CN103011579B - 一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法 - Google Patents

一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103011579B
CN103011579B CN201210577217.XA CN201210577217A CN103011579B CN 103011579 B CN103011579 B CN 103011579B CN 201210577217 A CN201210577217 A CN 201210577217A CN 103011579 B CN103011579 B CN 103011579B
Authority
CN
China
Prior art keywords
blowtorch
metal
rod
cylinder
metal blowtorch
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201210577217.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN103011579A (zh
Inventor
谢康
张彬
钱宜刚
陈京京
沈一春
薛济萍
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhongtian Technologies Fibre Optics Co Ltd
Jiangsu Zhongtian Technology Co Ltd
Zhongtian Technology Precision Material Co Ltd
Original Assignee
Zhongtian Technology Precision Material Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhongtian Technology Precision Material Co Ltd filed Critical Zhongtian Technology Precision Material Co Ltd
Priority to CN201210577217.XA priority Critical patent/CN103011579B/zh
Publication of CN103011579A publication Critical patent/CN103011579A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103011579B publication Critical patent/CN103011579B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C03B37/0142—Reactant deposition burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/0148—Means for heating preforms during or immediately prior to deposition
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

本发明一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法涉及的是一种大尺寸光纤预制棒制造过程中的移动式在线退火装置及其方法，用来消除光纤预制棒外包层沉积过程中，由于喷灯火焰灼烧产生的应力，从而改善预制棒质量。包括固定底座一、固定底座二、气缸一、气缸二、金属喷灯一、金属喷灯二、气体流量控制器、金属气管和特氟隆管道；所述的固定底座一、固定底座二分别与卡盘基座一、卡盘基座二配合，金属喷灯一与气缸一连接，金属喷灯二与气缸二连接；气缸一、气缸二分别安装在固定底座一、固定底座二上，对金属喷灯一、金属喷灯二进行定位；金属喷灯一、金属喷灯二分别通过特氟隆软管与金属气管相连；气体流量控制器安装在金属管道上。

