CN103187334B - 组装式设备支撑装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种组装式设备支撑装置，其包括多个竖杆、多个第一横杆、多个第二横杆和多个侧面插板。所述竖杆、所述第一横杆和所述第二横杆构成一个长方体框架，所述竖杆形成所述长方体框架的竖直边，所述第一横杆形成所述长方体框架的第一横边，所述第二横杆形成所述长方体框架的第二横边。每个横杆向外延伸并形成超出与该横杆连接的竖杆的外侧面的外延部，每个横杆的外延部的面向其对应的另一个横杆的外延部的一面设置有一条贯穿该横杆的沟道，所述侧面插板插接于相对的两个第一横杆和/或两个第二横杆的外延部的沟道之间。其具有功能上能完全满足支撑架和框架的要求，结构上易于组装拆卸，大部分材料可回收利用等特点。

Description

组装式设备支撑装置

【技术领域】

本发明涉及设备支撑领域，尤其涉及一种组装式设备支撑装置。

【背景技术】

晶圆是生产集成电路所用的载体。在实际生产中需要制备的晶圆具有平整、超清洁的表面，而用于制备超清洁晶圆表面的现有方法可分为两种类别：诸如浸没与喷射技术的湿法处理过程，及诸如基于化学气相与等离子技术的干法处理过程。其中湿法处理过程是现有技术采用较为广泛的方法，湿法处理过程通常包括采用适当化学溶液浸没或喷射晶圆之一连串步骤组成。一般现有的制备超清洁晶圆表面的设备一般结构都非常复杂、体积非常庞大。通常，承载所述设备的支撑架和框架都需要根据工厂的环境及生产线的布局特别定制的，制造成本很高。此外，大多数设备的支撑架和框架不能重复利用。随着半导体器件尺寸的不断缩小，制造半导体器件所用的晶圆尺寸不断增大，半导体生产工艺需要不断改进，所用设备也跟着需要更换。更换下来的设备往往就只能作为废品处理掉，浪费资源的同时还会给环境添加了很大的负担。

因此，有必要提出一种解决方案来解决上述问题。

【发明内容】

本发明要解决的技术问题在于提供一种组装式设备支撑装置，其具有功能上能完全满足支撑架和框架的要求，结构上易于组装拆卸，大部分材料可回收利用等特点。

为了解决上述问题，根据本发明的一个方面，本发明提供了一种设备支撑装置，其包括多个竖杆、多个第一横杆、多个第二横杆和多个侧面插板，所述竖杆、所述第一横杆和所述第二横杆构成一个长方体框架，所述竖杆形成所述长方体框架的竖直边，所述第一横杆形成所述长方体框架的第一横边，所述第二横杆形成所述长方体框架的第二横边。每个横杆向外延伸并形成超出与该横杆连接的竖杆的外侧面的外延部，每个横杆的外延部的面向其对应的另一个横杆的外延部的一面设置有一条贯穿该横杆的沟道，所述侧面插板插接于相对的两个第一横杆和/或两个第二横杆的外延部的沟道之间。

进一步的，所述设备支撑装置还包括有多个定位柱，每个定位柱分别位于相邻的第一横杆和第二横杆的外延部之间，相邻的两个定位柱对插接于两个第一横杆和/或两个第二横杆的外延部的沟道之间的侧面插板进行定位。

进一步的，所述定位柱中有的为活动定位柱，有的为固定定位柱，所述固定定位柱与相邻的横杆固定连接，所述活动定位柱与相邻的横杆活动连接。

更进一步的，所述活动定位柱在一开启位置和关闭位置之间移动，在所述活动定位柱移动至开启位置时，从所述活动定位柱位置处插入或卸下所述侧面插板。

进一步的，所述第一横杆包括两个顶部第一横杆和两个底部第一横杆，所述第二横杆包括两个顶部第二横杆和两个底部第二横杆，所述竖杆为四个，每个顶部第一横杆的两端分别与两个竖杆的顶端面抵靠并连接，每个顶部第二横杆的两端分别与两个顶部第一横杆的一端的侧面抵靠并连接，每个底部第一横杆的两端分别与两个竖杆的底端面抵靠并连接，每个底部第二横杆的两端分别与两个底部第一横杆的一端的侧面抵靠并连接。

