CN103083698B - 三元复合灭菌方法及灭菌装置 - Google Patents

Abstract

三元复合灭菌方法及灭菌装置，属于医疗灭菌设备领域。本发明提供了真空脉动臭氧灭菌、过氧化氢低温等离子灭菌和真空脉动蒸汽灭菌三种灭菌模式，且操作人员可以根据待灭菌物品自行选择其中一种或多种模式进行灭菌。包括灭菌仓（15）和安装在灭菌仓（15）周围连接臭氧制备及输送管路、排空管路、真空管路、加注管路、蒸汽管路以及干燥管路。本发明在工作时能够提供三种不同的灭菌模式且整个灭菌过程采用智能化控制，可以任意选择其中的一种或多种模式进行组合使用，从而使灭菌更加有针对性且适用范围更广。

Description

三元复合灭菌方法及灭菌装置

技术领域

三元复合灭菌方法及灭菌装置，属于医疗灭菌设备领域，具体涉及一种用于医疗行业的消毒灭菌设备和利用该设备的消毒灭菌方法，尤其适用于小口径、细长管腔的医疗器械灭菌。

背景技术

医用灭菌设备是现代化医院的必备设施，在医院感染控制工作中发挥着重要的作用。利用物理、化学或生物的方法实现安全、可靠、高效、快速的灭菌研究是消毒学领域的一个重要课题。当前，对能够耐受高温的器械物品通常采用热力灭菌；而对湿、热敏感的材料制成的器械则采用低温灭菌。目前最主要的灭菌模式有以下几种：

1、热力灭菌技术

（1）蒸汽灭菌仍然是最常用的灭菌方法，其主要发展是压力蒸汽灭菌的自动控制水平提高，灭菌器的多样化。但该方法所需的高温湿热容易导致热敏性成分分解和挥发，而且很容易损伤精密医疗仪器；

（2）在干热灭菌方面，卤素电热管的出现和热空气消毒箱的研制成功，不仅降低了能耗而且使得升温和降温时间缩短。但干热灭菌器灭菌适用范围较窄，有一定局限性。

2、非热灭菌技术

（1）辐射灭菌

电离辐射灭菌目前已成了一次性医疗器械灭菌的首选方法，美国、日本、欧洲（除德国外）等国家，所生产的一次性使用医疗用品中60％以上采用辐射灭菌。具有灭菌彻底、操作安全、可对包装物品和热敏材料进行灭菌、可实现连续自动化操作等优点。

微波消毒灭菌，微波可杀灭细菌繁殖体、真菌、病毒、细菌芽胞、真菌孢子等各种微生物。常用于食品、餐具的处理，化验单据、票证的消毒，医疗药品、耐热非金属材料及器械的消毒灭菌。不能用于金属物品的消毒。

但是辐射灭菌对人体有伤害，并且绝对不允许泄漏。

（2）化学灭菌

过氧化氢等离子体灭菌器利用过氧化氢和等离子体（电子、离子、自由基、紫外线）的高活性灭菌，对环境没有有害残留物，同时克服了高压蒸汽、化学或核辐照等传统消毒灭菌方法使用中的不足，具有环保、安全、低温、快速、节省使用费用和适用范围广等特点。但其不宜用于对液体或粉剂、棉织物、纱布和潮湿物品的灭菌。

环氧乙烷灭菌是目前最常用的低温灭菌方法，国内一次性医疗器械生产企业大多采用环氧乙烷灭菌，是当前占第二位的主要灭菌技术，其特点是低温、低湿、穿透力强。但是环氧乙烷灭菌存在安全和环保问题：一是环氧乙烷具有致癌与过敏作用，灭菌后物品上有残留，对操作人员及器械使用者有损害，对周围环境有影响；灭菌设备需要安装专用的通风管路，灭菌后物品需要降解16h~48h以上方可使用。

臭氧灭菌是近年兴起的热门消毒灭菌技术，目前主要应用于空气处理和水处理。臭氧灭菌具有高效、广谱、无毒、灭菌时间短、使用方便等优点。但是臭氧对橡胶制品有老化作用，是其明显的缺点。

综上所述，目前国内的灭菌装置有的只采用了以上一种灭菌模式，从而只能针对某一类器械或材料进行洗消，医疗机构需购买多台不同类型的灭菌设备。有的灭菌装置采用了以上多种灭菌模式，但是灭菌流程单一，只能按照预设定的顺序从头到尾顺序完成，但是有的待灭菌的装置又不适合其中的某一种灭菌模式，从而对灭菌工作带来了很大的不便。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种能够在工作时提供三种不同的灭菌模式且整个灭菌过程采用智能化控制，可以任意选择其中的一种或多种模式进行组合使用，从而使灭菌更加有针对性且适用范围更广的三元复合灭菌方法及灭菌装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：该三元复合灭菌装置的灭菌方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤2001，开始，打开工作电源，启动灭菌器；

步骤2002，工作状态设定，操作人员根据放入被消毒的物品类型，设定灭菌方式以及每种方式的灭菌参数；

步骤2003，判断是否选择真空脉动臭氧灭菌模式，如果选择了真空脉动臭氧灭菌模式，执行步骤2004，否则执行步骤2005；

步骤2004，执行真空脉动臭氧灭菌模式，按照真空脉动臭氧灭菌模式流程对灭菌仓内的待灭菌物品执行真空脉动臭氧灭菌操作；

步骤2005，判断是否选择过氧化氢低温等离子灭菌模式，如果选择了过氧化氢低温等离子灭菌模式，执行步骤2006，否则执行步骤2007；

步骤2006，执行过氧化氢低温等离子灭菌模式，按照过氧化氢低温等离子灭菌模式流程对灭菌仓内的待灭菌物品执行过氧化氢低温等离子灭菌操作；

步骤2007，判断是否选择真空脉动蒸汽灭菌模式，如果选择了真空脉动蒸汽灭菌模式，执行步骤2008，否则执行步骤2009；

步骤2008，执行真空脉动蒸汽灭菌模式，按照真空脉动蒸汽灭菌模式流程对灭菌仓内的待灭菌物品执行真空脉动蒸汽灭菌操作；

步骤2009，干燥流程，按照干燥流程进行对灭菌仓内完成灭菌的物品进行干燥处理；

步骤2010，结束。

所述的真空脉动臭氧灭菌模式流程，其具体步骤为：

步骤3001，开始，执行真空脉动臭氧灭菌模式进行灭菌；

步骤3002，温度保持阶段，通过灭菌仓外部包裹的电加热装置对灭菌仓的仓体进行加热至25-35℃并保温；

步骤3003，真空阶段，打开真空电磁阀，通过真空泵的作用将灭菌仓内的气压抽真空至绝压500-1000Pa后，关闭真空电磁阀和真空泵；在抽取真空的同时，打开氧气输送电磁阀、第一防腐电磁阀和第二防腐电磁阀，臭氧发生器工作产生臭氧至臭氧贮存罐；同时打开纯水电磁阀，精密计量泵工作把纯水加注至预存罐，当达到设定量时，关闭纯水电磁阀，精密计量泵停止工作；

