CN103114268A - 一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟及其制作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括自上而下依次层叠的陶瓷舟和石墨发热体，所述陶瓷舟是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体，所述石墨发热体是采用高纯细晶石墨制备而成，所述陶瓷舟和石墨发热体之间设有粘胶以粘合成蒸发舟。同时，本发明还涉及一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟的制作方法。该粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟具有制作工艺简单、产品性能优良且使用寿命更长等优点，可以将被蒸发铝液与发热元件绝缘开来，大幅降低铝液飞溅，提高膜材质量，具有显著的经济和社会效益。

Description

一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟及其制作方法
技术领域
本发明涉及真空蒸发镀铝薄膜用蒸发元件及其制作方法，具体涉及一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟及其制作方法。
背景技术
真空蒸发镀铝的技术是综合成本最低的大规模制造金属铝薄膜的方法，其在多种工业和日常用品中具有大量使用，如大容量薄膜电容器、各种保鲜铝塑包装材料、阴极射线管显示器内的电子疏散膜等等。
真空蒸发镀铝过程中最关键的消耗性元器件就是使金属铝丝变成铝蒸汽的加热元件、蒸发舟或蒸发坩埚。由于金属铝活性很大，因此作为蒸发舟或蒸发坩埚的材料必须能够耐受铝液的腐蚀。目前，真空蒸发镀铝工业用的加热元件根据不同的镀膜设备有以下两种类型：（1）二硼化钛/氮化硼/氮化铝复合导电陶瓷制备的蒸发舟；（2）高纯石墨制备的坩埚。
二硼化钛/氮化硼/氮化铝复合导电陶瓷蒸发舟是目前绝大多数镀膜设备的标准配置。该导电陶瓷蒸发舟由于高温铝腐蚀，其使用寿命一般只有12~16小时，最高不会超过20小时。由于该蒸发舟的不均匀腐蚀，同时也由于被蒸发的铝液也参与导电发热，到蒸发舟寿命的中后期容易造成铝液飞溅、烧穿基材、形成针孔的问题。
发明内容
本发明针对上述现有技术存在的问题做出改进，即本发明要解决的技术问题是提供一种结构简单且使用寿命长的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟。
为了解决上述技术问题，本发明的技术方案一是：一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括自上而下依次层叠的陶瓷舟和石墨发热体，所述陶瓷舟是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体，所述石墨发热体是采用高纯细晶石墨制备而成，所述陶瓷舟和石墨发热体之间设有粘胶以粘合成蒸发舟。
进一步的，所述粘胶按重量配比为50%~80%的酚醛树脂和20%~50%的调和辅料，所述调和辅料是高纯鳞片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一种或多种的组合。
进一步的，所述热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。
进一步的，所述石墨发热体顶面设有与陶瓷舟底部相配合的凹槽。
进一步的，所述陶瓷舟底面设有与凹槽相配合的凸台。
进一步的，所述凹槽为沉槽或U形槽。
为了解决上述技术问题，本发明的技术方案二是：一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟的制作方法，包括以下步骤：（1）制备陶瓷舟：以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的陶瓷舟；（2）制备石墨发热体：以高纯细晶石墨制备成石墨发热体；（3）粘接成蒸发舟：用粘胶将陶瓷舟和石墨发热体粘合在一起并压紧固化，然后碳化制成蒸发舟。
进一步的，步骤（1）中的热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。
进一步的，步骤（2）中的石墨发热体顶面设有与陶瓷舟底部相配合的凹槽。
进一步的，步骤（3）中的粘胶按重量配比为50%~80%的酚醛树脂和20%~50%的调和辅料，所述调和辅料是高纯鳞片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一种或多种的组合。
与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：该粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟具有制作工艺简单、产品性能优良且使用寿命更长等优点，可以将被蒸发铝液与发热元件绝缘开来，大幅降低铝液飞溅，提高膜材质量，具有显著的经济和社会效益。
下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步详细的说明。
附图说明
图1为实施例一的爆炸示意图。
图2为实施例一或实施例二的结构示意图。
图3为实施例二的爆炸示意图。
图4为实施例三的爆炸示意图。
图5为实施例三的结构示意图。
图6为实施例四的爆炸示意图。
图7为实施例四的结构示意图。
图中：1-陶瓷舟，11-蒸发槽，12-凸台，2-石墨发热体，21-沉槽，22-U形槽，3-粘胶。
具体实施方式
