CN103213205A - 线切割机导轮 - Google Patents
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Abstract
一种线切割机导轮,包括筒体、设于筒体内的导向管及固定于筒体两端的端盖,导向管的两端与所述端盖相连,筒体与端盖为金属材料,筒体与端盖之间通过焊接的方式连接在一起。该线切割机导轮的筒体与端盖采用金属材料,筒体与端盖之间通过焊接的方式连接在一起。金属材料的使用使该线切割机导轮具有较低的成本,筒体与端盖之间采用焊接的方式相固定连接可以使端盖与筒体的结合更加牢靠,降低端盖与筒体发生错位,造成线切割导轮解体的风险,从而增加线切割导轮的使用寿命。
Description
【技术领域】
本发明涉及一种导轮,特别是涉及一种用于多线切割设备的线切割机导轮。
【背景技术】
目前,硅片加工中,普遍使用线切割导轮。线切割导轮上一般布设110~140μm直径的钢线形成水平线网来进行硅片的切割。在切割过程中,将硅锭推过切割线网,即产出硅片。常用的线切割导轮包括筒体、端盖、导向管及支架四个部分,线切割导轮的筒体采用碳纤维材料制成,成本较高,加工较为困难,且目前国内尚无厂家生产,市场为国外厂商垄断,价格较高。另外,常用的线切割机导轮的端盖与筒体之间使用胶水粘连,这就要求端盖的延长面较长,以提供足够的粘接面积,来保证端盖与筒体之间的连接足够牢靠。然而随着线切割导轮使用时间的增加,端盖与筒体易发生错位,造成线切割导轮解体,为了使用安全,使用时会在线切割机导轮的端盖与筒体发生错位前把线切割机导轮换掉,这样线切割导轮的使用寿命就较短。而且,较长的端盖延长面还会使材料的使用增加,进一步增加成本。
【发明内容】
基于此,有必要提供了一种线切割机导轮,其使用寿命长,且成本较低。
本发明的一个实施例提供一种线切割机导轮,该线切割机导轮包括筒体、设于筒体内的导向管及固定于筒体两端的端盖,所述导向管的两端与所述端盖相连,所述筒体与所述端盖为金属材料,所述筒体与所述端盖之间通过焊接的方式连接在一起。
在优选的实施例中,所述线切割机导轮还包括设于筒体内的多个支架,所述支架固定于筒体的内壁及导向管的外壁上。
在优选的实施例中,所述支架沿所述筒体的轴向方向均匀设置于所述筒体内。
在优选的实施例中,所述支架套设在所述导向管上。
在优选的实施例中,所述筒体与所述端盖的材质为合金。
在优选的实施例中,所述筒体与所述端盖的材质为铬钢。
在优选的实施例中,所述端盖上设有多个与线切割机的驱动销相配合的驱动孔。
在优选的实施例中,所述驱动孔在所述端盖上以端盖的中心为中心呈对称分布。
在优选的实施例中,所述端盖上设有多个调节线切割机导轮动平衡性的配重调节孔。
在优选的实施例中,所述线切割机导轮还包括母轴瓦,所述母轴瓦固定在所述端盖上。
本发明的线切割机导轮的筒体与端盖采用金属材料,筒体与端盖之间通过焊接的方式连接在一起。金属材料的使用使该线切割机导轮具有较低的成本,筒体与端盖之间采用焊接的方式相固定连接可以使端盖与筒体的结合更加牢靠,降低端盖与筒体发生错位造成线切割导轮解体的风险,从而增加线切割导轮的使用寿命。
【附图说明】
图1是本发明一个实施例的线切割机导轮的立体图;
图2是图1所示线切割机导轮的爆炸图;
图3是图1所示线切割机导轮的侧视图;
图4是图3所示线切割机导轮沿A-A向的剖视图;
筒体1,导向管2,端盖3,支架4,母轴瓦5,驱动孔6,配重调节孔7。
【具体实施方式】
下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述,以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
如图1所示,本发明的一个实施例提供一种线切割机导轮。该线切割机导轮包括筒体1、设于筒体1内的导向管2及固定于筒体1两端的端盖3。该导向管2的两端与端盖3相连。该筒体1与端盖3为金属材料,筒体1与端盖3之间通过焊接的方式连接在一起。较佳的,筒体1与端盖3的材料可以为合金,较佳的为铬钢。由于筒体1与端盖3采用金属材料且通过焊接的方式固定在一起,该线切割机导轮具有较低的成本,筒体1与端盖3之间的连接也更为牢靠,不容易产生错位或者导轮解体,从而使线切割机导轮具有较长的使用寿命。另外,端盖3与筒体1之间采用焊接的固定方式可以使端盖3省去延长面,或者使用较短的延长面就可以保证端盖3与筒体1之间连接的可靠性,较短的延长面可以节省材料,进一步降低成本。