步骤3004，注入纯水，打开加注电磁阀，利用灭菌仓内真空状态把预存罐里的纯水吸入灭菌仓并扩散成雾状，然后关闭加注电磁阀；

步骤3005，注入臭氧，关闭第二防腐电磁阀，打开第三防腐电磁阀，使臭氧扩散至灭菌仓内，并继续加压使灭菌仓内的压力达到表压50-100kPa，然后关闭氧气输送电磁阀、第一防腐电磁阀和第三防腐电磁阀；

步骤3006，压力保持阶段，保持灭菌仓内压力至设定时间值；

步骤3007，泄压，打开排空电磁阀泄压至常压；

步骤3008，判断是否达到脉动次数，如果已经达到，执行步骤3009，如果没有达到，返回步骤3003；

步骤3009，结束，完成真空脉动臭氧灭菌。

所述的过氧化氢低温等离子灭菌模式流程，其具体步骤为：

步骤4001，开始，执行过氧化氢低温等离子灭菌模式进行灭菌；

步骤4002，温度保持阶段，通过灭菌仓外部包裹的电加热装置对灭菌仓的仓体进行加热至45-55℃并保温；

步骤4003，第一次抽真空，打开真空电磁阀，通过真空泵的作用将灭菌仓内的气压抽真空至绝压50-100Pa后，关闭真空电磁阀和真空泵；在抽取真空的同时打开过氧化氢电磁阀，通过精密计量泵将过氧化氢加注至预存罐，当达到设定量时，关闭过氧化氢电磁阀，精密计量泵停止工作；

步骤4004，第一次注入过氧化氢，打开加注电磁阀，利用灭菌仓内真空状态把预存罐里的过氧化氢吸入灭菌仓并扩散成雾状，然后关闭加注电磁阀；

步骤4005，第二次抽真空，打开真空电磁阀，通过真空泵的作用将灭菌仓内的气压抽真空至绝压35~45Pa后，关闭真空电磁阀和真空泵；在抽取真空的同时打开过氧化氢电磁阀，精密计量泵工作把过氧化氢加注至预存罐，当达到设定量时，关闭过氧化氢电磁阀，精密计量泵停止工作；

步骤4006，第二次注入过氧化氢，利用灭菌仓内真空状态把预存罐里的过氧化氢吸入灭菌仓并扩散成雾状，然后关闭加注电磁阀；

步骤4007，第三次抽真空，打开真空电磁阀，通过真空泵的作用将灭菌仓内的气压抽至绝压100-200Pa，并保持；

步骤4008，打开高频电压，通过高频高压电源对网状高压电极和灭菌仓的内壳加载高压高频电压，仓内弥散的过氧化氢在强电场的激励下，被激发成等离子态，均匀地作用于被灭菌的物品上；

步骤4009，结束，设定时间结束之后，关闭高频高压电源，完成过氧化氢低温等离子灭菌。

所述的真空脉动蒸汽灭菌模式流程，其具体步骤为：

步骤5001，开始，执行真空脉动蒸汽灭菌模式进行灭菌；

步骤5002，保温预热阶段，通过灭菌仓外部包裹的电加热装置对灭菌仓的仓体进行加热至121-123℃并保温；同时蒸汽发生器预先加热，并使蒸汽压力达到表压200KPa；

步骤5003，脉动真空阶段，打开真空电磁阀，通过真空泵的作用将灭菌仓内的气压抽真空至绝压5-10kPa后，关闭真空电磁阀和真空泵；

步骤5004，脉动注入蒸汽、升温阶段，打开蒸汽电磁阀，将蒸汽注入灭菌仓，并继续升温至121-123℃，关闭蒸汽电磁阀；

步骤5005，判断是否达到脉动次数，如果已经达到，执行步骤5006，如果没有达到，返回步骤5003；

步骤5006，真空阶段，打开真空电磁阀，通过真空泵的作用将灭菌仓内的气压抽真空至绝压5~8kPa后，关闭真空电磁阀和真空泵；

步骤5007，注入蒸汽并升温，打开蒸汽电磁阀，将蒸汽注入灭菌仓，并继续升温至132-134℃，关闭蒸汽电磁阀；

步骤5008，温度保持阶段，保持灭菌仓内温度至设定时间；

步骤5009，结束，打开排空电磁阀，泄放灭菌仓压力至常压，关闭排空电磁阀，完成真空脉动蒸汽灭菌。

所述的干燥流程，其具体步骤为：

步骤6001，开始，开始执行干燥处理；

步骤6002，抽真空，打开真空电磁阀，通过真空泵的作用将灭菌仓内的气压抽真空至绝压8-10KPa后，关闭真空电磁阀和真空泵；

步骤6003，注入干燥空气，打开干燥电磁阀，干燥空气经过空气过滤器过滤后，进入灭菌仓，等到压力达到常压后，关闭干燥电磁阀；

步骤6004，判断是否达到循环次数，如果已经达到预设的循环次数，执行步骤6005，如果没有达到预定的循环次数，返回步骤6002；

步骤6005，结束，完成对灭菌仓的干燥处理。

三元复合灭菌装置，包括灭菌仓，安装在灭菌仓上方分别用于检测灭菌仓内压力、温度、湿度的压力传感器、温度传感器、湿度传感器，设置于灭菌仓顶部和底部各一块的电加热装置，以及安装在灭菌仓内的网状高压电极，其特征在于：灭菌仓周围连接有用于制备及传输臭氧的臭氧制备及输送管路；用于排空灭菌仓内气体的排空管路；用于抽真空的真空管路；用于向灭菌仓内加注纯水或者过氧化氢的加注管路；用于向灭菌仓内提供蒸汽的蒸汽管路以及用于对灭菌仓内进行干燥处理的干燥管路。

