CN103073371B - 自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料、其制备方法和用其制备的靶带 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料，包括以下重量份的成分：供能材料50～90份，改善粘结性材料5～40份，添加剂5～15份。本发明还提供了一种制备所述自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料的方法，以及由该烧蚀材料所制备的靶带。本发明所得的烧蚀层材料具有粘性并且包含含能工质，基底与烧蚀材料的粘结性可满足使用要求，激光能量利用率也可满足使用要求。本发明所得的靶带不必使用其他粘结材料，避免了粘结层对透射激光的吸收，减小了激光能量的耗散，可有效提高激光能量利用率，烧蚀产物的分解也更加彻底，减小了产物飞散的扩散角。本发明所述材料可省去刷胶过程，简化了生产流程，更易于控制烧蚀层的厚度，便于规模化生产。

Description

自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料、其制备方法和用其制备的靶带

技术领域

本发明属于激光推进技术领域，具体涉及一种自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料、其制备方法和用其制备的靶带。

背景技术

2000年Photonics Associates的C.R.Phipps提出了激光微推进的概念，并于2002年搭建成功了第一台测试用预样机，为激光推进的发展开辟了新的方向。激光微推进是利用飞行器搭载的激光器产生的脉冲激光烧蚀其自身携带的靶材产生高温高压气团产生推力，以达到微小卫星的姿态调整或轨道保持的目的。与其他微推进技术相比，激光微推进技术具有质量轻、比冲高、冲量比特小、冲量调节范围大、效率高、使用寿命长、无喷嘴结构等优点，在空间微推进领域具有不可替代的作用。由于透射式激光微推进器具有可避免光学镜头污染和搭建容易的优点，现今的激光微推力器多采用透射式，激光微推进用靶材料由基底和烧蚀层组成。

由于小卫星在重量和能量方面的限制，必须使用较小功率的激光器(≥1W)，激光器发射的波长在920-980nm之间，脉冲时间为100μs-200ms，长脉冲时间限定了烧蚀材料必须为低导热率的高分子材料。根据工质是否含能，可将烧蚀工质分为惰性工质和含能工质。根据能量守恒，惰性工质的烧蚀效率不会超过100％，但若激光能量能够诱导含能工质的分解反应，在激光能量和化学能的共同作用下激光能量的利用效率可突破100％。为了最大限度的降低微推力器携带的工质质量，含能工质是较理想的烧蚀材料，但单基药、双基药等含能工质由于本身缺乏粘性，成膜后必须使用聚酰亚胺、酚醛树脂等作为胶黏剂将其药膜粘结在基底上，胶黏剂作为中间层增加了整个靶带的厚度，增加了不必要的重量，影响透光率，降低了激光能量利用率，并且增加了制造 工序，耗时长、效率低。目前，为保证推力器的使用寿命，烧蚀靶材料必须具有一定的长度(几十厘米至几百米)、宽度(几厘米)、厚度(几微米到几百微米)和挠度(可缠绕在滚轮上)，并且烧蚀层和基底要粘结牢固。针对目前含能烧蚀层在粘结性方面的不足，设计自粘型的含能烧蚀材料势在必行。

发明内容

本发明的目的在于，针对目前透射式激光微推力器靶带加工的不足，设计一种能满足激光微推进能量需求，烧蚀层与基底能很好粘结，能大规模制造的自粘性烧蚀材料。

为了实现本发明的目的，本发明的技术方案如下：

一种自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料，包括以下重量份的成分：

供能材料        50～90份，

改善粘结性材料  5～40份，

添加剂          5～15份。

其中，所述供能材料为烧蚀用高分子材料是激光推进的供能物质，在激光与供能材料相互作用过程中，激光能量被供能材料吸收，因为所用的供能材料本身含能量，供能材料在激光能量的激发下分解放热，产生高温高压气团，产生推力，提高推进效率。优选的，所述供能材料为硝化棉、硝化甘油、1，2，4-丁三醇三硝酸酯(BTTN)、单基药、双基药或聚乙烯醇硝酸酯中的一种或几种。

