CN103245549B - 一种单晶叶片晶粒度腐蚀装置 - Google Patents
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Citations (5)
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---|---|---|---|---|
CN201376997Y (zh) * | 2009-02-27 | 2010-01-06 | 深圳市捷佳创精密设备有限公司 | 硅材料酸腐蚀综合处理装置 |
CN101719530A (zh) * | 2009-08-31 | 2010-06-02 | 上海科伟达超声波科技有限公司 | 多晶硅太阳能电池片制绒设备 |
CN102319688A (zh) * | 2011-07-11 | 2012-01-18 | 苏州赤诚洗净科技有限公司 | 硅料清洗装置 |
CN102485977A (zh) * | 2010-12-02 | 2012-06-06 | 有研半导体材料股份有限公司 | 一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机 |
CN103014708A (zh) * | 2011-09-21 | 2013-04-03 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种单晶叶片表面晶粒腐蚀方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2824282B2 (ja) * | 1989-07-14 | 1998-11-11 | ヤマハ発動機株式会社 | 表面処理装置 |
DE10321411B4 (de) * | 2003-05-13 | 2005-12-01 | Siedentop Gmbh | Anlage und Verfahren zum Beizen von Gegenständen aus Stahl |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201376997Y (zh) * | 2009-02-27 | 2010-01-06 | 深圳市捷佳创精密设备有限公司 | 硅材料酸腐蚀综合处理装置 |
CN101719530A (zh) * | 2009-08-31 | 2010-06-02 | 上海科伟达超声波科技有限公司 | 多晶硅太阳能电池片制绒设备 |
CN102485977A (zh) * | 2010-12-02 | 2012-06-06 | 有研半导体材料股份有限公司 | 一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机 |
CN102319688A (zh) * | 2011-07-11 | 2012-01-18 | 苏州赤诚洗净科技有限公司 | 硅料清洗装置 |
CN103014708A (zh) * | 2011-09-21 | 2013-04-03 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种单晶叶片表面晶粒腐蚀方法 |
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