Description

一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法
技术领域
本发明一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法涉及的是一种大尺寸光纤预制棒制造过程中的移动式在线退火装置及其方法，用来消除光纤预制棒外包层沉积过程中，由于喷灯火焰灼烧产生的应力，从而改善预制棒质量，并提高生产效率。
背景技术
为降低光纤生产成本，同时提高沉积效率，大尺寸光纤预制棒成为预制棒技术发展的主要方向。
生产石英光纤预制棒芯棒的方法主要有以下四种：
微波等离子体激活化学气相沉积法(PCVD- Plasma activated Chemical Vapour Deposition )，改进的化学气相沉积法(MCVD-Modified Chemical Vapour Deposition)，棒外化学气相沉积法(OVD-Outside Chemical Vapour Deposition)，轴向气相沉积法(VAD-Vapour phase Axial Deposition)
外包层的制作方法则主要集中在RIT/RIC法（套管法）、Soot法（外部气相沉积法）和外部等离子喷涂法等制造技术，这也是目前大尺寸光纤预制棒的主要生产技术。RIT/RIC法是将芯棒插入套管中直接拉制光纤，或者融缩成实心预制棒后拉丝；Soot法和外部等离子喷涂法则直接制得实心预制棒。一般将光纤预制棒直径在100mm以上的称之为大直径光纤预制棒或者大尺寸光纤预制棒。
外部气相沉积法（OVD）制作大直径预制棒有以下2个难点：
1、              沉积喷灯通过左右移动将SiO2粉末沉积到芯棒上，沉积喷灯移动到粉末棒两端时会对把棒产生灼烧使把棒产生应力，强度降低，随着粉末棒直径的增大，粉末预制棒重量增加，把棒受到的剪切力增大，因此沉积过程中把棒断裂几率较高，会对合格率造成一定的影响；
2、              沉积喷灯通过左右往返移动完成芯棒表面SiO2粉末的附着，该移动方式下，左右锥部与平行部的灼烧时间会有所相同，容易导致左右锥部的密度与平行部不均匀，沉积过程中密度的偏差会产生裂纹，裂纹扩散造成整根粉末棒的开裂报废。
中国发明专利CN1606534A提供了一种OVD（外部气相沉积）法，通过在旋转芯棒的表面上沉积火焰水解物颗粒来制备光纤预制棒，该颗粒由喷灯喷射的燃气反应生成。在沉积所述火焰水解物颗粒时，通过使所述的预制棒表面上一个点的轨迹速度保持恒定或逐渐减小。该方法控制沉积在预制棒上的火焰水解物颗粒的沉积浓度，使浓度保持恒定而不随预制棒的半径而变化，或者控制沉积浓度向预制棒的外围方向逐渐增加。
该方法可以制得大尺寸光纤预制棒，但随着粉末棒直径的增加，沉积重量的增大，把棒剪切力的增大会使断棒的几率增加；同时，随着粉末棒外径的增加，在保持卡盘转速一定的情况下，粉末棒外表面的线速度会逐渐提高，火焰对粉末的喷烧时间相对会减小，从而导致粉末的密度降低，沉积过程中开裂的可能性也会增加。
中国发明专利03800876.9描述了一种用于制造光纤预制棒的外部气相沉积（OVD）装置，包括芯棒和燃烧器，所述的芯棒具有指定的长度并被驱动旋转；所述的燃烧器向芯棒表面发射燃烧气体和反应气体，使制造SiO2颗粒的燃烧气体燃烧，从而使二氧化硅颗粒沉积在芯棒的表面上。
该装置的沉积效率和速率较其它工艺有所提高，但是由于锥部应力无法有效去除，且锥部致密性差，把棒断裂和开裂的问题仍然存在。
日本发明专利JP2000-272930A也介绍了OVD沉积方法与装置。该装置主要是利用相对的、沿轴向移动的喷灯将石英粉末沉积在旋转的接有尾柄的芯棒上，通过重量计计量沉积量，当计量值达到设定值时，沉积结束，设备自动停止。
该装置与方法可以沉积大尺寸的预制棒，且通过增大沉积喷灯H2、O2流量，使锥部粉末的密度趋近于均匀，降低了锥部粉末开裂的几率；但由于H2、O2流量的增加，喷灯火焰在粉末棒锥部、把棒位置灼烧产生冷热不均，更容易产生应力。随着目标外径的增加，沉积重量的增大，粉末棒发生断棒的概率会有所提升。
现有的大尺寸光纤预制棒OVD制造技术中，由于装置及工艺方面的原因，锥部设计存在缺陷，断棒和开裂的概率较高。此外，锥部粉末比较蓬松，粉末棒烧结时锥部容易产生裂纹。且烧结后的锥部由于致密性差，在棒体运输过程中断裂的几率也很高。
原材料、气体、电力等为预制棒成本的主要组成部分，如果沉积临近结束发生断棒、开裂问题，直接导致了原材料等的报废，给企业带来损失。因此，发明一种装置，来解决大尺寸预制棒生产过程中的锥部断裂、开裂问题，成为了一个亟待解决的问题。
