CN103159026A - 机器人和机器人安装方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及机器人和机器人安装方法。机器人包括基座单元，该基座单元从限定作业空间的室的底面部下方被升起并且连接到所述室的所述底面部。所述机器人还包括臂单元，该臂单元被从所述室上方运入所述室中，并且连接到与所述室的所述底面部连接的所述基座单元的上部。

Description

机器人和机器人安装方法

技术领域

本文公开的实施方式涉及一种机器人和机器人安装方法。

背景技术

作为工业机器人，传统上已知有用于搬运诸如基板之类的工件的搬运机器人。作为搬运机器人，已知有例如构造成沿水平方向伸展和缩回的水平多关节机器人。水平多关节机器人包括在其末端处设置有用于保持工件的手的臂单元。

搬运机器人被使用在例如半导体制设备或者液晶面板制造设备中，以搬运诸如半导体晶片或玻璃基板的工件。在这些设备中，通常的情况是工件在减压真空室内进行处理。为此，搬运机器人通常布置在真空室内。搬运机器人被称为真空机器人（例如参见日本特开2011-101912号公报）。

在搬运机器人（真空机器人）安装在真空室内的情况下，通常的是，搬运机器人通过使用顶棚吊车被升起并且移动到真空室上方。然后，搬运机器人被降下并且放入真空室中。

近年来，诸如玻璃基板和半导体晶片的工件的尺寸变得更大，因而搬运机器人和真空室的尺寸也趋于变得更大。这可能使得难以将搬运机器人安装在真空室内。

例如，搬运机器人随着其变得更大而高度趋于增大。为了将大型搬运机器人定位在真空室上方，因此期望的是扩大用于运入搬运机器人的空间，即，位于真空室的上表面和供安装真空室的房间的顶棚表面之间的空间。然而，如果搬运机器人的高度增加，则用于容纳搬运机器人的真空室的高度变得更大，但顶棚表面的高度保持不变。这使得难以扩大用于运入搬运机器人的空间。

如上所述，如果搬运机器人的尺寸变得更大，则可能变得难以将机器人安装在真空室内。

发明内容

本文所公开的实施方式提供了一种能够被容易地安装在室中的机器人以及能够将机器人容易地安装在室内的机器人安装方法。

根据本发明的一个方面，提供了一种机器人，该机器人包括：基座单元，该基座单元从限定作业空间的室的底面部的下方被升起并且连接到所述室的所述底面部；以及臂单元，该臂单元被从所述室的上方运入所述室中，并且连接到与所述室的所述底面部连接的所述基座单元的上部。

通过本文所公开的实施方式，可以提供一种能够被容易地安装在室内的机器人和能够将机器人容易地安装在室内的机器人安装方法。

附图说明

图1是示出根据一个实施方式的机器人的示意性说明图。

图2是示出安装在真空室内的机器人的示意性说明剖面图。

图3是示出主体单元和臂基座的示意性说明剖面图。

图4是将机器人的高度与供将机器人运入真空室中的空间的高度对比的图。

图5A是图示将主体单元安装在真空室中的方法的说明图。

图5B是图示将主体单元安装在真空室中的另一种方法的说明图。

图5C是图示将臂单元安装在真空室中的方法的说明图。

图6是图示将臂单元相对于主体单元粗略定位的方法的说明图。

具体实施方式

现在将参照形成本发明的一部分的附图来详细地描述本文公开的机器人和机器人安装方法的实施方式。本公开内容不限于以下将描述的实施方式。

首先，将参照图1描述根据本实施方式的机器人的构造。图1是示出根据该实施方式的机器人的示意性说明图。

如图1所示，机器人1是水平多关节机器人，该机器人包括：臂单元20，该臂单元具有两个能够沿水平方向伸展和缩回的可伸展臂；以及主体单元10，该主体单元用于支承臂单元20。在本实施方式中，主体单元10构成基座单元。

