CN103165360A - 电极阵列及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种电极阵列及其制造方法，该制作方法包括以下步骤：提供一电极材料；进行灌封胶，以在电极材料的至少部分表面包覆一层绝缘胶，且将绝缘胶固化以使所述电极材料与所述绝缘胶牢固地结合在一起；以及切割电极材料而形成多个相互分离的电极，所述多个电极支撑于所述绝缘胶上。

Description

电极阵列及其制造方法

技术领域

本发明涉及离子导引和分析领域，尤其是涉及一种电极阵列及其制造方法。

背景技术

目前质谱仪的离子导引装置、飞行时间的反射器及离子迁移谱的分析器和多极杆等设备中，使用其上施加有电压的电极阵列来对离子进行导引、加速、分离等操作。

如图1A、1B所示，这是目前飞行时间质谱仪里用作离子反射器的装置。它由一系列金属环片11和绝缘垫片12拼合而成一个电极阵列，由导向柱13给每一组环片定位，保持环片的同心度。

图2A、2B是目前离子迁移谱里迁移管的一般构造。它由一系列金属环片21和非金属绝缘环片22经导向柱23拼合而成一个电极阵列。

图3A为目前典型的离子漏斗装置，此装置在质谱仪里作为离子进入分析器之前的离子导引装置。离子在电场作用下向漏斗中心聚集。此装置由一系列内径相等和内径成等差数列的金属环片31及绝缘环片32叠加，通过导向柱33定位构成有锥度的电极阵列。

以上三种电极阵列结构都由一系列金属环片和绝缘环片拼合而成。对每一片金属环片和绝缘环片或者垫片都有尺寸进度要求。由于高分辨率的需求，导致所需环片的厚度越来越薄，加工精度越高。在需要密封的条件下，环片的接触面还需很高的平面度和平行度。所以单个的金属环片和绝缘环片的制造成本是很高的。

并且，即使是单个的环片加工精度达到，但组合后，由于尺寸链和系统误差的作用会影响组装后的整体精度。

此外，另一种形式的电极阵列由独立的金属柱状物通过工装夹具组合而成。例如，US4117321专利涉及一种多极杆电极阵列制作方法，其方法是：用多边形外框来作为多极杆的定位基准，然后用螺丝固定。这一方法的缺点是组装精度取决于外框的制造精度，且单个的电极制造精度也要求很高。整体精度不高，也不稳固。另外一个缺点是较难用来制造极细小电极。

另外，US5852270专利涉及一种多极杆的电极阵列制作方法，其方法是：先做金属芯1，在金属芯1侧面开槽3a，在槽3a里涂一层粘胶，粘上绝缘条5a，再用电火花加工中间的曲面，并把此金属芯分成四块独立的电极。但电极阵列整体结构依赖于此四个单薄的绝缘条，加工中心曲面时，容易使整体结构破坏而解体。

发明内容

本发明的一个目的提供一种电极阵列的制造方法，该方法更容易确保加工精度，且具有简化的制造流程。

本发明另一目的是提供依照上述的方法制造的电极阵列。

本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提出一种电极阵列的制造方法，包括以下步骤：提供一电极材料；进行灌封胶，以在电极材料的至少部分表面包覆一层绝缘胶，且将绝缘胶固化以使所述电极材料与所述绝缘胶牢固地结合在一起；以及切割电极材料而形成多个相互分离的电极，所述多个电极支撑于所述绝缘胶上。

在本发明的一实施例中，进行灌封胶之前还包括在所述电极材料的局部表面加工出多个第一沟槽，其中在灌封胶时，所述绝缘胶嵌入所述多个第一沟槽中。

在本发明的一实施例中，切割电极材料而形成多个相互分离的电极的步骤包括：切除全部或部分被第一沟槽分离的多个凸起部以外的电极材料，从而形成由所述多个凸起部构成的多个电极。

在本发明的一实施例中，进行灌封胶之前还包括在所述电极材料的局部表面加工出多个第二沟槽，其中在灌封胶时，在所述第二沟槽中放入阻挡体，以阻止所述绝缘胶嵌入所述第二沟槽中。