所述改善粘结性材料是指为改善供能材料与基底的粘结性而采用的具有粘性的物质。所述改善粘结性材料与供能材料必须具有很好的相容性，对供能材料可以进行包覆或共存。同时，所述改善粘结性材料可以通过交联反应或分子间力、氢键等与基底进行很好的粘结。优选的，所述改善粘结性材料为酚醛树脂、聚酰亚胺、端羟基聚丁二烯(HTPB)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)或聚叠氮缩水甘油醚(GAP)中的一种或几种。

所述各种添加剂包括光吸收剂、催化剂、固化剂、流平剂、消泡剂或稳定剂等中的一种或几种或全部。

其中，所述光吸收剂主要有纳米级碳粉、微米级碳粉和液体红外吸收剂等， 液体红外吸收剂主要为Exciton IRA980等，光吸收剂的加入可以改善高分子供能材料对激光的吸收性，提高烧蚀效率，纳米碳等小粒子物质还可以填补链段之间的空隙提高物理吸附作用。固化剂主要用于部分粘结剂的交联反应，使液体组分交联固化。催化剂主要是为加快固化速度而添加的物质，主要有二月桂酸二丁基锡(DBTDL)、辛酸亚锡、甲基二乙酸胺等。常用的固化剂有六亚甲基二异氰酸酯(HDI)、异佛尔酮二异氰酸酯(IPDI)、4，4’-二苯基甲烷二异氰酸酯等。流平剂是能改善湿膜流动性的物质，流平剂的主要作用是降低混合组分间的表面张力，增加流动性，使表面达到光滑、平整，从而获得无针孔、缩孔、刷痕和橘皮等表面缺陷的致密烧蚀层。流平剂主要是醋酸丁酸纤维素(CAB)，例如EASTMAN公司的CAB381-0.1，CAB551-0.01，CAB381-20等。由于某些物质的引入以及搅拌等机械物理因素，溶液往往会产生泡沫，能防止产生泡沫的物质称为消泡剂，或者称为抗泡剂和防泡剂。消泡剂主要有BYK-141，Pernol E1等。稳定剂主要是为满足外太空的强辐射、高温、真空等特殊环境要求的而添加的物质，如紫外光吸收剂、抗氧剂等，例如2-羟基-4甲氧基二苯甲酮(UV-9)、TINUVIN328等紫外光吸收剂和TINUVIN292等抗氧剂。

进一步地，本发明还提供了所述自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料的制备方法，其包括如下步骤：

(1)按比例准备供能材料、改善粘结性材料和添加剂，并分别用溶剂溶解，得供能材料溶液、改善粘结性材料溶液和添加剂溶液；

(2)按比例将步骤(1)所得供能材料溶液与改善粘结性材料溶液混合，并搅拌均匀；

(3)对于化学干燥的材料，向步骤(2)所得混合溶液中滴加固化剂溶液，通过化学反应使混合溶液达到所需粘度；对于物理干燥的材料，通过控制溶剂与溶质的配比达到所需粘度；

(4)向步骤(3)所得混合溶液中加入除固化剂以外的添加剂溶液，得自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液，调节烧蚀溶液的总粘度为15～20s(涂-4杯测试)。

优选的，步骤(1)中所述溶剂为丙酮、乙酸乙酯、二甲苯、乙醇或乙酸 丁酯中的一种或几种。

优选的，步骤(1)中所述的溶液中供能材料质量分数为1％～70％，改善粘结性物质溶质的质量分数为1％～40％，添加剂的溶质质量分数为0.5％～15％。

优选的，步骤(2)中所述供能材料溶液与改善粘结性材料溶液中的供能材料和改善粘结性材料的重量比为50～90∶5～40。

优选的，步骤(3)中所述化学反应是指供能材料和改善粘结性材料的端羟基、端氨基与固化剂中的异氰酸基反应，生成异氰酸酯基，使供能材料自身、改善粘结性材料自身或供能材料与粘结性材料之间发生交联固化；所述溶剂优选为，二甲苯、甲苯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙醚等的一种或几种的混合溶液，溶液中溶质的质量分数为20％-60％。

