CN102873042A - 一种用于去除硅片表面硅酸钠残留的喷淋装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种去用于除硅片表面硅酸钠残留的喷淋装置,包括机械臂,喷淋支架,喷淋口,花篮,制绒槽,所述的机械臂与喷淋支架固定连接,所述的喷淋支架上设有喷淋口,所述的花篮设于喷淋支架的下方与喷淋口相对应,所述的花篮与机械臂通过挂钩连接,所述的制绒槽设于花篮的下方。本发明对制绒出来的硅片作进一步的清洗,能够有效去除硅片表面残留的硅酸钠,改善电池片的外观,减少硅片表面的污染,本发明结构简单,有益效果明显,适于产业化生产。
Description
技术领域
本发明涉及一种喷淋装置,尤其是一种用于去除硅片表面硅酸钠残留的喷淋装置。
背景技术
太阳能作为一种可再生资源,以其清洁,成本低廉的特点而具有广阔的发展前景,太阳能电池便是其中的一项。目前市场上销售的单晶太阳能电池多采用槽式碱制绒,工艺温度在70℃以上,制绒后的硅片从制绒槽出来表面温度较高,且由于槽式的硅片运输时间相对较长,表面的硅酸钠在进入清洗槽前会变干,不易清洗干净,导致电池片表面有硅酸钠残留,影响电池片外观。
发明内容
发明目的:本发明的目的是为了解决现有技术的不足, 本发明提供了一种能够有效去除硅片表面的硅酸钠残留,结构简单,操作方便的喷淋装置。
技术方案:一种用于去除硅片表面硅酸钠残留的喷淋装置,包括机械臂,喷淋支架,喷淋口,花篮,制绒槽,所述的机械臂与喷淋支架固定连接,所述的喷淋支架上设有喷淋口,所述的花篮设于喷淋支架的下方与喷淋口相对应,所述的花篮与机械臂通过挂钩连接,所述的制绒槽设于花篮的下方。
为了能够均匀地清洗硅片,所述的喷淋支架上均匀地分喷口向下的喷淋口。
为了保证槽内溶液温度,所述的制绒槽内设有加热装置。
有益效果:本发明对制绒出来的硅片作进一步的清洗,能够有效去除硅片表面残留的硅酸钠,改善电池片的外观,减少硅片表面的污染,本实发明结构简单,有益效果明显,适于产业化生产。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
其中:1.机械臂,2.喷淋支架,3.喷淋口,4.花篮,5.制绒槽,51.加热装置。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例,进一步阐明本发明。
如图1,一种用于去除硅片表面硅酸钠残留的喷淋装置,包括机械臂1,喷淋支架2,喷淋口3,花篮4,制绒槽5,所述的机械臂1与喷淋支架2固定连接,所述的喷淋支架2上均匀地分喷口向下的喷淋口3,所述的花篮4设于喷淋支架2的下方与喷淋口3相对应,所述的花篮4与机械臂1固定连接,所述的制绒槽5设于花篮4的下方,所述的制绒槽5内设有加热装置。
将硅片放在花篮4上,所述的花篮4浸入制绒槽5,所述的制绒槽5内的加热装置51能够保持槽内溶液的温度,采用机械臂1将花篮4从制绒槽5内取出,上升到机械臂1的最高位,制绒槽5槽盖关闭,设于喷淋支架2上的喷淋口3对花篮4上的硅片进行清洗,以除去硅片表面残留的硅酸钠,达到改善电池片外观,减少硅片表面污染的目的。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点,其目的是让熟悉该技术领域的技术人员能够了解本发明的内容并据以实施,并不能以此来限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作出的等同变换或修饰,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种去用于除硅片表面硅酸钠残留的喷淋装置,其特征在于:包括机械臂(1),喷淋支架(2),喷淋口(3),花篮(4),制绒槽(5),所述的机械臂(1)与喷淋支架(2)固定连接,所述的喷淋支架(2)上设有喷淋口(3),所述的花篮(4)设于喷淋支架(2)的下方与喷淋口(3)相对应,所述的花篮(4)与机械臂(1)通过挂钩连接,所述的制绒槽(5)设于花篮(4)的下方。
2.根据权利要求1所述的一种用于去除硅片表面硅酸钠残留的喷淋装置,其特征在于:所述的喷淋支架(2)上均匀地分喷口向下的喷淋口(3)。
3.根据权利要求1所述的一种用于去除硅片表面硅酸钠残留的喷淋装置,其特征在于:所述的制绒槽(5)内设有加热装置(51)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN2012103690052A CN102873042A (zh) | 2012-09-27 | 2012-09-27 | 一种用于去除硅片表面硅酸钠残留的喷淋装置 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN102873042A (zh) |
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