再进一步的，所述设备支撑装置还包括两个平行的第一支撑杆和一个第二支撑杆，每个第一支撑杆位于两个底部第一横杆之间，每个第一支撑杆的两端分别与两个底部第一横杆的一端连接，所述第二支撑杆的两端分别连接于两个第一支撑杆上。

更进一步的，所述设备支撑装置还包括两个平行的第三支撑杆，两个第三支撑杆分别位于两个顶部第二横杆的内侧，每个第三支撑杆的两端分别连接在两个顶部第一横杆的一个侧面上。

进一步的，所述竖杆、所述第一横杆、所述第二横杆和/或所述定位柱由型材制成。

更进一步的，所述竖杆和/或所述定位柱由第一种型材制成，第一种型材的横截面大致为正方形，其横截面的高度为H1，长度为L1，其中L1等于H1，第一种型材的每个侧面上都设有贯穿该侧面的沟道。所述第一横杆和所述第二横杆由第二种型材制成，第二种型材的横截面大致为长方形，其横截面的高度为H2，长度为L2，其中L2大于H2，第二种型材的两个宽度较大的侧面中的每一个上都设有贯穿该侧面的互相平行且间隔一定距离的两个沟道，第二种型材的两个宽度较小的侧面中的每一个上都设有贯穿该侧面的一个沟道，其中H2＝H1。

与现有技术相比，本发明中的组装式设备支撑装置使用通常或特制的型材组装而成，具有结构简单，易于制造、组装、拆卸，支撑强度高，事后可回收利用等优点。

关于本发明的其他目的，特征以及优点，下面将结合附图在具体实施方式中详细描述。

【附图说明】

结合参考附图及接下来的详细描述，本发明将更容易理解，其中同样的附图标记对应同样的结构部件，其中：

图1A为本发明中的设备支撑装置在一个实施例中的立体结构示意图；

图1B为图1A中的设备支撑装置的平面视主图；

图1C为图1A中的设备支撑装置的平面左视图；

图2为本发明中的设备支撑装置在另一个实施例中的组装立体结构示意图；

图3A为本发明中的设备支撑装置使用的一种型材的立体结构示意图；

图3B为图3A示出的型材的截面结构示意图；

图4A为本发明中的设备支撑装置使用的另一种型材的立体结构示意图；

图4B为图4A示出的型材的截面结构示意图；

图5为两个型材采用外连接件进行连接的示意图；

图6为两个型材采用内连接件进行连接的示意图。

【具体实施方式】

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指与所述实施例相关的特定特征、结构或特性至少可包含于本发明至少一个实现方式中。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非必须都指同一个实施例，也不必须是与其他实施例互相排斥的单独或选择实施例。本发明中的“多个”、“若干”表示两个或两个以上。本发明中的“和/或”表示“和”或者“或”。

图1A示出了本发明中的设备支撑装置100在一个实施例中的立体结构示意图，图1B为图1A中的设备支撑装置100的平面视主图，图1C为图1A中的设备支撑装置100的平面左视图。

请结合参考图1A至图1C所示，所述设备支撑装置100包括四个竖杆110、两个顶部第一横杆120、两个顶部第二横杆130、两个底部第一横杆140和两个底部第二横杆150。

所述四个竖杆110竖直间隔放置并互相平行。所述两个顶部第一横杆120与所述竖杆110垂直并互相平行，每个顶部第一横杆120的两端分别与两个竖杆110的顶端面抵靠并连接。所述两个顶部第二横杆130与所述竖杆110以及所述顶部第一横杆120垂直并互相平行，每个顶部第二横杆130的两端分别与两个顶部第一横杆120的一端的侧面抵靠并连接。所述两个底部第一横杆140与所述竖杆110垂直并与顶部第一横杆120平行，每个底部第一横杆140的两端分别与两个竖杆110的底端面抵靠并连接。所述两个底部第二横杆150与所述竖杆110以及所述顶部第二横杆130平行，每个底部第二横杆150的两端分别与两个底部第一横杆140的一端的侧面抵靠并连接。

