CN103177934A - 薄片盘状物清洗甩干器 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及集成电路加工工艺技术领域，具体公开了一种薄片盘状物清洗甩干器，包括：甩干装置，其上具有第一喷嘴、第二喷嘴和真空孔，分别与液体管、气体管和真空管连接；卡盘，设置在所述甩干装置的下方，能够与所述薄片盘状物一起旋转。本发明实施例通过采用气体和药液同时作用在薄片盘状物背部，对其进行清洗和甩干，并通过对残留液滴进行抽真空，能够将薄片盘状物背面的药液残留和颗粒彻底清洗干净，保证薄片盘状物的无污染，且本装置结构简单、易于实现。

Description

薄片盘状物清洗甩干器
技术领域
本发明涉及集成电路加工工艺技术领域，特别涉及一种薄片盘状物清洗甩干器。
背景技术
在集成电路的加工工艺过程中，薄片盘状物，例如晶片或硅片，在出厂时其背面由于附着有各种杂质因而需要用化学药液清洗掉，清洗之后背面会残留有化学药液，而且在临界加工状态过程中也会产生一些颗粒附着在其背面，这些残留的药液和颗粒均需要清洗掉。现有技术中一种传统的清洗方法为旋转薄片薄片盘状物，并在薄片薄片盘状物的表面喷洒另一种液体来清洗掉之前的化学药液，旋转产生的离心力可以甩干薄片薄片盘状物表面的化学药液，这种方法的缺陷是仍会留下这一种液体的化学残留；另一种清洗方法是旋转薄片薄片盘状物，然后向其喷洒另一种液体和喷射氮气(或者其他类型的气体)，气体用来帮助甩干薄片薄片盘状物表面的液体，这种方法的缺陷是会留下液体印。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是如何彻底、快速的将集成电路的薄片盘状物上附着的药液残留和颗粒清洗干净。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题，本发明提供了一薄片盘状物清洗甩干器，包括：
甩干装置，其上具有第一喷嘴、第二喷嘴和真空孔，分别与液体管、气体管和真空管连接；
卡盘，设置在所述甩干装置的下方，能够与所述甩干装置一起旋转。
进一步的技术方案是，所述甩干装置包括交叉设置的第一甩干臂和第二甩干臂，所述第一甩干臂中具有与第一喷嘴连通的液体管路，所述第二甩干臂中具有与第二喷嘴连通的气体管路。
进一步的技术方案是，所述第二甩干臂两端的真空孔与其内部的真空管路连接。
进一步的技术方案是，第一甩干臂和第二甩干臂的交叉点设置有通管。
进一步的技术方案是，所述卡盘包括若干根支架，各个所述支架的连接端设置有通孔。
进一步的技术方案是，所述通管位于所述通孔中。
进一步的技术方案是，所述支架为L型，一端连接，另一端朝向上方且具有卡件。
进一步的技术方案是，所述卡盘与驱动装置连接。
进一步的技术方案是，所述支架的个数为三个。
(三)有益效果
上述技术方案具有如下有益效果：通过采用气体和药液同时作用在薄片盘状物背部，对其进行清洗和甩干，并通过对残留液滴进行抽真空，能够将薄片盘状物背面的药液残留和颗粒彻底清洗干净，保证薄片盘状物的无污染，且本装置结构简单、易于实现。
附图说明
图1是本发明实施例的薄片盘状物清洗甩干器的结构分解示意图；
图2是本发明实施例的薄片盘状物清洗甩干器的结构示意图；
图3是本发明实施例的薄片盘状物清洗甩干器的俯视图；
图4是本发明实施例的薄片盘状物清洗甩干器的甩干臂的剖视图。
其中，2：薄片盘状物；4：甩干装置；41：第一甩干臂；42：第二甩干臂；43：第一喷嘴；44：第二喷嘴；45：气体管路；46：真空管路；47：真空孔；48：通管；49：液体管路；5：卡盘；51：支架；52：通孔；6：液体管；7：气体管；8：真空管。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1-图4所示，本发明实施例提供的薄片盘状物清洗甩干器，包括：卡盘5，甩干装置4、三条管路以及薄片盘状物2。