在本发明的一实施例中，在切割电极材料而形成多个相互分离的电极时，以所述第二沟槽作为切割每一电极的起点和终点。

在本发明的一实施例中，所述电极材料是呈回转体，其中所述至少部分表面位于所述电极材料的外表面。

在本发明的一实施例中，所述电极材料是呈具有一通孔的回转体，其中所述至少部分表面位于电极材料的内表面。

在本发明的一实施例中，所述电极材料是呈平面体，其中所述至少部分表面位于电极材料的其中一表面。

在本发明的一实施例中，进行灌封胶的步骤包括：将所述电极材料置入一灌封模具中，所述灌封模具与所述电极材料的所述至少部分表面之间具有一间隙，在所述多个沟槽内及所述间隙内灌入液态的绝缘胶。

在本发明的一实施例中，所述多个沟槽是沿着呈回转体的电极材料的轴线平行分布。

在本发明的一实施例中，所述多个沟槽是沿着所述电极材料的轴线呈放射状分布。

本发明由于采用以上技术方案，使之与现有技术相比，具有如下显著优点：本发明由绝缘灌封胶灌封电极材料，然后再加工电极材料来形成多个分离电极的方法制造出一体化的电极阵列，而不需单个制造金属环片和绝缘环片。这种方法简化了制作流程，容易保证加工精度，安装简易，节省空间和材料，而且可以用于制造形状更复杂的电极阵列结构。

附图说明

为让本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，以下结合附图对本发明的具体实施方式作详细说明，其中：

图1A、1B是一种现有飞行时间质谱仪里用作离子反射器的装置。

图2A、2B是一种现有离子迁移谱里迁移管的结构。

图3A、3B是一种现有的典型离子漏斗装置。

图4A是本发明一实施例的电极阵列制造方法流程图。

图4B是本发明另一实施例的电极阵列制造方法流程图。

图4C是本发明又一实施例的电极阵列制造方法流程图。

图5、图6A-6B、图7-8、图9A-9B、图10A-10B、图11A-11C以图例示出本发明一实施例的电极阵列制造流程。

图12A、2B是使用本发明实施例的方法制造的离子漏斗。

图13、图14示出本发明其他实施例的电极阵列内截面。

图15A-15C示出本发明另一实施例的电极阵列简要制造流程。

图16A-16C示出本发明另一实施例的电极阵列简要制造流程。

图17A-17D示出本发明另一实施例的电极阵列简要制造流程。

图18A-18D示出本发明电极阵列的各种变化例。

图19A-19C、图20A-20C示出本发明又一实施例的电极阵列简要制造流程。

图21A-21B示出本发明又一实施例的电极阵列。

具体实施方式

本发明的下述实施例描述电极阵列的制造方法。在此，电极阵列由多个独立(或者分离)的电极组合而成。作为举例而非限制，这种电极阵列可以用于质谱仪的离子导引装置、飞行时间的反射器、离子迁移谱的分析器、以及质量分析器等设备和装置中。需要说明的是，本发明的实施例旨在提出普遍适用于上述设备和装置的电极阵列的一般制造流程。为了避免模糊本发明的重点，对于与本发明无关的一些细节，不再展开描述。

概要地说，本发明的实施例对电极材料实施灌封胶工艺，以在电极材料的至少部分表面包覆一层绝缘胶。在将绝缘胶固化后，电极材料与绝缘胶将牢固地结合在一起。并且，切割电极材料而形成多个相互分离的电极，这些分离的电极支撑于绝缘胶上。与已有方法相比，这一绝缘胶因与电极材料牢固结合，可作为电极材料的牢固支撑体。而使用切割方法来形成多个分离的电极，将避免复杂的组装过程，并保证加工精度。

在本发明的实施例中，电极材料可具有各种不同的形状，例如圆柱体、棱柱体等回转体或者其变形，平面体等。可选地，可使用经过加工的若干个电极阵列组件来构成完整的电极阵列。在此，电极阵列组件的数量通常被限制到小于10个，因此即使涉及到组装，其复杂度也大大降低。

在本发明的实施例中，对应于不同的形状，切割的过程可涉及多个不同的步骤。这些步骤可以连续的进行，也可以分散电极材料的整个制作过程中。例如部分切割步骤可能在灌封胶工艺之前进行，以减少绝缘胶对切割的负面影响，而部分切割步骤可能在灌封胶工艺之后进行，以形成最终的电极阵列。