发明内容
本发明的目的是针对上述不足之处提供一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法，是在外包粉末棒沉积装置中添加了移动式的在线退火的装置，通过这个装置的添加，能有效地去除沉积过程中锥部把棒由于沉积喷灯灼烧产生的应力。这种装置构造简单，成本较低，安装此装置后，对沉积过程中粉末棒锥部应力的去除能起到很好的效果，大大降低了断棒的概率。
本发明的另外一个目的是使粉末棒的锥部密度更加均匀，避免了锥部粉末密度不均而产生的开裂问题。同时，锥部粉末的致密也会对锥部起到更好的保护作用，避免烧结过程中锥部开裂或者搬运过程中锥部断裂等问题的发生。本发明不仅可以确保生产的正常进行，还可以优化工艺，降低断棒、开裂等问题发生的概率，为企业降低损失。
一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法是采取以下技术方案实现：
OVD装置是利用相对的、沿轴向移动的喷灯将石英粉末沉积在旋转的接有把棒的芯棒上，通过重量计计量沉积量，当计量值达到设定值时，沉积结束，设备自动停止。OVD装置本身未安装退火装置，因此，粉末棒锥部无法得到有效的退火。
一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置安装在外部气相沉积（OVD）设备的左右两卡盘基座一、二上，主要用来对粉末棒的两锥部进行退火。
一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置包括固定底座一、固定底座二、气缸一、气缸二、金属喷灯一、金属喷灯二、气体流量控制器、金属气管和特氟隆管道。
所述的固定底座一、固定底座二分别与卡盘基座一、卡盘基座二配合，金属喷灯一与气缸一连接，以实现喷灯一在气缸一的控制下往复移动，金属喷灯二与气缸二连接，以实现喷灯二在气缸二的控制下往复移动；气缸一、气缸二分别安装在固定底座一、固定底座二上，固定底座一、固定底座二分别与卡盘基座一、卡盘基座二配合，对金属喷灯一、金属喷灯二进行定位；金属喷灯一、金属喷灯二分别通过特氟隆软管与金属气管相连，以实现喷灯的自由移动；气体流量控制器安装在金属管道上，实现金属喷灯气体流量的控制。      
所述的气体流量控制器采用市售MFC型气体流量控制器。
所述的金属喷灯一、金属喷灯二采用圆形金属喷灯。
所述的金属气管用于供应H2、O2给金属喷灯一、金属喷灯二。
本发明一种大尺寸光纤预制棒的在线退火方法包括以下工艺步骤：
1） 在芯棒两端对接把棒和把棒；
2） 对接有把棒的芯棒进行抛光，除去对接口的应力，同时除去芯棒表面的杂质。抛光流量：H2：250L/min，内O2：60L/min，外O2：70L/min；
3） 将对接有把棒的芯棒两端分别安装在沉积设备的卡盘基座一和卡盘基座二上；
4） 对沉积石英喷灯点火，并对金属喷灯一、金属喷灯二点火；
5） 按“自动运转”按钮，沉积设备卡盘基座一和卡盘基座一以40rpm的转速开始旋转，石英喷灯以200mm/min的移动速度开始在芯棒表面沉积SiO2粉末，石英喷灯流量：SiCl4：25g/min，H2：80L/min，O2：40L/min，Ar：40L/min；
6） 整个沉积过程中，金属喷灯一、金属喷灯二分别通过气缸一、气缸二的控制开始在两限位之间往复移动，移动速度：25mm/min；
7） 通过气缸一、气缸二的移动，金属喷灯一、金属喷灯二对粉末棒左、右锥部，即距离尾柄端400～500mm位置进行退火，退火温度为1200℃～1300℃；
8） 通过MFC气体流量控制器，量程为0～50L/min，将金属喷灯一、金属喷灯二的H2、O2流量分别控制在：H2：20L/min；O2：10L/min；
9） 沉积过程中金属喷灯一、金属喷灯二对粉末棒左、右锥部移动退火，一方面去除两锥部的应力，另一方面使锥部密度更加均匀，降低粉末棒断棒、开裂的几率；
10）   石英喷灯将石英粉末沉积在旋转的接有尾柄的芯棒上，转速40rpm，通过重量计计量沉积量，当计量值达到设定值时，沉积结束，设备自动停止；
11）   粉末棒沉积结束后，沉积用石英喷灯自动熄火，金属喷灯一、金属喷灯二继续对粉末棒锥部进行退火约20min；
12）   退火结束后，金属喷灯一、金属喷灯二自动关火，沉积结束；
13）   锥部致密性试验，确认是否可以后续烧结；
14）   烧结后确认锥部情况，符合要求的预制棒进入后续工序继续流转。