主体单元10包括安装在管状壳体11内的下述升降装置40（参见图3）。主体单元10通过使用升降装置40而沿着竖直方向上下移动臂单元20。以下将参照图3更详细地描述升降装置40。

在壳体11的上部中形成凸缘部12。凸缘部12借助螺栓等连接到形成于真空室30中（参见图2）的作为单元连接开口的开口部31的周缘，所述真空室30中限定有作业空间。结果，机器人1被安装在真空室30中。稍后将参照图2更详细地描述以上构造。稍后将参照图5A至图5C更详细地描述将主体单元10安装到真空室30的方法。

臂单元20是借助稍后待述的升降凸缘单元15连接到主体单元10的单元。臂单元20包括臂基座21、第一臂22、第二臂23、手基座24以及辅助臂部25。

臂基座21以可旋转的方式支承在升降凸缘单元15上。臂基座21设置有摆动装置60（参见图3），该摆动装置包括马达61a、减速器61b和摆动轴62。臂基座21通过使用摆动装置60而进行转动。稍后将参照图3更详细地描述摆动装置60的构造。

第一臂22具有基端部，该基端部通过减速器可旋转地连接到臂基部21的上部。第二臂23具有基端部，该基端部通过减速器可旋转地连接到第一臂22的上部末端部。

手基座24以可旋转的方式连接到第二臂23的末端部。在手基座24的上部中设置有用于保持诸如玻璃基板或半导体晶片的工件的作为末端执行器的手24a。手基座24借助第一臂22和第二臂23的旋转运动而移动。

机器人1构造成借助通过使用单个马达而同步地操作设置在第一臂22的基端部中的减速器和设置在第一臂22的末端部中的减速器而直线移动手24a。

更具体地，机器人1转动第一臂22和第二臂23，从而第二臂23相对于第一臂22的转动量变成第一臂22相对于壁基座21的转动量的两倍大。例如，第一臂22和第二臂23转动，使得如果第一臂22相对于臂基座21转动α度，则第二臂23相对于第一臂22转动2α度。结果，手24a直线移动。

为了防止弄脏真空室30的内部，而在保持于大气压下下的第一臂22内布置有诸如马达和减速器的驱动装置。因此，即使机器人1保持在减压环境下，也可以防止诸如油脂之类的润滑剂变干并且防止真空室30的内部被污物污染。

辅助臂部25是连杆机构，该连杆机构与第一臂22和第二臂23的转动运动联动地限制手基座24的转动，使得手24a在其运动期间能够始终面向特定方向。

更具体地，辅助臂部25包括第一连杆25a、中间连杆25b以及第二连杆25c。

第一连杆25a的基端部以可旋转的方式连接到臂基座21。第一连杆25a的末端部以可旋转的方式连接到中间连杆25b的末端部。中间连杆25b的基端部以与使第一臂22和第二臂23互连的连接轴线同轴的关系枢转。中间连杆25b的末端部以可旋转的方式连接到第一连杆25a的末端部。

第二连杆25c的基端部以可旋转的方式连接到中间连杆25b。第二连杆25c的末端部以可旋转的方式连接到手基座24的基端部。手基座24的末端部以可旋转的方式连接到第二臂23的末端部。手基座24的基端部以可旋转的方式连接到第二连杆25c。

第一连杆25a、手基座21、第一臂22和中间连杆25b构成第一平行连杆机构。换言之，如果第一臂22绕其基端部转动，则第一连杆25a在与第一臂22保持平行的同时转动。当在平面图中观看时，使臂基座21与第一臂22的连接轴线和臂基座21与第二连杆25a的连接轴线互连的连接线在保持与中间连杆25b平行的同时转动。

第二连杆25c、第二臂23、手基座24以及中间连杆25b构成第二平行连杆机构。换言之，如果第二臂23绕其基端部转动，则第二连杆25c和手基座24在与第二臂23和中间连杆25b分别保持平行的同时转动。