所述的臭氧制备及输送管路包括：氧气输送电磁阀、臭氧发生器、臭氧电源、第一臭氧浓度传感器、第一防腐电磁阀、第三防腐电磁阀、臭氧贮存罐和第二防腐电磁阀，输送氧气的管路通过氧气输送电磁阀连接至臭氧发生器的入口，臭氧发生器的出口通过管路与第一臭氧浓度传感器的入口相连，第一臭氧浓度传感器的出口通过管路连接第一防腐电磁阀之后与臭氧贮存罐的入口相连，臭氧贮存罐设置有两个出口，第一个出口连接第三防腐电磁阀之后连接到灭菌仓顶部左侧的一个开口，第二个出口连接第二防腐电磁阀之后连接到第一臭氧分解器。

所述的真空管路包括真空泵、第二臭氧分解器和真空电磁阀，设置于灭菌仓左侧下方的一个出口通过管路连接真空电磁阀之后连接到第二臭氧分解器的入口，第二臭氧分解器的出口通过管路与真空泵相连。

所述的加注管路包括加注电磁阀、预存罐、精密计量泵、纯水贮存罐、纯水电磁阀、过氧化氢贮存罐和过氧化氢电磁阀，纯水贮存罐和过氧化氢贮存罐分别通过管路连接到纯水电磁阀和过氧化氢电磁阀的一端，纯水电磁阀和过氧化氢电磁阀的另一端汇入一条管路之后连接到精密计量泵的入口，精密计量泵的出口通过管路连接到预存罐的入口，预存罐的出口通过管路连接加注电磁阀之后连接到位于灭菌仓顶部右侧的一个开口。

所述的蒸汽管路包括蒸汽发生器和蒸汽电磁阀，位于蒸汽发生器顶部的出口通过管路连接蒸汽电磁阀之后连接到位于灭菌仓底部左侧的一个开口；

所述的干燥管路包括干燥电磁阀和空气过滤器，空气过滤器的出口通过管路连接干燥电磁阀之后连接到位于灭菌仓右侧中间位置的一个开口；

所述的排空管路包括排空电磁阀和第二臭氧浓度传感器，第二臭氧浓度传感器的入口通过管路连接到位于灭菌仓左侧上方的一个出口，第二臭氧浓度传感器的出口通过管路连接排空电磁阀后连接到第一臭氧分解器。

与现有技术相比，本发明的所具有的有益效果是：

1、本发明在工作时能够提供三种不同的灭菌模式且整个灭菌过程采用智能化控制，可以任意选择其中的一种或多种模式进行组合使用，从而使灭菌更加有针对性且适用范围更广；

2、操作人员可以根据待灭菌物品的不同进行灭菌模式的选择，使灭菌过程更加安全可靠；

3、灭菌速度快、灭活率高、无残害、无消毒死角；

4、使用方便、自动化程度高。

附图说明

图1为本三元复合灭菌装置的结构示意图。

图2为本三元复合灭菌装置的灭菌方法流程示意图。

图3为本三元复合灭菌方法真空脉动臭氧灭菌模式流程示意图。

图4为本三元复合灭菌方法过氧化氢低温等离子灭菌模式流程示意图。

图5为本三元复合灭菌方法真空脉动蒸汽灭菌模式流程示意图。

图6为本本三元复合灭菌方法干燥模式流程示意图。

其中：1、氧气输送电磁阀  2、臭氧发生器  3、臭氧电源  4、第一臭氧浓度传感器  5、第一防腐电磁阀  6、第三防腐电磁阀  7、臭氧贮存罐  8、第二防腐电磁阀  9、第一臭氧分解器  10、排空电磁阀  11、第二臭氧浓度传感器  12、压力传感器  13、温度传感器  14、湿度传感器  15、灭菌仓  16、加注电磁阀  17、干燥电磁阀  18、空气过滤器  19、预存罐  20、精密计量泵  21、真空泵  22、第二臭氧分解器  23、真空电磁阀  24、蒸汽发生器  25、蒸汽电磁阀  26、网状高压电极  27、高频高压电源  28、电加热装置  29、纯水贮存罐  30、纯水电磁阀  31、过氧化氢贮存罐  32、 过氧化氢电磁阀。

具体实施方式

图1~6是本发明的最佳实施例，下面结合附图1~6对本发明做进一步说明。

如图1所示为本发明的结构示意图，本发明主要包括灭菌仓15以及与灭菌仓15相连的多条管路：臭氧制备及输送管路、排空管路、真空管路、加注管路、蒸汽管路以及干燥管路。

臭氧制备及输送管路由以下几个部分组成：氧气输送电磁阀1、臭氧发生器2、臭氧电源3、第一臭氧浓度传感器4、第一防腐电磁阀5、第三防腐电磁阀6、臭氧贮存罐7以及第二防腐电磁阀8。输送氧气的管路通过氧气输送电磁阀1连接至臭氧发生器2的入口，臭氧发生器2的出口通过管路与第一臭氧浓度传感器4的入口相连，第一臭氧浓度传感器4的出口通过管路连接第一防腐电磁阀5之后与臭氧贮存罐7的入口相连，臭氧贮存罐7设置有两个出口，第一个出口连接第三防腐电磁阀6之后连接到灭菌仓15顶部左侧的一个开口；第二个出口连接第二防腐电磁阀8之后连接到第一臭氧分解器9。

臭氧制备及输送管路用于制备臭氧并负责在本发明的真空脉动臭氧灭菌的模式下将臭氧输送至灭菌仓15。氧气经过氧气输送电磁阀1进入臭氧发生器2，臭氧在臭氧发生器2制备完成之后依次经过第一臭氧浓度传感器4、第一防腐电磁阀5进入臭氧贮存罐7，多余的当需要进行臭氧灭菌时，打开第三防腐电磁阀6之后，臭氧进入灭菌仓15。多余的臭氧经由第二防腐电磁阀8进入第一臭氧分解器9进行分解。

在臭氧流经第一臭氧浓度传感器4的过程中，第一臭氧浓度传感器4实时监测臭氧浓度，当臭氧浓度超过设定浓度时，第一臭氧浓度传感器4控制通过电源线与臭氧发生器2相连的臭氧电源3，使臭氧电源3停止对臭氧发生器2的供电，从而停止臭氧的制备；当臭氧浓度低于设定浓度时，第一臭氧浓度传感器4再次对控制臭氧电源3，使臭氧电源3重新对臭氧发生器2进行供电，恢复臭氧的制备。

排空管路包括排空电磁阀10和第二臭氧浓度传感器11。第二臭氧浓度传感器11的入口通过管路连接到位于灭菌仓15左侧上方的一个出口，第二臭氧浓度传感器11的出口通过管路连接排空电磁阀10之后同时与第一臭氧分解器9相连接。