这样，所述设备支撑装置100就形成了一个长方体框架(或称为长方体框架)，四个竖杆110形成所述长方体框架的竖直边，四个第一横杆120和140形成所述长方体框架的第一横边，四个第二横杆130和150形成所述长方体框架的第二横边。位于所述长方体框架的同一侧的一个顶部第一横杆120、两个竖杆110和一个底部第一横杆140形成所述长方体框架的一个侧面，位于所述长方体框架的同一侧的一个顶部第二横杆130、两个竖杆110和一个底部第二横杆150形成所述长方体框架的一个侧面，两个顶部第一横杆120和两个顶部第二横杆130形成所述长方体框架的顶面，两个底部第一横杆130和两个底部第二横杆150形成所述长方体框架的底面。

对于所述长方体框架来讲，所述竖杆110在竖直方向上可以对顶部第一横杆120和顶部第二横杆130提供强有力的支撑，使得所述长方体框架的顶面上可以放置较重的晶圆表面处理设备中的部分部件。所述长方体框架内也可以放置晶圆表面处理设备中的部分部件。

所述设备支撑装置100还包括两个平行的第一支撑杆160、一个第二支撑杆170和两个平行的第三支撑杆180。每个第一支撑杆160位于两个底部第一横杆140之间并与两个底部第一横杆140的一端连接。所述第二支撑杆170的两端分别连接于两个第一支撑杆160上。两个第三支撑杆180分别位于两个顶部第二横杆130的内侧，每个第三支撑杆180的两端分别连接在两个顶部第一横杆120的一个侧面上。

第一支撑杆160、第二支撑杆170和底部第一横杆140的上侧面共同形成所述长方体框架的内侧底面，可以在该内侧底面上放置所述晶圆表面处理设备部件。同时，第一支撑杆160第二支撑杆170也可以对整个设备支撑装置100起到一定的加固作用。第三支撑杆180和顶部第二横杆130的上侧面共同形成所述长方体框架的顶面，可以在该顶面上放置所述晶圆表面处理设备的部分部件。第三支撑杆180的位置可根据其上所放设备部件的尺寸而调整；同时，第三支撑杆180也可以对整个设备支撑装置100起到一定的加固作用。

请重点参阅图1B和图1C所示，每个横杆向外延伸并形成超出与该横杆连接的竖杆的外侧面的外延部，每个横杆的外延部的面向其对应的另一个横杆的外延部的一面设置有一条贯穿该横杆的沟道，外延部相向面对的两个横杆的沟道相对设置。

具体来讲，每个顶部第一横杆120向外延伸并形成超出与该顶部第一横杆120连接的竖杆110的外侧面111的外延部121，每个底部第一横杆140向外延伸并形成超出与该底部第一横杆140连接的竖杆110的外侧面111的外延部141，每个顶部第二横杆130向外延伸并形成超出与该顶部第二横杆130连接的竖杆110的外侧面111的外延部131，每个底部第二横杆150向外延伸并形成超出与该底部第二横杆150连接的竖杆110的外侧面111的外延部151。每个顶部第一横杆120的外延部121的面向其对应的底部第一横杆140的外延部141的一面设置有一条贯穿该顶部第一横杆120的沟道122，同样的，每个底部第一横杆140的外延部141的面向其对应的顶部第一横杆120的外延部121的一面设置有一条贯穿该底部第一横杆140的沟道142。每个顶部第二横杆130的外延部131的面向其对应的底部第二横杆150的外延部151的一面设置有一条贯穿该顶部第二横杆130的沟道132，同样的，每个底部第二横杆150的外延部151的面向其对应的顶部第二横杆130的外延部131的一面设置有一条贯穿该底部第二横杆150的沟道152。

图2为本发明中的设备支撑装置100在一个进一步的实施例中的组装立体结构示意图。图2所示的设备支撑装置与图1A所示的设备支撑装置相比，其还包括有四个侧面插板210。结合参考图1B和图1C所示，每个侧面插板210可拆卸的插接于对应的一个顶部横杆的外延部和一个底部横杆的外延部的沟道之间，每个侧面插板210的上边缘收容于所述顶部横杆的外延部的沟道内，每个侧面插板210的下边缘收容于所述底部横杆的外延部的沟道内。