在本发明的实施例中，还可在电极材料上切割出各种沟槽，这些沟槽通常有助于增强电极材料与绝缘胶的结合强度，以及/或者能够形成电极的初始形状。

本发明的各个示例性实施例将在后面参照附图描述。

图4A是本发明一实施例的电极阵列制造方法流程图。图5、图6A-6B、图7-8、图9A-9B、图10A-10B、图11A-11C以图例示出本发明一实施例的电极阵列制造流程。

首先于步骤S41a，提供电极材料50。电极材料可为金属等合适的导电材料。电极材料50最好具有合适的初始轮廓。在图5的示例中，电极材料50为圆柱体。电极材料50内可进一步沿轴线设置一个通孔51，作为电极阵列内部空间的初始内壁面。为了满足离子分析设备的要求，电极材料50的外径还可以沿轴向进行线性或者非线性变化。例如电极材料50的初始形状可具有一段锥体，以制造如图12A所示离子漏斗。再如，电极材料50的初始形状可具有一段弯曲部分，以制造如图13和图14所示具有复杂曲面形状的电极阵列。

于步骤S42a，在电极材料50的局部表面，如外表面按照电极阵列的要求加工出多个第一沟槽52，如图6A、6B所示。这些第一沟槽用来在后续的灌封胶工艺中嵌入绝缘胶，以增强电极材料与作为支撑体的绝缘胶的结合强度。使用机械加工的方法，可以很容易地实现所要求的沟槽宽度和步距精度。当第一沟槽52具有经控制的较深的轮廓时，电极材料50外表面未被加工的部分形成多个凸起部53，且这些凸起部由多个沟槽52分隔。不过此时这些凸起部53依然由凸起部以外的电极材料，即位于电极材料中心的支撑部54连结为一体。在图6A、6B所示的示例中，这些沟槽52沿着电极材料50的轴线O平行分布。但可以理解，在不同的电极阵列中，这些沟槽的形状以及分布可以进行改变。例如在后文将要描述的，沟槽52可以沿着电极材料50的轴线O呈放射状分布。

于步骤S43a，进行灌封胶，以在电极材料的外表面包覆一层绝缘胶70，且绝缘胶70嵌入各个沟槽52中。

具体地说，将电极材料50置入一灌封模具60中，如图7所示。当电极材料50内具有通孔51时，通过灌封模具60的导向柱61定位，使得电极材料50与灌封模具60中心对中。灌封模具60的内壁与电极材料50的外表面之间具有一环状间隙S。如图8所示，在电极材料50与灌封模具60的内壁之间灌入液态的绝缘胶70。绝缘胶会流入环状间隙S内，并填充入各个沟槽52，然后使绝缘胶70固化。绝缘胶70固化后，脱模。这时，由于粘合力的作用，绝缘胶70与电极材料50结合为一体，如图9A、9B所示。在本发明的实施例中，绝缘胶，可以是单组分环氧树脂，不饱和树脂，酚醛树脂等热固化型胶，还可以是双组分的环氧树脂，AB胶，紫外光固化的UV胶等。

在步骤S44a，对电极材料和绝缘胶的结合物进行机加工，以形成多个相互分离的电极。对图10A、10B所示的实施例来说，切除通孔51，直到将中间的支撑部54完全除去，使得各个凸起部53不再连结，而是相互分离，此时凸起部53将作为电极55。这一加工还可使通孔51达到所需尺寸精度要求。这时在绝缘胶70的中间，已形成一系列间隔的电极，这些分离的电极55支撑在绝缘胶70，由绝缘胶70结合成一个整体。

为了方便各电极55与外部的电路联接，还可对上述部件进一步加工。例如，用工具80切除部分绝缘胶70，以露出每一电极53的局部表面，使各个电极53与外部电路联接，如图11A-11C所示，其中图11B为图11A的前视图，图11C为沿图11A的虚线的剖面图。这样，一体化电极阵列制造过程完成。如图11A-11C所示，电极阵列100具有多个分离的电极55以及绝缘胶70，其中绝缘胶70具有覆盖各个电极55的环状部71，以及嵌入各个电极55的间隙中的多个结合部72，用以支撑多个电极55。

