CN103014658A - 设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜 - Google Patents

Abstract

本发明主要目的是设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜。本发明加热平板的加热方式是用microheater进行加热，可让加热平板本身为均匀加热，加热平板下有一组线性马达轴承架设于腔体下，利用Port与马达之间紧密结合而成，当加热平板欲作升降时，可以由电脑界面将马达开启并作升降。其方式是当TCO玻璃与金属平板一起放入Carrier内，并传送到PECVD腔体后，其加热平板利用马达控制轴承作升降，玻璃接触加热平板，可让玻璃均匀升温，随后要制程时，加热平板可作上升动作，使玻璃与电极产生适当的间距作制程，当完成制程后，加热平板作下降动作，并让Carrier可以传出，此发明兼顾玻璃加热均匀不易翘曲与适当间距制程，可得均匀的硅薄膜，提高太阳能硅薄膜发电效率。

Description

设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜

技术领域

    本方法是将薄膜太阳能中的技术核心PECVD的传片技术，是当TCO玻璃传入到PECVD腔体内部后，利用加热平板作升降动作，其升降动作可以将加热平板直接接触玻璃及carrier，可以将玻璃加热更均匀，此外，此升降平板可以将玻璃顶升，使玻璃其可以靠近showerhead，当showerhead将气体扩散出来后，其加热平板可以控制玻璃与电极之间的间距，进行镀膜，此加热平板除了可以将玻璃加热更加均匀之外，也可以控制间距作均匀的薄膜，可以提高太阳能硅薄膜的均匀性及效率。

背景技术

    业界对于薄膜太阳能电池中已有许多的研究，在制作核心PECVD时也有特殊的设计方式，主要是卧式以及直立式为主，当中在业界与学术界常使用的机台模组，是以卧式的设计居多，而使用卧式PECVD常会有加热不均或者是玻璃有翘曲的情况居多。故本发明是将TCO玻璃先放置于一金属平板上，并一起放入到Carrier内，当Carrier将玻璃传入到PECVD腔体内部时，其加热平板则会开始上升，并接触玻璃与金属平板，此动作除了让TCO玻璃有辐射加热外，也可以利用加热平板产生传导加热，使其TCO玻璃均匀。此外，加热平板在加热完玻璃之后，其加热平板因为可以作升降功能，可以将玻璃顶升，使其玻璃可以靠近Showerhead及电极，由于玻璃在镀膜时，除了需要气体流量、制程压力、RF产生电浆外，也需要控制其玻璃与电极的间距，此间距可以让玻璃产生均匀的电浆，故此发明加热平板可以改善卧式PECVD在制程中发生玻璃加热不均且翘曲的问题外，也可以产生均匀的电浆来制程硅薄膜，故可以提高太阳能硅薄膜镀膜的均匀性及效率。

发明内容

    本发明主要目的是设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜。其PECVD腔体内部设有传动轮轴及真空Pump，且也有Showerhead气流孔及RF电极，此外也有最重要的是本发明加热平板，其加热平板的加热方式是用micro heater进行加热，故可以让加热平板本身为均匀加热，此外这个加热平板下有一组线性马达轴承，这个马达是架设于腔体下，利用其Port与马达之间紧密结合而成，当加热平板欲作升降时，可以由电脑界面将马达开启并作升降。其方式主要是当TCO玻璃与金属平板一起放入Carrier内，并传送到PECVD腔体后，其加热平板利用马达控制轴承作升降，由于玻璃与金属平板一起接触到加热平板，此时加热的方式有传导热及辐射热两种，可以让玻璃均匀升温，且不易有玻璃翘曲的可能，随后当要开始制程时，其加热平板可以再作上升动作，使其玻璃与电极产生一适当的间距，此间距可依制程需要来做改变，而当RF power supply开启的时后，这个间距就可以得到均匀电浆，并可进行制程，当完成制程后，其加热平板则是透过线性马达轴承作下降动作，并让Carrier可以顺利传出，此发明兼顾着玻璃加热均匀不易翘曲外，也有让玻璃与电极产生适当的间距，以便进行电浆制程，故可以达到均匀的硅薄膜，并提高整体太阳能硅薄膜发电效率。

实施方式

    兹将本发明配合附图，详细说明如下所示：请参阅第一图，为本发明设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，由图中可知，其加热平板1需放置于PECVD腔体内部，且与线性马达轴承2是连接一起，在线性马达轴承内部则有Micro heater 4可以作加热此平板的动作，而在加热平板的两侧则是有弹簧轴承3，此弹簧轴承可以在电脑界面控制下，将加热平板上升，因此这个加热平板有其下面功能，可以利用轴承内部的micro heater将加热平板均匀加热，可以把玻璃及金属平板作均匀的加热，此外其加热平板的弹簧轴承可以将加热平板作顶升动作，故可以让加热平板与电极之间有一适当间距，以便进行制程。

