CN102890429A - 光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光刻系统中倾斜扫描下提高数据读取速度的方法，包括以下步骤：根据倾斜因子N确定一行数据的大小，并计算在一个Row地址下能存储的数据行数；重新排布动态同步存储器DDR2或DDR3地址的顺序，将Row地址放在最高位，这样换Row的次数将减到最小；根据倾斜因子N计算出读取的相邻两行数据的关系，将相邻的两行数据存放在同一个Row地址下；按行依次读取数据，并将数据重新组合形成微镜DMD倾斜显示需要的图形数据，存储在动态同步存储器DDR2或DDR3之中。本发明的方法使得动态同步存储器DDR2或DDR3读取数据尽可能在同一个Row地址中排布，提高读写效率。

Description

光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法

技术领域

本发明涉及半导体行业和印刷电路板行业光刻技术领域，属于光刻机曝光系统中的数字微镜（DMD）图像扫描刷新显示下提高DMD刷新频率的方法，特别是使用在空间光调制器的直写式光刻机曝光系统或者激光直写曝光系统（LDI）的数字微镜（DMD）图像扫描刷新显示方法下提高DMD刷新频率的方法。

背景技术

数字微镜是由许多微小镀铝的镜片组成，可以绕轭旋转，旋转角度为±12°，利用镜片在不同的旋转角度将射入的光反射到不同的地方。直写曝光系统采用准直激光射入到数字微镜DMD，DMD根据图像数据分别旋转到不同位置，将射入的激光反射物镜镜头上，由物镜缩放图像后投影到移动平台上的曝光面上。微镜（DMD）上的小镜片呈行列格式排列，显示的图像需要是栅格化的数据，现在的曝光模式上投影到曝光面上图像的一个像素大小实际就是微镜DMD镜片大小乘以物镜的缩放比。

扫描曝光是平台在匀速运动下不断移动微镜DMD显示图像，由于微镜DMD安装固定，显示图像的移动是采用不断调整微镜DMD显示的图像实现的。曝光的速度与实际投影的像素大小、微镜DMD图像更新速度有关，在微镜DMD图像更新速度一定时，实际投影的像素大小直接关系到曝光速度，但实际投影的像素大小又与图像的分辨率有关，像素的网格加大将降低图像的分辨率和最小线宽。

倾斜式扫描是将DMD旋转一定的角度，利用曝光点的位置与光斑积分能量的多少形成更小的像素尺寸，因此可以在增大像素大小以提高曝光速度。在倾斜工作方式下，图像前后两帧的相关性降低，同时要求图像更小的网格精度，需要更多的图像数据用于显示。在DMD的不同旋转角度下，图像的网格精度不同，旋转角度越小则网格精度越高，可以实现的图像分辨率也越高，最小线宽也越小，显示的图像相关性也更少。

倾斜扫描要求微镜DMD以更高的频率更新图像数据，大量的图像利用DDR2缓存，用FPGA实现微镜DMD飞速显示，DDR2读时间将占取近全部带宽，显示的方式直接影响读取DDR2数据的效率。

DDR2的地址依次为Column地址、Row地址、Bank地址、CS地址。DDR2在读写之前，必须先激活一个Row，因此，每次换Row都会增加若干个DDR2的读写周期，一旦Row激活每个时钟周期可以读写两次数据。因此要想提高DDR2读取速度要尽量减少DDR2换Row的次数。

发明内容

本发明的目的是根据倾斜扫描方式特性设定优化动态同步存储器DDR2或DDR3的存储数据的方式，提供一种提升动态同步存储器DDR2或DDR3读取数据的效率的光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法。

本发明的技术方案如下：

一种光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法，其特征在于，上位机将数据下发到下位机，下位机将数据存放在动态同步存储器DDR2或DDR3中缓存，然后对缓存的数据进行重新组合，形成微镜DMD上显示的图形数据；具体步骤如下：

（1）根据倾斜因子N确定一行数据的大小，并计算在一个Row地址下能存储的数据行数；

（2）重新排布动态同步存储器DDR2或DDR3地址的顺序，将Row地址放在最高位，这样换Row的次数将减到最小；

（3）根据倾斜因子N计算出读取的相邻两行数据的关系，将相邻的两行数据存放在同一个Row地址下；

（4）按行依次读取数据，并将数据重新组合形成微镜DMD倾斜显示需要的图形数据，存储在动态同步存储器DDR2或DDR3之中。

所述的倾斜因子N可以选取3～32间任一个整数。

本发明的倾斜因子N可以由微镜DMD的旋转角度求出，从动态同步存储器DDR2或DDR3读取的相邻两行数据相差N² 行。

本发明的数据存放在动态同步存储器DDR2或DDR3中，微镜DMD是用FPGA控制，倾斜扫描显示是根据倾斜因子和平台扫描方式制定图像更新的方法，以便于设计优化动态同步存储器DDR2或DDR3的存储方式，提升动态同步存储器DDR2或DDR3读取数据的效率。

本发明的优点是：

本发明的方法使得动态同步存储器DDR2或DDR3读取或写入数据尽可能在同一个Row地址中排布，提高读写效率。

附图说明

    图1是本发明的数据读取方式示意图。

具体实施方式

本发明是一种在直写光刻系统中倾斜扫描下提高数据读取速度的方法。

参照图1，本发明中倾斜扫描的倾斜因子为4，相邻两个数据相差16行，一行数据为32K。DDR2一个Row下可以存储64K的数据。如图1红色所示，在倾斜扫描下，读取第一个数据之后，行数要减小16，列数要加1.由于一个Row下只能存储两行数据，因此，如果存储数据时，按照图像实际顺序存放数据，每次读取数据都需要换Row，为了减少换Row的时间，本发明在存储数据时将相邻两行数据存储在同一Row下，即第零行与第十六行的数据存放在一个Row下，这样读取第零个行与第十六行的数据将不存在换Row的问题。

为了进一步减少换Row的时间，在相邻两行存储在一个Row下的同时，存储满一个Row时，不进行换Row地址，而是换Bank、CS地址来存储数据，这样可以减少换Row的时间，进一步减少读取数据的时间。

如图1所示，在进行图形变化的时候，读取第零行数据黑色的256个，接着读取第一行黑色的256个，依次类推，直到读取完一行的数据量（1792*16），便可以对一行数据相应的变化，形成DMD显示的数据，并将转化之后的数据存放在DDR2之中。

Claims (3)

1.一种光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法，其特征在于，上位机将数据下发到下位机，下位机将数据存放在内存中缓存，然后对缓存的数据进行重新组合，形成微镜DMD上显示的图形数据；具体步骤如下：

（1）根据倾斜因子N确定一行数据的大小，并计算在一个Row地址下能存储的数据行数；

（2）重新排布内存地址的顺序，将Row地址放在最高位；

（3）根据倾斜因子N计算出读取的相邻两行数据的关系，将相邻的两行数据存放在同一个Row地址下；

（4）按行依次读取数据，并将数据重新组合形成微镜DMD倾斜显示需要的图形数据，存储在内存之中。

2.根据权利要求1所述的光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法，其特征在于，所述的倾斜因子N可以选取3～32间任一个整数。

3.根据权利要求1所述的光刻系统中倾斜扫描显示下提高数据传输速度的方法，其特征在于，所述的内存为动态同步存储器DDR2或DDR3。