如可以预先确定y_c(参照图17)的值并通过已经说明的方法计算x_cc，进行式(3)的计算，从而计算tanθ。或者，也可以通过其他方法计算tanθ。

接下来，运算装置4利用在至步骤S23为止的处理中计算完成的h、r、w、tanθ来计算y_d(步骤S24)。具体而言，运算装置4可以通过进行下示的式(8)的计算来计算y_d。

y_d＝(h-r·w)/(1-r·tanθ)式(8)

运算装置4利用上述y_d和预先确定的折射角β进行式(2)的计算，计算气泡的高度方向位置d(步骤S25)。该计算与第1玻璃基板检查方法中的步骤S6相同。

在步骤S25之后，运算装置4根据气泡的高度方向位置d来确定从作为基准的表面52到气泡的距离D(步骤S7)。在使作为决定到气泡的距离的基准的表面面向传送辊1侧而配置玻璃基板时，可以使D＝d。另外，在使作为决定到气泡的距离的基准的表面面向与传送辊1相反的一侧而配置玻璃基板时，运算装置4可以将距离D的值确定为D＝T-d。该处理与第1玻璃基板检查方法(参照图7)、第2的玻璃检查方法(参照图9)中的步骤S7(参照图9)相同。

接着，运算装置4计算气泡的与传送方向平行的直径的长度s(步骤S4)。气泡的与传送方向平行的直径的长度s的计算可以通过与第1玻璃基板检查方法(参照图7)中的步骤S4相同的方法来进行。或者，可以通过进行与第2的玻璃检查方法(参照图9)中的步骤S13的处理相同的处理，计算气泡的与传送方向平行的直径的长度s。

以后的处理与第1玻璃基板检查方法、第2玻璃基板检查方法中的步骤S8～S10相同。

即，运算装置4基于在步骤S2中拍摄到的图像，计算气泡的与传送方向正交的方向的直径的长度t(步骤S8)。接着，运算装置4通过计算(s×t²)的三次方根来计算气泡的换算球形直径e(步骤S9)。

此外，分别按各组成对的椭圆形的像来进行步骤S3～S9的处理。

进一步，运算装置4检测距玻璃基板5的表面52的距离D为T/2以下的气泡。然后，运算装置4依次选择该气泡，并对于所选择的气泡判断在算出的距离D及换算球形直径e之间式(4)的关系(即e≤0.01×D^1.6+15)是否成立(步骤S10)。

在对本发明的玻璃基板51(参照图1)进行第3玻璃基板检查方法(图11所示的步骤S1～S10)的情况下，对于距表面52的距离D为T/2以下的各个气泡也判断为“e≤0.01×D^1.6+15”的关系成立。

在图11所示的第3玻璃基板检查方法中，也与第1玻璃基板检查方法(参照图7)、第2玻璃基板检查方法(参照图9)同样地，即使由同一气泡引起的像重叠，也能够计算气泡的高度方向位置。另外，难以受到被传送的玻璃基板的上下振动的影响，对于距表面52的距离D为T/2以下的气泡，能够高精度地判断式(4)在该距离D和气泡的换算球形直径e之间是否成立。

在上述各玻璃基板检查方法中，运算装置4例如通过按照程序进行动作的计算机来实现。例如，计算机可以按照程序作为运算装置4而进行动作。

接下来，说明本发明的玻璃基板51(参照图1)的制造方法。图1所示的本发明的玻璃基板51例如可以如下获得：对通过浮法制造的玻璃带，应用上述第1玻璃基板检查方法(参照图7)、第2玻璃基板检查方法(参照图9)及第3玻璃基板检查方法(参照图11)中的任意一个方法，拣选对于距底面的距离D为T/2以下的气泡，式(4)在该距离D和气泡的换算球形直径e之间成立的玻璃带，并从该玻璃带切出玻璃基板。在对玻璃带应用第1玻璃基板检查方法、第2玻璃基板检查方法及第3玻璃基板检查方法的任意方法时，使用玻璃带代替上述玻璃基板即可。此时，在采用上述第1玻璃基板检查方法、第2玻璃基板检查方法及第3玻璃基板检查方法的任意一个时，也可以以底面为基准而计算从底面到气泡的距离D，并且计算气泡的换算球形直径e，拣选对于距离D为T/2以下的气泡，式(4)在距离D和气泡的换算球形直径e之间成立的玻璃带。

从如此拣选出的玻璃带进行采板而得的玻璃基板能够防止与底面对应的面的膨胀。

另外，在使用如此进行采板而得的玻璃基板作为液晶显示面板的透明基板时，可以研磨与玻璃带的底面对应的面，使该面面向液晶侧而制造液晶显示面板。结果，能够制造盒厚均匀的液晶显示面板。