其中，卡盘5为三脚支架，两两支架51之间呈120°夹角，其连接处具有通孔52，三根支架51均为L型，一端朝向上方，朝向上方这一段设置有卡槽或其它卡件用于支撑薄片盘状物2。卡盘5与驱动装置，比如电机连接，驱动装置用于驱动卡盘5旋转。
甩干装置4，包括第一甩干臂41和第二甩干臂42。两个甩干臂41和42互相垂直呈十字型，第一甩干臂41的上表面具有若干个第一喷嘴43，第二甩干臂42的上表面具有若干个第二喷嘴44。其中第一喷嘴43用于喷洒药液，第一甩干臂41内部具有药液管路49，药液管路49与第一喷嘴43连接；第二喷嘴44用于喷出气体。第二甩干臂42内部具有气体管路45，第二喷嘴44与气体管路45相通；第二甩干臂42上还具有两条真空管路46，且第二甩干臂42的两端分别具有两个真空孔47，真空孔47与真空管路46连接。
真空孔47和真空管路46也可以设置在用于喷射药液的第一甩干臂41上。
第一甩干臂41和第二甩干臂42的连接处具有通管48，通管48位于卡盘5的通孔52中。
通管48的下端接三根管子，分别是液体管6、气体管7和真空管8；液体管6与液体管路49连接，气体管7与气体管路45连接，真空管8与真空管路46连接。
其中，薄片盘状物2和第一喷嘴43、第二喷嘴44之间的距离取决于第一喷嘴43、第二喷嘴44的形状和喷射包络。薄片盘状物2和第一甩干臂41、第二甩干臂42之间的距离同样取决于喷嘴形状和喷射包络以及喷射速度等。
下面简述本发明提供的薄片盘状物清洗甩干器的工作原理：
当驱动装置驱动卡盘5高速旋转起来之后，控制液体管6向药液管路49中输送药液，药液从第一甩干臂41的第一喷嘴43中喷出，喷向薄片盘状物2的背面，对薄片盘状物2的背面进行清洗；液体管6输送药液的同时启动气体管7向气体管路45输送气体，例如氮气或者其它气体，气体从第二喷嘴44中喷出，用于对薄片盘状物2背面的药液进行搅动，使得药液对薄片盘状物2背面的清洗更为均匀，并将薄片盘状物2背面的液滴甩干。当药液对薄片盘状物2快清洗完时，卡盘5由高速旋转调整为低速旋转，这时薄片盘状物2的背面只剩下细小液滴，这时可以控制液体管6停止送液，启动真空管8进行抽真空，薄片盘状物2背面的残留液滴在真空负压的作用下通过真空孔47被吸入到真空管路46中，随着卡盘5的旋转，液滴移动到薄片盘状物2的边缘也会掉到真空孔47中。为了保证薄片盘状物2背面清洗的彻底，气体管7要一直喷射气体。
由以上实施例可以看出，本发明实施例通过采用气体和药液同时作用在薄片盘状物背部，对其进行清洗和甩干，并通过对残留液滴进行抽真空，能够将薄片盘状物背面的药液残留和颗粒彻底清洗干净，保证薄片盘状物的无污染，且本装置结构简单、易于实现。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种薄片盘状物清洗甩干器，其特征在于，包括：
甩干装置，其上具有第一喷嘴、第二喷嘴和真空孔，分别与液体管、气体管和真空管连接；
卡盘，设置在所述甩干装置的下方，能够与所述甩干装置一起旋转。
2.如权利要求1所述的薄片盘状物清洗甩干器，其特征在于，所述甩干装置包括交叉设置的第一甩干臂和第二甩干臂，所述第一甩干臂中具有与第一喷嘴连通的液体管路，所述第二甩干臂中具有与第二喷嘴连通的气体管路。
3.如权利要求2所述的薄片盘状物清洗甩干器，其特征在于，所述第二甩干臂两端的真空孔与其内部的真空管路连接。
4.如权利要求2所述的薄片盘状物清洗甩干器，其特征在于，第一甩干臂和第二甩干臂的交叉点设置有通管。
5.如权利要求4所述的薄片盘状物清洗甩干器，其特征在于，所述卡盘包括若干根支架，各个所述支架的连接端设置有通孔。
6.如权利要求5所述的薄片盘状物清洗甩干器，其特征在于，所述通管位于所述通孔中。
7.如权利要求5所述的薄片盘状物清洗甩干器，其特征在于，所述支架为L型，一端连接，另一端朝向上方且具有卡件。
8.如权利要求5所述的薄片盘状物清洗甩干器，其特征在于，所述卡盘与驱动装置连接。
9.如权利要求5所述的薄片盘状物清洗甩干器，其特征在于，所述支架的个数为三个。
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