CN103221461A - 透明柔性膜及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种透明柔性膜及其制造方法。根据本发明，在透明基材膜的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化，以与空气中的水分反应形成无机层。因此，该用于太阳能电池的透明柔性膜具有低的水和氧气渗透率。

Description

透明柔性膜及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种透明柔性膜及其制造方法。更具地的，通过在透明基材膜的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化，以与空气中的水分反应形成无机层。因此，该用于太阳能电池的透明柔性膜具有低的水和氧气渗透率。
背景技术
传统的太阳能电池模块由玻璃制成且具有固体的透明性和阻隔性能，但是它们存在易碎、缺乏柔韧性、厚度受限并且单位体积重量高的问题。作为一种可选择的能够克服上述传统玻璃基材的缺点的柔性塑料基材被提出。
在最近一年，太阳能电池模块的发展，已经使得气阻型膜（gas-barriertype film）应用于柔性的太阳能电池中具有轻巧和优良的阻气保护功能以及自由弯曲折叠的优势。因此，透明塑料或树脂膜作为基材已被研究来代替易碎的、在大面积应用受到限制的玻璃基材。
具有优异机械灵活性和阻气性在显示设备，如LCD（液晶显示器），OLED（有机发光二极管（OLED），电子纸显示屏（EPD）等上的需求在上升。
塑料或树脂膜的阻气性能较玻璃基材的差，蒸汽或氧气可渗透基材从而降低了太阳能电池模板的寿命和质量。通过改善塑料基材自身的性能很难克服其关于气体渗透率的问题，因此，可利用在塑料基材的表面上涂覆薄膜的方法来防止例如氧气和水蒸气这类气体的渗透。
最近，无机材料硅氧化物、铝氧化物通过真空沉积法、喷溅法、离子镀法（ion planting method）和化学气相沉积等形成的透明阻气型膜作为氧气和水蒸气的阻隔材料已引起极大关注。然而，通过在由具有透明度和硬挺度高的双轴拉伸聚酯制成的基材上沉积无机氧化物形成的透明气阻型膜，树脂层可能变柔软。换言之，在高温下沉积形成薄膜，树脂层由于热负荷可能变软，因此，只能利用例如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯（polybutylene terephtahlate）、聚对苯二甲酸乙二酯（polyethyleneterepthalate）、polyethylene naphthalate或聚酰亚胺等耐热型塑料。而且，当用低杨氏模量的树脂时，存在由于在沉积过程中树脂的抗拉强度降低且沉积的膜容易裂开，因此合成的膜气阻性能可能下降的缺陷。
由于沉积必须在真空装置中进行，在此操作过程中还存在这样的缺陷，即需要用到笨重且昂贵的设备。因此，需要一种更简单且方便的制造阻气型膜的方法。
技术问题
本发明的发明人完成了本发明，源于致力于开发一种通过在透明基材膜的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化，以与空气中的水分反应形成的无机层。
因此，本发明的一个目的是提供一种通过形成无机层而具有低的水和氧气渗透率的透明柔性膜及其制造方法，其中，无机层是通过在透明基材膜的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化，以与空气中的水分反应而形成。
本发明的另一目的是提供一种无需使用高成本的沉积设备而能够低成本生产的透明柔性膜及其制造方法。
本发明的再一目的是提供一种由于其优异的机械灵活性和低的水和氧气渗透率而能够改善太阳能电池模块的寿命的透明柔性膜。
本发明的目的不限于上述提到的目的，本领域的技术人员可通过下面的描述清楚地解释其他未提到的目的。
技术方案
本发明的实施方式提供了一种制造透明柔性膜的方法，该方法包括（a）在透明基材膜的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化，以与空气中的水分反应，形成第一无机层和（b）在第一无机层上涂覆一层有机层。
