CN103097876A - 多通道臭氧测量装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用以测量一定空间的臭氧浓度及其变化量的臭氧测量装置，更详细地，本发明涉及一种利用紫外线吸收法，通过单个紫外线灯能够同时执行从低浓度到高浓度的臭氧测量的多通道臭氧测量装置。

Description

多通道臭氧测量装置

技术领域

本发明涉及一种用以测量一定空间的臭氧浓度及其变化量的臭氧测量装置，更详细地，本发明涉及一种利用紫外线吸收法，通过单数个紫外线灯能够同时进行从低浓度到高浓度的臭氧测量的多通道臭氧测量装置。

背景技术

作为测量臭氧浓度的方法有化学发光法、碘化钾法、紫外线吸收法等，作为利用自动化装置的测量方法主要使用测量准确度高的紫外线吸收法。

紫外线吸收法是利用分子受到紫外线照射时引起固有谱线的吸收的现象的臭氧浓度测量方法。详细说，当分子受到紫外线的照射时，其电子的能量增加，电子从光电子接收能量，脱离原子核的约束力并迁移到能量高的轨道的同时，由电子能级引起紫外线的吸收。由此，通过检测在紫外线区域中具有紫外线吸收特性的气体的分子的固有的紫外线频谱内的吸收能，来测量该气体的浓度。通常使用的波长范围为200nm至400nm。

特别是，臭氧浓度的测量是分析并测量基于紫外线254nm光源的臭氧分子的吸收量。作为光源利用水银灯的光的波长中几乎大部分为254nm的光源，上述光源照射到玻璃管内，在该管内使测量样品气体和没有臭氧的零气体交替地通过，通过紫外线检测仪测量通过的光的强度，比较通过测量样品气体的光的强度和通过零气体的光的强度并求出臭氧的浓度。此时使用的定律为比尔-朗伯（Beer-Lambert）定律，通过以下的公式求出臭氧浓度。

I=I₀e^-acl

I：通过样品气体的光的强度

I₀：通过零气体的光的强度

a：吸收系数

l：光的通过距离

T：样品气体的绝对温度

P：大气压

如上所述利用紫外线吸收法的现有的臭氧测量装置具有的问题是：由于无法同时测量低浓度（0ppm至1ppm）的臭氧和中浓度（0ppm至10,000ppm）及高浓度（0ppm至100,000ppm）的臭氧，因此在没有浓度的变化的空间测量臭氧时不存在问题，而在浓度变化大的空间测量臭氧时，需要利用多个臭氧测量装置并选择适合于浓度的臭氧测量仪来测量臭氧的浓度。

发明内容

技术问题

本发明是为解决上述问题而提出的，本发明的目的在于提供一种多通道臭氧测量装置，该多通道臭氧测量装置具有单数个紫外线灯，并具有多个长度相互不同以对各个浓度来说是最优化的测量室，从而能够同时执行低浓度臭氧测量到高浓度臭氧测量。

此外，本发明的目的在于提供一种多通道臭氧测量装置，该多通道臭氧测量装置彼此相邻地配置多个样品气体入口，从而能够通过简单的结构准确地测量有限的特定空间的准确的臭氧浓度。

技术方案

本发明的多通道臭氧测量装置的特征在于，包括：紫外线室，该紫外线室的内部形成空间以容纳紫外线灯，侧面由透明材料形成以使紫外线透射；样品室，该样品室连接至所述紫外线室的侧面，内部形成多个样品气体流道，所述样品气体流道中形成流入并接收样品气体的流入口和排出所述样品气体的排出口；测量单元，该测量单元的一端连接到各个所述排出口，流入并接收样品气体且排出到另一端；多个测量室，该多个测量室分别连接到所述测量单元的另一端，内部形成测量流道作为从所述测量单元流入的样品气体的通道，具有设置在所述测量流道上并测量所述紫外线的强度的光电管；其中，所述多个测量单元中的每一个的长度相互不同。