优选的，步骤(3)中所述固化剂的用量与步骤(4)所述除固化剂以外的添加剂的用量和与供能材料和改善粘结性材料的重量比为5～15∶50～90∶5～40。其中所述除固化剂以外的添加剂是指包括光吸收剂、催化剂、流平剂、消泡剂或稳定剂等中的一种或几种或全部。

进一步地，本发明提供了一种激光微推进透射式靶带，其包括上述自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料。

更进一步地，本发明还提供了所述激光微推进透射式靶带的制备方法，其包括如下步骤：

(1)使用刮涂或喷涂的方法将自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液加工至基底，得靶带材料；

(2)将步骤(1)所得靶带材料在50～200摄氏度的条件下干燥2～10个小时，重复加工2～8次，使固化后的干膜厚度达到10～200微米；

(3)将步骤(2)所得靶带干膜在自然条件下干燥1～72小时；

(4)将步骤(3)所得靶带干膜在真空烘箱中，30帕及以下压力，20～100摄氏度条件下彻底烘干，得到激光微推进透射式靶带。

优选的，所述基底为聚酰亚胺膜、PET膜、醋酸纤维素膜、BOPP膜等。

本发明的有益效果如下：

本发明所得的烧蚀层材料具有粘性并且包含含能工质，基底与烧蚀材料的粘结性可满足使用要求，含能工质的化学能可被激发释放，提高激光能量利用 率，满足微推力器的使用要求。

本发明所述的自粘型烧蚀材料与基底粘结不必使用其他粘结材料，避免了粘结层对透射激光的吸收，减小了激光能量的耗散，可有效提高激光能量利用率，烧蚀产物的分解也更加彻底，减小了产物飞散的扩散角。在长靶带的制备过程中，使用本发明所述材料可省去刷胶过程，简化了生产流程，更易于控制烧蚀层的厚度，便于规模化生产。

附图说明

图1是本发明所述的激光微推进用靶材料示意图。

具体实施方式

下面结合附图及其具体实施方式详细介绍本发明。但本发明的保护方位并不局限于以下实例，应包含权利要求书中的全部内容。

下述实施例中所使用的实验方法如无特殊说明，均为常规方法，所使用的材料、试剂、还原性气体，如无特殊说明，均可从商业途径得到。

实施例1制备自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液及其靶带

按照以下比例制备烧蚀材料：

供能材料        60份，

改善粘结性材料  35份，

添加剂          5份。

(1)按上述比例准备供能材料、改善粘结性材料和添加剂，并分别用溶剂溶解，得供能材料溶液、改善粘结性材料溶液和添加剂溶液；

其中，供能材料：8克单基药溶于120毫升乙酸乙酯，静置24小时后用搅拌器搅拌均匀。

改善粘结性材料：4.6克HTPB溶解于10毫升乙酸乙酯。

添加剂：0.7克纳米碳溶于5ml乙酸乙酯、0.2毫升六亚甲基二异氰酸酯(HDI)溶于2ml乙酸乙酯和0.01ml二月桂酸二丁基锡(DBTDL)。

(2)将步骤(1)所得供能材料溶液与改善粘结性材料溶液混合，并搅拌 均匀；

(3)向步骤(2)所得混合溶液中滴加0.01ml二月桂酸二丁基锡，搅拌15分钟后，滴加六亚甲基二异氰酸酯(HDI)溶液，通过化学反应使混合溶液达到粘度为17s(涂-4杯测试)。，搅拌均匀得自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液。

靶带的制备： 

(1)使用刮涂方法将上述自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液加工至聚酰亚胺基底，底部加热温度为60摄氏度，上部空气加热温度为25摄氏度，用100微米刮刀循环涂覆4次，得以聚酰亚胺为基底的靶带材料；