具体的，有两个侧面插板210分别插接于对应的顶部第一横杆120的外延部121和底部第一横杆140的外延部141之间，该两个侧面插板210的上边缘收容于所述顶部第一横杆120的外延部121的沟道122内，其下边缘收容于所述底部第一横杆140的外延部141的沟道142内。有两个侧面插板210分别插接于对应的顶部第二横杆130的外延部131和底部第二横杆150的外延部151之间，该两个侧面插板210的上边缘收容于所述顶部第二横杆130的外延部131的沟道132内，其下边缘收容于所述底部第二横杆150的外延部151的沟道152内。

所述侧面插板210可以给所述设备支撑装置100内的晶圆表面处理设备部件提供一定的半封闭式的容纳空间。这样，既可以保护其内的晶圆表面处理设备部件，也可以防止其内的晶圆表面处理设备部件发生故障(比如出现意外的液体泄漏或喷洒)之后影响到外部环境。此外，所述侧面插板也使得整个设备支撑装置的外观更加美观。

为了将所述侧面插板210更好的进行固定，图2所示的设备支撑装置100还包括有四个与所述竖杆110平行的定位柱220。每个定位柱220的顶端位于相邻的顶部第一横杆120和顶部第二横杆130之间，每个定位柱220的底端位于相邻的底部第一横杆140和底部第二横杆150之间。相邻的两个定位柱220可以将插接于顶部横杆和底部横杆之间的侧面插板210定位于两者之间。

所述定位柱220中有两个为活动定位柱220A，所述定位柱220中有两个为固定定位柱220B。所述固定定位柱220B与相邻的横杆固定连接。所述活动定位柱220A与相邻的横杆活动连接。在一个活动定位柱220A移动至开启位置时，与该活动定位柱220A相邻的两个侧面插板210可以从该活动定位柱220A位置处插入对应的位置，在该活动定位柱220A移动至关闭位置时，已经插入的侧面插板210则被定位在其位置上。在需要将所述侧面插板210取下时，同样可以将所述活动定位柱210移动至开启位置，从而可以从该活动定位柱220A处取下对应的侧面插板210。如果两个活动定位柱220A间隔设置，这样可以实现4个侧面插板210的随意安装与拆卸。如果两个活动定位柱220A相邻设置，这样可以实现其中3个侧面插板210的随意安装与拆卸。如果只有一个活动定位柱220A，有3个固定定位柱220B，这时只有与该活动定位柱220A相邻的2个侧面插板210可以随意安装与拆卸。可根据需要而定。

在一个实施例中，所述活动定位柱220A通过枢轴(未图示)可转动的枢接于第一横杆120和140或第二横杆130和140上，所述活动定位柱220A可沿所述枢轴转动至开启位置，之后再转动至关闭位置。在所述活动定位柱220A处于关闭位置上时，所述活动定位柱220A与相邻的横杆连接在一起，比如通过磁铁吸附在一起。

在一个实施例中，本发明中的设备支撑装置100中的竖杆110，横杆120、130、140和150，支撑杆160、170和180，以及定位柱220都可以采用通常使用的标准型材。

图3A为可应用本发明中的设备支撑装置的一种型材300的立体结构示意图，图3B为图3A示出的型材300的截面结构示意图。所述型材300大致为长方体形，其长度可以根据需要设定，其横截面大致为正方形，其横截面的高度为H1，长度为L1，其中L1等于H1。所述型材300的每个侧面上都设有贯穿该侧面的沟道310，四个侧面上的四个沟道310将所述型材300分为位于中心的连接部330以及位于四个角落的末端部320。所述末端部320和所述连接部330都为中空的结构。在其他实施例中，H1和L1的尺寸也可以设计的不一致，并且可以根据需要设计H1和L1的值。

图4A为可应用本发明中的设备支撑装置的另一种型材400的立体结构示意图，图4B为图4A示出的型材400的截面结构示意图。所述型材400大致为长方体形，其长度可以根据需要设定，其横截面大致为长方形，其横截面的高度为H2，长度为L2，其中L2大于H2。所述型材400的两个宽度较大(宽L2)的侧面401中的每一个上都设有贯穿该侧面的互相平行且间隔一定距离的两个沟道410，所述型材400的两个宽度较小(宽H2)的侧面403中的每一个上都设有贯穿该侧面的一个沟道410。四个侧面上的沟道410将所述型材400分为位于中心的连接部430以及位于四个角落的末端部420。所述末端部420和所述连接部430都为中空的结构。在其他实施例中，H2和L2的尺寸也可以根据需要设定。