另外，由于能够防止由气泡引起的表面膨胀，因而本发明的玻璃基板也能够应用于显示立体图像的液晶显示面板。

由于能够防止表面膨胀，因而能够防止在将玻璃基板重叠时，在玻璃基板的一部分集中荷重。因此，即使在将玻璃基板重叠时，也能够防止玻璃基板的破裂。

此外，作为玻璃带的制造方法有熔融法。对于通过熔融法制造的玻璃带，哪个表面作为用于决定距离D的基准面均可。另外，计算从作为基准面的表面到气泡的距离D，并且计算气泡的换算球形直径e，拣选对于距离D为T/2以下的气泡，式(4)在距离D和气泡的换算球形直径e之间成立的玻璃带，如上所述地采板玻璃基板，即可获得本发明的玻璃基板51(参照图1)。在使用从通过熔融法制造的玻璃带进行采板而得的玻璃基板作为液晶显示面板的透明基板时，也可以使作为用于决定距离D的基准面的面面向液晶侧而制造液晶显示面板。此时，能够制造盒厚均匀的液晶显示面板。此外，在使用从通过熔融法制造的玻璃带进行采板而得的玻璃基板作为液晶显示面板的透明基板时，可以不进行研磨。

实施例

表1中分别示出作为本发明的实施例的例1～例10以及作为比较例的例11～例20。

[表1]

例1～20的试料使用在通过浮法成形后切断而得的玻璃基板(旭硝子公司制的无碱玻璃“AN100”)。

表1的f(D)一栏分别记载了例1～20的试料的与从表面到气泡的距离D的值对应的f(D)＝0.01×D^1.6+15的值。

表1的气泡的换算球形直径e一栏记载了利用上述方法算出的例1～20的试料的气泡的换算球形直径e。

表1的表面膨胀量一栏记载了使用奥林巴斯株式会社(OlympusCorporation)制的3D激光显微镜(机型名称：LEXTOLS3100MODEL：OLS31-SU)来测量例1～20的试料的与表面垂直的方向的试料表面膨胀量所得的结果。表中标记为N.D的试料表示膨胀量在测量界限以下(0.1μm以下)。

表1的评价一栏记载了进行在从玻璃基板的表面到气泡的距离D和气泡的换算球形直径e之间是否满足e≤f(D)的判断的结果。在满足e≤f(D)的情况下记载○，在不满足e≤f(D)的情况下记载×。

如表1所表明的那样，满足e≤0.01×D^1.6+15的实施例的例11～10的试料中，与试料的表面垂直的方向的试料表面膨胀量在测量界限以下。与此相对，不满足e≤0.01×D^1.6+15的实施例的例11～例20的试料中，与试料的表面垂直的方向的试料表面膨胀量为1.5～6.2μm。

因此，通过使从玻璃基板的表面到气泡的距离D和气泡的换算球形直径e满足e≤0.01×D^1.6+15，能够使玻璃基板的表面膨胀量在测量界限以下。

参照详细、特定的实施方式说明了本申请，但本领域技术人员能够在不脱离本发明的精神和范围的情况下进行各种变更、修正。

本申请基于2010年12月9日申请的日本专利申请(特愿2010-275049)，作为参照而将其内容援引至此。

产业利用性

本发明可应用于例如作为液晶显示面板的透明基板而使用的玻璃基板。

符号说明

1传送辊

2光源

3、81、81_a、81_b线性相机

4运算装置

5、51、82玻璃基板

57气泡

Claims (5)

1.一种液晶显示面板用玻璃基板的制造方法，其特征在于，

从玻璃带中采板玻璃基板，上述玻璃带为通过如下的玻璃带检查方法判断为在距上述玻璃带的至少一个表面为T/2以内的层中存在的气泡的换算球形直径e满足e≤0.01×D^1.6+15的玻璃带，其中，T为玻璃带的板厚，D为从该玻璃带的表面到该玻璃带内存在的气泡的距离，e为上述气泡的换算球形直径，上述T、D以及e的单位为μm，

所述玻璃带检查方法包括以下步骤：

拍摄步骤，从光源向沿着痕纹方向传送的玻璃带照射光，通过在经上述玻璃带反射的光所到达的位置配置的拍摄单元，对上述玻璃带进行拍摄；

运算步骤，基于由上述拍摄单元拍摄到的图像内的、由上述玻璃带内的同一气泡引起的两个相互重叠的椭圆形的像的位置关系，计算上述玻璃带内的上述气泡的高度方向位置；

换算球形直径计算步骤，计算上述气泡的换算球形直径e；以及

判断步骤，判断在由上述气泡的高度方向位置决定的从玻璃带的表面到气泡的距离D和上述气泡的换算球形直径e之间，是否满足e≤0.01×D^1.6+15。

2.根据权利要求1所述的液晶显示面板用玻璃基板的制造方法，其中，

所述玻璃带检查方法，

在运算步骤中，计算从由同一气泡引起的两个相互重叠的像的外切矩形的、与相当于玻璃带的传送方向的方向平行的边的像素数所对应的在实际空间中的长度减去气泡的与上述传送方向平行的直径的长度所得的值，通过所计算的上述值和上述玻璃带内的光的折射角来计算上述玻璃带内的上述气泡的高度方向位置；