中间连杆25b在第一平行连杆机构的作用下在保持与前述连接线平行的同时转动。为此，第二平行连杆机构的手基座24在保持与臂基座21平行的同时转动。结果，安装到手基座24的上部的手24a在保持与前述连接线平行的同时直线移动。

以此方式，机器人1利用两个平行连杆机构（即第一平行连杆机构和第二平行连杆机构）能够保持手24a的取向恒定。因此，与例如其中带轮和传送带设置在第二臂23内以利用带轮和传送带保持末端执行器的取向恒定的情况相比，可以减少因带轮和传送带而产生的污物。

由于臂的刚性通过辅助臂部25而能够整体上提高，因此可以降低在手24a操作期间的振动。为此，与其中末端执行器的取向利用带轮和传送带而保持恒定的情况相比，可以减少因在手24a的操作期间产生的振动而产生的污物。

根据本实施方式的机器人1的臂单元20包括两个可伸展臂，这两个臂的每个均包括第一臂22、第二臂23、手基座24和辅助臂部25。因此，机器人1能够同时执行两个任务，例如，利用其中一个可伸展臂从搬运位置取出工件的任务和利用另一个可伸展臂将新的工件运入搬运位置的任务。

接下来，将对包括根据本实施方式的机器人1和在其中限定有机器人1的作业空间的真空室30的半导体制造设备的一个实施例进行说明。之后，将详细地描述将机器人1安装在真空室30内的方法。

图2是示出半导体制造设备100的一个示例的示意性说明剖面图。如图2中所示，半导体制造设备100包括机器人1和用于容纳机器人1的真空到30。

形成在机器人1的主体单元10中的凸缘部12借助密封构件（未示出）固定到形成于安装在安装面S上的真空到30的底部的大体中央区域中的开口部31的周缘。因此，真空室30被气密地密封并且真空室30的内部借助诸如真空泵等的减压装置保持在减压状态下。主体单元10的壳体11从真空室30的底部突出并且位于用于支承真空室30的支承部35内。尽管支承部35由壁形成，但也可以利用多个腿形成支承部35。

机器人1在真空室30内执行工件搬运任务。例如，机器人1通过使用第一臂22和第二臂23直线移动手24a，由此通过未示出的闸阀从连接到真空室30的另一真空室取出工件。

接着，机器人1将手24a返回然后使臂基座21绕摆动轴线O水平转动，由此使臂单元20直接面向作为工件的搬运目的地的另一真空室。然后，机器人1通过使用第一臂22和第二臂23来直线移动手24a，由此将工件运入作为工件的搬运目的地的另一真空室中。

真空室30形成得与机器人1的形状一致。例如，如图2所示，在真空室30的底面部中形成有凹部。机器人的诸如臂基座21和升降凸缘单元15的部分布置在所述凹部中。通过以这样的方式将真空室30形成得与机器人1的形状一致，可以减小真空室30的内部容积并且可以容易地将真空室30保持在减压状态下。

用于以使得与外部连通的方式封闭真空室30的盖部32布置在真空室30的上部中。如稍后将更详细地描述的，根据本实施方式的机器人1的臂单元20在移除盖部32的同时从真空室30上方引入真空室30中。

换言之，根据本实施方式的机器人1构造成使得主体单元10和臂单元20能够在升降凸缘单元15处分开。

更具体地，如图2和图3所示，机器人1的升降凸缘单元15包括两个凸缘，即，第一停靠凸缘15a和第二停靠凸缘15b。第一停靠凸缘15a固定到主体单元10。第二停靠凸缘15b固定到臂单元20。在根据本实施方式的机器人1中，主体单元10和臂单元20通过利用螺栓等紧固第一停靠凸缘15a和第二停靠凸缘15b而整合。

