CN103032977A - 一种中温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种中温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，选取铜作为基体材料，所述涂层从基体至表面依次为粘结层、红外反射层、吸收层、减反层。该涂层只需要Al靶、Cr靶，制备工艺简单，且均选用常规材料，便于选择和控制，靶材利用率高，适于大规模生产。

Description

一种中温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，尤其是关于一种中温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，属于太阳能热利用技术领域。
背景技术
太阳能是世界公认的潜力巨大的清洁能源,将太阳能作为一种能源和动力加以利用，人类已经有300多年的历史。近年来，尤其是进入21世纪以来，随着常规化石能源的日见枯竭，太阳能作为一种清洁无污染而又来源巨大的能源，逐渐成为新能源研发的重点，世界各国对新能源的开发和利用投入了大量的人力和物力。
CN101660117B公开了一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，但其仅适用于中低温度环境；发明专利DE3522427A1公开了一种太阳能选择性吸收涂层，但该涂层选用金属钛制备吸收层中的金属，成本相对较高。因此，如何选择耐中温材料，设计合理的涂层结构，选用常规材料降低成本，成为亟待解决的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种中温太阳能选择性吸收涂层。
本发明另一目的是提供中温太阳能选择性吸收涂层的制备方法。
为了实现本发明的目的，本发明提供一种中温太阳能选择性吸收涂层，选取铜作为基体材料，所述涂层从基体至表面依次为粘结层、红外反射层、吸收层、减反层。
所述粘结层由AlON膜构成，厚度为50~250nm。
所述红外反射层由Al金属层构成，其厚度为50~250nm，优选为150~200nm。
所述吸收层包括厚度均为20~100nm的第一亚吸收层和第二亚吸收层；两个亚吸收层均为AlCr-AlCrON膜；
所述第一亚吸收层AlCr体积百分比为30~60%，第二亚吸收层AlCr体积百分比为10~30%。
所述减反层为AlON减反膜，其厚度为20~60nm。
一种权利要求中温太阳能选择性吸收涂层的制备方法，包括以下步骤：
步骤1粘结层的制备
选取铜作为基体材料，采用Ar、N2和O2为反应气体；调整Al靶的电流，采用直流磁控反应溅射法制备AlON膜覆于基体表面作为粘结层；
步骤2红外反射层的制备
采用Ar气为反应气体；调整Al靶的电流，采用直流磁控反应溅射法制备Al金属层作为红外反射层；
步骤3吸收层的制备
采用Al靶和Cr靶共溅射，Ar、N2和O2混合气体作为反应气体，采用直流磁控反应溅射法制备均为AlCr-AlCrON膜的第一亚吸收层和第二亚吸收层；
步骤4减反层的制备
以Ar、N2和O2作为反应气体，调整Al靶电流，采用直流磁控反应溅射法制备AlON膜作为减反层。
所述步骤1中溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，调整Al靶的电流为30~50A，溅射电压为320-390V，溅射气压为1.5~3.5×10-1Pa。
所述步骤2中溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，调整Al靶的电流为30~50A，溅射电压为350-450V，溅射气压为1.5~3.5×10-1Pa。
所述步骤3中制备第一亚吸收层AlCr-AlCrON膜时，溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，调整Al靶、Cr靶电流分别为30~50A和5~10A，溅射电压均为300-380V；
增加N2和O2的流量制备第二亚吸收层AlCr-AlCrON膜。
所述步骤4中溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，调整Al靶电流为30~50A，溅射电压为260-300V，溅射气压为3.5~4.5×10-1Pa。
本发明的有益效果：
1、本发明采用了两个靶材制备中温选择性吸收涂层，简化磁控溅射设备，有利于生产推广；
