CN103143984A - 基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法 - Google Patents

基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103143984A
CN103143984A CN2012104740222A CN201210474022A CN103143984A CN 103143984 A CN103143984 A CN 103143984A CN 2012104740222 A CN2012104740222 A CN 2012104740222A CN 201210474022 A CN201210474022 A CN 201210474022A CN 103143984 A CN103143984 A CN 103143984A
Authority
CN
China
Prior art keywords
error
laser tracker
machine tool
lathe
knife
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2012104740222A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103143984B (zh
Inventor
陶桂宝
留成源
谷立恒
邵璟
陈敏超
樊星光
王世桥
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chongqing University
Original Assignee
Chongqing University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chongqing University filed Critical Chongqing University
Priority to CN201210474022.2A priority Critical patent/CN103143984B/zh
Publication of CN103143984A publication Critical patent/CN103143984A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103143984B publication Critical patent/CN103143984B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Numerical Control (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法，采用激光跟踪仪进行动态跟踪检测，不仅适用于对温度、湿度严格控制的实验室环境中使用，而且可以在条件较恶劣的车间现场环境中使用。激光跟踪仪集合了激光干涉测距、光电探测、精密机械、计算机及控制和现代数值计算理论，对空间运动目标进行跟踪并实时测量目标的空间三维坐标，具有高精度、高效率、实时跟踪测量、安装快捷、操作简单等特点。本发明基于激光跟踪仪测量结果对机床进行动态监测并实时补偿，采用本方案所测量的误差为所有系统误差与随机误差所叠加之后的总误差，故本方案可以实时动态补偿所有的误差值，大大提高机床的系统精度且简化了机床的检测装置。