根据本发明的一些实施方式，在（b）步骤后，进一步包括（c）在有机层的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化，以与空气中的水分反应，形成第二无机层。
根据本发明的一些实施方式，在（a）步骤中，其中，所述无机层由下式表示：
式
M(OR)n+nH2O→M(OH)X+nROH
其中，M选自由硅（Si）、硼（B）、锂（Li）、钠（Na）、钾（K）、镁（Mg）、钙（Ca）、钛（Ti）、铝（Al）、钡（Ba）、锌（Zn）、镓（Ga）、锗（Ge）、铋（Bi）和铁（Fe）组成的组中的任意一种，R表示含有1-20个碳原子的烷基或含有6-20个碳原子的芳基，并且其中，在R表示烷基的情况下，烷基中的氢能够被氟取代。
根据本发明的一些实施方式，（a）步骤中的第一无机层和（c）步骤中的第二无机层由下式表示：
式
M(OR)n+nH2O→M(OH)X+nROH
其中，M选自由硅（Si）、硼（B）、锂（Li）、钠（Na）、钾（K）、镁（Mg）、钙（Ca）、钛（Ti）、铝（Al）、钡（Ba）、锌（Zn）、镓（Ga）、锗（Ge）、铋（Bi）和铁（Fe）组成的组中的任意一种，并且，R表示含有1-20个碳原子的烷基或含有6-20个碳原子的芳基，并且其中，在R表示烷基的情况下，烷基中的氢能够被氟取代。
根据本发明的一些实施方式，透明基材膜由聚合物或塑性材料制成。
根据本发明的一些实施方式，聚合物或塑性材料选自由聚酯砜、聚乙烯、聚碳酸酯、聚苯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚苯硫醚、聚丙烯、芳族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、芳族聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物（acrylonitrilebutadienestyrene，又名ABS树脂）、乙烯-四氟乙烯共聚物（ethylenetetrafluoroethylene）和聚乙烯氯化物（polyvinylechoride）组成的组中的至少一种。
根据本发明的一些实施方式，用于涂覆有机层的有机材料选自由苯并环丁烯（BCB）、丙烯酸树脂、环氧树脂、聚乙烯基苯酚（PVP）和聚乙烯醇（PVA）组成的组中的至少一种。
根据本发明的一些实施方式，（a）步骤中的第一无机层的厚度为0.5μm-30μm.
根据本发明的一些实施方式，（a）步骤中的第一无机层和（c）步骤中的第二无机层的厚度为0.5μm-30μm。
根据本发明中的一些实施方式，（a）步骤、（b）步骤和（c）步骤在一个时间过程或重复地在透明基材膜的一侧或两侧进行。
本发明的实施方式提供了透明柔性膜，该透明柔性膜包括：透明基材膜，形成在透明基材膜上的第一无机层和形成在第一无机层上的有机层。在这种情况下，第一无机层为通过使金属离子化合物与空气中的水分反应至自然固化而形成的M(OH)X，如下式表示：
式
M(OR)n+nH2O→M(OH)X+nROH
其中，M选自由硅（Si）、硼（B）、锂（Li）、钠（Na）、钾（K）、镁（Mg）、钙（Ca）、钛（Ti）、铝（Al）、钡（Ba）、锌（Zn）、镓（Ga）、锗（Ge）、铋（Bi）和铁（Fe）组成的组中的任意一种，并且，R表示含有1-20个碳原子的烷基或含有6-20个碳原子的芳基，并且，在R表示烷基的情况下，烷基中的氢能够被氟取代。
根据本发明的一些实施方式，所述透明柔性膜进一步包括有机层上的第二无机层。在这种情况下，在第二无机层为通过使金属离子化合物与空气中的水分反应至自然固化而形成的M(OH)X。
根据本发明的一些实施方式，透明基材膜由聚合物或塑性材料制成。
根据本发明的一些实施方式，聚合物或塑性材料选自由聚酯砜、聚乙烯、聚碳酸酯、聚苯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚苯硫醚、聚丙烯、芳族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、芳族聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物、乙烯-四氟乙烯共聚物和聚乙烯氯化物组成的组中的至少一种。