2、采用铜作为基底材料，AlON膜作为粘结层，可以避免由于基底材料与涂层的热膨胀系数不同造成的涂层从基底材料上脱落的问题，增强涂层在高温下的附着力，从而不影响真空集热管的应用。
3、本发明所述涂层厚度在500nm以下，在空气中，350℃，热处理200h，涂层的光学性能几乎不变，具有非真空高温稳定性；
4、本发明所述涂层在太阳能光谱范围内（0.3~2.5μm）具有高的吸收率а（0.92~0.97），在红外区域（2.5~50μm）有很低的发射率ε（0.05~0.08）；
5、该涂层只需要Al靶、Cr靶，制备工艺简单，且均选用常规材料，便于选择和控制，靶材利用率高，适于大规模生产。
附图说明
图1为本发明涂层结构示意图；
图中：
1、粘结层；2、红外反射层；
3、吸收层；31、第一亚吸收层；32、第二亚吸收层；
4、减反层。
具体实施方式
以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
实施例1
如图1所示，本发明中温太阳能选择性吸收涂层，选取铜作为基体，从基体至表面依次为粘结层1、红外反射层2、吸收层3、减反层4。
所述粘结层由AlON膜构成，厚度为50~250nm，优选厚度为80~150nm。所述红外反射层由Al金属层构成，其厚度为50~250nm，优选厚度为150~200nm。所述吸收层包括两个亚吸收层结构，依次为第一亚吸收层31和第二亚吸收层32；两个亚吸收层结构，均为AlCr-AlCrON膜。所述第一亚吸收层AlCr体积百分比为30~60%，第二亚吸收层AlCr体积百分比为10~30%；两亚吸收层的厚度均为20~100nm。所述减反层为AlON减反膜，其厚度为20~60nm。
实施例1的制备方法包括以下步骤：
步骤1粘结层的制备
所述粘结层由AlON膜构成，采用金属Al靶，通过直流磁控反应溅射法制备的，Ar、N2和O2为反应气体；溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，通入惰性气体Ar，调整Al合金靶的电流为40A，溅射电压为350V，溅射气压为2×10-1Pa制备AlON膜覆于基体表面作为粘结层；制备厚度为100nm；
步骤2红外反射层的制备
所述红外反射层由Al金属层构成，所述的Al金属层是通过Al靶，采用直流磁控溅射法制备，Ar气为反应气体；溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，通入惰性气体Ar，调整Al靶的电流为40A，溅射电压为400V，溅射气压为2×10-1Pa制备Al金属层，制备厚度为100nm；
步骤3吸收层的制备
所述吸收层包括两个亚吸收层结构，依次为第一亚吸收层和第二亚吸收层；两个亚吸收层结构均为AlCr-AlCrON膜；采用Al靶和Cr靶共溅射，Ar、N2和O2混合气体作为反应气体制备；
第一亚吸收层AlCr体积百分比为45%，第二亚吸收层AlCr体积百分比为20%；两亚吸收层的厚度均为50nm；
制备第一亚吸收层AlCr-AlCrON膜，溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，通入惰性气体Ar、N2和O2作为反应气氛，调整Al靶、Cr靶电流分别为40A和8A，溅射电压均为350V，均采用直流磁控反应溅射制备；
增加N2和O2的流量制备第二亚吸收层AlCr-AlCrON膜；
步骤4减反层的制备
所述减反层为AlON减反膜，制备AlON减反膜，溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，通入惰性气体Ar、N2和O2作为反应气体，调整Al靶电流为40A，溅射电压为280V，溅射气压为4×10-1Pa制备AlON膜；其厚度40nm。
检测结果：实施例1制得的涂层340nm，在太阳能光谱范围内（0.3~2.5μm）吸收率а=0.94，在红外区域（2.5~50μm）的发射率ε=0.07，在大气中，350℃，200h退火处理，其颜色无变化，光学性能а=0.95，ε=0.08高温发射率几乎不发生变化。
实施例2
采用实施例1所述的方法制备涂层；
步骤1粘结层的制备
所述粘结层由AlON膜构成，采用金属Al靶，通过直流磁控反应溅射法制备的，Ar、N2和O2为反应气体；溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，通入惰性气体Ar，调整Al合金靶的电流为30A，溅射电压为320V，溅射气压为1.5×10-1Pa制备AlON膜覆于基体表面作为粘结层；制备厚度为50nm；
步骤2红外反射层的制备