在本实施方式中，机器人1借助将该机器人1分成主体单元10和臂单元20而安装在真空室30中。这使得可以将机器人1容易地安装在真空室30中。

现在将参照图3描述具有第一停靠凸缘15a的主体单元10和具有第二停靠凸缘15b的臂基座21。图3是示出主体单元10和臂基座21的示意性说明剖面图。

如图3所示，主体单元10包括布置在该主体单元10中的升降装置40。升降装置40是通过使用马达（未示出）和转换机构42来竖直地移动升降轴43的装置。第一停靠凸缘15a固定到升降轴43的突出穿过形成于凸缘部12中的凸缘开口121的上端部。

臂单元12包括摆动装置60。摆动装置60通过带轮64和65以及传送带63而用于将减速器-马达组件61（其通过整合马达61a和减速器61b而形成）的旋转传递到摆动轴62，由此使摆动轴62旋转。摆动轴62借助轴承211以可旋转的方式支承在臂基座21上，但沿旋转方向不固定。从而，臂基座21绕摆动轴线O（即摆动轴62的中心轴线）水平旋转。

第二停靠凸缘15b固定到摆动轴62的从臂基座21的下部竖直向下突出的末端部。

主体单元10和臂单元20借助用螺栓等固定第一停靠凸缘15a和第二停靠凸缘15b而结合到机器人1。

如图3所示，在第一停靠凸缘15a的上表面上设置有定位销151，并且在第二停靠凸缘15b中形成有能与定位销151接合的接合孔153。在定位销151和接合孔153彼此接合的状态下，臂单元20借助固定第一停靠凸缘15a和第二停靠凸缘15b而在适当位置连接到主体单元10。

在根据本实施方式的机器人1中，其直径比主体单元10小的第一停靠凸缘15a设置在主体单元10的上部中。其直径基本等于第一停靠凸缘15a的第二停靠凸缘15b设置在壁单元20的下部中。在根据本实施方式的机器人1中，主体单元10和臂单元20借助连接第一停靠凸缘15a和第二停靠凸缘15b而被整合。这使得即使在主体单元10和臂单元20彼此分离时也可以容易地将该主体单元10和臂单元20整合。

在根据本实施方式的机器人1中，作为定位突起部的定位销151设置在第一停靠凸缘15a中。作为能与定位销151接合的定位凹部的接合孔153形成在第二停靠凸缘15b中。这使得可以在精确位置将臂单元20连接到主体单元10。

在本实施方式中，定位销151设置在第一停靠凸缘15a中，接合孔153形成在第二停靠凸缘15b中。另选地，可在第一停靠凸缘15a中形成通孔，并且可在第二停靠凸缘15b中设置定位销。在本实施方式中，定位销151和接合孔153以定位突起部和定位凹部为例。然而，定位突起部和定位凹部不被限制为销和孔。

在本实施方式中，已针对摆动装置60设置有马达-减速器组件61的情况进行了说明。然而，不总是必须将马达和减速器整合。

接下来，将详细地描述摆动装置60和升降装置40。如图3所示，摆动装置60的摆动轴62具有从该摆动轴62的上端沿着摆动轴线O向其下端延伸的通孔622。同样，第二停靠凸缘15b具有通孔154。臂单元20的布线线缆300插入通过通孔622和154。布线线缆300通过通孔622和154从摆动轴62的上方延伸到臂基座21的下方。

升降装置40包括转换机构42、升降轴43和线性引导件44。转换机构42是用于将未示出的马达的旋转运动转换成直线运动的机构。更具体地，转换机构42包括滚珠丝杠421和滚珠螺母422。滚珠丝杠421借助轴承112以可旋转的方式支承在壳体11上。滚珠螺母422与滚珠丝杠421螺纹联接。

升降轴43是沿着竖直方向延伸的管状构件。转换机构42布置在升降轴43内。转换机构424的滚珠螺母422固定到升降轴43的内周面。升降轴43的外周面固定到线性引导件44。

在操作未示出的马达时，马达的旋转通过未示出的带和带轮传递到转换机构42的滚珠丝杠421。马达的旋转运动借助滚珠丝杠421和滚珠螺母422转换成直线运动。因此，连接到滚珠螺母422的升降轴43沿着线性引导件44上下运动。