本发明一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法设计合理，本发明是在外包粉末棒沉积装置中添加了移动式的在线退火的装置，通过这个装置的添加，能有效地去除沉积过程中锥部把棒由于沉积喷灯灼烧产生的应力。这种装置构造简单，成本较低，安装此装置后，对沉积过程中粉末棒锥部应力的去除能起到很好的效果，大大降低了断棒的概率。
本发明使粉末棒的锥部密度更加均匀，避免了锥部粉末密度不均而产生的开裂问题。同时，锥部粉末的致密也会对锥部起到更好的保护作用，避免烧结过程中锥部开裂或者搬运过程中锥部断裂等问题的发生。本发明不仅可以确保生产的正常进行，还可以优化工艺，降低断棒、开裂等问题发生的概率，为企业降低损失。
附图说明
以下将结合附图对本发明作进一步说明：
图1 是未安装退火装置的OVD法外包层沉积示意图。
图2 是安装有固定式在线退火装置的OVD法外包层沉积示意图。
图3 是本发明的安装有移动式在线退火装置的OVD法外包层沉积示意图。
图4是本发明的金属喷灯一与气缸一安装结构示意图。
图5是粉末棒主体受力简图。
图6是粉末棒部分分解分析受力示意图。
图7是粉末棒主体受力详图。
具体实施方式
OVD装置是利用相对的、沿轴向移动的喷灯将石英粉末沉积在旋转的接有尾柄的芯棒上，通过重量计计量沉积量，当计量值达到设定值时，沉积结束，设备自动停止。OVD装置本身未安装退火装置，因此，粉末棒3锥部无法得到有效的退火。
参照附1～6，一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置安装在外部气相沉积（OVD）设备的左右两卡盘基座5、6上，主要用来对粉末棒3的两锥部进行退火。
一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置包括固定底座一10、固定底座二13、气缸一8、气缸二11、金属喷灯一9、金属喷灯二12、气体流量控制器、金属气管和特氟隆管道。
所述的固定底座一10、固定底座二13分别与卡盘基座一5、卡盘基座二6配合，金属喷灯一9与气缸一8连接，以实现喷灯一9在气缸一8的控制下往复移动，金属喷灯二12与气缸二11连接，以实现喷灯二12在气缸二11的控制下往复移动；气缸一8、气缸二11分别安装在固定底座一10、固定底座二13上，固定底座一10、固定底座二13分别与卡盘基座一5、卡盘基座二6配合（见附图3），对金属喷灯一9、金属喷灯二12进行定位；金属喷灯一9、金属喷灯二12分别通过特氟隆软管与金属气管相连，以实现喷灯的自由移动；气体流量控制器安装在金属管道上，实现金属喷灯气体流量的控制。      
所述的气体流量控制器采用市售MFC型气体流量控制器。
所述的金属喷灯一9、金属喷灯二12采用圆形金属喷灯。
所述的金属气管用于供应H2、O2给金属喷灯一9、金属喷灯二12。
本发明一种大尺寸光纤预制棒的在线退火方法包括以下工艺步骤：
1） 在芯棒2两端对接把棒1和把棒4；
2） 对接有把棒的芯棒进行抛光，除去对接口的应力，同时除去芯棒表面的杂质。抛光流量：H2：250L/min，内O2：60L/min，外O2：70L/min；
3） 将对接有把棒的芯棒两端安装在沉积设备的卡盘基座一5和卡盘基座二6上；
4） 对沉积石英喷灯7点火，并对金属喷灯一8、金属喷灯二9点火；
5） 按“自动运转”按钮，沉积设备卡盘基座一5和卡盘基座二6以40rpm的转速开始旋转，石英喷灯7以200mm/min的移动速度开始在芯棒2表面沉积SiO2粉末，石英喷灯7流量：SiCl4：25g/min，H2：80L/min，O2：40L/min，Ar：40L/min；
6） 整个沉积过程中，金属喷灯一9、金属喷灯二12分别通过气缸一8、气缸二11的控制开始在两限位之间往复移动，移动速度：25mm/min；
7） 通过气缸一8、气缸二11的移动，金属喷灯一9、金属喷灯二12对粉末棒左、右锥部，即距离尾柄端400～500mm位置进行退火，退火温度为1200℃～1300℃；
8） 通过MFC气体流量控制器，量程为0～50L/min，将金属喷灯一9、金属喷灯二12的H2、O2流量分别控制在：H2：20L/min；O2：10L/min；
9） 沉积过程中金属喷灯一9、金属喷灯二12对粉末棒3左、右锥部移动退火，一方面去除两锥部的应力，另一方面使锥部密度更加均匀，降低粉末棒断棒、开裂的几率；
10）   石英喷灯7将石英粉末沉积在旋转的接有尾柄的芯棒2上，转速40rpm，通过重量计计量沉积量，当计量值达到设定值时，沉积结束，设备自动停止；