在此实施例中，图4B示出的型材400的横截面的高度为H2等于图3B示出的型材300的横截面的高度H1。当然，在其他实施例中，也可以设计H2不等于H1，而可以根据需要设计两者的尺寸关系。

图5为两个型材采用外连接件进行连接的示意图，即第一型材杆510和第二型材杆520通过外连接件530相互连接，其中第一型材杆510和第二型材杆520可以采用的是图3A示出的型材300。第一型材杆510包括贯穿其侧面的沟道511，第二型材杆520包括贯穿其侧面的沟道521。第一型材杆510和第二型材杆520通过所述外连接件530进行连接，所述外连接件530具有两个互相垂直的延伸部，每个延伸部上具有一个穿孔，可以使用螺接部件借助所述外连接件530上的穿孔和所述型材杆的沟道511或521将外连接件530与型材杆510或520相对固定，进而将第一型材杆510和第二型材杆520相对固定。根据需要可以将第一型材杆510和第二型材杆520在任意位置进行连接。

图6为两个型材采用内连接件进行连接的示意图，即第三型材杆610和第四型材杆620通过内连接件630相互连接，其中第三型材杆610可以采用图3A示出的型材300，第四型材杆620可以采用图4A示出的型材400。第三型材杆610包括贯穿其侧面的沟道611，第四型材杆620包括贯穿其侧面的沟道621。第三型材杆610和第四型材杆620通过所述内连接件630进行连接，所述内连接件630具有两个互相垂直的延伸部，每个延伸部上具有一个或多个穿孔，可以使用螺接部件借助所述外连接件630上的穿孔和所述型材杆的沟道611或621将内连接件630与型材杆610或620相对固定，进而将第三型材杆610和第四型材杆620相对固定。根据需要可以将第三型材杆610和第四型材杆620在任意位置进行连接。

图5和图6所示的两种型材连接方式均属于大众常用的型材和连接方法。当然，还可以将两个图4A或图3A所示的型材通过特制的内连接件或外连接件进行连接。再进一步，为了能达到特殊的强度或固定效果，可用焊接或其它方法来连接型材。

请再次参考图1A和图2所示，在此实施例中，所述竖杆110，支撑杆160、170和180以及定位柱220采用的是图3A、3B所示的型材，第一横杆120和140以及第二横杆130和150采用的是图4A、4B所示的型材，各个型材杆的连接可以参看图5和图6所示，也可以采用其他连接方式。每个支撑杆180的一个侧面上设置有两个缺口。可以看出，所述设备支撑装置100采用的都是基本的型材，通过简单的组装就可以组装而成，拆卸时同样很方便，拆卸后的型材还可以再次重复利用，节省资源，减少垃圾，有利于环保。

所属领域内的普通技术人员应该理解，实施例中的关于设备支撑装置100的描述仅仅是示例性的，在不偏离本发明的真实精神和范围的前提下做出所有改变都应该属于本发明的保护范围。限于篇幅，下面仅列举了部分改动的实施例。

在一些实施例中，图1A所示的设备支撑装置100所采用的所述型材的样式并不局限于图4A和图3A所示的两种型材，只要是该型材可以搭建成图1A所示的结构即可，比如该型材只有1个或2个侧面具有贯穿该侧面的沟道，再比如图4A中的型材的宽大较大的侧面上设有三个沟道等。

在一些实施例中，第一横杆120和140可以位于第二横杆130和150的外侧，也就是说，第二横杆130和150直接与竖杆的末端面相抵靠并连接，而第一横杆120和140分别与第二横杆130和150的侧面相抵靠并连接。当然，还可以根据需要调换第一横杆120和第二横杆130之间的位置关系，也可以根据需要调换第一横杆140和第二横杆150之间的位置关系。

在一个实施例中，所有定位柱都可以设置为活动定位柱。在另一些实施例中，可以不设置定位柱来定位侧面插板210，而采用其他定位方式对侧面插板进行定位，比如用螺栓将其固定在对应的横杆上。