第一停靠凸缘15a具有沿着摆动轴线O延伸的通孔152。臂单元20的布线线缆300通过通孔152插入升降轴43中。插入升降轴43中的布线线缆300从形成于升降轴43的下部中的切口部431被引导到升降轴43的外部，并且连接到设置在升降轴43的外部的连接器面板（未示出）。

在该方面，转换机构42被靠近升降轴43的内周面布置。更具体地，转换机构42布置在偏心位置，从而滚球丝杠421的中心轴线偏离升降轴43的中心轴线（即，摆动轴线O）。因而，在转换机构42和升降轴43的内周面之间形成有用于容纳布线线缆300的布线空间Q。

在升降轴43中设置有用于引导从上方朝向布线空间Q插入的布线线缆300的引导构件450。引导构件450是布置在布线空间Q和转换机构42之间从而覆盖滚珠丝杠421的上表面和侧表面的构件。引导构件450朝向布线空间Q倾斜。

通过将引导构件450以这样的方式设置在升降轴43中，可以在不妨碍滚珠丝杠421和滚珠螺母422的同时朝向布线空间Q容易地引导布线线缆300。还可以防止布线线缆300和转换机构42在机器人1的操作期间彼此接触。

接下来，将对机器人1安装在真空室30中的方法进行说明。图4是将机器人1的高度与存在于真空室30上方的运入空间TS的高度进行对比的视图。首先，将参照图4描述机器人1的高度H与形成在真空室30和顶棚750之间的运入空间TS的高度X1的对比。如图4所示，在盖部32（参见图2）从真空室30的上部被移除的状态下执行将机器人1运入真空室30中的任务。

机器人1通过使用例如顶棚吊车700而被升起。顶棚吊车700是能够利用钩701将物体提升到特定高度、沿着设置在顶棚750上的走行巷道751移动并且在期望位置降下被提升的物体的吊车装置。

为了用顶棚吊车700提升物体并且将物体运入真空室30中，物体的高度需要小于形成在真空室30上方的运入空间TS的高度X1。在该方面，运入空间TS是这样的空间，即：定位在真空室30上方的物体（例如机器人1）通过该空间被运入真空室30中。更具体地，运入空间TS表示提升至最高位置的钩701的下端和真空室30的上端之间的空间。

如图4所示，根据本实施方式的机器人1的高度H充分大于运入空间TS的高度X1。在该情况下，即使试图利用顶棚吊车700朝向运入空间TS移动机器人1，机器人1也与真空室30的侧臂接触。

为此，机器人1的主体单元10和臂单元20被分开并且被单独地运入真空室30中。

在根据本实施方式的机器人1中，臂单元20的高度h2小于运入空间TS的高度X1。然而，主体单元10的高度h1大于运入空间TS的高度X1。臂单元20的高度h2包括臂单元20的上表面与顶棚吊车700的钩701的下端之间的距离h0。

尽管根据本实施方式的机器人1能够被分成主体单元10和臂单元20的事实，但也不能将主体单元10从真空室30上方运入真空30中。

因此在本实施方式中，主体单元10从真空室30下方被传送，并且臂单元20被从真空室30上方被传送。之后，将主体单元10和臂单元20彼此连接。最后，将机器人1安装在真空室30中。为此，主体单元10的高度h1被设定成小于从真空室30的安装面S到真空室30的底面部36的高度X2。

如上所述，根据本实施方式的机器人1包括：从真空室30的底面部36的下方向上提升并且连接到真空室30的底面部36的主体单元10；以及被从真空室30上方运入真空室30中并且连接到与真空室30的底面部36连接的主体单元10的上部的臂单元20。

接下来将参照图5A至5C描述将根据本实施方式的机器人1安装在真空到30中的方法。图5A和图5B是图示将主体单元10安装在真空室30中的方法的说明图。图5C是图示将臂单元20安装在真空室30中的方法的说明图。