11）   粉末棒沉积结束后，沉积用石英喷灯7自动熄火，金属喷灯一9、金属喷灯二12继续对粉末棒3锥部进行退火约20min；
12）   退火结束后，金属喷灯一9、金属喷灯二12自动关火，沉积结束；
13）   锥部致密性试验，确认是否可以后续烧结；
14）   烧结后确认锥部情况，符合要求的预制棒进入后续工序继续流转。
实施例1
采用VAD工艺制备芯棒，将芯棒延伸后，测试其折射率剖面，由测试结果计算外包层所需量。
测试完成的芯棒在两端对接把棒，对接把棒后对芯棒进行抛光，去除由于对接产生的应力。抛光完成的带有把棒的芯棒称为枝棒，根据测试结果选择合适的目标重量，采用OVD法在芯棒上沉积外包层，最后制得目标外径为150mm的粉末棒。
沉积设备不安装在线退火装置，沉积结束后，对粉末棒的锥部附着力进行试验，检验锥部粉末剥落所需力。
观察烧结试验后预制棒锥部情况，是否存在开裂、剥落等异常。
沉积正常结束，锥部粉末无剥落，烧结后锥部正常的预制棒判定为合格，进行后续工序。
实施例2
沉积设备安装固定式的在线退火装置，其它采用与实施例1相同的工艺过程。
沉积结束后，对粉末棒的锥部附着力进行试验，检验锥部粉末剥落所需力。
观察烧结试验后预制棒锥部情况，是否存在开裂、剥落等异常。
沉积正常结束，锥部粉末无剥落，烧结后锥部正常的预制棒判定为合格，进行后续工序。
实施例3
沉积设备安装本发明移动式的在线退火装置，其它采用与实施例1相同的工艺过程。
沉积结束后，对粉末棒的锥部附着力进行试验，检验锥部粉末剥落所需力。
观察烧结试验后预制棒锥部情况，是否存在开裂、剥落等异常。
沉积正常结束，锥部粉末无剥落，烧结后锥部正常的预制棒判定为合格，进行后续工序。
下面结合图示详细描述本发明的主要工艺过程。
1、  在线退火装置的构成
1）  控制退火装置移动的气缸；
2）  圆形金属喷灯：直径约15mm，由10个出气孔组成，内层H2，外层O2。
3）  MFC控制气体流量，量程：0～50L/min。
4）  连接软管
通过软管与金属管道连接，保证气体的供应。
5）  使用气体：H2、O2 ；
2、  在线退火方法
1）  H2、O2流量配比：H2：20L/min；O2：10L/min；
2）  在线退火装置位置
高度：高于卡盘中轴线约60mm；
角度：距离棒体竖直水平线的垂直距离约150mm；
火焰灼烧位置：粉末棒锥部位置；
气缸移动范围：距离尾柄端400～500mm。
3、  粉末棒受力分析
         整体受力分析，粉末棒主要受重力和支撑力（如附图1所示）。分解单点受力情况，由于锥部尾柄的支撑力和粉末棒自身重力，粉末棒单点的其它力综合为一个向上的剪切力（如附图2所示）。
    因此，粉末棒的整体受力分解为重力、支撑力和剪切力（如附图3所示），当重力达到一限值，超过粉末棒受力的极限，某一点在重力、剪切力的多重作用下，即可能会发生断棒。
4、  退火装置对比试验
1）  不安装在线退火装置的OVD设备：A，如附图1；
2）  安装固定式在线退火装置的OVD设备：B，如附图2；
3）  安装本发明移动式在线退火装置的OVD设备：C，如附图3。
5、  制备大直径光纤预制棒
可以采用前述的四种芯棒制造工艺中的任一种，制备光纤预制棒的芯棒。然后将芯棒作为靶棒，采用OVD工艺在靶棒上制备外包层，最终制得的实心大直径光纤预制棒直径在100-200mm，典型的在120-150mm。沉积装置如附图4所示。
6、  外包粉末棒锥部致密性检测
对粉末棒的锥部粉末的附着力进行试验，检验锥部粉末剥落所需力。
    通过试验对比，采用本发明移动式在线退火装置对锥部进行退火，生产完成的粉末棒，其整个锥部的附着力较均匀，密度较均匀，相较于其它两种方式，效果最好，对锥部起到最好的保护作用。
7、  A、B、C三种退火装置沉积试验对比结果
项目 试验数量 断棒数量 断裂位置 断棒率(%) 开裂数量 开裂率（%）
试验A 526 12 480 2.28% 15 2.85%
试验B 1324 8 480 0.60% 6 0.45%
试验C 825 1 480 0.12% 2 0.12%
    通过试验对比，采用本发明移动式在线退火装置对锥部进行退火，其沉积断棒率、开裂率较其它两种装置明显降低，效果显著。
8、  外包粉末棒烧结
观察烧结后预制棒锥部情况，是否存在开裂、剥落等异常。
项目 烧结数量 开裂、剥落数量 断棒率(%)
试验A 499 10 2.00%
试验B 1310 6 0.46%
试验C 822 2 0.24%
    通过试验对比，采用本发明移动式在线退火装置对锥部进行退火，其粉末棒烧结后锥部的开裂和剥落所占比例明显降低，效果显著。