实施例一：如图1~2所示，一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括自上而下依次层叠的陶瓷舟1和石墨发热体2，所述陶瓷舟1是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽11的舟体，所述石墨发热体2是采用高纯细晶石墨制备而成，所述陶瓷舟1底面和石墨发热体2顶面之间设有粘胶3以粘合成蒸发舟。
在实施例一中，所述粘胶3按重量配比为50%的酚醛树脂和50%的调和辅料，所述调和辅料是高纯鳞片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一种或多种的组合。所述粘胶3可以是均匀涂覆于石墨发热体2顶面以将陶瓷舟1粘合在一起，先加压加热使粘胶3固化，然后在真空或惰性气体保护的高温炉中加热以使粘胶3碳化，最终制成了粘接结合成一体的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟。
实施例二：如图2~3所示，一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括自上而下依次层叠的陶瓷舟1和石墨发热体2，所述陶瓷舟1是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽11的舟体，所述石墨发热体2是采用高纯细晶石墨制备而成，所述陶瓷舟1底面设有凸台12，所述石墨发热体2顶面设有与凸台12相配合的沉槽21。
在实施例二中，所述粘胶3按重量配比为60%的酚醛树脂和40%的调和辅料，所述调和辅料是高纯鳞片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一种或多种的组合。所述粘胶3可以是均匀涂覆于石墨发热体2的顶面及其沉槽21内的底面和周侧面以将陶瓷舟1粘合在一起，先加压加热使粘胶3固化，然后在真空或惰性气体保护的高温炉中加热以使粘胶3碳化，最终制成了粘接结合成一体的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟。
实施例三：如图4~5所示，一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括自上而下依次层叠的陶瓷舟1和石墨发热体2，所述陶瓷舟1是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽11的舟体，所述石墨发热体2是采用高纯细晶石墨制备而成，所述陶瓷舟1底面设有凸台12，所述石墨发热体2顶面设有与凸台12相配合的U形槽22。
在实施例三中，所述粘胶3按重量配比为70%的酚醛树脂和30%的调和辅料，所述调和辅料是高纯鳞片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一种或多种的组合。所述粘胶3可以是均匀涂覆于石墨发热体2的顶面及其U形槽22内的底面和两侧面以将陶瓷舟1粘合在一起，先加压加热使粘胶3固化，然后在真空或惰性气体保护的高温炉中加热以使粘胶3碳化，最终制成了粘接结合成一体的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟。
实施例四：如图6~7所示，一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括自上而下依次层叠的陶瓷舟1和石墨发热体2，所述陶瓷舟1是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽11的舟体，所述石墨发热体2是采用高纯细晶石墨制备而成，所述石墨发热体2顶面设有直接与陶瓷舟1底部相配合的U形槽22。
在实施例四中，所述粘胶3按重量配比为80%的酚醛树脂和20%的调和辅料，所述调和辅料是高纯鳞片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一种或多种的组合。所述粘胶3可以是均匀涂覆于U形槽22内的底面和两侧面以将陶瓷舟1粘合在一起，先加压加热使粘胶3固化，然后在真空或惰性气体保护的高温炉中加热以使粘胶3碳化，最终制成了粘接结合成一体的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟。
在上述四个实施例中，所述粘胶3按重量配比为50%~80%的酚醛树脂和20%~50%的调和辅料，所述调和辅料是高纯鳞片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一种或多种的组合。所述热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。特别需要说明的是，所述石墨发热体顶面还可以设有其它形式的凹槽以与陶瓷舟底部相配合，所述陶瓷舟底面也可以设有其它相应形式的凸台，均不局限于本发明所列举的实施例。
上述四种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟的制作方法，包括以下步骤：（1）制备陶瓷舟1：以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽11的陶瓷舟1；（2）制备石墨发热体2：以高纯细晶石墨制备成石墨发热体2；（3）粘接成蒸发舟：用粘胶3将陶瓷舟1和石墨发热体2粘合在一起并压紧固化，然后碳化制成蒸发舟。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡依本发明申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本发明的涵盖范围。