(2)将步骤(1)所得靶带干膜在自然条件下干燥15小时；

(3)将步骤(2)所得靶带干膜在真空烘箱中，30帕及以下压力，80摄氏度条件下彻底烘干，得到激光微推进透射式靶带。

制得测试用1米长烧蚀靶带，靶带厚度为40微米，经百格刀测试基底与自粘性烧蚀层粘结性达到GB9286-98所述的5B级，可满足使用要求。

表1实施例1使用的配比

实施例2制备自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液及其靶带

按照以下比例制备烧蚀材料：

供能材料        60份，

改善粘结性材料  35份，

添加剂          5份。

(1)按上述比例准备供能材料、改善粘结性材料和添加剂，并分别用溶剂溶解，得供能材料溶液、改善粘结性材料溶液和添加剂溶液；

其中，供能材料：8克单基药溶于120毫升乙酸乙酯，静置24小时后用搅拌器搅拌均匀。

改善粘结性材料：2.3克HTPB和2.3克GAP混合均匀后，溶于10ml乙酸乙酯。

添加剂：0.7克纳米碳溶于5ml乙酸乙酯、0.2毫升六亚甲基二异氰酸酯 (HDI)溶于2ml乙酸乙酯和0.01ml二月桂酸二丁基锡(DBTDL)。

(2)将步骤(1)所得供能材料溶液与改善粘结性材料溶液混合，并搅拌均匀；

(3)向步骤(2)所得混合溶液中滴加一滴(0.01ml)二月桂酸二丁基锡，搅拌20分钟后，滴加六亚甲基二异氰酸酯(HDI)溶液，通过化学反应使混合溶液达到粘度为15s(涂-4杯测试)，搅拌均匀得自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液。

靶带的制备： 

(1)使用刮涂方法将上述自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液加工至PET基底，底部加热温度为70摄氏度，上部空气加热温度为25摄氏度，用100微米刮刀循环涂覆5次，得以聚酰亚胺为基底的靶带材料；

(2)将步骤(1)所得靶带干膜在自然条件下干燥20小时；

(3)将步骤(2)所得靶带干膜在真空烘箱中，30帕及以下压力，80摄氏度条件下彻底烘干，得到激光微推进透射式靶带。

制得测试用靶带，所得靶带厚度为90微米，经百格刀测试基底与自粘性烧蚀层粘结性达到GB9286-98所述的4B级，可满足使用要求。

表2实施例2使用的配比

实施例3制备粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液及其靶带

按照以下比例制备烧蚀材料：

供能材料        90份，

改善粘结性材料  5份，

添加剂          5份。

(1)按上述比例准备供能材料、改善粘结性材料和添加剂，并分别用溶剂溶解，得供能材料溶液、改善粘结性材料溶液和添加剂溶液；

其中，供能材料：8克单基药溶于120毫升乙酸乙酯，静置24小时后用搅拌器搅拌均匀。

改善粘结性材料：0.5克HTPB溶于5ml乙酸乙酯。

添加剂：0.4克纳米碳溶于2ml乙酸乙酯、0.3毫升六亚甲基二异氰酸酯(HDI)溶于3ml乙酸乙酯和0.01ml二月桂酸二丁基锡(DBTDL)。

(2)将步骤(1)所得供能材料溶液与改善粘结性材料溶液混合，并搅拌均匀；

(3)向步骤(2)所得混合溶液中滴加0.01ml二月桂酸二丁基锡，搅拌20分钟后，滴加六亚甲基二异氰酸酯(HDI)溶液，通过化学反应或加入溶剂使混合溶液达到粘度为15s(涂-4杯测试)，搅拌均匀得自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液。

靶带的制备： 

(1)使用刮涂方法将上述自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液加工至PET基底，底部加热温度为90摄氏度，上部空气加热温度为25摄氏度，喷枪循环涂覆3次，得以聚酰亚胺为基底的靶带材料；