其中，所述样品室的特征在于，包括：第一样品室，该第一样品室连接至所述紫外线室的一侧面；第二样品室，该第二样品室连接至所述紫外线室的另一侧面。

此外，所述第一样品室的特征在于，包括：形成在所述第一样品室的后侧面的第一流入口和形成在所述第一样品室的一侧面的第一排出口，以及形成在所述第一样品室的内部并连通所述第一流入口和第一排出口的第一样品气体流道；形成为使所述紫外线透射到所述第一样品气体流道上的第一透射流道；形成在所述第一样品室的前侧面的第二流入口和形成在所述第一样品室的一侧面的第二排出口，以及形成在所述第一样品室的内部并连通所述第二流入口和第二排出口的第二样品气体流道；形成为使所述紫外线透射到所述第二样品气体流道上的第二透射流道，所述第二样品室的特征在于，包括：形成在所述第二样品室的后侧面的第三流入口和形成在所述第二样品室的一侧面的第三排出口，以及形成在所述第二样品室的内部并连通所述第三流入口和第三排出口的第三样品气体流道；形成为使所述紫外线透射到所述第三样品气体流道上的第三透射流道；形成在所述第二样品室的前侧面的第四流入口和形成在所述第二样品室的一侧面的第四排出口，以及形成在所述第二样品室的内部并连通所述第四流入口和第四排出口的第四样品气体流道；形成为使所述紫外线透射到所述第四样品气体流道上的第四透射流道。

此时，所述测量单元的特征在于，包括：第一测量单元，该第一测量单元的一端连接到所述第一样品气体流道，长度为380mm至400mm；第二测量单元，该第二测量单元的一端连接到所述第二样品气体流道，长度为240mm至260mm；第三测量单元，该第三测量单元的一端连接到所述第三样品气体流道，长度为180mm至200mm；以及第四测量单元，该第四测量单元的一端连接到所述第四样品气体流道，长度为90mm至110mm；其中，所述测量单元的长度越短，用以测量浓度越高的臭氧。

此外，所述测量室的特征在于，包括：第一测量室，该第一测量室连接到所述第一测量单元的另一端；第二测量室，该第二测量室连接到所述第二测量单元的另一端；第三测量室，该第三测量室连接到所述第三测量单元的另一端；第四测量室，该第四测量室连接到所述第四测量单元的另一端。

同时，所述测量室的特征在于，在所述第一测量室中设置用以测量0ppm至5ppm浓度的紫外线的第一光电管，在所述第二测量室中设置用以测量0ppm至50ppm浓度的紫外线的第二光电管，在所述第三测量室中设置用以测量0ppm至100ppm浓度的紫外线的第三光电管，在所述第四测量室中设置用以测量0ppm至500ppm浓度的紫外线的第四光电管。

此时，所述样品气体流道及测量流道的特征在于，在所述样品气体流道及测量流道上形成弯曲部。

此外，所述紫外线室的特征在于，在所述紫外线室中形成有贯通前侧面或后侧面的灯孔，通过所述灯孔插入所述紫外线灯并在所述紫外线室的前后长度方向上固定。

此外，所述透射流道的特征在于，所述透射流道的一端开放使得露出于所述紫外线室的一侧面或另一侧面，另一端露出于所述样品气体流道上，并由透明材料制成的透射镜封闭。

有益效果

基于上述结构的本发明的多通道臭氧测量装置，具有显著地节省臭氧测量时间和费用的效果。此外，由于使样品气体在各个测量单元之间尽可能靠近地流入，具有在浓度变化大的空间容易地进行有效的臭氧浓度测量的效果。此外，具有能够在有限的特定空间测量准确的臭氧浓度的效果。

附图说明

图1是臭氧测量装置的示意图；

图2是本发明的多通道臭氧测量装置的透视图；

图3是本发明的多通道臭氧测量装置的横剖面图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的一实施例。

参照图1至图3，本发明的多通道臭氧测量装置包括紫外线室10、样品室20、测量单元30、测量室40。

所述紫外线室10构成闭合状，以在内部形成空间。在所述紫外线室10的前侧面形成有贯通前侧面的灯孔10a。显然，虽然所示的所述灯孔10a形成在所述紫外线室10的前侧面上，但也可以形成在后侧面上。

在所述灯孔10a中插入紫外线灯11。所述紫外线灯11可使用通常发射紫外线光的UV灯。优选地，所述紫外线灯11固定在所述紫外线室10的内部且以前后长度方向固定。这是为了在所述紫外线室10的两侧面均匀地照射紫外线。

所述紫外线室10的两侧面可以由透明材质形成，以使从所述紫外线灯11照射的紫外线透射。

所述样品室20可以设置在所述紫外线室10的两侧。即，在所述紫外线室10的一侧设有第一样品室20a，在所述紫外线室10的另一侧设有第二样品室20b。

所述第一样品室20a构成闭合状，在内部形成第一样品气体流道23a及第二样品气体流道23b。所形成的所述第一样品气体流道23a及第二样品气体流道23b用以流入并接收样品气体，使紫外线透射，将与紫外线反应的样品气体排出到后端。