Claims (5)

1.一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置，其特征在于：包括固定底座一、固定底座二、气缸一、气缸二、金属喷灯一、金属喷灯二、气体流量控制器、金属气管和特氟隆管道；
所述的固定底座一、固定底座二分别与卡盘基座一、卡盘基座二配合，金属喷灯一与气缸一连接，以实现喷灯一在气缸一的控制下往复移动，金属喷灯二与气缸二连接，以实现喷灯二在气缸二的控制下往复移动；气缸一、气缸二分别安装在固定底座一、固定底座二上，对金属喷灯一、金属喷灯二进行定位；金属喷灯一、金属喷灯二分别通过特氟隆软管与金属气管相连，以实现喷灯的自由移动；气体流量控制器安装在金属管道上，实现金属喷灯气体流量的控制。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置，其特征在于：所述的气体流量控制器采用MFC型气体流量控制器。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置，其特征在于：所述的金属喷灯一、金属喷灯二采用圆形金属喷灯。
4.根据权利要求1所述的一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置，其特征在于：所述的金属气管用于供应H2、O2给金属喷灯一、金属喷灯二。
5.一种大尺寸光纤预制棒的在线退火方法，其特征在于：包括以下步骤：
1）在芯棒两端对接把棒一和把棒二；
2）对接有把棒的芯棒进行抛光，除去对接口的应力，同时除去芯棒表面的杂质；
抛光流量：H2：250L/min，内O2：60L/min，外O2：70L/min；
3）将对接有把棒的芯棒两端分别安装在沉积设备的卡盘基座一和卡盘基座二上；
对沉积石英喷灯点火，并对金属喷灯一、金属喷灯二点火；
按“自动运转”按钮，沉积设备卡盘基座一和卡盘基座一以40rpm的转速开始旋转，石英喷灯以200mm/min的移动速度开始在芯棒表面沉积SiO2粉末，石英喷灯流量：SiCl4：25g/min，H2：80L/min，O2：40L/min，Ar：40L/min；
整个沉积过程中，金属喷灯一、金属喷灯二分别通过气缸一、气缸二的控制开始在两限位之间往复移动，移动速度：25mm/min；
通过气缸一、气缸二的移动，金属喷灯一、金属喷灯二对粉末棒左、右锥部，即距离尾柄端400～500mm位置进行退火，退火温度为1200℃～1300℃；
通过MFC气体流量控制器，量程为0～50L/min，将金属喷灯一、金属喷灯二的H2、O2流量分别控制在：H2：20L/min；O2：10L/min；
沉积过程中金属喷灯一、金属喷灯二对粉末棒左、右锥部移动退火，一方面去除两锥部的应力，另一方面使锥部密度更加均匀，降低粉末棒断棒、开裂的几率；
石英喷灯将石英粉末沉积在旋转的接有尾柄的芯棒上，转速40rpm，通过重量计计量沉积量，当计量值达到设定值时，沉积结束，设备自动停止；
粉末棒沉积结束后，沉积用石英喷灯自动熄火，金属喷灯一、金属喷灯二继续对粉末棒锥部进行退火20min；
退火结束后，金属喷灯一、金属喷灯二自动关火，沉积结束；
锥部致密性试验，确认是否可以后续烧结；
烧结后确认锥部情况，符合要求的预制棒进入后续工序继续流转。
CN201210577217.XA 2012-12-27 2012-12-27 一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法 Active CN103011579B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210577217.XA CN103011579B (zh) 2012-12-27 2012-12-27 一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210577217.XA CN103011579B (zh) 2012-12-27 2012-12-27 一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103011579A CN103011579A (zh) 2013-04-03
CN103011579B true CN103011579B (zh) 2015-05-20