Claims (10)

1.一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于：包括自上而下依次层叠的陶瓷舟和石墨发热体，所述陶瓷舟是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体，所述石墨发热体是采用高纯细晶石墨制备而成，所述陶瓷舟和石墨发热体之间设有粘胶以粘合成蒸发舟。
2.根据权利要求1所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于：所述粘胶按重量配比为50%~80%的酚醛树脂和20%~50%的调和辅料，所述调和辅料是高纯鳞片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一种或多种的组合。
3.根据权利要求1所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于：所述热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。
4.根据权利要求1所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于：所述石墨发热体顶面设有与陶瓷舟底部相配合的凹槽。
5.根据权利要求4所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于：所述陶瓷舟底面设有与凹槽相配合的凸台。
6.根据权利要求4或5所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，其特征在于：所述凹槽为沉槽或U形槽。
7.一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）制备陶瓷舟：以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的陶瓷舟；（2）制备石墨发热体：以高纯细晶石墨制备成石墨发热体；（3）粘接成蒸发舟：用粘胶将陶瓷舟和石墨发热体粘合在一起并压紧固化，然后碳化制成蒸发舟。
8.根据权利要求7所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟的制作方法，其特征在于：步骤（1）中的热压氮化硼基复合陶瓷为氮化硼/氮化铝复合陶瓷。
9.根据权利要求7所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟的制作方法，其特征在于：步骤（2）中的石墨发热体顶面设有与陶瓷舟底部相配合的凹槽。
10.根据权利要求7所述的粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟的制作方法，其特征在于：步骤（3）中的粘胶按重量配比为50%~80%的酚醛树脂和20%~50%的调和辅料，所述调和辅料是高纯鳞片石墨粉、碳化硅粉、碳化硼粉、氮化硼粉、立方氮化硼粉和硅粉中的任一种或多种的组合。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105483621A (zh) * 2016-01-28 2016-04-13 福州赛瑞特新材料技术开发有限公司 一种组合式石墨电极-陶瓷蒸发舟
CN107277946A (zh) * 2017-07-19 2017-10-20 合肥铭佑高温技术有限公司 一种高温陶瓷加热板
CN110747434A (zh) * 2019-12-05 2020-02-04 山东国晶新材料有限公司 一种分体式导电陶瓷舟
CN110835272A (zh) * 2019-12-05 2020-02-25 山东国晶新材料有限公司 一种分体式导电陶瓷舟的制备方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN86100240A (zh) * 1986-01-07 1987-07-22 中国有色金属工业总公司昆明贵金属研究所 陶瓷—铂复合坩埚及其制造方法
JPH046162A (ja) * 1990-04-25 1992-01-10 Nippon Steel Corp ＡｌＮ―ＢＮ系複合焼結体およびその製造方法
CN1167508A (zh) * 1994-09-28 1997-12-10 先进陶瓷公司 高密度闪蒸器
JPH11269633A (ja) * 1998-03-20 1999-10-05 Ulvac Corp 真空蒸着用複合セラミックス型蒸発源
CN1699906A (zh) * 2005-05-26 2005-11-23 周星 一种钛及钛合金熔炼用的复合坩埚
CN102071457A (zh) * 2011-01-30 2011-05-25 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 一种盛装硅料用的组合式坩埚
CN202792948U (zh) * 2012-08-27 2013-03-13 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 具有热解氮化硼保护层的蒸发坩埚

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN86100240A (zh) * 1986-01-07 1987-07-22 中国有色金属工业总公司昆明贵金属研究所 陶瓷—铂复合坩埚及其制造方法
JPH046162A (ja) * 1990-04-25 1992-01-10 Nippon Steel Corp ＡｌＮ―ＢＮ系複合焼結体およびその製造方法
CN1167508A (zh) * 1994-09-28 1997-12-10 先进陶瓷公司 高密度闪蒸器
JPH11269633A (ja) * 1998-03-20 1999-10-05 Ulvac Corp 真空蒸着用複合セラミックス型蒸発源
CN1699906A (zh) * 2005-05-26 2005-11-23 周星 一种钛及钛合金熔炼用的复合坩埚
CN102071457A (zh) * 2011-01-30 2011-05-25 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 一种盛装硅料用的组合式坩埚
CN202792948U (zh) * 2012-08-27 2013-03-13 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司 具有热解氮化硼保护层的蒸发坩埚

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
袁宏观等: ""B4C、石墨复合改性酚醛树脂基超高温胶黏剂的导电性能"", 《中国科技论文》 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105483621A (zh) * 2016-01-28 2016-04-13 福州赛瑞特新材料技术开发有限公司 一种组合式石墨电极-陶瓷蒸发舟
CN107277946A (zh) * 2017-07-19 2017-10-20 合肥铭佑高温技术有限公司 一种高温陶瓷加热板
CN110747434A (zh) * 2019-12-05 2020-02-04 山东国晶新材料有限公司 一种分体式导电陶瓷舟
CN110835272A (zh) * 2019-12-05 2020-02-25 山东国晶新材料有限公司 一种分体式导电陶瓷舟的制备方法
CN110747434B (zh) * 2019-12-05 2021-10-08 山东国晶新材料有限公司 一种分体式导电陶瓷舟

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