在采用真空脉动臭氧灭菌或者真空脉动蒸汽灭菌模式下完成灭菌之后，通过排空管路将灭菌仓15内的气体排出。如果排出的气体含有臭氧成份，第二臭氧浓度传感器11可以检测排出的臭氧浓度，且排出的多余臭氧在第一臭氧分解器9内进行分解。

真空管路由以下几个部分组成：真空泵21、第二臭氧分解器22和真空电磁阀23。设置于灭菌仓15左侧下方的一个出口通过管路连接真空电磁阀23之后连接到第二臭氧分解器22的入口，第二臭氧分解器22的出口通过管路与真空泵21相连。

当灭菌仓15内需要抽真空时，通过真空管路进行抽真空的操作。此时灭菌仓15内的空气在真空泵21的作用下依次经过第二臭氧分解器22和真空电磁阀23由真空泵21排出，如果此时灭菌仓15内的空气含有臭氧成分，则多余的臭氧通过第二臭氧分解器22进行分解。

加注管路由以下几个部分组成：加注电磁阀16、预存罐19、精密计量泵20、纯水贮存罐29、纯水电磁阀30、过氧化氢贮存罐31和过氧化氢电磁阀32。纯水贮存罐29和过氧化氢贮存罐31分别通过管路连接到纯水电磁阀30和过氧化氢电磁阀32的一端，纯水电磁阀30和过氧化氢电磁阀32的另一端汇入一条管路之后连接到精密计量泵20的入口。精密计量泵20的出口通过管路连接到预存罐19的入口，预存罐19的出口通过管路连接了加注电磁阀16之后连接至位于灭菌仓15顶部右侧的一个开口。

加注管路用于向灭菌仓15内注入纯水或者过氧化氢液体。贮存在纯水贮存罐29中的纯水或者贮存在过氧化氢贮存罐31中的过氧化氢液体在精密计量泵20的作用下，分别经过纯水电磁阀30或过氧化氢电磁阀32之后被注入预存罐19中，在预存罐19内进行预热之后经过加注电磁阀16进入灭菌仓15。

蒸汽管路包括蒸汽发生器24和蒸汽电磁阀25。位于蒸汽发生器24顶部的出口通过管路连接蒸汽电磁阀25之后连接到位于灭菌仓15底部左侧的一个开口。当灭菌仓15内需要蒸汽时，蒸汽管路用于向灭菌仓15内输送蒸汽。

干燥管路包括干燥电磁阀17和空气过滤器18。空气过滤器18的出口通过管路连接干燥电磁阀17之后连接到位于灭菌仓15右侧中间位置的一个开口。当灭菌仓15内需要进行干燥时，干燥管路用于向灭菌仓15内输送干燥且纯净的空气。

除了以上所述的与灭菌仓15相连的臭氧制备及输送管路、排空管路、真空管路、加注管路、蒸汽管路和干燥管路之外，灭菌仓15顶部还并排设置有压力传感器12、温度传感器13和湿度传感器14，分别用于检测灭菌仓15内部的压力、温度和湿度。灭菌仓15内部设置有一个网状高压电极26，网状高压电极26通过导线与放置在灭菌仓15外部的高频高压电源27的一端相连，高频高压电源27的另一端与灭菌仓15的内壳相连。在进行过氧化氢低温等离子灭菌模式时，通过高频高压电源27向网状高压电极26 和灭菌仓15的内壳加电，将网状高压电极26 和灭菌仓15的内壳各作为一个放电的电极，将过氧化氢激发成离子态，进行灭菌操作。

同时灭菌仓15上下表面各安装有一块电加热装置28，用于对灭菌仓15内进行加热。在本发明中，电加热装置28可以采用电加热板、电加热带、电加热管等多种方式。

本发明的三元复合灭菌装置同时具备真空脉动臭氧灭菌、过氧化氢低温等离子灭菌和真空脉动蒸汽灭菌三种工作模式，在进行操作时可以根据需要选择其中的一种或多种工作模式进行灭菌操作。如图2所示为本发明的三元复合灭菌装置的灭菌方法流程图，其具体过程如下所示：

步骤2001，开始，打开工作电源，启动灭菌器；

步骤2002，工作状态设定，操作人员根据放入被消毒的物品类型，设定灭菌方式以及每种方式的灭菌参数；

步骤2003，判断是否选择真空脉动臭氧灭菌模式，如果选择了真空脉动臭氧灭菌模式，执行步骤2004，否则执行步骤2005；

步骤2004，执行真空脉动臭氧灭菌模式，按照真空脉动臭氧灭菌模式流程对灭菌仓15内的待灭菌物品执行真空脉动臭氧灭菌操作；

步骤2005，判断是否选择过氧化氢低温等离子灭菌模式，如果选择了过氧化氢低温等离子灭菌模式，执行步骤2006，否则执行步骤2007；

步骤2006，执行过氧化氢低温等离子灭菌模式，按照过氧化氢低温等离子灭菌模式流程对灭菌仓15内的待灭菌物品执行过氧化氢低温等离子灭菌操作；

步骤2007，判断是否选择真空脉动蒸汽灭菌模式，如果选择了真空脉动蒸汽灭菌模式，执行步骤2008，否则执行步骤2009；

步骤2008，执行真空脉动蒸汽灭菌模式，按照真空脉动蒸汽灭菌模式流程对灭菌仓15内的待灭菌物品执行真空脉动蒸汽灭菌操作；

步骤2009，干燥流程，按照干燥流程进行对灭菌仓15内完成灭菌的物品进行干燥处理；

步骤2010，结束。

如图3所示为真空脉动臭氧灭菌模式流程图，其具体过程如下所示：

步骤3001，开始，执行真空脉动臭氧灭菌模式进行灭菌；

步骤3002，温度保持阶段，通过灭菌仓15外部包裹的电加热装置28对灭菌仓15的仓体进行加热至25-35℃并保温；

步骤3003，真空阶段，打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压500-1000Pa后，关闭真空电磁阀23和真空泵21；在抽取真空的同时，打开氧气输送电磁阀1、第一防腐电磁阀5和第二防腐电磁阀8，臭氧发生器2工作产生臭氧至臭氧贮存罐7；同时打开纯水电磁阀30，精密计量泵20工作把纯水加注至预存罐19，当达到设定量时，关闭纯水电磁阀30，精密计量泵20停止工作；