Family

ID=47960751

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210577217.XA Active CN103011579B (zh) 2012-12-27 2012-12-27 一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103011579B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103755135B (zh) * 2013-12-25 2016-08-17 中天科技精密材料有限公司 一种光纤预制棒外包层高效制备方法及其设备
CN103739195B (zh) * 2013-12-25 2016-05-25 中天科技精密材料有限公司 一种大尺寸光纤预制棒的水冷系统及其水冷方法
CN110395890A (zh) * 2017-01-05 2019-11-01 富通集团（嘉善）通信技术有限公司 大尺寸光纤预制棒的脱羟退火装置
CN110395892B (zh) * 2017-01-05 2022-06-10 富通集团（嘉善）通信技术有限公司 大尺寸光纤预制棒的脱羟退火方法
CN106892555B (zh) * 2017-02-15 2019-05-24 天津富通集团有限公司 大尺寸光纤预制棒的制造工艺
CN109928612B (zh) * 2017-02-24 2021-08-06 天津富通集团有限公司 一种光纤预制棒的制造方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4145456A (en) * 1974-09-14 1979-03-20 Dieter Kuppers Method of producing internally coated glass tubes for the drawing of fibre optic light conductors
CN1603867A (zh) * 2004-10-29 2005-04-06 江苏亨通光电股份有限公司 一种大型光纤预制件生产的方法
CN203065348U (zh) * 2012-12-27 2013-07-17 中天科技精密材料有限公司 一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5163416B2 (ja) * 2008-10-07 2013-03-13 住友電気工業株式会社 多孔質ガラス母材の製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4145456A (en) * 1974-09-14 1979-03-20 Dieter Kuppers Method of producing internally coated glass tubes for the drawing of fibre optic light conductors
CN1603867A (zh) * 2004-10-29 2005-04-06 江苏亨通光电股份有限公司 一种大型光纤预制件生产的方法
CN203065348U (zh) * 2012-12-27 2013-07-17 中天科技精密材料有限公司 一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN103011579A (zh) 2013-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103011579B (zh) 一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置及其在线退火方法
CN105384334B (zh) 一种大尺寸光纤预制棒制造用喷灯及其大尺寸光纤预制棒制造方法
CN103755135B (zh) 一种光纤预制棒外包层高效制备方法及其设备
CN103848565B (zh) 一种管外法制造光纤预制棒的装置和方法
CN104556673A (zh) 一种大尺寸光纤预制棒减少芯包界面杂质、气泡的装置及其方法
CN110372201A (zh) 一种大尺寸、高沉积速率光纤预制棒用喷灯及其疏松体制造方法
JP2022048348A (ja) 改良された粒子蒸着システムと方法
JP5362382B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法及び光ファイバ用母材製造用バーナ
CN115159833A (zh) 一种大尺寸高沉积速率的光纤预制棒制造装置及方法
CN103951182B (zh) 一种复杂折射率剖面光纤预制棒套管的制造方法及其制造设备
CN203065348U (zh) 一种大尺寸光纤预制棒的在线退火装置
CN108083629B (zh) 一种管外法制备抗弯曲低水峰单模光纤的装置及其方法
CN204356232U (zh) 一种大尺寸光纤预制棒减少芯包界面杂质、气泡的装置
CN203866201U (zh) 一种复杂折射率剖面光纤预制棒套管的制造设备
CN210457965U (zh) 一种大尺寸、高沉积速率光纤预制棒制造用喷灯
US11820691B2 (en) Manufacturing apparatus and manufacturing method for optical fiber porous preform
CN213266281U (zh) 一种用于大尺寸光纤预制棒的芯棒制备装置
CN212770473U (zh) 一种对光纤预制棒疏松体进行外包层的高速沉积装置
CN104556672A (zh) 一种掺氟预制棒的制备方法
JP2010089985A (ja) 多孔質ガラス母材の製造方法
CN103708722A (zh) 一种沉积光纤预制棒用母棒及其制造方法
KR102545711B1 (ko) 다공질 유리 모재의 제조 장치 및 제조 방법
CN203782031U (zh) 一种大尺寸芯棒松散体的制造装置
JP6839558B2 (ja) 光ファイバ多孔質母材の製造方法及び製造装置
CN102503114A (zh) 一种光纤用石英芯棒的制造装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20160408

Address after: 226009 No. 3 Zhongtian Road, Nantong Economic Development Zone, Nantong, Jiangsu

Patentee after: Jiangsu Zhongtian Technology Precision Material Co., Ltd.

Patentee after: Zhongtian Science and Technology Co., Ltd., Jiangsu

Patentee after: Zhongtian Technologies Fiber Optics Co., Ltd.

Address before: 226009 No. 3 Zhongtian Road, Nantong Economic Development Zone, Nantong, Jiangsu

Patentee before: Jiangsu Zhongtian Technology Precision Material Co., Ltd.