CN103065995B - 基板卸载装置和具有它的pecvd设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基板卸载装置，包括：第一传送带，所述第一传送带水平设置，用于将基板从该第一传送带的第一端传送到该第一传送带的第二端；第二传送带，所述第二传送带的第一端与所述第一传送带的第二端邻近且等高以便传送到所述第一传送带的第二端的基板可移动到所述第二传送带的第一端，所述第二传送带的第二端在远离所述第一传送带的第二端的方向上向下倾斜地延伸；和料盒，所述料盒邻近所述第二传送带的第二端设置，用于接纳传送到所述第二传送带的第二端的基板。根据本发明实施例的基板卸载装置，结构简单，工作效率高，成本低。

Description

基板卸载装置和具有它的PECVD设备

技术领域

本发明涉及一种基板卸载装置和具有该基板卸载装置的PECVD(等离子体增强化学气相沉积)设备。

背景技术

传统的PECVD设备的基板卸载装置中，料盒固定在丝杠上，机械手在取片位置从基板传送带上取一次基板(例如太阳能电池片)后运动到卸片位置将基板放到料盒中，反复取放后在基板装满料盒后丝杠下降到低位，然后人工将料盒取走，然而换上空料盒后丝杠升到高位继续装片。

另一种传统的PECVD设备的基板卸载装置中，料盒托盘连同空料盒通过传送带传送到升降台处，料盒托盘上升，同时基板从基板传送带处传送到机械手处，机械手移动到达升降台处将基板放到料盒中，机械手再缩回取第二片基板，如此反复。待料盒装满后，料盒通过丝杠下降到低位，料盒传出，人工将满料盒取走，丝杠上升，空料盒再次传到升降台处，进而继续取片。

上述传统的基板卸载装置，机械手要完成从基板传送带取片至升降台放片的过程，机械手需要往复运动并且料盒需要不断地升降，因此工作效率比低。此外，传统的基板卸载装置利用了机械手和升降丝杠，需要多段传送带和相应的驱动电机，丝杠升降也需要伺服电极。检测料盒的传感器多，控制模块多，因此结构复杂，控制困难，操作复杂，成本高。

发明内容

本发明旨在至少解决上述技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种基板卸载装置，该基板卸载装置结构简单，工作效率高，成本低。

本发明的另一目的在于提出一种具有上述基板卸载装置的PECVD设备。

根据本发明第一方面实施例的基板卸载装置包括：第一传送带，所述第一传送带水平设置，用于将基板从该第一传送带的第一端传送到该第一传送带的第二端；第二传送带，所述第二传送带的第一端与所述第一传送带的第二端邻近且等高以便传送到所述第一传送带的第二端的基板移动到所述第二传送带的第一端，所述第二传送带的第二端在远离所述第一传送带的第二端的方向上向下倾斜地延伸；和料盒，所述料盒邻近所述第二传送带的第二端设置，用于接纳传送到所述第二传送带的第二端的基板。

根据本发明实施例的基板卸载装置，通过设置有水平放置的第一传送带和第一端与第一传送带等高且倾斜设置的第二传送带，此时基板经过第一传送带和第二传送带，传到第二传送带的第二端时靠第二传送带的向前推力和自身重力落到料盒中，省去了传统的机械手的取基板的过程和传统的伺服电机带动丝杆高低位上下运动，从而不会有过载现象产生，大大提高了工作效率，且结构简单，便于安装及日常维护，成本低。

根据本发明的一个实施例，所述料盒具有底壁、后壁、左侧壁和右侧壁，且所述料盒的顶面和面向所述第二传送带的第二端的前面敞开，所述料盒的底壁上设有凹槽，所述凹槽从所述底壁的前沿朝向所述底壁的后沿延伸且所述凹槽的前端敞开。

根据本发明实施例的基板卸载装置，基板从第二传送带的第二端落到料盒中时，料盒易于接收并防止基板掉落。通过设置凹槽，在料盒装满后可便于人工将基板取走。

可选地，所述凹槽为U形，更便于人工取走基板。

根据本发明的进一步实施例，所述基板卸载装置还包括第一传感器，所述第一传感器邻近所述第二传送带的第二端设置，用于检测从所述第二传送带的第二端移动到所述料盒内的基板数量。