根据本发明的一些实施方式，用于涂覆有机层的有机材料选自由苯并环丁烯（BCB）、丙烯酸树脂、环氧树脂、聚乙烯基苯酚（PVP）和聚乙烯醇（PVA）组成的组中的至少一种。
根据本发明的一些实施方式，第一无机层的厚度为0.5μm-30μm。
根据本发明的一些实施方式，第一无机层和第二无机层的厚度均为0.5μm-30μm。
根据本发明的一些实施方式，第一无机层、有机层和第二无机层在透明基材膜的一侧依次层叠。
根据本发明的一些实施方式，第一无机层、有机层和第二无机层在透明基材膜的一侧重复层叠。
根据本发明的一些实施方式，第一无机层、有机层和第二无机层在透明基材膜的两侧依次层叠。
根据本发明的一些实施方式，第一无机层、有机层和第二无机层在透明基材膜的两侧重复层叠。
有益效果
本发明具有以下的效果：
首先，通过在透明基材膜的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化，以与空气中的水分反应，形成具有优异气阻性的无机层。因此，能够形成具有低的水和氧气渗透率的透明柔性膜。
而且，由于无机层是利用喷雾印刷或喷涂且自然固化以与空气中的水分反应形成的，因此无需昂贵的沉积设备，由此降低了工艺成本并简化了过程。
此外，根据本发明的透明柔性膜不仅能应用于太阳能电池模块，而且能应用于液晶显示器（LCD）、有机发光二极管（OLED）和电子纸显示屏（EPD）。
另外，根据本发明的透明柔性膜具有低的水和氧气渗透率和机械灵活性性，从而提高了的太阳能电池模块的寿命。
附图说明
图1为根据本发明的一种实施方式的透明柔性膜的横截面结构示意图。
图2为根据本发明的另一种实施方式的透明柔性膜的横截面结构示意图。
图3为根据本发明的再一种实施方式的透明柔性膜的横截面结构示意图。
图4为根据本发明的再一种实施方式的透明柔性膜的横截面结构示意图。
附图主要部分的简要说明
100：透明柔性膜                        110：第一无机层
120，140：有机层                       130：第二无机层
最佳方式
本发明所共同使用的术语将用来达到描述而不是限制的目的。此外，申请人所用的术语和词语可用于特殊的情况。在这种情况下，必须灵活地理解术语或词汇在本说明书中的意思，而不是只考虑到术语和词汇的基本含义。
在下文中，本发明的技术结构将参考在附图中说明的优选实施方式进行详细描述。
本发明可以以不同的形式来实施，然而，不应该被解释为仅限于前述所阐述的实施方式。相同的参考标记用来指代相似的元件。
如本文所用的“约”、“基本”等术语的目的是考虑到误差的情况下，在数学精确性上留有余地，这在贸易上是可接受的，而且可以防止任何无良的违规者过分利用其中披露的准确或绝对值理解本发明。
根据本发明的透明柔性膜，该透明柔性膜包括（a）通过在透明基材膜的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化，以与空气中的水分发生反应而形成的第一无机层和（b）在第一无机层上涂覆的有机层。此外，在（b）步骤之后，进一步包括（c）通过在有机层的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化以与空气中的水分反应形成的第二无机层。
在（a）步骤中，所述第一无机层形成在透明基材膜上。第一无机层是用于阻止气体，如氧气或蒸汽的阻挡层。
聚合物或塑料能够用来作为透明基材膜。本发明的合适的聚合物为，但不限于为，聚酯砜、聚乙烯、聚碳酸酯、聚苯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚苯硫醚、聚丙烯、芳族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、芳族聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物、乙烯-四氟乙烯共聚物和聚乙烯基氯化物。
通过在透明基材膜的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化，以与空气中的水分反应形成第一无机层。此时，所述的第一无机层的形成由下式表示：