Description

基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法
技术领域
本发明涉及一种机床误差处理方法，特别涉及一种基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法。
背景技术
机床的精度与精度稳定性是机床的重要技术指标。根据机械运动的特点，机床的误差单纯依靠提高零件设计、制造和装配来提高机床的精度并达到高精度较难实现。因此，误差补偿则是数控机床提高精度的主要方式之一。
现有技术中，数控机床的误差补偿方法较为常见的有：实物基准测量法、激光干涉测量法、正交光栅测量法、球杆仪等，由于激光干涉仪具有较高的精度，因而激光干涉测量法在机床误差补偿中较为普遍，但激光干涉测量法检测周期较长；而上述其它方法在检测效率和检测精度以及通用性上也存在着不足，不能满足高精度、快速的检测要求；特别是对于数控机床的动态误差的补偿，存在着明显的不足。
因此，需要一种适合于对数控机床进行动态误差补偿的方法，能够适用于由于环境和机械运动产生的误差补偿，且能动态实时补偿机床误差，具有高精度、高效率、实时跟踪测量、安装快捷和操作简单等特点。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的提供一种基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法，能够适用于由于环境和机械运动产生的误差补偿，且能动态实时补偿机床误差，具有高精度、高效率、实时跟踪测量、安装快捷和操作简单等特点。
本发明的基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法，包括下列步骤；
a.机床启动并执行数控程序，通过激光跟踪仪获取机床主轴箱上的刀尖的实时三维坐标参数，并输送至计算机；
b．将步骤a获取的实时三维坐标参数与计算机内储存的机床主轴箱上的刀尖理论运行轨迹相比较，建立三维空间误差模型，由三维空间误差模型分解出机床主轴箱上的刀尖各个自由度方向上的误差分量；
c.将步骤b获得的误差分量与计算机内储存的误差极限值进行比较；误差分量与误差极限值比较后如果误差值在误差允许的范围内则机床继续执行执行数控程序，激光跟踪仪继续获取机床主轴箱上的刀尖的实时三维坐标参数并重复步骤b；否则，计算机向机床的数控系统发出误差补偿命令，由数控系统驱动伺服电机完成误差补偿。
进一步，所述激光跟踪仪的反光球设置于机床主轴箱，步骤a中，机床主轴箱上的刀尖的实时三维坐标参数由激光跟踪仪实测坐标值叠加反光球与机床主轴箱上的刀尖之间的坐标差值获得；
进一步，步骤c中，误差补偿为闭环补偿：数控系统驱动伺服电机完成误差补偿，激光跟踪仪继续测量当前反射球的位置信息，重复步骤b并继续由数控系统驱动伺服电机完成误差补偿，直至误差分量小于等于误差极限值；
进一步，所述激光跟踪仪的反光球设置于机床主轴箱上且与机床主轴箱上的刀尖同一Z轴方向的轴线上。
本发明的有益效果：本发明的基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法，采用激光跟踪仪进行动态跟踪检测，能够适用于对温度、湿度严格控制的实验室环境中使用，而且可以在条件非常恶劣的车间现场环境中使用，且激光跟踪仪集合了激光干涉测距、光电探测、精密机械、计算机及控制和现代数值计算理论，对空间运动目标进行跟踪并实时测量目标的空间三维坐标，具有高精度、高效率、实时跟踪测量、安装快捷、操作简单等特点；本发明对机床刀尖进行实时动态监测并实现补偿，反应速度快，提高效率；采用本方案所测量的误差为Z轴上刀具的误差，为所有系统误差与随机误差所叠加之后的总体误差，故本方案可以实时动态的补偿所有的误差值，大大简化了机床的检测装置。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明作进一步描述。
图1为本发明的补偿系统结构示意图；
图2为本发明原理框图。
具体实施方式
图1为本发明的补偿系统结构示意图，图2为本发明原理框图，如图所示：本实施例的基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法，包括下列步骤；
a.机床4启动并执行数控程序（G代码程序），通过激光跟踪仪1获取机床主轴箱3上的刀尖的实时三维坐标参数，并输送至计算机5；
b．将步骤a获取的实时三维坐标参数与计算机5内储存的机床主轴箱3上的刀尖理论运行轨迹相比较，建立三维空间误差模型，由三维空间误差模型分解出机床主轴箱3上的刀尖各个自由度方向上的误差分量；各个自由度是指刀尖根据机床结构，被驱动实现的运动方向，误差分量是指该自由度方向上所产生的误差值；