根据本发明的更进一步实施例，所述基板卸载装置还包括第二传感器，所述第二传感器设在所述第一传送带的第二端与所述第二传送带的第一端之间，用于检测从所述第一传送带的第二端移动到所述第二传送带的第一端上的基板数量。

通过设置第一传感器和第二传感器，可进一步保证对传送的基板的计数精确。

具体地，所述第一传感器与驱动所述第一传送带的第一驱动电机和驱动所述第二传送带的第二驱动电机相连以便在所述第一传感器检测到的基板数量达到装满所述料盒的预定值时停止所述第一和第二传送带以防止出现过载现象。

根据本发明的一个实施例，所述基板卸载装置还包括指示灯，所述指示灯与所述第一传感器相连以便在所述第一传感器检测到的基板数量达到装满所述料盒的预定值时所述指示灯闪烁以提醒操作人员换上空的料盒使装置更人性化。

根据本发明第二方面实施例的一种PECVD设备，包括根据本发明第一方面实施例的基板卸载装置。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明实施例的基板卸载装置的平面示意图；

图2是图1中所示的基板卸载装置的俯视示意图；

图3是图1中所示的基板卸载装置的料盒的俯视图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参考图1-图3描述根据本发明第一方面实施例的基板卸载装置100，该基板卸载装置100用于卸载工艺完成后的基板例如电池片。

根据本发明实施例的基板卸载装置100，如图1所示，包括：第一传送带1、第二传送带2和料盒3，其中，第一传送带1水平设置且由第一驱动电机(图未示出)驱动，用于将基板110从第一传送带1的第一端10(例如图1中所示的右端)传送到第一传送带1的第二端11(例如图1中所示的左端)。第二传送带2由第二驱动电机(图未示出)驱动。第二传送带2的第一端20与第一传送带1的第二端11邻近且等高以便传送到第一传送带1的第二端11的基板110可移动到第二传送带2的第一端20，第二传送带2的第二端21在远离第一传送带1的第二端11的方向上向下倾斜地延伸，例如图1中从右向左逐渐向下倾斜延伸，以便将基板110从第一端20通过第二传送带2的推力及基板110自身的重力二者的共同作用而运动到第二端21。料盒3邻近第二传送带2的第二端21设置，用于接纳传送到第二传送带2的第二端21的基板110，在本发明的一个示例中，料盒3的第一端(如图1中所示右端)与第二传送带2的第二端21邻近且等高，料盒3的第二端(如图1中所示的左端)向下倾斜。可选地，料盒3可采用光滑摩擦力小的材质制成，例如光滑金属板，以便于基板110下滑。

工艺完成后的基板110被放置到第一传送带1的第一端10处，第一传送带1运动以将基板110传送到第一传送带1的第二端11处并从第一传送带1的第二端11处继续运动以移动到第二传送带2的第一端20，此时通过第二传送带的推力及基板110自身重力的共同作用，基板110运动到第二传送带2的第二端21并继续向前落入到料盒3中，由此则完成了一次基板110的运送。

根据本发明实施例的基板卸载装置100，通过水平放置的第一传送带1以及第一端20与第一传送带1等高且倾斜设置的第二传送带2来对基板110进行传送，省去了传统机械手的取基板110的过程和传统的伺服电机带动丝杆高低位上下运动，从而不会出现过载现象且可减少料盒3底部的磨损，大大提高了工作效率。另外，结构简单，便于安装及日常维护且成本低。

如图3所示，根据本发明的一个实施例，料盒3具有底壁30、后壁31、左侧壁32和右侧壁33，料盒3的顶面和面向第二传送带2的第二端21的前面敞开，由此基板110从第二传送带2的第二端21落到料盒3中时，料盒3易于接收并防止基板110掉落。料盒3的底壁30上设有凹槽34，凹槽34从底壁30的前沿朝向底壁30的后沿延伸且凹槽34的前端敞开。通过设置凹槽34，在料盒3装满后可便于人工将基板110取走。可选地，如图3所示，凹槽34为U形，更便于人工取走基板110。

根据本发明的一个实施例，基板卸载装置100进一步包括第一传感器4，第一传感器4邻近第二传送带2的第二端21设置，用于检测从第二传送带2的第二端21移动到料盒3内的基板110的数量。第一传感器4与驱动第一传送带1的第一驱动电机(图未示出)和驱动第二传送带2的第二驱动电机(图未示出)相连以便在第一传感器4检测到的基板110的数量达到装满料盒3的预定值时停止第一传送带1和第二传送带2，此时操作人员把装满的料盒3取走换上空的料盒3以防止出现过载现象。