式
M(OR)n+nH2O→M(OH)X+nROH
其中，M选自由硅（Si）、硼（B）、锂（Li）、钠（Na）、钾（K）、镁（Mg）、钙（Ca）、钛（Ti）、铝（Al）、钡（Ba）、锌（Zn）、镓（Ga）、锗（Ge）、铋（Bi）和铁（Fe）组成的组中的任意一种，并且，R表示含有1-20个碳原子的烷基或含有6-20个碳原子的芳基。在R表示烷基的情况下，烷基中的氢能够被氟取代。
涂覆溶剂是通过熔化由M(OR)n表示的金属化合物然后加入催化剂制成的。在预定的温度和一定的时间内搅拌涂覆溶剂以形成金属离子化合物。通常地，可利用各种类型的材料，例如正硅酸乙酯（Si[O.C2H5]4）能够使用。
可采用最常用的方法在透明基材膜的表面上涂覆金属离子化合物。典型的例子是浸渍、辊式涂布、凹版印刷（gravure court）、反向涂布（reverse court）、气刀法（air knife court）、逗号法（comma court）、模法（die court）、丝网印刷术、喷雾法（spray court）和间接凹印（gravure offset）等。采用这些陶瓷的方法，可以涂覆在透明基材膜的一侧或两侧。
涂覆在透明基材膜表面上的金属离子化合物自然固化以与空气中的水分反应。由于自然固化，nROH材料（材料中含有酒精）挥发，在透明基材膜上形成第一无机层。
在形成第一无机层时，不使用如高频照射、红外线照射、UV照射等干燥方法。因此，无机层可以通过低成本且因低价格而简化的过程形成。优选地，第一无机层的厚度是0.5μm-30μm。
在（b）步骤中，有机层形成在第一无机层上。为了使包括第一无机层的透明基材膜表面上平坦且稳定，形成了有机层。换言之，涂覆的有机层不仅具有填补空隙和开裂的功能，还改善了平滑度(Ra>2nm)和完整紧凑组成。
任何有机材料可用于作为有机层。根据本发明，最适合于但不仅限于作为有机材料的为苯并环丁烯（BCB）、丙烯酸树脂、环氧树脂、聚乙烯基苯酚（PVP）、聚乙烯醇（PVA）。
可以用最常用的方法涂覆有机层。典型的例子为浸渍、辊式涂布、凹版印刷、反向涂布、气刀法、逗号法、模法、丝网印刷术、喷雾法和间接凹印等。
接着，在（c）步骤中，在有机层上形成第二无机层。具体是，在有机层的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化，以与空气中的水分反应，形成第二无机层。第二无机层为阻止如氧气或蒸汽的第二气体阻挡层。第二无机层与第一无机层一起阻止气体以具有阻挡性能。同第一无机层的制造方法一样，第二无机层的制造方法如下式表示：
式
M(OR)n+nH2O→M(OH)X+nROH
其中，M选自由硅（Si）、硼（B）、锂（Li）、钠（Na）、钾（K）、镁（Mg）、钙（Ca）、钛（Ti）、铝（Al）、钡（Ba）、锌（Zn）、镓（Ga）、锗（Ge）、铋（Bi）和铁（Fe）组成的组中的任意一种，R表示含有1-20个碳原子的烷基或含有6-20个碳原子的芳基，在R表示烷基的情况下，烷基中的氢能够被氟取代。
涂覆溶剂是通过熔化由M(OR)n表示的金属化合物然后加入催化剂制成的。在预定的温度和一定的时间内搅拌涂覆溶剂以形成金属离子化合物。通常地，可利用各种类型的材料，例如C能够使用。
优选地，第二无机层的厚度为0.5μm-30μm。
用上述方法制造的透明柔性膜具有优异的氧气和蒸汽的防护能力以及优异的透明性和机械灵活性，因此可应用于太阳电池模块。根据本发明的一实施方式，在SUS基材上形成了透明柔性膜。CIGS层叠放透明柔性膜上。然后形成可制备太阳能电池的单电池的电极。根据本发明，制成的透明柔性膜应用于太阳能电池模块时，因其具有低的水和氧气渗透率和显著的机械灵活性，因此提高了太阳能电池的寿命。
图1至图4为根据本发明的实施方式的透明柔性膜的横截面结构示意图。
如图1所示，第一无机层110、有机层100和第二无机层120可以在透明基材膜100的一侧依次层叠。如图2所示，第一无机层110、有机层100和第二无机层120可以在透明基材膜100的一侧重复层叠。换言之，第一无机层110，有机层120和第二无机层120可以在透明基材膜100上一层或多层重复层叠。此外，如图1和2所示，它们可在透明基材膜的一侧或两侧层叠，这在本发明考虑的范围之内。