在所述第一样品气体流道23a的一端形成用以流入并接收样品气体的第一流入口21a，在另一端形成用以排出样品气体的第一排出口22a。所述第一流入口21a形成在所述第一样品室20a的后侧面，所述第一排出口22a形成在所述第一样品室20a的一侧面。

在所述第二样品气体流道23b的一端形成用以流入并接收样品气体的第二流入口21b，在另一端形成用以排出样品气体的第二排出口22b。所述第二流入口21b形成在所述第一样品室20a的前侧面，所述第二排出口22b形成在所述第一样品室20a的一侧面。

通过如上所述结构，在所述第一样品气体流道23a及第二样品气体流道23b上可以形成弯曲部。通过弯曲形成所述第一样品气体流道23a及第二样品气体流道23b，使所述第一样品气体流道23a及第二样品气体流道23b有效地布置在所述第一样品室20a内部，从而具有能够容易地确保空间的效果。

此外，由于在使所述第一样品气体流道23a和第二样品气体流道23b的干涉最小化的同时，使样品气体流入的第一流入口21a和第二流入口21b尽可能靠近地形成，因此具有能够在特定地点有效地测量臭氧浓度变化的效果。

在所述第一样品室20a内，分别与所述第一样品气体流道23a及所述第二样品气体流道23b对应地形成透射流道24a及透射流道24b。即，在所述第一样品气体流道23a上形成第一透射流道24a，在所述第二样品气体流道23b上形成第二透射流道24b。

所述第一透射流道24a设置为使紫外线透射到所述第一样品气体流道23a上，所述第一透射流道24a的一端开放使得露出于所述紫外线室10的一侧面，另一端配置为露出于所述第一样品气体流道23a上。此时，所述第一透射流道24a的另一端可以由透明材料制成的第一透射镜25a封闭，使得在使紫外线透射到所述第一样品气体流道23a的同时，防止所述第一样品气体流道23a中流动的样品气体流出。

所述第二透射流道24b设置为使紫外线透射到所述第二样品气体流道23b上，所述第二透射流道24b的一端开放使得露出于所述紫外线室10的一侧面，另一端配置为露出于所述第二样品气体流道23b上。此时，所述第二透射流道24b的另一端可以由透明材料制成的第二透射镜25b封闭，使得在使紫外线透射到所述第二样品气体流道23b的同时，防止所述第二样品气体流道23b中流动的样品气体流出。

所述第二样品室20b构成闭合状，在内部形成第三样品气体流道23c及第四样品气体流道23d。所形成的所述第三样品气体流道23c及第四样品气体流道23d用以流入并接收样品气体，使紫外线透射，将与紫外线反应的样品气体排出到后端。

在所述第三样品气体流道23c的一端形成用以流入并接收样品气体的第三流入口21c，在另一端形成用以排出样品气体的第三排出口22c。所述第三流入口21c形成在所述第二样品室20b的后侧面，所述第三排出口22c形成在所述第二样品室20b的另一侧面。

在所述第四样品气体流道23d的一端形成用以流入并接收样品气体的第四流入口21d，在另一端形成用以排出样品气体的第四排出口22d。所述第四流入口21d形成在所述第二样品室20b的前侧面，所述第四排出口22d形成在所述第二样品室20b的另一侧面。

通过如上所述结构，在所述第三样品气体流道23c及第四样品气体流道23d上可以形成弯曲部。通过弯曲形成所述第三样品气体流道23c及第四样品气体流道23d，使所述第三样品气体流道23c及第四样品气体流道23d有效地布置在所述第二样品室20b内部，从而具有能够容易地确保空间的效果。

此外，由于样品气体流入的第三流入口21c和第四流入口21d尽可能靠近地形成，且与第一流入口21a和第二流入口21b也靠近地形成，因此具有能够在特定地点有效地测量臭氧浓度变化的效果。

在所述第二样品室20b内，分别与所述第三样品气体流道23c及所述第四样品气体流道23d对应地形成透射流道24c及透射流道24d。即，在所述第三样品气体流道23c上形成第三透射流道24c，在所述第四样品气体流道23d上形成第四透射流道24d。