步骤3004，注入纯水，打开加注电磁阀16，利用灭菌仓15内真空状态把预存罐19里的纯水吸入灭菌仓15并扩散成雾状，然后关闭加注电磁阀16；

步骤3005，注入臭氧，关闭第二防腐电磁阀8，打开第三防腐电磁阀6，使臭氧扩散至灭菌仓15内，并继续加压使灭菌仓15内的压力达到表压50-100kPa，然后关闭氧气输送电磁阀1、第一防腐电磁阀5和第三防腐电磁阀6；

步骤3006，压力保持阶段，保持灭菌仓15内压力至设定时间值；

步骤3007，泄压，打开排空电磁阀10泄压至常压；

步骤3008，判断是否达到脉动次数，如果已经达到，执行步骤3009，如果没有达到，返回步骤3003；

步骤3009，结束，完成真空脉动臭氧灭菌。

在开始臭氧制备的时候，刚开始产生的臭氧内会混入一定量的氧气或者空气，所以在刚开始进行臭氧制备的时候没有在第一时间将第三防腐电磁阀6打开，而是臭氧经由第二防腐电磁阀8进入第一臭氧分解器9，在不断地制备过程中，在臭氧贮存罐7内的浓度会持续上升，当浓度达到要求时，再将第三防腐电磁阀6打开，使得进入灭菌仓15内的臭氧纯度更高且没有其他气体混入。

在向灭菌仓15内注入纯水之前，灭菌仓15的压力已经低于绝压1KPa，纯水在该压力下沸点变得非常低，由于纯水在进入灭菌仓15之前已经在预存罐19内进行了加热操作，所以纯水进入灭菌仓15内之后，由于灭菌仓15内压力很低，已经达到纯水在该压力下的沸点，所以纯水进入灭菌仓15之后，会迅速的汽化。

在图3所示的流程中执行完步骤3003~步骤3008为一次脉动次数，具体需要循环的次数可以根据灭菌仓15内的物品以及行业规则自行设定。

臭氧灭菌为溶菌级方法，杀菌彻底，无残留，杀菌广谱，可杀灭细菌繁殖体和芽孢、病毒、真菌等，并可破坏肉毒杆菌毒素。臭氧灭菌的灭菌原理包括以下几点：1、臭氧通过氧化分解细菌内部葡萄糖所需的酶，使细菌灭活死亡。2、直接与细菌、病毒作用，破坏它们的细胞器和DNA、RNA，使细菌的新陈代谢受到破坏，导致细菌死亡。3、透过细胞膜组织，侵入细胞内，作用于膜内的脂蛋白和内部的脂多糖，改变细胞的通透性，导致细胞溶解死亡。具有高效、安全、可靠、使用方便的优点。

如图4所示为过氧化氢低温等离子灭菌模式流程图，其具体过程如下所示：

步骤4001，开始，执行过氧化氢低温等离子灭菌模式进行灭菌；

步骤4002，温度保持阶段，通过灭菌仓15外部包裹的电加热装置28对灭菌仓15的仓体进行加热至45-55℃并保温；

步骤4003，第一次抽真空，打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压50-100Pa后，关闭真空电磁阀23和真空泵21；在抽取真空的同时打开过氧化氢电磁阀32，通过精密计量泵20将过氧化氢加注至预存罐19，当达到设定量时，关闭过氧化氢电磁阀32，精密计量泵20停止工作；

步骤4004，第一次注入过氧化氢，打开加注电磁阀16，利用灭菌仓15内真空状态把预存罐19里的过氧化氢吸入灭菌仓15并扩散成雾状，然后关闭加注电磁阀16；

步骤4005，第二次抽真空，打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压35~45Pa后，关闭真空电磁阀23和真空泵21；在抽取真空的同时打开过氧化氢电磁阀32，精密计量泵20工作把过氧化氢加注至预存罐19，当达到设定量时，关闭过氧化氢电磁阀32，精密计量泵20停止工作；

步骤4006，第二次注入过氧化氢，利用灭菌仓15内真空状态把预存罐19里的过氧化氢吸入灭菌仓15并扩散成雾状，然后关闭加注电磁阀16；

步骤4007，第三次抽真空，打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽至绝压100-200Pa，并保持；

步骤4008，打开高频电压，通过高频高压电源27对网状高压电极26和灭菌仓15的内壳加载高压高频电压，仓内弥散的过氧化氢在强电场的激励下，被激发成等离子态，均匀地作用于被灭菌的物品上；

步骤4009，结束，设定时间结束之后，关闭高频高压电源27，完成过氧化氢低温等离子灭菌。

在本过氧化氢低温等离子灭菌中，过氧化氢在灭菌仓 15内能够汽化并扩散成雾状的原理与真空脉动臭氧灭菌过程中纯水汽化的原理相同。

在进行过氧化氢低温等离子灭菌时，在高频高压电场的作用下，使过氧化氢在灭菌仓15内形成均匀的等离子场，等离子体在形成过程中产生的大量紫外线，可直接破坏微生物的基因物质，紫外线固有的光解作用打破了微生物分子的化学键，最后生成挥发性的化合物。通过等离子体的蚀刻作用，等离子中活性物质与微生物体内的蛋氢质和核酸发生化学反应，能够摧毁微生物和扰乱微生物的生存功能。

如图5所示为真空脉动蒸汽灭菌模式流程图，其具体过程如下所示：

步骤5001，开始，执行真空脉动蒸汽灭菌模式进行灭菌；

步骤5002，保温预热阶段，通过灭菌仓15外部包裹的电加热装置28对灭菌仓15的仓体进行加热至121-123℃并保温；同时蒸汽发生器24预先加热，并使蒸汽压力达到表压200KPa；

步骤5003，脉动真空阶段，打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压5-10kPa后，关闭真空电磁阀23和真空泵21；

步骤5004，脉动注入蒸汽、升温阶段，打开蒸汽电磁阀25，将蒸汽注入灭菌仓15，并继续升温至121-123℃，关闭蒸汽电磁阀25；

步骤5005，判断是否达到脉动次数，如果已经达到，执行步骤5006，如果没有达到，返回步骤5003；

步骤5006，真空阶段，打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压5~8kPa后，关闭真空电磁阀23和真空泵21；