(2)将步骤(1)所得靶带干膜在自然条件下干燥20小时；

(3)将步骤(2)所得靶带干膜在真空烘箱中，30帕压力，70摄氏度条件下彻底烘干，得到激光微推进透射式靶带。

制得测试用靶带，所得靶带厚度为75微米，经百格刀测试基底与自粘性烧蚀层粘结性达到GB9286-98所述的5B级，可满足使用要求。

表3实施例3使用的配比

上述实施例中，实施例1和实施例3使用的单一组分粘结剂，实施例2使用了混合粘结剂。实施例1使用的是聚酰亚胺基底，实施例2和实施例3使用的是PET基底。由于使用的溶液配比不同，加工工艺的差别，基底的差异，烧蚀材料与基底的粘结性经百格刀测试后存在差异，但都达到了4B/5B级，可满足使用要求。

实施例4制备粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液及其靶带

按照以下比例制备烧蚀材料：

供能材料        90份，

改善粘结性材料  40份，

添加剂          15份。

(1)按上述比例准备供能材料、改善粘结性材料和添加剂，并分别用溶剂溶解，得供能材料溶液、改善粘结性材料溶液和添加剂溶液；

其中，供能材料：9克单基药溶于120毫升乙酸乙酯，静置24小时后用搅拌器搅拌均匀。

改善粘结性材料：4克HTPB溶于10ml乙酸乙酯。

添加剂：1克纳米碳溶于5ml乙酸乙酯、0.5毫升六亚甲基二异氰酸酯(HDI)溶于5ml乙酸乙酯和0.01ml二月桂酸二丁基锡(DBTDL)。

(2)将步骤(1)所得供能材料溶液与改善粘结性材料溶液混合，并搅拌均匀；

(3)向步骤(2)所得混合溶液中滴加0.01ml二月桂酸二丁基锡，搅拌20分钟后，滴加六亚甲基二异氰酸酯(HDI)溶液，通过化学反应或加入溶剂使混合溶液达到粘度为18s(涂-4杯测试)，搅拌均匀得自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液。

靶带的制备： 

(1)使用刮涂方法将上述自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液加工至PET基底，底部加热温度为70摄氏度，上部空气加热温度为25摄氏度，刮刀循环刮涂5次，得以聚酰亚胺为基底的靶带材料；

(2)将步骤(1)所得靶带干膜在自然条件下干燥10小时；

(3)将步骤(2)所得靶带干膜在真空烘箱中，30帕压力，70摄氏度条件下烘干4小时，得到激光微推进透射式靶带。

制得测试用靶带，所得靶带厚度为100微米，经百格刀测试基底与自粘性烧蚀层粘结性达到GB9286-98所述的5B级，可满足使用要求。

实施例5制备粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液及其靶带

按照以下比例制备烧蚀材料：

供能材料        50份，

改善粘结性材料  5份，

添加剂          5份。

(1)按上述比例准备供能材料、改善粘结性材料和添加剂，并分别用溶剂溶解，得供能材料溶液、改善粘结性材料溶液和添加剂溶液；

其中，供能材料：5克单基药溶于70毫升乙酸乙酯，静置24小时后用搅拌器搅拌均匀。

改善粘结性材料：0.5克HTPB溶于10ml乙酸乙酯。

添加剂：0.3克纳米碳溶于5ml乙酸乙酯、0.2毫升六亚甲基二异氰酸酯(HDI)溶于5ml乙酸乙酯和0.01ml二月桂酸二丁基锡(DBTDL)。

(2)将步骤(1)所得供能材料溶液与改善粘结性材料溶液混合，并搅拌均匀；

(3)向步骤(2)所得混合溶液中滴加一滴(0.01ml)二月桂酸二丁基锡，搅拌20分钟后，滴加六亚甲基二异氰酸酯(HDI)溶液，通过化学反应或加入溶剂使混合溶液达到粘度为20s(涂-4杯测试)，搅拌均匀得自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液。

靶带的制备： 

(1)使用刮涂方法将上述自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液加工至PET基底，底部加热温度为70摄氏度，上部空气加热温度为25摄氏度，刮刀循环刮涂2次，得以聚酰亚胺为基底的靶带材料；