所述第三透射流道24c设置为使紫外线透射到所述第三样品气体流道23c上，所述第三透射流道24c的一端开放使得露出于所述紫外线室10的另一侧面，另一端配置为露出于所述第三样品气体流道23c上。此时，所述第三透射流道24c的另一端可以由透明材料制成的第三透射镜25c封闭，使得在使紫外线透射到所述第三样品气体流道23c的同时，防止所述第三样品气体流道23c中流动的样品气体流出。

所述第四透射流道24d设置为使紫外线透射到所述第四样品气体流道23d上，所述第四透射流道24d的一端开放使得露出于所述紫外线室10的另一侧面，另一端配置为露出于所述第四样品气体流道23d上。此时，所述第四透射流道24d的另一端可以由透明材料制成的第四透射镜25d封闭，使得在使紫外线透射到所述第四样品气体流道23d的同时，防止所述第四样品气体流道23d中流动的样品气体流出。

所述测量单元30以管状形成。为了能够对浓度不同的臭氧进行实时测量，所述测量单元30具有如下所述的结构上的特征。

所述测量单元30包括一端连接到所述第一样品气体流道23a的第一测量单元30a，一端连接到所述第二样品气体流道23b的第二测量单元30b，一端连接到所述第三样品气体流道23c的第三测量单元30c，一端连接到所述第四样品气体流道23d的第四测量单元30d。此时，所形成的所述第一测量单元30a比第二测量单元30b长。此外，所形成的所述第二测量单元30b比第三测量单元30c长。此外，所形成的所述第三测量单元30c比第四测量单元30d长。即，第一测量单元30a的长度最长，第四测量单元30d的长度最短。即，所述测量单元30的长度越短，则可以测量浓度越高的臭氧。

这是因为，测量单元的长度越长，基于紫外线的臭氧的吸收越多地发生，由此使得臭氧的浓度变低。

所述第一测量单元30a的一端连接到所述第一排出口22a，从而起到流入并接收通过所述第一样品气体流道23a排出的样品气体并供给到后端的作用。为了测量最低浓度的臭氧，所述第一测量单元30a的长度优选为380mm至400mm。

所述第二测量单元30b的一端连接到所述第二排出口22b，从而起到流入并接收通过所述第二样品气体流道23b排出的样品气体并供给到后端的作用。为了测量出低浓度的臭氧，所述第二测量单元30b的长度优选为240mm至260mm。

所述第三测量单元30c的一端连接到所述第三排出口22c，从而起到流入并接收通过所述第三样品气体流道23c排出的样品气体并供给到后端的作用。为了测量出高浓度的臭氧，所述第三测量单元30c的长度优选为180mm至200mm。

所述第四测量单元30d的一端连接到所述第四排出口22d，从而起到流入并接收通过所述第四样品气体流道23d排出的样品气体并供给到后端的作用。为了测量出超高浓度的臭氧，所述第四测量单元30d的长度优选为90mm至110mm。稍后将在光电管部分描述所述最低浓度、低浓度、高浓度、超高浓度的基准。

在所述测量单元30的另一端可以设置用以测量所述测量单元30的内部流动的样品气体的臭氧浓度的测量室40。所述测量室40包括分别与所述第一测量单元30a、第二测量单元30b、第三测量单元30c及第四测量单元30d对应的第一测量室40a、第二测量室40b、第三测量室40c、第四测量室40d。

所述第一测量室40a可以设置在所述第一测量单元30a的另一端。所述第一测量室40a构成闭合状，可以在内部形成第一测量流道43a。所形成的所述第一测量流道43a用以流入并接收所述第一测量单元30a中紫外线透射后的样品气体，测量臭氧浓度并将样品气体排出到后端。在所述第一测量流道43a的一端形成用以流入并接收样品气体的第一测量流入口41a，在另一端形成用以排出样品气体的第一测量排出口42a。因此，所述第一测量单元30a和所述第一测量室40a可以结合，使得所述第一测量流入口41a和所述第一测量单元30a的另一端连动。所述第一测量流入口41a形成在所述第一测量室40a的另一侧面，所述第一测量排出口42a形成在所述第一测量室40a的后侧面。通过上述结构，可以在所述第一测量流道43a上形成弯曲部。这是为了使与各个测量流道的干涉最小化。