步骤5007，注入蒸汽并升温，打开蒸汽电磁阀25，将蒸汽注入灭菌仓15，并继续升温至132-134℃，关闭蒸汽电磁阀25；

步骤5008，温度保持阶段，保持灭菌仓内温度至设定时间；

步骤5009，结束，打开排空电磁阀10，泄放灭菌仓15压力至常压，关闭排空电磁阀10，完成真空脉动蒸汽灭菌。

图5所示的流程中，执行完步骤5003~步骤5005为一次脉动次数，具体需要循环的次数可以根据灭菌仓15内的物品以及行业规则自行设定。步骤5003~步骤5005为一个脉动循环，该循环中的步骤5003的脉动真空阶段与步骤5006的真空阶段的操作方法相同，具体的操作参数不同；步骤5004的脉动注入蒸汽、升温阶段与步骤5007的注入蒸汽并升温的操作方法也相同，具体的操作参数不同。为区分步骤5003与步骤5004是脉动循环内的步骤，故将步骤5003和步骤5004的的名称分别标记为“脉动真空阶段”与“脉动注入蒸汽并升温”。

真空脉动蒸汽灭菌的原理是通过真空泵21使灭菌仓15内形成真空状态，然后注入高温蒸汽，使其迅速穿透到物品内部，如此进行多次之后，在高温和高压力的作用下使微生物蛋白质变性而灭活达到灭菌要求。

在灭菌过程完毕之后，需要对灭菌仓15内进行干燥处理，如图6所示为干燥模式流程图，其具体步骤为：

步骤6001，开始，开始执行干燥处理；

步骤6002，抽真空，打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压8-10KPa后，关闭真空电磁阀23和真空泵21；

步骤6003，注入干燥空气，打开干燥电磁阀17，干燥空气经过空气过滤器18过滤后，进入灭菌仓15，等到压力达到常压后，关闭干燥电磁阀17；

步骤6004，判断是否达到循环次数，如果已经达到预设的循环次数，执行步骤6005，如果没有达到预定的循环次数，返回步骤6002；

步骤6005，结束，完成对灭菌仓15的干燥处理。

当灭菌过程完毕之后，灭菌仓15内可能会处于湿度较大的状态，通过不断地注入干燥空气以及抽取真空，会将灭菌仓15内的潮湿空气逐步的带出灭菌仓15，从而完成干燥处理。

具体工作过程如下：在使用本发明的三元复合灭菌装置之前，操作人员首先根据待灭菌的仪器确定需要进行选择的灭菌模式，并对选定的具体模式进行相应的灭菌参数的设置。

系统首先判断是否选择了真空脉动臭氧灭菌模式，如果选择了真空脉动臭氧灭菌模式，系统首先通过灭菌仓15外部包裹的电加热装置28对灭菌仓15的仓体加热，加热至25-35℃并进行保温；然后打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压500-1000Pa后，关闭真空电磁阀23和真空泵21；同时打开氧气输送电磁阀1、第一防腐电磁阀5和第二防腐电磁阀8，臭氧发生器2工作产生臭氧至臭氧贮存罐7；同时打开纯水电磁阀30，精密计量泵20工作把纯水加注至预存罐19，当达到设定量时，关闭纯水电磁阀30，精密计量泵20停止工作；然后打开加注电磁阀16，利用灭菌仓15内真空状态把预存罐19里的纯水吸入灭菌仓15并扩散成雾状，然后关闭加注电磁阀16；然后关闭第二防腐电磁阀8，打开第三防腐电磁阀6，使臭氧扩散至灭菌仓15内，并继续加压使灭菌仓15内的压力达到表压50-100kPa，然后关闭氧气输送电磁阀1、第一防腐电磁阀5和第三防腐电磁阀6；保持灭菌仓15内压力至设定时间值之后打开排空电磁阀10泄压至常压，一个脉动循环结束，然后系统判断是否达到设定的脉动次数，如果没有达到，进行下一个脉动，直到完成设定的数量的脉动次数，真空脉动臭氧灭菌完成。

如果系统判断出没有选择真空脉动臭氧灭菌，系统判定是否选择了过氧化氢低温等离子灭菌模式，如果选择了过氧化氢低温等离子灭菌模式，通过灭菌仓15外部包裹的电加热装置28对灭菌仓15的仓体加热，加热至45-55℃并进行保温；然后打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压50-100Pa后，关闭真空电磁阀23和真空泵21；同时打开过氧化氢电磁阀32，通过精密计量泵20将过氧化氢加注至预存罐19，当达到设定量时，关闭过氧化氢电磁阀32，精密计量泵20停止工作；然后打开加注电磁阀16，利用灭菌仓15内真空状态把预存罐19里的过氧化氢吸入灭菌仓15并扩散成雾状，然后关闭加注电磁阀16；然后打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压35~45Pa后，关闭真空电磁阀23和真空泵21；同时打开过氧化氢电磁阀32，精密计量泵20工作把过氧化氢加注至预存罐19，当达到设定量时，关闭过氧化氢电磁阀32，精密计量泵20停止工作；第二次打开加注电磁阀16，利用灭菌仓15内真空状态把预存罐19里的过氧化氢吸入灭菌仓15并扩散成雾状，然后关闭加注电磁阀16；然后系统再次打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压100-200Pa，并保持；此时，打开高频高压电源27在网状高压电极26和灭菌仓15的内壳之间加载高压高频电压，仓内弥散的过氧化氢在强电场的激励下，被激发成等离子态，均匀地作用于被灭菌的物品上；设定时间结束之后，关闭高频高压电源27，完成过氧化氢低温等离子灭菌。

如果系统判断出没有选择过氧化氢低温等离子灭菌模式，此时系统判断是否选择真空脉动蒸汽灭菌模式，如果选择了真空脉动蒸汽灭菌模式，通过灭菌仓15外部包裹的电加热装置28对灭菌仓15的仓体加热，加热至121-123℃并进行保温；同时蒸汽发生器24预先加热并使蒸汽压力达到表压200KPa；然后打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压5-10kPa后，关闭真空电磁阀23和真空泵21；此时打开蒸汽电磁阀25，将蒸汽注入灭菌仓15，并继续升温至121-123℃，然后关闭蒸汽电磁阀25，完成一个脉动循环，此时系统判断是否达到预先设定的脉动次数，如果没有达到，继续进行下一个脉动循环。然后打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压5~8kPa后，关闭真空电磁阀23和真空泵21；然后打开蒸汽电磁阀25，将蒸汽注入灭菌仓15，并继续升温至132-134℃，关闭蒸汽电磁阀25，并保持灭菌仓15内温度至设定时间，到达设定温度之后，系统打开排空电磁阀10，泄放灭菌仓15压力至常压，关闭排空电磁阀10，完成真空脉动蒸汽灭菌。

