CN103009205A - 一种光掩膜板抛边装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种光掩膜板抛边装置，包括电机、机座、机架、磨轮、靠模机构和支撑结构，所述的机架固定在机座上，所述的靠模机构位于机架的一侧，所述的电机和磨轮固定在机架另一侧的支撑结构上，所述的磨轮设在电机的正下方；所述的靠模机构包括靠模、靠模滑板、靠模滑轨，所述的靠模滑轨安装于机架的一侧，所述的靠模滑板可滑动的水平安装在靠模滑轨上，所述的靠模安装在靠模滑板上。与现有技术相比，本发明具有结构简单，设备成本低等优点。

Description

一种光掩膜板抛边装置
技术领域
本发明涉及一种抛边装置，尤其是涉及一种光掩膜板抛边装置。
背景技术
光掩膜板是半导体行业芯片光刻的基板。而光掩膜板的基板原先均由日本垄断生产，其加工要求十分精密，除了玻璃基板的平面度、平行度、表面光洁度外，对外形的倒边抛光要求更是难度高，劳动强度大，而且产能很低，阻碍了玻璃基板的加工。
发明内容
本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种结构简单、设备成本低的光掩膜板抛边装置。
本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：
一种光掩膜板抛边装置，其特征在于，包括电机、机座、机架、磨轮、靠模机构和支撑结构，所述的机架固定在机座上，所述的靠模机构位于机架的一侧，所述的电机和磨轮固定在机架另一侧的支撑结构上，所述的磨轮设在电机的正下方。
所述的靠模机构包括靠模、靠模滑板、靠模滑轨，所述的靠模滑轨安装于机架的一侧，所述的靠模滑板可滑动的水平安装在靠模滑轨上，所述的靠模安装在靠模滑板上。
所述的靠模为90°靠模。
所述的支撑结构包括滑板和滑轨，所述的滑板与滑轨水平滑动连接，所述的电机和磨轮安装在滑板上。
与现有技术相比，本发明通过靠模的方式来实现对产品的加工，结构简单，设备成本低，操作简单，产品加工精度高。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。
如图1所示，一种光掩膜板抛边装置，包括机座1、机架2、电机3、磨轮4、靠模机构5和支撑结构6。机架2固定在机座1上；靠模机构5位于机架2的一侧，包括靠模7、靠模滑板8、靠模滑轨9，靠模滑轨9，靠模滑板8可滑动的水平安装在靠模滑轨9上，靠模7为90°靠模，安装在靠模滑板8上；支撑结构6位于机架2的另一侧，包括滑板10和滑轨11，滑板10与滑轨11水平滑动连接，电机3和磨轮4安装在滑板10上，所述的磨轮4在电机3的正下方。

Claims (4)

1.一种光掩膜板抛边装置，其特征在于，包括电机、机座、机架、磨轮、靠模机构和支撑结构，所述的机架固定在机座上，所述的靠模机构位于机架的一侧，所述的电机和磨轮固定在机架另一侧的支撑结构上，所述的磨轮设在电机的正下方。
2.根据权利要求1所述的一种光掩膜板抛边装置，其特征在于，所述的靠模机构包括靠模、靠模滑板、靠模滑轨，所述的靠模滑轨安装于机架的一侧，所述的靠模滑板可滑动的水平安装在靠模滑轨上，所述的靠模安装在靠模滑板上。
3.根据权利要求1所述的一种光掩膜板抛边装置，其特征在于，所述的靠模为90°靠模。
4.根据权利要求1所述的一种光掩膜板抛边装置，其特征在于，所述的支撑结构包括滑板和滑轨，所述的滑板与滑轨水平滑动连接，所述的电机和磨轮安装在滑板上。
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Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20130403