所述红外反射层由Al金属层构成，所述的Al金属层是通过Al靶，采用直流磁控溅射法制备，Ar气为反应气体；溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，通入惰性气体Ar，调整Al靶的电流为30~50A，溅射电压为450V，溅射气压为3.5×10-1Pa制备Al金属层，制备厚度为200nm；
步骤3吸收层的制备
所述吸收层包括两个亚吸收层结构，依次为第一亚吸收层和第二亚吸收层；两个亚吸收层结构均为AlCr-AlCrON膜；采用Al靶和Cr靶共溅射，Ar、N2和O2混合气体作为反应气体制备；
第一亚吸收层AlCr体积百分比为60%，第二亚吸收层AlCr体积百分比为30%；两亚吸收层的厚度均为100nm；
制备第一亚吸收层AlCr-AlCrON膜，溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，通入惰性气体Ar、N2和O2作为反应气氛，调整Al靶、Cr靶电流分别为0A和10A，溅射电压均为380V，均采用直流磁控反应溅射制备；
增加N2和O2的流量制备第二亚吸收层AlCr-AlCrON膜；
步骤4减反层的制备
所述减反层为AlON减反膜，制备AlON减反膜，溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，通入惰性气体Ar、N2和O2作为反应气体，调整Al靶电流为30A，溅射电压为260V，溅射气压为3.5×10-1Pa制备AlON膜；其厚度20nm。
检测结果：实施例2制得的涂层470nm，在太阳能光谱范围内（0.3~2.5μm）吸收率а=0.93，在红外区域（2.5~50μm）的发射率ε=0.06，在大气中，350℃，200h退火处理，其颜色无变化，光学性能а=0.935,ε=0.064高温发射率几乎不发生变化。
实施例3
采用实施例1所述的方法制备涂层；
步骤1粘结层的制备
所述粘结层由AlON膜构成，采用金属Al靶，通过直流磁控反应溅射法制备的，Ar、N2和O2为反应气体；溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，通入惰性气体Ar，调整Al合金靶的电流为50A，溅射电压为390V，溅射气压为3.5×10-1Pa制备AlON膜覆于基体表面作为粘结层；制备厚度为200nm；
步骤2红外反射层的制备
所述红外反射层由Al金属层构成，所述的Al金属层是通过Al靶，采用直流磁控溅射法制备，Ar气为反应气体；溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，通入惰性气体Ar，调整Al靶的电流为30A，溅射电压为350V，溅射气压为1.5×10-1Pa制备Al金属层，制备厚度为50nm；
步骤3吸收层的制备
所述吸收层包括两个亚吸收层结构，依次为第一亚吸收层和第二亚吸收层；两个亚吸收层结构均为AlCr-AlCrON膜；采用Al靶和Cr靶共溅射，Ar、N2和O2混合气体作为反应气体制备；
第一亚吸收层AlCr体积百分比为30%，第二亚吸收层AlCr体积百分比为10%；两亚吸收层的厚度均为20nm；
制备第一亚吸收层AlCr-AlCrON膜，溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，通入惰性气体Ar、N2和O2作为反应气氛，调整Al靶、Cr靶电流分别为30A和5A，溅射电压均为300V，均采用直流磁控反应溅射制备；
增加N2和O2的流量制备第二亚吸收层AlCr-AlCrON膜；
步骤4减反层的制备
所述减反层为AlON减反膜，制备AlON减反膜，溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，通入惰性气体Ar、N2和O2作为反应气体，调整Al靶电流为50A，溅射电压为300V，溅射气压为4.5×10-1Pa制备AlON膜；其厚度60nm。
检测结果：实施例3制得的涂层350nm，在太阳能光谱范围内（0.3~2.5μm）吸收率а=0.96，在红外区域（2.5~50μm）的发射率ε=0.09在大气中，350℃，200h退火处理，其颜色无变化，光学性能а=0.96；ε=0.10，高温发射率几乎不发生变化。
虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施方案对本发明作了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本发明要求保护的范围。