c.将步骤b获得的误差分量与计算机5内储存的误差极限值进行比较；误差分量与误差极限值比较后如果误差值在误差允许的范围内则机床4继续执行执行数控程序（G代码程序），激光跟踪仪继续获取机床主轴箱3上的刀尖的实时三维坐标参数并重复步骤b；否则，计算机5向机床4的数控系统6发出误差补偿命令，由数控系统6驱动伺服电机完成误差补偿；伺服电机包括用于驱动机床完成刀尖实现各个自由度的伺服电机，属于现有技术，在此不再赘述。
本实施例中，所述激光跟踪仪1的反光球2设置于机床主轴箱3，步骤a中，机床主轴箱3上的刀尖的实时三维坐标参数由激光跟踪仪实测坐标值叠加反光球2与机床主轴箱3上的刀尖之间的坐标差值获得；反光球2放置于机床主轴箱3，方便激光跟踪仪的安装，避免与机床主轴箱3的运动相干扰，保证机床4运行的同时保证结果的准确性。
本实施例中，步骤c中，误差补偿为闭环补偿：数控系统6驱动伺服电机完成误差补偿，激光跟踪仪1继续测量当前反射球2的位置信息，重复步骤b并继续由数控系统6驱动伺服电机完成误差补偿，直至误差分量小于等于误差极限值；较高效率的实现误差补偿，而该误差补偿只与激光跟踪仪1的检测结果有关，与外界环境无关。
本实施例中，所述激光跟踪仪1的反光球2设置于机床主轴箱3上且与机床主轴箱3上的刀尖同一Z轴方向的轴线上，避免其他方向自由度的误差叠加，仅需在Z轴方向上叠加距离尺寸即可，提高检测精度；Z轴是指曲轴箱的直接滑动进给方向。
最后说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (4)

1.一种基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法，其特征在于：包括下列步骤；
a.机床启动并执行数控程序，通过激光跟踪仪获取机床主轴箱上的刀尖的实时三维坐标参数，并输送至计算机；
b．将步骤a获取的实时三维坐标参数与计算机内储存的机床主轴箱上的刀尖理论运行轨迹相比较，建立三维空间误差模型，由三维空间误差模型分解出机床主轴箱上的刀尖各个自由度方向上的误差分量；
c.将步骤b获得的误差分量与计算机内储存的误差极限值进行比较；误差分量与误差极限值比较后如果误差值在误差允许的范围内则机床继续执行执行数控程序，激光跟踪仪继续获取机床主轴箱上的刀尖的实时三维坐标参数并重复步骤b；否则，计算机向机床的数控系统发出误差补偿命令，由数控系统驱动伺服电机完成误差补偿。
2.根据权利要求1所述的基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法，其特征在于：所述激光跟踪仪的反光球设置于机床主轴箱，步骤a中，机床主轴箱上的刀尖的实时三维坐标参数由激光跟踪仪实测坐标值叠加反光球与机床主轴箱上的刀尖之间的坐标差值获得。
3.根据权利要求2所述的基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法，其特征在于：步骤c中，误差补偿为闭环补偿：数控系统驱动伺服电机完成误差补偿，激光跟踪仪继续测量当前反射球的位置信息，重复步骤b并继续由数控系统驱动伺服电机完成误差补偿，直至误差分量小于等于误差极限值。
4.根据权利要求3所述的基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法，其特征在于：所述激光跟踪仪的反光球设置于机床主轴箱上且与机床主轴箱上的刀尖同一Z轴方向的轴线上。
CN201210474022.2A 2013-04-09 2013-04-09 基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法 Expired - Fee Related CN103143984B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210474022.2A CN103143984B (zh) 2013-04-09 2013-04-09 基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210474022.2A CN103143984B (zh) 2013-04-09 2013-04-09 基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103143984A true CN103143984A (zh) 2013-06-12
CN103143984B CN103143984B (zh) 2015-12-23