在替代实施例中，在灌封胶步骤中可使绝缘胶覆盖电极材料的部分表面，暴露电极的线路连接区域。这样，前述的切除部分绝缘胶的步骤可以省略。

如前所述，沟槽可以沿着电极材料的轴线O呈放射状分布。例如图15A-15C所示的变化例，所示为有中心轴的柱状物的截面图。此时电极材料150外表面所加工的沟槽152沿中心呈放射状分布，如图15A。如图15B所示，在电极材料150外围灌绝缘胶153固化成一个整体，再从电极材料150中间的支撑部切削出通孔，直到形成一系列独立的沿中心放射分布的电极151构成电极阵列。

在本发明的实施例中，并不限于通过在两个相邻第一沟槽之间的凸起部来构成电极。事实上，第一沟槽主要起到增大与绝缘胶接触面积的作用。本领域技术人员可以根据需要切割出所需的电极形状。在图16A-16C所示的另一变化例中，在电极材料160外表面加工出沿中心呈放射状分布的第一沟槽162a和第二沟槽162b(图16A)，这些第一沟槽162a是用来灌入绝缘胶163，相反地，第二沟槽162b不会被灌入绝缘胶163。然后在电极材料160外围灌绝缘胶163(图16B)时，在第二沟槽162b中填入相应尺寸的可拆卸的挡体164，当绝缘胶163固化后，拆去挡体164，因而在此位置形成孔洞。之后再通过诸如数控机床等工具加工出十字形的通孔165来将电极材料160分割成多个电极161。在此可以看出，第二沟槽162b可作为切割每一电极时的起点和终点。在切割完成后，可以保持每一电极161具有至少一第一沟槽162a，以便能够与绝缘胶163结合。最后形成一系列独立的沿中心放射分布的电极161构成电极阵列(图16C)。第二沟槽162b另外所起的作用是，可使得当使用电加工时，加工工具不会在其所经过的路径上接触到绝缘胶163而使加工失败。

本发明除了在电极材料外表面加工出沟槽之外，还可在电极材料内表面加工出沟槽。图4B示出本发明另一实施例的电极阵列制造方法流程图。参照图4B并结合图17A-17D所示的流程简图，本实施例包含以下步骤：

步骤S41b，提供一电极材料170，电极材料170沿轴线具有一通孔171，如图17A所示。电极材料170最好具有合适的初始轮廓，例如圆柱体、棱柱体等回转体形状。为了满足离子分析设备的要求，电极材料170的外径还可以沿轴向进行线性或者非线性变化。

步骤S42b，在电极材料170的内表面加工出多个沟槽172，并使电极材料170具有多个凸起部173和凸起部以外的支撑部174。多个凸起部173是由多个沟槽172分隔，但是通过支撑部174连结为一体，如图17B所示。在此示例中，这些沟槽172沿着电极材料170的中心轴呈放射状分布。但可以理解，在不同的电极阵列中，这些沟槽的形状以及分布可以进行改变。例如沟槽172可以沿着电极材料170的中心轴平行分布。

步骤S43b，进行灌封胶，以在电极材料170的通孔内填充绝缘胶175，且绝缘胶175嵌入多个沟槽172中，如图17C所示。在一个替换实施例中，绝缘胶175并不完全填满通孔，只是包覆一层在电极材料170的内表面，并且嵌入多个沟槽172中。

灌封胶的具体过程可参见前述的实施例，灌封模具是置入电极材料170的通孔171中。灌封模具与电极材料的内表面之间具有一环状间隙，在多个沟槽内及环状间隙内灌入液态的绝缘胶，并使绝缘胶固化以与电极材料结合为一体。

步骤S44b，切除支撑部174，使多个凸起部173相互分离，并作为电极176支撑于绝缘胶175上。在这一步骤中，随着支撑部174的切除，多个电极176的外表面会暴露，从而可连接线路。