本发明将详细解释后者。然而，应当理解的是，本发明的范围并不限于所公开的实施方式。
具体实施方式
实施例1
为形成第一无机层，以正硅酸乙酯（Si[O.C2H5]4）为引发剂与IPA（二十碳五烯酸）熔化后，将此混合物加入催化剂在25℃下搅拌2h后形成金属离子化合物。通过旋转法（spin court manner）在厚度为100μm的透明基材膜（PET）的一侧涂覆金属离子化合物后，室温自然固化6h进行转变过程，由此形成第一无机层Si[OH]4。通过阿尔法步进（alpha stepper）测得第一无机层的厚度为3μm。采用旋转法在第一无机层的表面上涂覆包括苯并环丁烯（BCB）的涂覆剂，在120℃干燥2h后形成有机层。干燥后，通过阿尔法步进测得有机层的厚度为100μm。第二无机层在有机层表面上形成，与第一无机层制造方法的反应条件相同，因此形成了一种多层的透明柔性膜。
对于实施例1中形成的多层透明柔性膜应用于显示设备的基材时，其主要的性能—氧气透过率、蒸汽透过率、变形温度、光透过率、铅笔硬度和平均粗糙度用以下方法测试，结果如表1所示。
氧气透过率的测试
透明柔性膜的氧气透过率的值利用氧气透过率仪（Oxtran2/20MB,Mocon）于室温，相对湿度为0%的条件下测试。检测限为0.01g/m2.天，如果少于检测限，记为0.01g/m2.天。
蒸汽透过率的测试
透明柔性膜的蒸汽透过率的值利用蒸汽透过率测试仪(Permatran-w-3/33,ASTM F1249)于室温和100%的相对湿度下1h测试。检测限为0.01g/m2.天，如果少于检测限，记为0.01g/m2.天。
变形温度的测试
透明柔性膜的变形温度利用热机械分析仪（TMA）来测试，其中，长度偏差在5gf处发生急剧变化的拐点。
光透过率的测试
透明柔性膜的光透过率测试通过利用varian公司制造的UV光谱仪，依据ASTM D1003测试，可见光线380μm-780μm。
铅笔硬度的测试
透明柔性膜的铅笔硬度的测试：以不同硬度的铅笔在200g负荷下划两次以上，通过肉眼观察，在透明柔性膜表面无划痕时即为铅笔硬度。
平均粗糙度和最大粗糙度的测试
透明柔性膜的平均粗糙度（Ra）和最大粗糙度（Rmax）是通过原子力显微镜在20μm范围内测试的。
表1
氧气透过率 蒸汽透过率 变形温度 光透过率 铅笔硬度 平均粗糙度
单位 cc/m2/天 g/m2/天 ℃ % H nm
实施例1 <0.01 <0.01 >200 >92 >4 1.5
本发明已描述了上述实施方式和附图，但本发明的范围是由随后的权利要求定义的。因此本领域技术人员在所附权利要求书所披露的内容下，不脱离本发明的精髓，进行理解而将内容进行各种替换、修改和变化是可能的。应当了解的是，这样的替换、修改和变化在本发明的范围之内。

Claims (21)

1.一种制造透明柔性膜的方法，该方法包括：
（a）在透明基材膜的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化，以与空气中的水分反应，形成第一无机层；和
（b）在所述第一无机层上涂覆有机层。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，在（b）步骤之后，该方法进一步包括（c）：在所述有机层的表面上涂覆金属离子化合物，并自然固化，以与空气中的水分反应，形成第二无机层。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，在（a）步骤中，所述无机层通过下式表示：
式
M(OR)n+nH2O→M(OH)X+nROH
其中，M选自由硅、硼、锂、钠、钾、镁、钙、钛、铝、钡、锌、镓、锗、铋和铁组成的组中的任意一种，并且，R表示含有1-20个碳原子的烷基或含有6-20个碳原子的芳基；并且
其中，在R表示烷基的情况下，烷基中的氢能够被氟取代。
4.根据权利要求2所述的方法，其中，在（a）步骤中的所述第一无机层和在（c）步骤中的所述第二无机层由下式表示：
式
M(OR)n+nH2O→M(OH)X+nROH
其中，M选自由硅、硼、锂、钠、钾、镁、钙、钛、铝、钡、锌、镓、锗、铋和铁组成的组中的任意一种，并且，R表示含有1-20个碳原子的烷基或含有6-20个碳原子的芳基；并且