该线切割机导轮还包括设于筒体1内的支架4,该支架4固定于筒体1的内壁及导向管2的外壁上。该支架4的主要作用是增加筒体1的强度,其数量和在筒体1内的位置可以根据需要进行调整。较佳的,可以将支架4沿筒体1的轴向方向均匀设置于筒体1内,即相邻两支架4之间的距离与端盖3与距离端盖3最近的支架4之间的距离相等。进一步的,支架4可以套设在导向管2上,这样可以对导向管2进行限位。
该线切割机导轮的端盖3上设有多个与线切割机的驱动销相配合的驱动孔6。驱动销可以固定在该驱动孔6中以带动线切割机导轮旋转。该驱动6孔可以为多个且在端盖3上以端盖3的中心为中心呈对称分布。端盖3上还设有多个调节线切割机导轮动平衡性的配重调节孔7。该配重调节孔7内具有螺纹,螺丝可以通过螺纹固定在配重调节孔7内。配重调节孔7设有铅或者其它合适的填料。当需要调节切割机导轮的动平衡性时,可以通过调节配重调节孔7内的填料的量进行调节,调节好后,将螺丝拧入配重调节孔7内,填料就不会从配重调节孔内漏出。
该线切割机导轮还包括母轴瓦5,该母轴瓦5固定在端盖3上。该母轴瓦5可以与线切割机的公轴瓦相固定连接,这样线切割机就可以通过母轴瓦5与公轴瓦带动导轮旋转。
该线切割机导轮还包括一层涂覆于筒体表面的聚氨酯涂层。该聚氨酯涂层为一层耐磨弹性涂层。该聚氨酯涂层上设有多条容置线切割钢线的容置槽,这些容置槽可以均匀分布在线切割机导轮上。当将该线切割机导轮安装在线切割机上时,钢线将会嵌在这些容置槽中,线切割机导轮旋转时钢线就不会脱出。另外,该线切割机导轮的筒体采用金属材料替代原有的碳纤维材料,对于此处在线切割机导轮的筒体上涂覆聚氨酯涂层有以下优点:1、对于常用的采用碳纤维材料的线切割机导轮,在进行线切割机导轮的筒体涂覆过程中需要抽真空,碳纤维材料本身内部会有一定的气泡,在抽真空的过程中会不可避免的渗出少量气泡进入聚氨酯涂层,影响涂层质量。本发明的线切割机导轮采用金属筒体,则没有这个问题。2、由于金属筒体表面致密,聚氨酯涂层与金属筒体的咬合会更紧密,所以本发明的线切割机导轮的筒体与聚氨酯涂层的结合会更好3、由于金属筒体的化学性质较碳纤维更加稳定,所以本发明的线切割机导轮的可靠度会更高。
使用时,首先将线切割机导轮吊装至线切割机机台上的安装位置;然后将线切割机导轮一端的母轴瓦与线切割机机台上轴承箱上的公轴瓦咬合;再将活动轴承箱推入,与线切割机导轮另一端的母轴瓦对接咬合;然后将驱动销插入线切割机导轮的端盖上的驱动孔中,使线切割机导轮初步定位;最后,向线切割机导轮的导向管中插入一根丝杆,丝杆的长度大于导轮的长度,丝杆与固定轴承箱之间是固定的,与活动轴承箱之间通过螺母锁紧,螺母可以保证线切割机导轮两端的母轴瓦与线切割机上的公轴瓦咬合紧密。导轮安装完成后,即可开始布设线网,然后就可以进行硅片的切割。
本发明的线切割机导轮的筒体与端盖采用金属材料,筒体与端盖之间通过焊接的方式连接在一起。金属材料的使用使该线切割机导轮具有较低的成本,筒体与端盖之间采用焊接的方式相固定连接可以使端盖与筒体的结合更加牢靠,降低端盖与筒体发生错位,造成线切割导轮解体的风险,从而增加线切割导轮的使用寿命。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种线切割机导轮,包括筒体、设于筒体内的导向管及固定于筒体两端的端盖,所述导向管的两端与所述端盖相连,其特征在于,所述筒体与所述端盖为金属材料,所述筒体与所述端盖之间通过焊接的方式连接在一起。
2.根据权利要求1所述的线切割机导轮,其特征在于,所述线切割机导轮还包括设于筒体内的多个支架,所述支架固定于筒体的内壁及导向管的外壁上。
3.根据权利要求2所述的线切割机导轮,其特征在于,所述支架沿所述筒体的轴向方向均匀设置于所述筒体内。
4.根据权利要求2所述的线切割机导轮,其特征在于,所述支架套设在所述导向管上。
5.根据权利要求1所述的线切割机导轮,其特征在于,所述筒体与所述端盖的材质为合金。
6.根据权利要求1所述的线切割机导轮,其特征在于,所述筒体与所述端盖的材质为铬钢。
7.根据权利要求1所述的线切割机导轮,其特征在于,所述端盖上设有多个与线切割机的驱动销相配合的驱动孔。
8.根据权利要求7所述的线切割机导轮,其特征在于,所述驱动孔在所述端盖上以端盖的中心为中心呈对称分布。
9.根据权利要求1到8中任一项所述的线切割机导轮,其特征在于,所述端盖上设有多个调节线切割机导轮动平衡性的配重调节孔。
10.根据权利要求1到8中任一项所述的线切割机导轮,其特征在于,所述线切割机导轮还包括母轴瓦,所述母轴瓦固定在所述端盖上。
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