如图5A所示，与臂单元20分离的主体单元10首先被安装在具有脚轮910的手推车900上，并且将其上安装有臂单元20的手推车900移动到位于真空室30的开口部31正下方的位置。此时，支承部35的位于真空室30下方的并且由壁形成的部分可以可移除的方式构造成并且当移动主体单元10时可被移除以形成运入孔35a。

主体单元10的凸缘部12的上附装表面和用于安装诸如O形环的密封构件的表面被预先清洁。为了将主体单元10稳定地安装在手推车900上，将间隔件920附装到主体单元10的下表面。

可将叉车适当地用作手推车900。另选地，可将延伸至真空室30的中央位置的轨道铺设在真空室30的安装面S上，并且能够运载主体单元10的运载件可以布置成沿着轨道来回移动。

以上述方式，将主体单元10定位在真空室30的底面部36的开口部31的正下方。在该位置，第一停靠凸缘15a能够通过开口部31而面向上。

接下来，将作为提升夹具的吊环螺栓810螺纹联接到预先形成于主体单元10的凸缘部12中的螺栓孔。之后，将从顶棚吊车700的钩701悬垂的线820锁定到吊环螺栓810的环形部。在本实施方式中，使用四个吊环螺栓810。主体单元10借助四根线820而悬挂。

如图5B所示，主体单元10借助顶棚吊车700被略微吊起。

在该状态下，工人能够容易地移动主体单元10。因此，能够便于执行主体单元10的位置对准。更具体地，借助沿水平方向直线移动主体单元10或者沿水平方向旋转主体单元10而执行主体单元10的位置对准，从而形成在主体单元10的凸缘部12中的螺栓插入孔（未示出）能够与形成在真空室30的开口部31的周缘部中的连接孔（未示出）对准。

然后，主体单元10的凸缘部12和形成在开口部31的周缘中的连接孔通过使用螺栓而彼此连接并固定。最后，完成主体单元10在真空室30中的安装。用于定位臂臂单元20的引导构件125和126（参见图6）安装到被安装在真空室30中的主体单元10。稍后将参照图6对引导构件125和126进行描述。

如果完成了主体单元10在真空室30中的安装，则将臂单元20安装在真空室30中，如图5C所示。

首先，将具有环610的悬挂夹具600附装到与主体单元10分离的臂单元20。之后，在利用顶棚吊车700的钩701钩住环601之后将臂单元20升起。此时，臂单元20的布线线缆300保持从臂单元20的下部悬垂。

然后，使顶棚吊车700沿着走行巷道751行进，借此将臂单元20移动到位于真空室30上方的运入空间TS。在该方面，包括悬挂夹具600的臂单元20的高度h2小于运入空间TS的高度X1，如图5C所示。从而，臂单元20能够移动到运入空间TS并且能够被定位在真空室30的中央的上方而不可能与真空室30接触。

接着，操作顶棚吊车700以由此朝向已安装在真空室30中的主体单元10降下臂单元20。此时，使得从臂单元20的下部悬垂的布线线缆300插入主体单元10的升降装置40的升降轴43中（参见图3）。如早前所述，在布线线缆300的布线空间Q与升降轴43内的转换机构42之间设置有引导构件450。为此，布线线缆300能够延伸通过布线空间Q而不妨碍转换机构42。

然后，进一步降下臂单元20，从而设置在臂单元20的下部中的第二停靠凸缘15b靠近设置在主体单元10的上部中的第一停靠凸缘15a。

在该方面，在悬挂夹具600中形成有与设置在主体单元10中的引导构件125和126配对的定位标记。如稍后所述，工人通过使用引导构件125和126以及定位标记而执行粗略定位臂单元20的任务。