在所述第一测量室40a内可以设置第一光电管44a。所述第一光电管44a的末端配置成露出于所述第一测量流道43a上。因此，通过所述第一光电管44a能够测量所述第一测量流道43a内部流动的样品气体中含有的臭氧的浓度。所述第一光电管44a可使用用以测量约0ppm至5ppm的臭氧浓度的光电管。

所述第二测量室40b可以设置在所述第二测量单元30b的另一端。所述第二测量室40b构成闭合状，可以在内部形成第二测量流道43b。所形成的所述第二测量流道43b用以流入并接收所述第二测量单元30b中紫外线透射后的样品气体，测量臭氧浓度并将样品气体排出到后端。在所述第二测量流道43b的一端形成用以流入并接收样品气体的第二测量流入口41b，在另一端形成用以排出样品气体的第二测量排出口42b。因此，所述第二测量单元30b和所述第二测量室40b可以结合，使得所述第二测量流入口41b和所述第二测量单元30b的另一端连动。所述第二测量流入口41b形成在所述第二测量室40b的另一侧面，所述第二测量排出口42b形成在所述第二测量室40b的前侧面。通过上述结构，可以在所述第二测量流道43b上形成弯曲部。这是为了使与各个测量流道的干涉最小化。

在所述第二测量室40b内可以设置第二光电管44b。所述第二光电管44b的末端配置成露出于所述第二测量流道43b上。因此，通过所述第二光电管44b能够测量所述第二测量流道43b内部流动的样品气体中含有的臭氧的浓度。所述第二光电管44b可使用用以测量约0ppm至50ppm的臭氧浓度的光电管。

所述第三测量室40c可以设置在所述第三测量单元30c的另一端。所述第三测量室40c构成闭合状，可以在内部形成第三测量流道43c。所形成的所述第三测量流道43c用以流入并接收所述第三测量单元30c中紫外线透射后的样品气体，测量臭氧浓度并将样品气体排出到后端。在所述第三测量流道43c的一端形成用以流入并接收样品气体的第三测量流入口41c，在另一端形成用以排出样品气体的第三测量排出口42c。因此，所述第三测量单元30c和所述第三测量室40c可以结合，使得所述第三测量流入口41c和所述第三测量单元30c的另一端连动。所述第三测量流入口41c形成在所述第三测量室40c的一侧面，所述第三测量排出口42c形成在所述第三测量室40c的后侧面。通过上述结构，可以在所述第三测量流道43c上形成弯曲部。这是为了使与各个测量流道的干涉最小化。

在所述第三测量室40c内可以设置第三光电管44c。所述第三光电管44c的末端配置成露出于所述第三测量流道43c上。因此，通过所述第三光电管44c能够测量所述第三测量流道43c内部流动的样品气体中含有的臭氧的浓度。所述第三光电管44c可使用用以测量约0ppm至100ppm的臭氧浓度的光电管。

所述第四测量室40d可以设置在所述第四测量单元30d的另一端。所述第四测量室40d构成闭合状，可以在内部形成第四测量流道43d。所形成的所述第四测量流道43d用以流入并接收所述第四测量单元30d中紫外线透射后的样品气体，测量臭氧浓度并将样品气体排出到后端。在所述第四测量流道43d的一端形成用以流入并接收样品气体的第四测量流入口41d，在另一端形成用以排出样品气体的第四测量排出口42d。因此，所述第四测量单元30d和所述第四测量室40d可以结合，使得所述第四测量流入口41d和所述第四测量单元30d的另一端连动。所述第四测量流入口41d形成在所述第四测量室40d的一侧面，所述第四测量排出口42d形成在所述第四测量室40d的前侧面。通过上述结构，可以在所述第四测量流道43d上形成弯曲部。这是为了使与各个测量流道的干涉最小化。

在所述第四测量室40d内可以设置第四光电管44d。所述第四光电管44d的末端配置成露出于所述第四测量流道43d上。因此，通过所述第四光电管44d能够测量所述第四测量流道43d内部流动的样品气体中含有的臭氧的浓度。所述第四光电管44d可使用用以测量约0ppm至500ppm的臭氧浓度的光电管。

本发明的上述实施例并不应解释为限定本发明的技术思想。显然，适用范围多样，在不脱离权利要求书的范围内请求保护的本发明的主旨的情况下，在本领域技术人员的能力范围内可实施各种变形。因此，若这些改进及变更对于本领域的技术人员来说是显而易见的，则属于本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种多通道臭氧测量装置，其特征在于，包括：