Family

ID=48542448

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210474022.2A Expired - Fee Related CN103143984B (zh) 2013-04-09 2013-04-09 基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103143984B (zh)

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103447884A (zh) * 2013-08-02 2013-12-18 西安交通大学 数控机床平动轴几何误差的测量装置及测量与辨识方法
CN103499293A (zh) * 2013-09-02 2014-01-08 西安交通大学 一种数控机床的激光跟踪仪虚拟多站式测量方法
CN103886191A (zh) * 2014-03-12 2014-06-25 常州宝菱重工机械有限公司 机床床身直线度补偿方法
CN105004515A (zh) * 2015-07-06 2015-10-28 哈尔滨理工大学 基于激光动态干涉仪的静压主轴运动精度在线测试方法
CN105033768A (zh) * 2015-06-04 2015-11-11 大连理工大学 一种螺旋铣孔装置的偏心量检测与控制方法
CN105269404A (zh) * 2014-11-20 2016-01-27 电子科技大学 数控机床刀尖动态特性精度检测装置及其方法
CN105798706A (zh) * 2016-02-24 2016-07-27 浙江大学 一种用于飞机壁板卧式自动钻铆机的末端精度重力补偿方法
CN106271885A (zh) * 2016-08-31 2017-01-04 哈尔滨电机厂有限责任公司 汽轮发电机机座加工找正工艺方法
CN106516153A (zh) * 2016-11-02 2017-03-22 浙江大学 结合温度因素的飞机壁板卧式自动钻铆机空间相对位姿误差补偿方法
CN106624816A (zh) * 2016-11-22 2017-05-10 浙江大学 一种飞机壁板卧式自动钻铆机的工装夹具坐标系建站方法
CN106885676A (zh) * 2016-12-31 2017-06-23 重庆大学 气动载荷产生的非解耦六自由度机构末端位姿误差补偿法
CN107102618A (zh) * 2017-07-04 2017-08-29 广东创能精密机械有限公司 可进行误差补偿的数控机床及其误差补偿的方法
CN107860309A (zh) * 2017-09-14 2018-03-30 东莞中子科学中心 提高激光跟踪仪测量精度的方法和装置
CN109764806A (zh) * 2019-01-04 2019-05-17 西安交通大学 用于激光跟踪仪的动静态校准装置及动、静态校准方法
CN111189390A (zh) * 2020-01-09 2020-05-22 陕西科技大学 一种基于激光干涉原理的机床几何误差测量装置
CN111609796A (zh) * 2020-05-19 2020-09-01 南通全昂等离子体科技有限公司 一种废气处理设备检测系统及方法
CN113835395A (zh) * 2021-09-16 2021-12-24 牧野机床（中国）有限公司 一种线切割机的补偿系统及补偿方法
WO2022016721A1 (zh) * 2020-07-21 2022-01-27 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种磁流变抛光设备的精度标定装置及方法
CN114393448A (zh) * 2022-01-21 2022-04-26 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种提高磁流变机器人抛光设备轨迹精度的方法
CN117671603A (zh) * 2024-02-01 2024-03-08 江苏濠汉信息技术有限公司 用于三维立体测距装置的输电线路多维环境监测方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1349966A1 (ru) * 1985-06-27 1987-11-07 Киевский Политехнический Институт Им.50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции Устройство компенсации погрешностей металлообработки
JP2706420B2 (ja) * 1993-12-27 1998-01-28 村田機械株式会社 Ｎｃ工作機械の工具刃先位置補正方法及びその装置
CN1221500A (zh) * 1996-06-06 1999-06-30 波音公司 提高机器精度的方法
CN1099938C (zh) * 1996-11-07 2003-01-29 大隈株式会社 数控机床中的误差补偿设备
CN101142049A (zh) * 2005-02-15 2008-03-12 电子科学工业公司 修正激光处理系统中的系统误差的方法
CN101334270A (zh) * 2008-07-25 2008-12-31 西安交通大学 激光线扫描测头几何变换标定与曲面插值修正方法及装置
CN101678523A (zh) * 2007-11-05 2010-03-24 三菱重工业株式会社 机床的工件加工方法及变动计测装置
CN102672534A (zh) * 2011-03-16 2012-09-19 发得科技工业股份有限公司 动态变形自动修正装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1349966A1 (ru) * 1985-06-27 1987-11-07 Киевский Политехнический Институт Им.50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции Устройство компенсации погрешностей металлообработки
JP2706420B2 (ja) * 1993-12-27 1998-01-28 村田機械株式会社 Ｎｃ工作機械の工具刃先位置補正方法及びその装置
CN1221500A (zh) * 1996-06-06 1999-06-30 波音公司 提高机器精度的方法
CN1099938C (zh) * 1996-11-07 2003-01-29 大隈株式会社 数控机床中的误差补偿设备
CN101142049A (zh) * 2005-02-15 2008-03-12 电子科学工业公司 修正激光处理系统中的系统误差的方法
CN101678523A (zh) * 2007-11-05 2010-03-24 三菱重工业株式会社 机床的工件加工方法及变动计测装置
CN101334270A (zh) * 2008-07-25 2008-12-31 西安交通大学 激光线扫描测头几何变换标定与曲面插值修正方法及装置
CN102672534A (zh) * 2011-03-16 2012-09-19 发得科技工业股份有限公司 动态变形自动修正装置