图6是图示相对于主体单元10粗略地定位臂单元20的方法的说明图。如图6所示，筒状柱引导构件125和126在特定位置附装在主体单元10的凸缘部12上。在臂单元20的悬挂夹具600中以与引导构件125和126之间的间隔相同的间隔形成有作为定位标记的通孔620a和603a。

工人利用引导构件125和126以及作为定位标记的通孔620a和603a来执行定位臂单元20的任务。更具体地，工人在调节臂单元20的位置的同时朝向主体单元10降下臂单元20，使得当从上方看通孔620a和603a时，引导构件125和126能够位于通孔620a和603a内。

在本实施方式中，如上所述，定位引导构件125和126以可移除的方式附装到主体单元10的凸缘部12。与引导构件125和126对应的通孔602a和603a形成在悬挂夹具600中。在本实施方式中，通过使用引导构件125和126以及通孔602a和603a执行相对于主体单元10定位臂单元20的任务。因而，工人能够在将臂单元20朝向主体单元10降下的同时容易地感知臂单元20相对于主体单元10的粗略安装位置。

如早前所提及的，在主体单元10的第一停靠凸缘15a中设置作为定位突起部的定位销151。在臂单元20的第二停靠凸缘15b中形成能与定位销151接合的接合孔153。这使得工人能够相对于第一停靠凸缘15a精确地安装第二停靠凸缘15b。

在将第二停靠凸缘15b放置在第一停靠凸缘15a上之后，工人利用螺栓等紧固第一停靠凸缘15a和第二停靠凸缘15b。因此，将主体单元10和臂单元20整合为机器人1。

如图6所示，臂单元20的悬挂夹具600包括上支承构件601、下支承构件602和603以及连接轴604至606。首先，将下支承构件602和603附装到臂基座21的下部。附装到臂基座21的下支承构件602和603从臂基座21朝向Y轴的负向侧局部地突出。通孔602a和603a分别形成在下支承构件602和603的远离臂基座21突出的部分中。

接着，将连接轴604和605附装到下支承构件602和603。将连接轴606附装到臂基座21。然后，将上支承构件601附装到连接轴604至606。将上支承构件601和连接轴604至606借助螺栓等紧固。从而，将悬挂夹具600安装到臂单元20。

之后，操作顶棚吊车700以朝向已安装在真空室30中的主体单元10降下臂单元20。将主体单元10和臂单元20彼此连接。此时，利用引导构件125和126以及作为定位标记的通孔602a和602b执行臂单元20的定位。然后，将悬挂夹具600（包括上支承构件601、下支承构件602和603、连接轴604至606）以及引导构件125和126移除以最终完成机器人1的安装。

如上所述，根据本实施方式的机器人1包括从真空室30的底面部36升起并且连接到真空室30的底面部36的主体单元10。而且，机器人1包括被从真空室30上方运入该真空室30中并且连接到与真空室30的底面部36连接的主体单元10的上部的臂单元20。

相对于具有作业空间和形成在底面部36中的单元连接开口部31的真空室30，借助执行包括下列两个步骤的安装方法将机器人1安装在真空室30中。

第一步骤是以下的基座单元连接步骤，即：将作为机器人的基座单元的主体单元10从真空室30的底面部36的下方吊起，将主体单元10连接到真空室30的底面部36，并且使凸缘部12的作为主体单元连接表面的上表面面向开口部31。

第二步骤是臂单元连接步骤，即：将机器人1的臂单元20从真空室30的上方运入真空室30中，使臂单元20经由开口部31而面向主体单元连接表面，并且将臂单元20连接到连接至真空室30的底面部36上的主体单元10。

通过将机器人1安装在真空室30中的该方法，即使机器人1具有增大的高度也可以容易地安装在真空室30中。

基座单元连接步骤包括下列三个步骤。第一步骤是将主体单元10传送到真空室30的底面部36的下方的传送步骤。第二步骤是将传送到真空室30的底面部36的下方的主体单元10吊起通过形成在真空室30的底面部36中的开口部31的吊起步骤。第三步骤是相对于真空室30的底面部36定位提升的主体单元10的定位步骤。