其中，在R表示烷基的情况下，烷基中的氢能够被氟取代。
5.根据权利要求1-4中任意一项所述的方法，其中，所述透明基材膜由聚合物或塑性材料制成。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述聚合物或所述塑性材料选自由聚酯砜、聚乙烯、聚碳酸酯、聚苯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚苯硫醚、聚丙烯、芳族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、芳族聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物、乙烯-四氟乙烯共聚物和聚乙烯氯化物组成的组中的至少一种。
7.根据权利要求1-4中任意一项所述的方法，其中，用于涂覆有机层的有机材料选自由苯并环丁烯（BCB）、丙烯酸树脂、环氧树脂、聚乙烯基苯酚（PVP）、和聚乙烯醇（PVA）组成的组中的至少一种。
8.根据权利要求1-3中任意一项所述的方法，其中，（a）步骤中的所述第一无机层的厚度为0.5μm-30μm。
9.根据权利要求2或4所述的方法，其中，（a）步骤中的所述第一无机层和（c）步骤中的所述第二无机层的厚度为0.5μm-30μm。
10.根据权利要求2-4所述的方法，其中，（a）步骤、（b）步骤和（c）步骤在一个时间过程或重复地在透明基材膜的一侧或两侧进行。
11.一种透明柔性膜，该透明柔性膜包括：
透明基材膜；
形成在所述透明基材膜上的第一无机层；和
形成在所述第一无机层上的有机层，其中，所述第一无机层为通过使金属离子化合物与空气中的水分反应至自然固化而形成的M(OH)X，如下式表示：
式
M(OR)n+nH2O→M(OH)X+nROH
其中，M选自由硅、硼、锂、钠、钾、镁、钙、钛、铝、钡、锌、镓、锗、铋和铁组成的组中的任意一种，并且，R表示含有1-20个碳原子的烷基或含有6-20个碳原子的芳基，并且
其中，在R表示烷基的情况下，烷基中的氢能够被氟取代。
12.根据权利要求11所述的透明柔性膜，其中，所述透明柔性膜进一步包括在所述有机层上的第二无机层，其中，所述第二无机层为通过使金属离子化合物与空气中的水分反应至自然固化而形成的M(OH)X。
13.根据权利要求11或12所述的透明柔性膜，其中，所述透明基材膜由聚合物或塑性材料制成。
14.根据权利要求13所述的透明柔性膜，其中，所述聚合物或所述塑性材料选自由聚酯砜、聚乙烯、聚碳酸酯、聚苯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚苯硫醚、聚丙烯、芳族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、芳族聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物、乙烯-四氟乙烯共聚物和聚乙烯氯化物组成的组中的至少一种。
15.根据权利要求11或12所述的透明柔性膜，其中，用于涂覆有机层的有机材料选自由苯并环丁烯（BCB）、丙烯酸树脂、环氧树脂、聚乙烯基苯酚（PVP）、和聚乙烯醇（PVA）组成的组中的至少一种。
16.根据权利要求11所述的透明柔性膜，其中，所述第一无机层的厚度为0.5μm-30μm。
17.根据权利要求12所述的透明柔性膜，其中，所述第一无机层和所述第二无机层的厚度均为0.5μm-30μm。
18.根据权利要求12所述的透明柔性膜，其中，所述第一无机层、所述有机层和所述第二无机层在透明基材膜的一侧依次层叠。
19.根据权利要求12所述的透明柔性膜，其中，所述第一无机层、所述有机层和所述第二无机层在透明基材膜的一侧重复层叠。
20.根据权利要求12所述的透明柔性膜，其中，所述第一无机层、所述有机层和所述第二无机层在透明基材膜的两侧依次层叠。
21.根据权利要求12所述的透明柔性膜，其中，所述第一无机层、所述有机层和所述第二无机层在透明基材膜的两侧重复层叠。
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