Cited By (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103447884A (zh) * 2013-08-02 2013-12-18 西安交通大学 数控机床平动轴几何误差的测量装置及测量与辨识方法
CN103447884B (zh) * 2013-08-02 2016-01-20 西安交通大学 数控机床平动轴几何误差的测量装置及测量与辨识方法
CN103499293A (zh) * 2013-09-02 2014-01-08 西安交通大学 一种数控机床的激光跟踪仪虚拟多站式测量方法
CN103499293B (zh) * 2013-09-02 2017-01-11 西安交通大学 一种数控机床的激光跟踪仪虚拟多站式测量方法
CN103886191A (zh) * 2014-03-12 2014-06-25 常州宝菱重工机械有限公司 机床床身直线度补偿方法
CN103886191B (zh) * 2014-03-12 2017-03-08 常州宝菱重工机械有限公司 机床床身直线度补偿方法
CN105269404A (zh) * 2014-11-20 2016-01-27 电子科技大学 数控机床刀尖动态特性精度检测装置及其方法
CN105033768B (zh) * 2015-06-04 2017-07-21 大连理工大学 一种螺旋铣孔装置的偏心量检测与控制方法
CN105033768A (zh) * 2015-06-04 2015-11-11 大连理工大学 一种螺旋铣孔装置的偏心量检测与控制方法
CN105004515A (zh) * 2015-07-06 2015-10-28 哈尔滨理工大学 基于激光动态干涉仪的静压主轴运动精度在线测试方法
CN105004515B (zh) * 2015-07-06 2018-01-23 哈尔滨理工大学 基于激光动态干涉仪的静压主轴运动精度在线测试方法
CN105798706A (zh) * 2016-02-24 2016-07-27 浙江大学 一种用于飞机壁板卧式自动钻铆机的末端精度重力补偿方法
CN105798706B (zh) * 2016-02-24 2018-06-01 浙江大学 一种用于飞机壁板卧式自动钻铆机的末端精度重力补偿方法
CN106271885A (zh) * 2016-08-31 2017-01-04 哈尔滨电机厂有限责任公司 汽轮发电机机座加工找正工艺方法
CN106516153A (zh) * 2016-11-02 2017-03-22 浙江大学 结合温度因素的飞机壁板卧式自动钻铆机空间相对位姿误差补偿方法
CN106516153B (zh) * 2016-11-02 2018-07-06 浙江大学 结合温度因素的飞机壁板卧式自动钻铆机空间相对位姿误差补偿方法
CN106624816A (zh) * 2016-11-22 2017-05-10 浙江大学 一种飞机壁板卧式自动钻铆机的工装夹具坐标系建站方法
CN106624816B (zh) * 2016-11-22 2018-07-06 浙江大学 一种飞机壁板卧式自动钻铆机的工装夹具坐标系建站方法
CN106885676B (zh) * 2016-12-31 2019-10-11 重庆大学 气动载荷产生的非解耦六自由度机构末端位姿误差补偿法
CN106885676A (zh) * 2016-12-31 2017-06-23 重庆大学 气动载荷产生的非解耦六自由度机构末端位姿误差补偿法
CN107102618A (zh) * 2017-07-04 2017-08-29 广东创能精密机械有限公司 可进行误差补偿的数控机床及其误差补偿的方法
CN107860309A (zh) * 2017-09-14 2018-03-30 东莞中子科学中心 提高激光跟踪仪测量精度的方法和装置
CN107860309B (zh) * 2017-09-14 2024-04-02 国科中子医疗科技有限公司 提高激光跟踪仪测量精度的方法和装置
CN109764806A (zh) * 2019-01-04 2019-05-17 西安交通大学 用于激光跟踪仪的动静态校准装置及动、静态校准方法
CN109764806B (zh) * 2019-01-04 2021-01-19 西安交通大学 用于激光跟踪仪的动静态校准装置及动、静态校准方法
CN111189390A (zh) * 2020-01-09 2020-05-22 陕西科技大学 一种基于激光干涉原理的机床几何误差测量装置
CN111189390B (zh) * 2020-01-09 2021-08-10 陕西科技大学 一种基于激光干涉原理的机床几何误差测量装置
CN111609796A (zh) * 2020-05-19 2020-09-01 南通全昂等离子体科技有限公司 一种废气处理设备检测系统及方法
WO2022016721A1 (zh) * 2020-07-21 2022-01-27 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种磁流变抛光设备的精度标定装置及方法
CN113835395B (zh) * 2021-09-16 2024-03-15 牧野机床（中国）有限公司 一种线切割机的补偿系统及补偿方法
CN113835395A (zh) * 2021-09-16 2021-12-24 牧野机床（中国）有限公司 一种线切割机的补偿系统及补偿方法
CN114393448A (zh) * 2022-01-21 2022-04-26 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种提高磁流变机器人抛光设备轨迹精度的方法
CN114393448B (zh) * 2022-01-21 2023-11-28 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种提高磁流变机器人抛光设备轨迹精度的方法
CN117671603A (zh) * 2024-02-01 2024-03-08 江苏濠汉信息技术有限公司 用于三维立体测距装置的输电线路多维环境监测方法
CN117671603B (zh) * 2024-02-01 2024-04-16 江苏濠汉信息技术有限公司 用于三维立体测距装置的输电线路多维环境监测方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN103143984B (zh) 2015-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103143984A (zh) 基于激光跟踪仪的机床误差动态补偿方法
CN107421442B (zh) 一种外部测量辅助的机器人定位误差在线补偿方法
Slamani et al. Assessment of the positioning performance of an industrial robot
US9658608B2 (en) Servo control apparatus
Wu et al. A systematic optimization approach for the calibration of parallel kinematics machine tools by a laser tracker
Wang et al. Real-time error compensation of a three-axis machine tool using a laser tracker
CN102416581A (zh) 飞机部件柔性装配中待装配零件的混合测量定位方法
CN105404237A (zh) 一种基于空间网格补偿方式的数控机床空间误差建模方法
CN104209808A (zh) 机床及其控制方法
CN102879032A (zh) 测角精度动态测量装置
US20190361467A1 (en) Control parameter adjustment apparatus
Schmitt et al. Indoor-GPS based robots as a key technology for versatile production
CN105404239A (zh) 一种五轴混联机床运动学标定的任意姿态测量方法
US9921568B2 (en) Trajectory measuring device, numerical control device, and trajectory measuring method
CN109062139B (zh) 一种基于数据驱动的机器人直线轴定位误差补偿方法
CN104236466A (zh) 检测机器手重复定位精度的测量系统
CN104816316A (zh) 转臂零点标定装置及具有其的机器人
KR20160100013A (ko) 레이저트레이서를 이용한 회전축의 오차측정 및 보상을 위한 시스템 및 방법
Teleshevskii et al. Laser correction of geometric errors of multi-axis programmed-controlled systems
CN110977612B (zh) Cnc数控加工在线测量误差修正方法及系统
Tang et al. A geometric errors identification method for the rotating axis of five-axis welding equipment
CN110376885A (zh) 运动控制的数据补偿方法及装置
CN103292727A (zh) 基于智能数控平台的子孔径拼接激光干涉在线测量方法及系统
Zhou et al. On-line backlash-based feed-axis wear condition monitoring technology
CN203509927U (zh) 一种超精密抛光机床坐标原点标定块

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20151223