可选地，基板卸载装置100还可包括第二传感器5，第二传感器5设在第一传送带1的第二端11与第二传送带2的第一端20之间，用于检测从第一传送带1的第二端11移动到第二传送带2的第一端20上的基板110的数量。通过设置第一传感器4和第二传感器5，可进一步保证对传送的基板110的计数精确。

在本发明的一个实施例中，基板卸载装置100还包括指示灯(图未示出)，指示灯与第一传感器4相连以便在第一传感器4检测到的基板110的数量达到装满料盒3的预定值时指示灯闪烁以提醒操作人员换上空的料盒3使装置更人性化。

下面参考图1和图2描述根据本发明实施例的基板卸载装置100的基板卸载过程。

首先，工艺完成后的基板110被放置在第一传送带1的第一端10处，此时第一驱动电机带动第一传送带1向第二端11所在方向移动，从而基板110从第一传送带1的第一端10被传送到第二端11处并继续移动到被第二传送带2的第一端20接收，此时第二传感器5对传送到第二传送带2上的基板110进行计数。

第二传送带2由第二驱动电机控制运动，带动基板110从第二传送带2的第一端20传送到第二端21处，通过第二传送带的推力及自身重力的共同作用，基板110运动到第二传送带2的第二端21并继续向前落入到料盒3中，此时第一传感器4完成一次计数。

当第一传感器4检测到的基板110的数量达到装满料盒3的预定值时，在程序中设定反馈信号给第一驱动电机和第二驱动电机，由此控制第一驱动电机和第二驱动电机停止第一传送带1和第二传送带2，同时指示灯亮，提醒操作人员把装满的料盒3取走换上空料盒。然后控制第一传送带1和第二传送带2继续传动，由此整个过程循环完成基板110的卸载。

根据本发明第二方面实施例的PECVD设备，包括根据本发明第一方面实施例的基板卸载装置100。根据本发明实施例的PECVD设备的其他构成对于本领域的技术人员都是已知的，这里不再详细描述。根据本发明实施例的PECVD设备，基板的装卸简单方面，从而提高了效率。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种基板卸载装置，其特征在于，包括：

第一传送带，所述第一传送带水平设置，用于将基板从该第一传送带的第一端传送到该第一传送带的第二端；

第二传送带，所述第二传送带的第一端与所述第一传送带的第二端邻近且等高以便传送到所述第一传送带的第二端的基板移动到所述第二传送带的第一端，所述第二传送带的第二端在远离所述第一传送带的第二端的方向上向下倾斜地延伸；和

料盒，所述料盒邻近所述第二传送带的第二端设置，用于接纳传送到所述第二传送带的第二端的基板；

第一传感器，所述第一传感器邻近所述第二传送带的第二端设置，用于检测从所述第二传送带的第二端移动到所述料盒内的基板数量。

2.根据权利要求1所述的基板卸载装置，其特征在于，所述料盒具有底壁、后壁、左侧壁和右侧壁，且所述料盒的顶面和面向所述第二传送带的第二端的前面敞开，所述料盒的底壁上设有凹槽，所述凹槽从所述底壁的前沿朝向所述底壁的后沿延伸且所述凹槽的前端敞开。

3.根据权利要求2所述的基板卸载装置，其特征在于，所述凹槽为U形。

4.根据权利要求1所述的基板卸载装置，其特征在于，还包括第二传感器，所述第二传感器设在所述第一传送带的第二端与所述第二传送带的第一端之间，用于检测从所述第一传送带的第二端移动到所述第二传送带的第一端上的基板数量。

5.根据权利要求1所述的基板卸载装置，其特征在于，所述第一传感器与驱动所述第一传送带的第一驱动电机和驱动所述第二传送带的第二驱动电机相连以便在所述第一传感器检测到的基板数量达到装满所述料盒的预定值时停止所述第一和第二传送带。

6.根据权利要求1所述的基板卸载装置，其特征在于，所述基板卸载装置，还包括指示灯，所述指示灯与所述第一传感器相连以便在所述第一传感器检测到的基板数量达到装满所述料盒的预定值时所述指示灯闪烁。

7.一种PECVD设备，其特征在于，包括根据权利要求1-6中任一项所述的基板卸载装置。