在进行完灭菌处理之后，系统按照干燥流程。首先打开真空电磁阀23，通过真空泵21的作用将灭菌仓15内的气压抽真空至绝压8-10KPa后，关闭真空电磁阀23和真空泵21，然后注入干燥空气，打开干燥电磁阀17，干燥空气经过空气过滤器18过滤后，进入灭菌仓15，等到压力达到常压后，关闭干燥电磁阀17。此时系统判断是否达到循环次数，如果没有达到预定的循环次数，继续进行下一个干燥流程，如果达到了预定的循环次数，干燥处理完毕，此时整个灭菌过程完毕。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非是对本发明作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本发明技术方案的保护范围。

Claims (10)

1.三元复合灭菌装置的灭菌方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤2001，开始，打开工作电源，启动灭菌器；

步骤2002，工作状态设定，操作人员根据放入被消毒的物品类型，设定灭菌方式以及每种方式的灭菌参数；

步骤2003，判断是否选择真空脉动臭氧灭菌模式，如果选择了真空脉动臭氧灭菌模式，执行步骤2004，否则执行步骤2005；

步骤2004，执行真空脉动臭氧灭菌模式，按照真空脉动臭氧灭菌模式流程对灭菌仓（15）内的待灭菌物品执行真空脉动臭氧灭菌操作；

步骤2005，判断是否选择过氧化氢低温等离子灭菌模式，如果选择了过氧化氢低温等离子灭菌模式，执行步骤2006，否则执行步骤2007；

步骤2006，执行过氧化氢低温等离子灭菌模式，按照过氧化氢低温等离子灭菌模式流程对灭菌仓（15）内的待灭菌物品执行过氧化氢低温等离子灭菌操作；

步骤2007，判断是否选择真空脉动蒸汽灭菌模式，如果选择了真空脉动蒸汽灭菌模式，执行步骤2008，否则执行步骤2009；

步骤2008，执行真空脉动蒸汽灭菌模式，按照真空脉动蒸汽灭菌模式流程对灭菌仓（15）内的待灭菌物品执行真空脉动蒸汽灭菌操作；

步骤2009，干燥流程，按照干燥流程进行对灭菌仓（15）内完成灭菌的物品进行干燥处理；

步骤2010，结束。

2.根据权利要求1所述的三元复合灭菌装置的灭菌方法，其特征在于：所述的真空脉动臭氧灭菌模式流程，其具体步骤为：

步骤3001，开始，执行真空脉动臭氧灭菌模式进行灭菌；

步骤3002，温度保持阶段，通过灭菌仓（15）外部包裹的电加热装置（28）对灭菌仓（15）的仓体进行加热至25-35℃并保温；

步骤3003，真空阶段，打开真空电磁阀（23），通过真空泵（21）的作用将灭菌仓（15）内的气压抽真空至绝压500-1000Pa后，关闭真空电磁阀（23）和真空泵（21）；在抽取真空的同时，打开氧气输送电磁阀（1）、第一防腐电磁阀（5）和第二防腐电磁阀（8），臭氧发生器（2）工作产生臭氧至臭氧贮存罐（7）；同时打开纯水电磁阀（30），精密计量泵（20）工作把纯水加注至预存罐（19），当达到设定量时，关闭纯水电磁阀（30），精密计量泵（20）停止工作；

步骤3004，注入纯水，打开加注电磁阀（16），利用灭菌仓（15）内真空状态把预存罐（19）里的纯水吸入灭菌仓（15）并扩散成雾状，然后关闭加注电磁阀（16）；

步骤3005，注入臭氧，关闭第二防腐电磁阀（8），打开第三防腐电磁阀（6），使臭氧扩散至灭菌仓（15）内，并继续加压使灭菌仓（15）内的压力达到表压50-100kPa，然后关闭氧气输送电磁阀（1）、第一防腐电磁阀（5）和第三防腐电磁阀（6）；

步骤3006，压力保持阶段，保持灭菌仓（15）内压力至设定时间值；

步骤3007，泄压，打开排空电磁阀（10）泄压至常压；

步骤3008，判断是否达到脉动次数，如果已经达到，执行步骤3009，如果没有达到，返回步骤3003；

步骤3009，结束，完成真空脉动臭氧灭菌。

3.根据权利要求1所述的三元复合灭菌装置的灭菌方法，其特征在于：所述的过氧化氢低温等离子灭菌模式流程，其具体步骤为：

步骤4001，开始，执行过氧化氢低温等离子灭菌模式进行灭菌；

步骤4002，温度保持阶段，通过灭菌仓（15）外部包裹的电加热装置（28）对灭菌仓（15）的仓体进行加热至45-55℃并保温；

步骤4003，第一次抽真空，打开真空电磁阀（23），通过真空泵（21）的作用将灭菌仓（15）内的气压抽真空至绝压50-100Pa后，关闭真空电磁阀（23）和真空泵（21）；在抽取真空的同时打开过氧化氢电磁阀（32），通过精密计量泵（20）将过氧化氢加注至预存罐（19），当达到设定量时，关闭过氧化氢电磁阀（32），精密计量泵（20）停止工作；

步骤4004，第一次注入过氧化氢，打开加注电磁阀（16），利用灭菌仓（15）内真空状态把预存罐（19）里的过氧化氢吸入灭菌仓（15）并扩散成雾状，然后关闭加注电磁阀（16）；

步骤4005，第二次抽真空，打开真空电磁阀（23），通过真空泵（21）的作用将灭菌仓（15）内的气压抽真空至绝压35~45Pa后，关闭真空电磁阀（23）和真空泵（21）；在抽取真空的同时打开过氧化氢电磁阀（32），精密计量泵（20）工作把过氧化氢加注至预存罐（19），当达到设定量时，关闭过氧化氢电磁阀（32），精密计量泵（20）停止工作；

步骤4006，第二次注入过氧化氢，利用灭菌仓（15）内真空状态把预存罐（19）里的过氧化氢吸入灭菌仓（15）并扩散成雾状，然后关闭加注电磁阀（16）；

步骤4007，第三次抽真空，打开真空电磁阀（23），通过真空泵（21）的作用将灭菌仓（15）内的气压抽至绝压100-200Pa，并保持；

步骤4008，打开高频电压，通过高频高压电源（27）对网状高压电极（26）和灭菌仓（15）的内壳加载高压高频电压，仓内弥散的过氧化氢在强电场的激励下，被激发成等离子态，均匀地作用于被灭菌的物品上；