紫外线室，所述紫外线室的内部形成空间以容纳紫外线灯，侧面由透明材料形成以使紫外线透射；

样品室，所述样品室连接至所述紫外线室的侧面，内部形成多个样品气体流道，所述样品气体流道中形成流入并接收样品气体的流入口和排出所述样品气体的排出口；

测量单元，所述测量单元的一端连接到各个所述排出口，流入并接收样品气体且排出到另一端；

多个测量室，所述多个测量室分别连接到所述测量单元的另一端，内部形成测量流道作为从所述测量单元流入的样品气体的通道，并且具有设置在所述测量流道上并测量所述紫外线的强度的光电管；

其中，所述多个测量单元中的每一个的长度相互不同。

2.根据权利要求1所述的多通道臭氧测量装置，其特征在于，所述样品室包括：

第一样品室，所述第一样品室连接至所述紫外线室的一侧面；

第二样品室，所述第二样品室连接至所述紫外线室的另一侧面。

3.根据权利要求2所述的多通道臭氧测量装置，其特征在于，

所述第一样品室包括：

形成在所述第一样品室的后侧面的第一流入口和形成在所述第一样品室的一侧面的第一排出口，以及形成在所述第一样品室的内部并连通所述第一流入口和第一排出口的第一样品气体流道；

形成为使所述紫外线透射到所述第一样品气体流道上的第一透射流道；

形成在所述第一样品室的前侧面的第二流入口和形成在所述第一样品室的一侧面的第二排出口，以及形成在所述第一样品室的内部并连通所述第二流入口和第二排出口的第二样品气体流道；

形成为使所述紫外线透射到所述第二样品气体流道上的第二透射流道，

所述第二样品室包括：

形成在所述第二样品室的后侧面的第三流入口和形成在所述第二样品室的一侧面的第三排出口，以及形成在所述第二样品室的内部并连通所述第三流入口和第三排出口的第三样品气体流道；

形成为使所述紫外线透射到所述第三样品气体流道上的第三透射流道；

形成在所述第二样品室的前侧面的第四流入口和形成在所述第二样品室的一侧面的第四排出口，以及形成在所述第二样品室的内部并连通所述第四流入口和第四排出口的第四样品气体流道；

形成为使所述紫外线透射到所述第四样品气体流道上的第四透射流道。

4.根据权利要求3所述的多通道臭氧测量装置，其特征在于，所述测量单元包括：

第一测量单元，所述第一测量单元的一端连接到所述第一样品气体流道，长度为380mm至400mm；

第二测量单元，所述第二测量单元的一端连接到所述第二样品气体流道，长度为240mm至260mm；

第三测量单元，所述第三测量单元的一端连接到所述第三样品气体流道，长度为180mm至200mm；以及

第四测量单元，所述第四测量单元的一端连接到所述第四样品气体流道，长度为90mm至110mm；

其中，所述测量单元的长度越短，用以测量浓度越高的臭氧。

5.根据权利要求4所述的多通道臭氧测量装置，其特征在于，所述测量室包括：

第一测量室，所述第一测量室连接到所述第一测量单元的另一端；

第二测量室，所述第二测量室连接到所述第二测量单元的另一端；

第三测量室，所述第三测量室连接到所述第三测量单元的另一端；

第四测量室，所述第四测量室连接到所述第四测量单元的另一端。

6.根据权利要求5所述的多通道臭氧测量装置，其特征在于，在所述第一测量室中设置用以测量0ppm至5ppm浓度的紫外线的第一光电管，在所述第二测量室中设置用以测量0ppm至50ppm浓度的紫外线的第二光电管，在所述第三测量室中设置用以测量0ppm至100ppm浓度的紫外线的第三光电管，在所述第四测量室中设置用以测量0ppm至500ppm浓度的紫外线的第四光电管。

7.根据权利要求1所述的多通道臭氧测量装置，其特征在于，在所述样品气体流道及测量流道上形成弯曲部。

8.根据权利要求1所述的多通道臭氧测量装置，其特征在于，所述紫外线室中形成有贯通前侧面或后侧面的灯孔，通过所述灯孔插入所述紫外线灯并在所述紫外线室的前后长度方向上固定。

9.根据权利要求1所述的多通道臭氧测量装置，其特征在于，所述透射流道的一端开放使得露出于所述紫外线室的一侧面或另一侧面，另一端露出于所述样品气体流道上，并由透明材料制成的透射镜封闭。

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