因而，可以将主体单元10容易且精确地连接并固定到真空室30的底面部36。

在本实施方式中，主体单元10的高度h1和臂单元20的高度h2的总和被设定成大于形成在真空室30的上方的运入空间TS的高度X1。主体单元10的高度h1小于从真空室30的安装面S到真空室30的底面部36的高度X2，但大于运入空间TS的高度X1。

因而，即使机器人1和真空室30的尺寸因主体单元10的高度增大而变得更大并且即使在确保真空室30和顶棚750之间的运入空间TS上涉及到困难也可以容易地将机器人1安装在真空室30中。

在前面的实施方式中，已对机器人1的高度H大于运入空间TS的高度X1的情况进行了说明。另选地，机器人1的高度H可以小于运入空间TS的高度X1。即使在该情况下，机器人1也被分开并且被运入真空室30中。因此可以减小待借助一个运入操作被运入的物体的重量和尺寸。还可以容易地将机器人1运入真空室30中。

在前面的实施方式中，已对机器人1是用于搬运诸如玻璃基板或半导体晶片的工件的搬运机器人的情况进行了说明。另选地，机器人1可以是用于执行除工件搬运之外的任务的机器人。在前面的实施方式中，已对机器人1安装在真空室30中的情况进行了说明。然而，供安装机器人1的室可以是除真空室30之外的室。

在前面的实施方式中，已对通过利用设置在建筑物等中的顶棚吊车700来升降主体单元10和臂单元20而执行运入任务的情况进行了说明。然而，在主体单元10和臂单元20的运入任务中使用的吊车可以不必是顶棚吊车700。

在前面的实施方式中，已对可伸展臂的数量是两个并且所述可伸展臂包括第一臂和第二臂的情况进行了说明。然而，可伸展臂的数量不局限于两个并且每个可伸展臂可以包括除第一臂和第二臂之外的附加臂。

本领域技术人员能够容易地想到其它效果和其它修改示例。为此，本公开内容的宽泛方面不局限于以上示出和描述的特定公开内容和代表性实施方式。因而，本公开内容能够以许多不同的形式进行修改，而不脱离由所附的权利要求和其等同物限定的精神和范围。

Claims (5)

1.一种机器人，该机器人包括：

基座单元，该基座单元从限定作业空间的室的底面部下方被升起并且连接到所述室的所述底面部；以及

臂单元，该臂单元被从所述室上方运入所述室中，并且连接到与所述室的所述底面部连接的所述基座单元的上部。

2.根据权利要求1所述的机器人，其中，所述基座单元的高度和所述臂单元的高度的总和大于形成于所述室上方的运入空间的高度，所述基座单元的高度小于从所述室的安装面到所述室的所述底面部的高度，但大于所述运入空间的高度。

3.一种机器人安装方法，该方法包括：

基座单元连接步骤，即，限定作业空间的室在底面部中形成有单元连接开口，将机器人的基座单元从所述底面部的下方升起并将所述基座单元连接到所述室的所述底面部，致使所述基座单元的连接表面面向所述单元连接开口；以及

臂单元连接步骤，即，将所述臂单元从所述室上方运入所述室中，致使所述机器人的臂单元经由所述单元连接开口而面向所述基座单元的所述连接表面，并且将所述臂单元连接到与所述室的所述底面部连接的所述基座单元。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，在所述基座单元连接步骤中，从所述室的所述底面部下方将所述基座单元连接到所述底面部；并且在所述臂单元连接步骤中，从所述基座单元上方将所述臂单元连接到所述基座单元。

5.根据权利要求3或4所述的方法，其中，所述基座单元连接步骤包括：将所述基座单元传送到所述室的所述底面部下方；经由所述单元连接开口吊起被传送到所述室的所述底面部下方的所述基座单元；以及相对于所述室的所述底面部定位被吊起的所述基座单元。

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