步骤4009，结束，设定时间结束之后，关闭高频高压电源（27），完成过氧化氢低温等离子灭菌。

4.根据权利要求1所述的三元复合灭菌装置的灭菌方法，其特征在于：所述的真空脉动蒸汽灭菌模式流程，其具体步骤为：

步骤5001，开始，执行真空脉动蒸汽灭菌模式进行灭菌；

步骤5002，保温预热阶段，通过灭菌仓（15）外部包裹的电加热装置（28）对灭菌仓（15）的仓体进行加热至121-123℃并保温；同时蒸汽发生器（24）预先加热，并使蒸汽压力达到表压200KPa；

步骤5003，脉动真空阶段，打开真空电磁阀（23），通过真空泵（21）的作用将灭菌仓（15）内的气压抽真空至绝压5-10kPa后，关闭真空电磁阀（23）和真空泵（21）；

步骤5004，脉动注入蒸汽、升温阶段，打开蒸汽电磁阀（25），将蒸汽注入灭菌仓（15），并继续升温至121-123℃，关闭蒸汽电磁阀（25）；

步骤5005，判断是否达到脉动次数，如果已经达到，执行步骤5006，如果没有达到，返回步骤5003；

步骤5006，真空阶段，打开真空电磁阀（23），通过真空泵（21）的作用将灭菌仓（15）内的气压抽真空至绝压5~8kPa后，关闭真空电磁阀（23）和真空泵（21）；

步骤5007，注入蒸汽并升温，打开蒸汽电磁阀（25），将蒸汽注入灭菌仓（15），并继续升温至132-134℃，关闭蒸汽电磁阀（25）；

步骤5008，温度保持阶段，保持灭菌仓内温度至设定时间；

步骤5009，结束，打开排空电磁阀（10），泄放灭菌仓（15）压力至常压，关闭排空电磁阀（10），完成真空脉动蒸汽灭菌。

5.根据权利要求1所述的三元复合灭菌装置的灭菌方法，其特征在于：所述的干燥流程，其具体步骤为：

步骤6001，开始，开始执行干燥处理；

步骤6002，抽真空，打开真空电磁阀（23），通过真空泵（21）的作用将灭菌仓（15）内的气压抽真空至绝压8-10KPa后，关闭真空电磁阀（23）和真空泵（21）；

步骤6003，注入干燥空气，打开干燥电磁阀（17），干燥空气经过空气过滤器（18）过滤后，进入灭菌仓（15），等到压力达到常压后，关闭干燥电磁阀（17）；

步骤6004，判断是否达到循环次数，如果已经达到预设的循环次数，执行步骤6005，如果没有达到预定的循环次数，返回步骤6002；

步骤6005，结束，完成对灭菌仓（15）的干燥处理。

6.一种使用权利要求1-5任一所述的灭菌方法的三元复合灭菌装置，包括灭菌仓（15），安装在灭菌仓（15）上方分别用于检测灭菌仓（15）内压力、温度、湿度的压力传感器（12）、温度传感器（13）、湿度传感器（14），设置于灭菌仓（15）顶部和底部各一块的电加热装置（28），以及安装在灭菌仓（15）内的网状高压电极（26），其特征在于：灭菌仓（15）周围连接有用于制备及传输臭氧的臭氧制备及输送管路；用于排空灭菌仓（15）内气体的排空管路；用于抽真空的真空管路；用于向灭菌仓（15）内加注纯水或者过氧化氢的加注管路；用于向灭菌仓（15）内提供蒸汽的蒸汽管路以及用于对灭菌仓（15）内进行干燥处理的干燥管路。

7.根据权利要求6所述的三元复合灭菌装置，其特征在于：所述的臭氧制备及输送管路包括：氧气输送电磁阀（1）、臭氧发生器（2）、臭氧电源（3）、第一臭氧浓度传感器（4）、第一防腐电磁阀（5）、第三防腐电磁阀（6）、臭氧贮存罐（7）和第二防腐电磁阀（8），输送氧气的管路通过氧气输送电磁阀（1）连接至臭氧发生器（2）的入口，臭氧发生器（2）的出口通过管路与第一臭氧浓度传感器（4）的入口相连，第一臭氧浓度传感器（4）的出口通过管路连接第一防腐电磁阀（5）之后与臭氧贮存罐（7）的入口相连，臭氧贮存罐（7）设置有两个出口，第一个出口连接第三防腐电磁阀（6）之后连接到灭菌仓（15）顶部左侧的一个开口，第二个出口连接第二防腐电磁阀（8）之后连接到第一臭氧分解器（9）。

8.根据权利要求6所述的三元复合灭菌装置，其特征在于：所述的真空管路包括真空泵（21）、第二臭氧分解器（22）和真空电磁阀（23），设置于灭菌仓（15）左侧下方的一个出口通过管路连接真空电磁阀（23）之后连接到第二臭氧分解器（22）的入口，第二臭氧分解器（22）的出口通过管路与真空泵（21）相连。

9.根据权利要求6所述的三元复合灭菌装置，其特征在于：所述的加注管路包括加注电磁阀（16）、预存罐（19）、精密计量泵（20）、纯水贮存罐（29）、纯水电磁阀（30）、过氧化氢贮存罐（31）和过氧化氢电磁阀（32），纯水贮存罐（29）和过氧化氢贮存罐（31）分别通过管路连接到纯水电磁阀（30）和过氧化氢电磁阀（32）的一端，纯水电磁阀（30）和过氧化氢电磁阀（32）的另一端汇入一条管路之后连接到精密计量泵（20）的入口，精密计量泵（20）的出口通过管路连接到预存罐（19）的入口，预存罐（19）的出口通过管路连接加注电磁阀（16）之后连接到位于灭菌仓（15）顶部右侧的一个开口。

10.根据权利要求6所述的三元复合灭菌装置，其特征在于：所述的蒸汽管路包括蒸汽发生器（24）和蒸汽电磁阀（25），位于蒸汽发生器（24）顶部的出口通过管路连接蒸汽电磁阀（25）之后连接到位于灭菌仓（15）底部左侧的一个开口；

所述的干燥管路包括干燥电磁阀（17）和空气过滤器（18），空气过滤器（18）的出口通过管路连接干燥电磁阀（17）之后连接到位于灭菌仓（15）右侧中间位置的一个开口；

所述的排空管路包括排空电磁阀（10）和第二臭氧浓度传感器（11），第二臭氧浓度传感器（11）的入口通过管路连接到位于灭菌仓（15）左侧上方的一个出口，第二臭氧浓度传感器（11）的出口通过管路连接排空电磁阀（10）后连接到第一臭氧分解器（9）。