(2)将步骤(1)所得靶带干膜在自然条件下干燥8小时；

(3)将步骤(2)所得靶带干膜在真空烘箱中，30帕压力，70摄氏度条件下烘干6小时，得到激光微推进透射式靶带。

制得测试用靶带，所得靶带厚度为40微米，经百格刀测试基底与自粘性烧蚀层粘结性达到GB9286-98所述的5B级，可满足使用要求。

实施例6对比例

按照以下比例制备烧蚀材料：

供能材料        90份，

添加剂          10份。

(1)按上述比例准备供能材料和添加剂，并分别用溶剂溶解，得供能材料溶液、改善粘结性材料溶液和添加剂溶液；

其中，供能材料：9克单基药溶于120毫升乙酸丁酯溶液，静置24小时后用搅拌器搅拌均匀。

添加剂：1克纳米碳溶于5ml乙酸丁酯。 

(2)将步骤(1)所得供能材料溶液与添加剂溶液混合，并搅拌均匀，通过添加乙酸丁酯溶液使混合溶液的粘度达到18s(涂-4杯测试)；

靶带的制备： 

(1)使用刮涂方法将上述自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液加工至PET基底，底部加热温度为60摄氏度，上部空气加热温度为25摄氏度，喷枪循环涂覆3次，得以聚酰亚胺为基底的靶带材料；

(2)将步骤(1)所得靶带干膜在自然条件下干燥5小时；

(3)将步骤(2)所得靶带干膜在真空烘箱中，30帕压力，70摄氏度条件下彻底烘干，得到激光微推进透射式靶带。

制得测试用靶带，经百格刀测试基底与自粘性烧蚀层粘结性达到GB9286-98所述的2B级，不能满足使用要求。

表4实施例6使用的配比

实施例3与实施例6对比可以看出，在供能材料单基药的质量配比相同、基底相同的情况下，适当添加改善粘结性的物质，如实施例3中添加3.5％的HTPB，可大大改善基底与烧蚀材料的粘结等级。只含供能材料和添加剂的烧蚀材料制得的靶带，粘结性太差，不能满足微推进器的使用要求，加入改善粘结性的材料得到的自粘性烧蚀材料可满足激光微推力器靶带的生产、测试、使用要求。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种制备自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料的方法，其包括如下步骤：

(1)按比例准备供能材料、改善粘结性材料和添加剂，并分别用溶剂溶解，得供能材料溶液、改善粘结性材料溶液和添加剂溶液，其中，所述供能材料按重量份计为50～90份，所述改善粘结性材料按重量份计为5～40份，所述添加剂按重量份计为5～15份；

(2)按比例将步骤(1)所得供能材料溶液与改善粘结性材料溶液混合，并搅拌均匀；

(3)对于化学干燥的材料，向步骤(2)所得混合溶液中滴加固化剂溶液，通过化学反应使混合溶液达到所需粘度；对于物理干燥的材料，通过控制溶液与溶质的配比达到所需粘度；

(4)向步骤(3)所得混合溶液中加入除固化剂以外的添加剂溶液，得自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液，调节烧蚀溶液的总粘度为15～20s。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中所述溶剂为丙酮、乙酸乙酯、二甲苯、乙醇或乙酸丁酯中的一种或几种。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述的溶液中供能材料质量分数为1％～70％，改善粘结性物质溶质的质量分数为1％～40％，添加剂的溶质质量分数为0.5％～15％。

4.一种激光微推进透射式靶带的制备方法，其包括如下步骤：

(1)使用刮涂或喷涂的方法将自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料混合液加工至基底，得靶带材料，其中，所述自粘型激光微推进透射靶烧蚀材料包括供能材料、改善粘结性材料和添加剂，所述供能材料按重量份计为50～90份，所述改善粘结性材料按重量份计为5～40份，所述添加剂按重量份计为5～15份；

(2)将步骤(1)所得靶带材料在50～200摄氏度的条件下干燥2～10个小时，重复加工2～8次，使固化后的干膜厚度达到10～200微米；

(3)将步骤(2)所得靶带干膜在自然条件下干燥1～72小时；

(4)将步骤(3)所得靶带干膜在真空烘箱中，30帕及以下压力，20～100摄氏度条件下彻底烘干，得到激光微推进透射式靶带。