   请参阅第二图，此为本发明设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，由图中得知，TCO玻璃10先放置于金属平板上9，接着由滚轮5传片至PECVD腔体内部后，其加热平板1内的micro heater 4就会开始加热，让玻璃可以均匀加热，此方式可以让玻璃作均匀加热，并且可以让玻璃不易翘曲，随后待玻璃加热完毕后，其加热平板开始顶升玻璃，其顶升的方式则是弹簧轴承3开始作动，让加热平板开始上升，并且顶升玻璃之后，让玻璃与showerhead 11有一洽当的间距，随后Pump 7抽气情况下，让气体从气流孔12，开始通气，并由showerhead扩散至腔体内部，并在蝶阀8作动下，开始进行控压，并且由RF Power supply 13开启电浆，并进行制程，待制程结束后，Pump抽至底压，接着Slit valve 6开启将玻璃传出，即完成制程，本发明的加热平板，其可以透过micro heater作加热平板的加热，可以让玻璃作传导热以及辐射热，让玻璃达到均温的效果，此外，也可以藉由加热平板的顶升作用，让玻璃与showerhead间距达到适当距离，可以依制程需求来调整间距，并能够得到均匀的电浆，此为本发明的最主要目的，并能够得到均匀的硅薄膜，以提高太阳能硅薄膜的发电效率。

以上说明,对本发明而言只是说明性的，非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修正、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围之内。

附图说明：下面是结合附图和实施例对本发明进一步说明，第一图是本发明之加热平板示意图，第二图是本发明之PECVD制程示意图， 主要元件符号说明：1 …加热平板2 …线性马达轴承3…弹簧轴承4 …Micro heater5 …滚轮6…Slit valve7…抽气Pump8…蝶阀9…金属平板10…TCO玻璃11…Showerhead12…气流孔13…RF power supply。

Claims (5)

1.一种设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，其PECVD腔体内部设有传动轮轴及真空Pump，且也有Showerhead气流孔及RF电极，此外也有最重要的是本发明加热平板，其加热平板的加热方式是用micro heater进行加热，故可以让加热平板本身为均匀加热，此外这个加热平板下有一组线性马达轴承，这个马达是架设于腔体下，利用其Port与马达之间紧密结合而成，当加热平板欲作升降时，可以由电脑界面将马达开启并作升降，其方式主要是当TCO玻璃与金属平板一起放入Carrier内，并传送到PECVD腔体后，其加热平板利用马达控制轴承作升降，由于玻璃与金属平板一起接触到加热平板，此时加热的方式有传导热及辐射热两种，可以让玻璃均匀升温，且不易有玻璃翘曲的可能，随后当要开始制程时，其加热平板可以再作上升动作，使其玻璃与电极产生一适当的间距，此间距可依制程需要来做改变，而当RF power supply开启的时后，这个间距就可以得到均匀电浆，并可进行制程，当完成制程后，其加热平板则是透过线性马达轴承作下降动作，并让Carrier可以顺利传出，此发明兼顾着玻璃加热均匀不易翘曲外，也有让玻璃与电极产生适当的间距，以便进行电浆制程，故可以达到均匀的硅薄膜，并提高整体太阳能硅薄膜发电效率。

2.根据权利要求1所述的一种计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，其加热平板内设有线性马达轴承，此线性马达轴承与腔体port是紧闭一起，故不会造成腔体在抽真空时有漏气的可能，并可以达到腔体内部真空值。

3.  根据权利要求1所述的一种计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，其加热平板内部所设计的线性马达轴承，其内部有一组micro heater，其可以针对加热平板进行加热，且其micro heater是为传导热，故加热平板在加热恰当时间后，其温度为均匀，故可以当玻璃与金属平板加热时，可以让玻璃达到均匀的加热，以便能够进行制程。

4.  根据权利要求1所述的计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，其加热平板两侧设有弹簧轴承，其弹簧轴承可以透过电脑界面作升降的动作，此升降动作主要是要让加热平板作升降，可以将玻璃顶升到离电极有一适当的间距，可以依制程需求来作调整，并可以当RF power supply开启时得到均匀的电浆，以便进行硅薄膜镀膜。

5.  根据权利要求1所述的计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，其玻璃在加热平板顶升后，其加热平板与金属平板及玻璃接触，故玻璃不会有翘曲状况，且在镀膜时，因有一固定间距，故气流孔流入气体到showerhead后，扩散到腔体内部，此时固定的间距可以让RF power supply开启电浆，并且可以得到均匀电浆进行镀膜，完成后，此加热平板可以作下降动作，并让玻璃可以传出到出口端破真空，来完成制程，本发明的设计，可以让玻璃有一均匀的加热，且可以有一恰当的电极间距，故能够得到均匀的硅薄膜，并且可以提高太阳能硅薄膜电池的发电效率。

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