CN102936719A - 一种磁控溅射镀膜系统 - Google Patents
一种磁控溅射镀膜系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102936719A CN102936719A CN2012105022883A CN201210502288A CN102936719A CN 102936719 A CN102936719 A CN 102936719A CN 2012105022883 A CN2012105022883 A CN 2012105022883A CN 201210502288 A CN201210502288 A CN 201210502288A CN 102936719 A CN102936719 A CN 102936719A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chamber
- magnetron sputtering
- bleeding
- coating system
- sputtering plating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
本发明涉及到一种镀膜系统，尤其涉及到一种可连续生产的镀膜系统，采用的技术方案是，包括：磁控溅射镀膜生产室，设置在磁控溅射镀膜生产室前端的放卷室，设置在磁控溅射镀膜生产室后端的收卷室，设置在放卷室和生产室之间的放卷室多级狭缝抽气段，设置在收卷室和生产室之间的收卷室多级狭缝抽气段，其中，磁控溅射镀膜生产室与真空抽气机组相连，真空抽气机组被用来抽取磁控溅射镀膜生产室的空气，放卷室内还设有换卷机构，本系统的优点磁控溅射镀膜生产室与大气层的压差可达到10ˉ4pa，镀膜膜层比较均匀。
Description
技术领域
本发明涉及到一种镀膜系统，尤其涉及到一种带有多级狭缝抽气段的磁控溅射镀膜系统。
背景技术
利用磁控溅射在基材表面上镀各种功能膜，目前分为两类，一类是将基材裁切成一板一板的连续镀膜磁控溅射镀膜系统，其与玻璃连续镀膜磁控溅射镀膜系统相似，该磁控溅射镀膜系统可实现连续镀膜，但基材必须裁切成一板一板，一方面是裁切时应根据用户的尺寸要求而定，另一方面是镀膜时必须由人工一板一板的放置，既影响效率，又增加污染。
另一类是采用真空卷绕结构的镀膜机，收、放卷室均处于真空室中，因此每次只能连续生产一卷，换卷必须破坏真空，因而达不到真正的连续生产。
发明内容
本发明的目的是针对上述两类磁控溅射磁控溅射镀膜系统存在的问题，从新设计的一种用于磁控溅射镀膜系统。其采用的技术方案是提供一种磁控溅射镀膜系统，包括：
磁控溅射镀膜生产室；
放卷室，所述放卷室设置在磁控溅射镀膜生产室前端；
收卷室，所述收卷室设置在磁控溅射镀膜生产室后端；
放卷室多级狭缝抽气段，所述放卷室多级狭缝抽气段设置在放卷室和生产室之间；
收卷室多级狭缝抽气段，所述收卷室多级狭缝抽气段设置在收卷室和生产室之间；
本发明的一种优先实施方案是，上述磁控溅射镀膜生产室还与真空抽气机组相连，所述真空抽气机组被用来抽取磁控溅射镀膜生产室的空气。
本发明的一种优先实施方案是，所述放卷室均设有换卷机构。
本发明的一种优先实施方案是，所述换卷机构为上部为（N+1）个定滑轮、下部为N个动滑轮，按“W”形间隔均等排列组合而成。
本发明的一种优先实施方案是，所述放卷室多级狭缝抽气段上设有第一狭缝机构，所述放卷室多级狭缝抽气段通过第一狭缝机构与真空抽气机组相连。
本发明的一种优先实施方案是，所述收卷室多级狭缝抽气段上设有第二狭缝机构，所述收卷室多级狭缝抽气段通过第二狭缝机构与真空抽气机组相连。
本发明的一种优先实施方案是，所述收、放卷室与磁控溅射镀膜生产室的真空压差均至少达到10ˉ4pa。
本发明的一种优先实施方案是，所述磁控溅射镀膜生产室的入口处还设有条形离子源，其用于所镀基材表面前处理，增强镀层与基材表面的结合力。
本发明的一种优先实施方案是，包含一种上述镀膜系统的生产线。
本发明的技术效果是：
1、由于在第一、第二狭缝机构内设置了真空抽气机组，使得镀膜系统可以连续生产，当镀膜完一卷基材时，不需要重新调节镀膜生产室的真空。同时，也可以随意调节镀膜室内的真空。
2、由于在磁控溅射镀膜生产室的入口处设置了条形离子源，使得镀膜膜层比较均匀。
附图说明：
图1、镀膜系统框架图；
图2、换卷机构工作原理图；
具体实施方式
如图1所示，放卷室1与放卷室多级狭缝抽气段2的一端相连，所述放卷室多级狭缝抽气段2的另一端与磁控溅射镀膜室3的一端相连，磁控溅射镀膜室3的另一端与收卷室多级狭缝抽气段4的一端相连，收卷室多级狭缝抽气段4的另一端与收卷室5相连。其中，放卷室多级狭缝抽气段2、收卷室多级狭缝抽气段4、磁控溅射镀膜室3上均设有抽气机组（本说明书附图中未不做显示），所述抽气机组可以把磁控溅射镀膜室3的空气抽取到与大气状态下的真空压差达到10-4pa以上。所述抽气机组可以把放卷室多级狭缝抽气段2、收卷室多级狭缝抽气段4的空气抽取到与大气状态下的真空压差达到10-4pa以上。使得所述收、放卷室（1、5）与磁控溅射镀膜生产室3的真空压差均至少达到10ˉ4pa。其中，放、收卷室（2、4）曝露在大气层中。
在放卷室1内设有放卷室换卷机构10，所述放卷室换卷机构10也为镀膜基材储存机构，其上部为（N+1）个定滑轮、下部为N个动滑轮，按“W”形间隔均等排列组合而成，具体可参照图2.