之后，可切除填充于电极材料通孔内或包覆电极材料内表面的绝缘胶，以使多个电极176露出于电极材料的内表面，如图17D所示。

最终形成的电极阵列具有多个分离的电极173以及多个由绝缘胶构成的结合部176，各个结合部嵌入各个电极的间隙中，用以支撑多个电极。

前面的实施例中，在电极材料上所形成的沟槽相对简单，但事实上，本发明的电极阵列上的沟槽图案可以更为复杂。图18A-18D示出本发明电极阵列的各种变化例。在这些变化例中，在电极材料表面上可以沿直线或曲线形成的凹凸图案。而且电极材料的整体形状可以有圆柱体、经过弯曲的圆柱体、圆台体等回转体。进一步，回转体截面可以不是一个真正的圆，可以是圆的变形处理，例如多边形带圆角，或者多边形。

另外，发明的电极材料的整体形状除了回转体外，也可是平面体。图4C是本发明又一实施例的电极阵列制造方法流程图。图19A-19C、图20A-20C示出本发明另一实施例的电极阵列简要制造流程。参照图4C和图19A-19C、图20A-20C所示，本实施例包含以下步骤：

首先于步骤S41c，提供一电极材料190。电极材料可为金属等导电材料。电极材料190最好具有合适的初始轮廓，例如矩形。

于步骤S42c，在电极材料190的表面按照电极阵列的要求加工出多个沟槽192，如图19A、20A所示。使用机械加工的方法，可以很容易地实现所要求的沟槽宽度和步距精度。当沟槽192具有经控制的较深的轮廓时，电极材料190表面未被加工的部分形成多个凸起部193，且这些凸起部由多个沟槽192分隔。不过此时这些凸起部193依然通过电极材料中心的支撑部194连结为一体。在图19A、20A所示的示例中，这些沟槽12垂直于电极材料50的延伸方向X且平行分布。但可以理解，在不同的电极阵列中，这些沟槽的形状以及分布可以进行改变。例如在后文将要描述的，沟槽192可以是弯曲的或者更复杂的图案。

于步骤S43c，进行灌封胶，以在电极材料的外表面包覆一层绝缘胶70，且绝缘胶70嵌入各个沟槽192中。

具体地说，可将电极材料置入一灌封模具中。灌封模具的内壁与电极材料的表面之间具有一间隙。在电极材料与灌封模具的内壁之间灌入液态的绝缘胶。绝缘胶会流入间隙内，并填充入各个沟槽192，然后使绝缘胶70固化。绝缘胶70固化后，脱模。这时，由于粘合力的作用，绝缘胶70与电极材料190结合为一体，如图19B、20B所示。在本发明的实施例中，绝缘胶可以是单组分环氧树脂，不饱和树脂，酚醛树脂等热固化型胶，还可以是双组分的环氧树脂，AB胶，紫外光固化的UV胶等。

在步骤S44c，对电极材料和绝缘胶的结合物进行机加工，以形成多个相互分离的电极。对图19B、20B所示的实施例来说，切除电极材料底部的支撑部194，使得各个凸起部193不再连结，而是相互分离成。这时在绝缘胶70的中间，已形成一系列间隔的电极195，这些分离的电极195支撑在绝缘胶70上，由绝缘胶70结合成一个整体。

之后，切除部分绝缘胶70，以露出每一电极53的局部表面，使各个电极53与外部电路联接，如图19C、20C所示。这样，一体化电极阵列制造过程完成。如图19C、20C所示，电极阵列1900具有多个分离的电极193以及绝缘胶70，其中绝缘胶70具有嵌入各个电极53的间隙中的多个结合部72，用以支撑多个电极193。在替代实施例中，在灌封胶步骤中可使绝缘胶覆盖电极材料的部分表面，暴露电极的线路连接区域。这样，切除部分绝缘胶70的步骤可以省略。

如前所述，沟槽的形状可以包括不等宽的直线或曲线，例如图21A-21B所示。因此本发明的实施例涵盖在一平面内的任意凹凸图案。

下面比较依照传统方法制造的离子漏斗和使用本发明一较佳实施例的方法制造的离子漏斗，以说明本发明的优势。图3A、3B是用传统的环片叠加的方法制造的离子漏斗。图12A、12B是使用本发明实施例的方法制造的离子漏斗。比较两组图就会发现，本发明的上述实施例相对于传统的制造方法有如下改进：

图3A所示部件每一片环片31都需精确加工。图12A的电极阵列只需整体加工。完成单个图3A所示部件的工时会3到4倍于图12A所示部件。因此，本发明的实施例大大缩小了离子漏斗的制造时间和制造成本。并且，由于图12A所示部件是一个整体，不存在因组装的不合理造成整体上的误差。因而部件精度比图3A所示更好。