本文中“顶”和“底”是相对的，如果其中的一个是“顶”，那么其相对的一个就是“底”。

上述说明已经充分揭露了本发明的具体实施方式。需要指出的是，熟悉该领域的技术人员对本发明的具体实施方式所做的任何改动均不脱离本发明的权利要求书的范围。相应地，本发明的权利要求的范围也并不仅仅局限于前述具体实施方式。

Claims (10)

1.一种设备支撑装置，其特征在于，其包括多个竖杆、多个第一横杆、多个第二横杆和多个侧面插板，所述竖杆、第一横杆和第二横杆构成一个长方体框架，所述竖杆形成所述长方体框架的竖直边，所述第一横杆形成所述长方体框架的第一横边，所述第二横杆形成所述长方体框架的第二横边，

每个横杆向外延伸并形成超出与该横杆连接的竖杆的外侧面的外延部，每个横杆的外延部的面向其对应的另一个横杆的外延部的一面设置有一条贯穿该横杆的沟道，所述侧面插板插接于相对的两个第一横杆和/或两个第二横杆的外延部的沟道之间。

2.根据权利要求1所述的设备支撑装置，其特征在于，其还包括有多个定位柱，每个定位柱位于相邻的第一横杆和第二横杆的外延部之间，相邻的两个定位柱对插接于两个第一横杆和/或两个第二横杆的外延部的沟道之间的侧面插板进行定位。

3.根据权利要求2所述的设备支撑装置，其特征在于，所述定位柱中有的为活动定位柱，有的为固定定位柱，所述固定定位柱与相邻的横杆固定连接，所述活动定位柱与相邻的横杆活动连接。

4.根据权利要求3所述的设备支撑装置，其特征在于，所述活动定位柱在开启位置和关闭位置之间移动，在所述活动定位柱移动至开启位置时，从所述活动定位柱位置处插入或卸下所述侧面插板。

5.根据权利要求2所述的设备支撑装置，其特征在于，所述第一横杆包括两个顶部第一横杆和两个底部第一横杆，所述第二横杆包括两个顶部第二横杆和两个底部第二横杆，所述竖杆为四个，每个顶部第一横杆的两端分别与两个竖杆的顶端面抵靠并连接，每个顶部第二横杆的两端分别与两个顶部第一横杆的一端的侧面抵靠并连接，每个底部第一横杆的两端分别与两个竖杆的底端面抵靠并连接，每个底部第二横杆的两端分别与两个底部第一横杆的一端的侧面抵靠并连接。

6.根据权利要求5所述的设备支撑装置，其特征在于，所述设备支撑装置还包括两个平行的第一支撑杆和一个第二支撑杆，每个第一支撑杆位于两个底部第一横杆之间，每个第一支撑杆的两端分别与两个底部第一横杆的一端连接，所述第二支撑杆的两端分别连接于两个第一支撑杆上。

7.根据权利要求6所述的设备支撑装置，其特征在于，所述设备支撑装置还包括两个平行的第三支撑杆，两个第三支撑杆分别位于两个顶部第二横杆的内侧，每个第三支撑杆的两端分别连接在两个顶部第一横杆的一个侧面上。

8.根据权利要求2-7任一所述的设备支撑装置，其特征在于，所述竖杆、所述第一横杆、所述第二横杆和/或所述定位柱由型材制成。

9.根据权利要求8所述的设备支撑装置，其特征在于，所述竖杆和/或所述定位柱由第一种型材制成，

第一种型材的横截面大致为正方形，其横截面的高度为H1，长度为L1，其中L1等于H1，第一种型材的每个侧面上都设有贯穿该侧面的沟道。

10.根据权利要求9所述的设备支撑装置，其特征在于，所述第一横杆和所述第二横杆由第二种型材制成，

第二种型材的横截面大致为长方形，其横截面的高度为H2，长度为L2，其中L2大于H2，第二种型材的每个宽度较大的侧面上都设有贯穿该侧面的互相平行且间隔一定距离的两个沟道，第二种型材的每个宽度较小的侧面上都设有贯穿该侧面的一个沟道，其中H2＝H1。