在放卷室多级狭缝抽气段2还设有第一狭缝机构20，所述放卷室多级狭缝抽气段2是通过第一狭缝机构20与抽气机组相连，抽取放卷室多级狭缝抽气段2的空气，保持磁控溅射镀膜生产室3的极限真空小于10ˉ4pa，使得放卷室1与磁控溅射镀膜生产室3的压差至少达到10ˉ4pa。
在收卷室多级狭缝抽气段4还设有第二狭缝机构40，所述收卷室多级狭缝抽气段4是通过第二狭缝机构40与抽气机组相连，抽取收卷室多级狭缝抽气段4的空气，保持磁控溅射镀膜生产室3的极限真空小于10ˉ4pa，使得收卷室5与磁控溅射镀膜生产室3的压差至少达到10ˉ4pa。
所述第一、第二狭缝机构（20、40）为单通道密封的装置。
在所述磁控溅射镀膜生产室3的入口处还设有条形离子源30，其用于所镀基材表面前处理，增强镀层与基材表面的结合力。
图2显示的是放卷室1的工作原理图，当镀膜基材镀完一卷，需要进行换卷时，只应将第一卷的带尾与第二卷的带头用点焊机快速点焊牢，在这段时间内，为保证第一卷的基材仍在运行，需要启动放卷室换卷机构10，所述放卷室换卷机构10也为基材储存机构，所述放卷室换卷机构10设置在放卷室1内。当放卷室换卷机构10工作时，即放卷时，保持放卷室换卷机构10上端左侧滚轮70左边的基材不动，靠下端滚轮（72、74、76）的向上运动，来维持基片在上端右侧滚轮77的传输速度不变，来实现连续生产的目的，其中，上端中间滚轮（73、75）与基材同方向转动。
下面叙述镀膜系统的工作原理图，首先将基材安装到磁控溅射镀膜系统中，然后启动放、收卷室（1、5）多级狭缝抽气段（2、4）、磁控溅射镀膜室3的真空机组，对多级狭缝抽气段（2、4）和磁控溅射镀膜室3抽至极限真空，使得磁控溅射镀膜室3的真空与大气压差应达到10-4Pa,根据制造工艺要求，调试磁控溅射镀膜室3各阴极使其处于正常的工作状态，使其达到设定的基材运行速度，为保证各层镀膜所需的膜厚，调节各阴极合适的工作气体量和磁控溅射的合适功率，同时调节好条形离子源30的工作功率，使其处于工作状态。
以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。
Claims (9)
1.一种磁控溅射镀膜系统，其特征在于，包括：
磁控溅射镀膜生产室；
放卷室，所述放卷室设置在磁控溅射镀膜生产室前端；
收卷室，所述收卷室设置在磁控溅射镀膜生产室后端；
放卷室多级狭缝抽气段，所述放卷室多级狭缝抽气段设置在放卷室和磁控溅射镀膜生产室之间；
收卷室多级狭缝抽气段，所述收卷室多级狭缝抽气段设置在收卷室和磁控溅射镀膜生产室之间。
2.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述磁控溅射镀膜生产室还与真空抽气机组相连，所述真空抽气机组被用来抽取磁控溅射镀膜生产室的空气。
3.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述放卷室设有换卷机构。
4.根据权利要求3所述的镀膜系统，其特征在于，所述换卷机构为上部为（N+1）个定滑轮、下部为N个动滑轮，按“W”形间隔均等排列组合而成。
5.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述放卷室多级狭缝抽气段上设有第一狭缝机构，所述放卷室多级狭缝抽气段通过第一狭缝机构与真空抽气机组相连。
6.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述收卷室多级狭缝抽气段上设有第二狭缝机构，所述收卷室多级狭缝抽气段通过第二狭缝机构与真空抽气机组相连。
7.根据权利要求1或5或6所述的镀膜系统，其特征在于，所述收、放卷室与磁控溅射镀膜生产室的真空压差均至少达到10ˉ4pa。
8.根据权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述磁控溅射镀膜生产室的入口处还设有条形离子源，其用于所镀基材表面前处理，增强镀层与基材表面的结合力。
9.一种上述镀膜系统的生产线，其特征在于，包含权利要求1~8的镀膜系统。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012105022883A CN102936719A (zh) | 2012-11-30 | 2012-11-30 | 一种磁控溅射镀膜系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012105022883A CN102936719A (zh) | 2012-11-30 | 2012-11-30 | 一种磁控溅射镀膜系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102936719A true CN102936719A (zh) | 2013-02-20 |