Claims (10)

1.一种中温太阳能选择性吸收涂层，其特征在于，选取铜作为基体材料，所述涂层从基体至表面依次为粘结层、红外反射层、吸收层、减反层。
2.根据权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述粘结层由AlON膜构成，厚度为50~250nm。
3.根据权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述红外反射层由Al金属层构成，其厚度为50~250nm，优选为150~200nm。
4.根据权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述吸收层包括厚度均为20~100nm的第一亚吸收层和第二亚吸收层；两个亚吸收层均为AlCr-AlCrON膜；
所述第一亚吸收层AlCr体积百分比为30~60%，第二亚吸收层AlCr体积百分比为10~30%。
5.根据权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述减反层为AlON减反膜，其厚度为20~60nm。
6.一种权利要求1-5中任一所述的中温太阳能选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1粘结层的制备
选取铜作为基体材料，采用Ar、N2和O2为反应气体；调整Al靶的电流，采用直流磁控反应溅射法制备AlON膜覆于基体表面作为粘结层；
步骤2红外反射层的制备
采用Ar气为反应气体；调整Al靶的电流，采用直流磁控反应溅射法制备Al金属层作为红外反射层；
步骤3吸收层的制备
采用Al靶和Cr靶共溅射，Ar、N2和O2混合气体作为反应气体，采用直流磁控反应溅射法制备均为AlCr-AlCrON膜的第一亚吸收层和第二亚吸收层；
步骤4减反层的制备
以Ar、N2和O2作为反应气体，调整Al靶电流，采用直流磁控反应溅射法制备AlON膜作为减反层。
7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1中溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，调整Al靶的电流为30~50A，溅射电压为320-390V，溅射气压为1.5~3.5×10-1Pa。
8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述步骤2中溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，调整Al靶的电流为30~50A，溅射电压为350-450V，溅射气压为1.5~3.5×10-1Pa。
9.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述步骤3中制备第一亚吸收层AlCr-AlCrON膜时，溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，调整Al靶、Cr靶电流分别为30~50A和5~10A，溅射电压均为300-380V；
增加N2和O2的流量制备第二亚吸收层AlCr-AlCrON膜。
10.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述步骤4中溅射前将真空抽至3×10-3Pa以下，调整Al靶电流为30~50A，溅射电压为260-300V，溅射气压为3.5~4.5×10-1Pa。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104505436A (zh) * 2014-12-18 2015-04-08 福建新越金属材料科技有限公司 低发射比的选择性太阳能热吸收涂层及其制备方法
CN104532188A (zh) * 2014-12-18 2015-04-22 福建新越金属材料科技有限公司 选择性太阳能热吸收涂层的复合薄膜材料及其制备方法
CN105274474A (zh) * 2015-11-27 2016-01-27 岭南师范学院 一种耐高温多层太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
CN105299935A (zh) * 2015-04-03 2016-02-03 中国建筑材料科学研究总院 一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法和集热器
US10586879B2 (en) 2015-04-03 2020-03-10 China Building Materials Academy Spectrally selective solar absorbing coating and a method for making it

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101294749A (zh) * 2007-04-24 2008-10-29 梁美意 太阳能选择性吸收涂层的集热管及其制造方法
CN101408354A (zh) * 2008-11-27 2009-04-15 山东力诺新材料有限公司 太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
CN101598468A (zh) * 2009-06-25 2009-12-09 兰州大成自动化工程有限公司 高性能多层复合太阳选择性吸收涂层及其制备方法
CN101806508A (zh) * 2010-02-26 2010-08-18 北京天瑞星真空技术开发有限公司 一种高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
CN102278833A (zh) * 2011-05-16 2011-12-14 山东桑乐光热设备有限公司 一种耐高温的选择性吸收涂层及制造方法
CN102653151A (zh) * 2012-05-23 2012-09-05 皇明太阳能股份有限公司 一种太阳能选择性吸收涂层

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101294749A (zh) * 2007-04-24 2008-10-29 梁美意 太阳能选择性吸收涂层的集热管及其制造方法
CN101408354A (zh) * 2008-11-27 2009-04-15 山东力诺新材料有限公司 太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
CN101598468A (zh) * 2009-06-25 2009-12-09 兰州大成自动化工程有限公司 高性能多层复合太阳选择性吸收涂层及其制备方法
CN101806508A (zh) * 2010-02-26 2010-08-18 北京天瑞星真空技术开发有限公司 一种高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
CN102278833A (zh) * 2011-05-16 2011-12-14 山东桑乐光热设备有限公司 一种耐高温的选择性吸收涂层及制造方法
CN102653151A (zh) * 2012-05-23 2012-09-05 皇明太阳能股份有限公司 一种太阳能选择性吸收涂层

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104505436A (zh) * 2014-12-18 2015-04-08 福建新越金属材料科技有限公司 低发射比的选择性太阳能热吸收涂层及其制备方法
CN104532188A (zh) * 2014-12-18 2015-04-22 福建新越金属材料科技有限公司 选择性太阳能热吸收涂层的复合薄膜材料及其制备方法
CN105299935A (zh) * 2015-04-03 2016-02-03 中国建筑材料科学研究总院 一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法和集热器
CN105299935B (zh) * 2015-04-03 2017-07-07 中国建筑材料科学研究总院 一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法和集热器
US10586879B2 (en) 2015-04-03 2020-03-10 China Building Materials Academy Spectrally selective solar absorbing coating and a method for making it
CN105274474A (zh) * 2015-11-27 2016-01-27 岭南师范学院 一种耐高温多层太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

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