再者，图3A的传统结构复杂，部件多，由于需要导向柱33定位，在同样内径条件下，图3A所示的环片外径要大于图12A所示的环片外径。而且图12A很容易将部件外形做成锥体，因而本发明实施例制造的部件体积要小于用传统方法所制造的体积。在仪器日趋小型化的时代，这一点很重要。而且，电极阵列往往需要外接射频电路，环片体积越大，相邻环片构成的电容也越大，电容越大，射频电源的开关负荷也越大，最终导致仪器发热而影响仪器性能。本发明实施例的电极环片可以实现加工小于传统方法所制造的环片，因而本发明对射频电源的开关影响要小。

在需要密封的条件下，传统方法需另加密封橡皮圈或者提高每个环片的平面度和平行度来保证电极阵列内部与外界的密封。而本发明实施例的绝缘胶70本身就将电极阵列的内部与外界很好地分离开。

请看图3B所示放大部分，由于系列环片31是独立加工的，相邻环片的结合部位不是连续的，是锯齿状的。对离子漏斗而言，当样品气体进入漏斗后，会有部分气体紧贴漏斗内壁飞行，锯齿状的内壁突起会对气体造成阻碍，产生小的扰流，使气体的流阻增大，影响气体整个的通过效率。本发明实施例所造漏斗内壁是用工具一体加工的，相邻环片的结合面很光滑，对气体的流阻很小。这说明本发明方法更适合于在不损失加工精度的条件下加工较复杂的工件。如图12B，在基于数控机床加工的条件下，用本发明可制造出复杂的流线型内截面，而用传统的方法很难做到这一点。

以上所描述的本发明的实施例并非用来限制本发明的保护范围。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可以进行一些简单的变化和修改，例如在图6A所示实施例中，没有使用圆环片电极，而是采用不连续的片状电极或柱状电极等。因此本发明的保护范围当以权利要求书所界定的为准。

Claims (16)

1.一种电极阵列的制造方法，包括以下步骤：

提供一电极材料；

进行灌封胶，以在电极材料的至少部分表面包覆一层绝缘胶，且将绝缘胶固化以使所述电极材料与所述绝缘胶牢固地结合在一起；以及

切割电极材料而形成多个相互分离的电极，所述多个电极支撑于所述绝缘胶上。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，进行灌封胶之前还包括在所述电极材料的局部表面加工出多个第一沟槽，其中在灌封胶时，所述绝缘胶嵌入所述多个第一沟槽中。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，切割电极材料而形成多个相互分离的电极的步骤包括：切除全部或部分被第一沟槽分离的多个凸起部以外的电极材料，从而形成由所述多个凸起部构成的多个电极。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，进行灌封胶之前还包括在所述电极材料的局部表面加工出多个第二沟槽，其中在灌封胶时，在所述第二沟槽中放入阻挡体，以阻止所述绝缘胶嵌入所述第二沟槽中。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，在切割电极材料而形成多个相互分离的电极时，以所述第二沟槽作为切割每一电极的起点和终点。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电极材料是呈回转体，其中所述至少部分表面位于所述电极材料的外表面。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电极材料是呈具有一通孔的回转体，其中所述至少部分表面位于电极材料的内表面。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电极材料是呈平面体，其中所述至少部分表面位于电极材料的其中一表面。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，进行灌封胶的步骤包括：将所述电极材料置入一灌封模具中，所述灌封模具与所述电极材料的所述至少部分表面之间具有一间隙，在所述多个沟槽内及所述间隙内灌入液态的绝缘胶。

10.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述多个沟槽是沿着呈回转体的电极材料的轴线平行分布。

11.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述多个沟槽是沿着所述电极材料的轴线呈放射状分布。

12.一种根据权利要求1-11任一项的方法制造的电极阵列。

13.一种离子导引装置，包含权利要求12所述的电极阵列。

14.一种离子反射器，包含权利要求12所述的电极阵列。

15.一种离子迁移管，包含权利要求12所述的电极阵列。

16.一种质量分析器，包含权利要求12所述的电极阵列。

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