Family
ID=47695640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2012105022883A Pending CN102936719A (zh) | 2012-11-30 | 2012-11-30 | 一种磁控溅射镀膜系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102936719A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104651792A (zh) * | 2015-03-09 | 2015-05-27 | 常州工学院 | 一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN202090053U (zh) * | 2011-05-04 | 2011-12-28 | 金博新能源技术（香港）有限公司 | 太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线 |
-
2012
- 2012-11-30 CN CN2012105022883A patent/CN102936719A/zh active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN202090053U (zh) * | 2011-05-04 | 2011-12-28 | 金博新能源技术（香港）有限公司 | 太阳光谱选择性吸收涂层卷对卷连续镀膜生产线 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104651792A (zh) * | 2015-03-09 | 2015-05-27 | 常州工学院 | 一种柔性基材单面连续卷绕磁控溅射镀膜自动生产线 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20220035211A (ko) | 다이 커팅 적층 시스템 및 방법 | |
| KR102105288B1 (ko) | 원반의 분할 방법과 그 분할 기구 및 분할 장치 | |
| CN105108355A (zh) | 承载台、承载装置和激光切割设备 | |
| IN2012DN00836A (zh) | ||
| JP2014065000A (ja) | 両面塗工装置、両面塗工方法および塗膜形成システム | |
| CN102936719A (zh) | 一种磁控溅射镀膜系统 | |
| CN201117726Y (zh) | 一种保护膜剥离装置 | |
| CN204184993U (zh) | 带分条功能的贴合复卷机 | |
| ITPV20110011A1 (it) | Processo di taglio ed ablazione per produzione di griglie in piombo per accumulatori mediante utilizzo di fascio laser | |
| CN203919930U (zh) | 一种新型覆膜机 | |
| CN109987443A (zh) | 一种锂电池湿法隔膜的在线分切收卷设备 | |
| CN202622186U (zh) | 用于切割铝膜的激光切割设备 | |
| CN203682726U (zh) | 自动分切机 | |
| CN205452433U (zh) | 用于锂电池极片上的贴胶装置 | |
| CN104438154A (zh) | 铅酸蓄电池两联片极板处理一体机 | |
| CN213916715U (zh) | 用于自动化切割设备的真空吸附平台 | |
| CN104339388B (zh) | 覆膜板薄膜切边机 | |
| CN203754079U (zh) | 一种墙纸收料装置 | |
| CN102085536A (zh) | 一种用于除油的负压抽吸工艺及装置 | |
| CN202226445U (zh) | 静电消除横切机 | |
| JP2013054932A (ja) | 電池用極板のロールプレス装置 | |
| CN104369361A (zh) | 一种轧花装置及轧花机 | |
| CN202296531U (zh) | 可避免跳级机构损坏纸张的折叠机 | |
| CN204544818U (zh) | 铅酸蓄电池两联片极板处理一体机 | |
| CN104785406B (zh) | 一种叠层式电池组或超级电容组的隔膜涂胶机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20130220 |