包括利用由拍摄单元拍摄到的图像来计算气泡的与上述传送方向正交的方向的直径的长度的步骤；

在换算球形直径计算步骤中，设气泡的与上述传送方向平行的直径的长度为s、气泡的与上述传送方向正交的方向的直径的长度为t时，通过计算(s×t²)^1/3来计算该气泡的换算球形直径e，上述s、t的单位是μm；以及

在判断步骤中，判断在由上述气泡的高度方向位置决定的从玻璃带的表面到气泡的距离D和上述气泡的换算球形直径e之间，是否满足e≤0.01×D^1.6+15。

3.根据权利要求1所述的液晶显示面板用玻璃基板的制造方法，其中，

所述玻璃带检查方法，

在运算步骤中，根据由同一气泡引起的两个相互重叠的像的位置关系，利用如下计算式(6)，作为特征量而计算气泡的与玻璃带的传送方向平行的直径的长度，并计算从上述两个相互重叠的像的外切矩形的、与相当于上述传送方向的方向平行的边的像素数所对应的在实际空间中的长度减去上述直径的长度所得的值，通过所计算的上述值和上述玻璃带内的光的折射角，计算上述玻璃带内的上述气泡的高度方向位置；

包括利用由拍摄单元拍摄到的图像来计算气泡的与上述传送方向正交的方向的直径的长度的步骤；

在换算球形直径计算步骤中，设气泡的与上述传送方向平行的直径的长度为s、气泡的与上述传送方向正交的方向的直径的长度为t时，通过计算(s×t²)^1/3来计算该气泡的换算球形直径e，上述s、t的单位是μm；以及

在判断步骤中，判断在由上述气泡的高度方向位置决定的从玻璃带的表面到气泡的距离D和上述气泡的换算球形直径e之间，是否满足e≤0.01×D^1.6+15，

s＝a₁u²+a₂h²+a₃p²+a₄uh+a₅hp+a₆up+a₇u+a₈h+a₉p+a₁₀式(6)

其中，“u”为从与传送方向平行的玻璃基板的侧面到气泡的中心的距离，u的单位为mm，“h”为两个相互重叠的像的外切矩形的与传送方向平行的边在实际空间中的长度，h的单位为μm，p为在拍摄到气泡的图像中两个像所占的区域的面积，a₁～a₁₀为基于s、u、h、p之间的相关性，通过最小二乘法求出的各系数。

4.根据权利要求1所述的液晶显示面板用玻璃基板的制造方法，其中，

所述玻璃带检查方法，

在运算步骤中，利用如下计算式(7)，根据由同一气泡引起的两个相互重叠的像的位置关系，作为特征量而计算气泡的与玻璃带的传送方向平行的直径以及与上述传送方向正交的方向的直径这两个直径的比，通过相当于拍摄单元的正面方向的拍摄位置的图像内的线与经过上述两个像的各中心的线所成的角以及上述比，计算上述两个相互重叠的像的外切矩形的、与相当于上述传送方向的方向平行的边的像素数所对应的在实际空间中的长度减去气泡的与上述传送方向平行的直径的长度所得的值，通过所计算的上述值和上述玻璃带内的光的折射角，计算上述玻璃带内的上述气泡的高度方向位置；

包括利用由拍摄单元拍摄到的图像来计算气泡的与上述传送方向正交的方向的直径的长度的步骤；

在换算球形直径计算步骤中，设气泡的与上述传送方向平行的直径的长度为s、气泡的与上述传送方向正交的方向的直径的长度为t时，通过计算(s×t²)^1/3来计算该气泡的换算球形直径e，上述s、t的单位是μm；以及

在判断步骤中，判断在由上述气泡的高度方向位置决定的从玻璃带的表面到气泡的距离D和上述气泡的换算球形直径e之间，是否满足e≤0.01×D^1.6+15，

r＝b₁u²+b₂h²+b₃p²+b₄uh+b₅hp+b₆up+b₇u+b₈h+b₉p+b₁₀式(7)

其中，“u”为从与传送方向平行的玻璃基板的侧面到气泡的中心的距离，u的单位为mm，“h”为两个相互重叠的像的外切矩形的与传送方向平行的边在实际空间中的长度，h的单位为μm，p为在拍摄到气泡的图像中两个像所占的区域的面积，b₁～b₁₀为基于r、u、h、p之间的相关性，通过最小二乘法求出的各系数。

5.根据权利要求1～4的任意一项所述的液晶显示面板用玻璃基板的制造方法，其中，

从通过浮法制造的玻璃带中采板玻璃基板。