CN102839832A - 无尘室 - Google Patents

Abstract

一种无尘室，包括一舱体、设置于该舱体侧壁上至少一个舱门、及设置于舱体内部的第一排尘装置。该无尘室还包括第一料盘，其设置于该舱体内部，与非设置该舱门的第一侧壁垂直，该第一料盘包括多个网孔。进料口，其设置于该第一侧壁上，并位于该第一料盘上方。第二排尘装，设置于该舱体内部且位于进料口的上方，用于当物料从该进料口进入该舱体中时，阻绝尘粒子随物料进入。出料口，设置于靠近该舱体内底部，且位于第一侧壁上，用于移出物料。使用本发明的无尘室，通过在舱体的侧壁上设置一进料口及一出料口，内部设置网状的料盘，并于料盘上方设置排尘装置，可达到方便操作，提升洁净度的功能。

Description

无尘室

技术领域

本发明涉及一种无尘室结构。

背景技术

随着半导体技术不断的进步，IC工艺线径不断的缩小，因此外部空气中含微污染物物质，如含硫物质等，对于工艺良率的影响，日益扩大。为了提升工艺良率，对于生产环境的净化规格，相对提高，对无尘室的洁净度要求也相对提高。而当操作员需要频繁往返于无尘室及普通环境时，很可能使无尘室内的洁净度降低。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种操作方便，并能够保证无尘室洁净度的无尘室结构。

一种无尘室，包括一舱体、设置于该舱体侧壁上至少一个舱门、及设置于舱体内部的第一排尘装置。该无尘室还包括第一料盘，其设置于该舱体内部，与非设置该舱门的第一侧壁垂直，该第一料盘包括多个网孔。进料口，其设置于该第一侧壁上，并位于该第一料盘上方。第二排尘装，设置于该舱体内部且位于进料口的上方，用于当物料从该进料口进入该舱体中时，阻绝尘粒子随物料进入。出料口，设置于靠近该舱体内底部，且位于第一侧壁上，用于移出物料。

相对于现有技术，本发明提供的无尘室，通过在舱体的侧壁上设置一进料口及一出料口，防止操作人员往返无尘室，而污染舱体内的空间。在舱体内部设置网状的料盘，并于料盘上方设置排尘装置，防止尘粒子累积于料盘之上，降低舱体内的洁净度。从而，该无尘室可达到方便操作，并提升洁净度的功能。

附图说明

图1为本发明的无尘室的立体图。

主要元件符号说明

无尘室	1
		舱体	10
侧壁	100、102
		顶部	101
舱门	11
		第一料盘	12
进料口	13
		出料口	14
第二料盘	15
		脚轮	16
第一排尘装置	17
		第二排尘装置	18

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。

请参阅图1，为本发明的无尘室的立体图。本发明的无尘室1包括一舱体10，且于舱体10的侧壁上设有至少一舱门11。在本实施方式中，该舱体10为长方体，且于该舱体10的其中一与地面垂直的侧壁100上设置舱门11。该舱体10内的顶部101上设有至少一将尘粒子排出并阻绝尘粒子进入的第一排尘装置17。

该舱体10内设置一第一料盘12，且与该舱体10的非设置舱门11的侧壁102垂直，该第一料盘12与该侧壁102相交处还设有一进料口13，该第一料盘12用于承载由进料口13进入舱体10内部的物料。该舱体10的内部在进料口13的上方设置有第二排尘装置18，用于当物料从进料口13进入舱体10中时，阻绝尘粒子随物料进入。

靠近该舱体10内底部103处还设置一出料口14，且与进料口13位于相同的侧壁102上，用于移出物料，防止操作人员往返该无尘室1，而污染该舱体10内的空间。

在本实施方式中，该舱体内还设置有一第二料盘15，该第二料盘15位于第一料盘12的下方，并保持一预定距离，用于承载物料。该第二料盘15与侧壁102垂直，且与该第一料盘12平行设置。

该第一料盘12与第二料盘15均为网状，该第一与第二排尘装置设置于第一料盘12与第二料盘15上方，尘粒子可通过该网状的第一料盘12与第二料盘15跌落至舱体10的底部，从而防止尘粒子累积于该第一料盘12与第二料盘15之上，降低舱体10内的洁净度。

该舱体10的外部还覆盖一层防静电外层（图未示），在本实施方式中，该外层为网状，并由防静电胶皮材料制成。

该舱体10的底部还设置有多个脚轮16，从而允许该无尘室1可被推动至需要的位置。

使用上述无尘室1，通过在舱体10的侧壁102上设置一进料口13及一出料口15，防止操作人员往返该无尘室1，而污染该舱体10内的空间。在舱体10内部设置网状的料盘，并于料盘上方设置排尘装置，防止尘粒子累积于料盘之上，降低舱体10内的洁净度。因此，该无尘室1可达到方便操作，并提升洁净度的功能。

可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (8)

1.一种无尘室，包括一舱体、设置于所述舱体侧壁上至少一个舱门、及设置于舱体内部的第一排尘装置，其特征在于，所述无尘室还包括：

第一料盘，其设置于所述舱体内部，与所述舱体内非设置所述舱门的第一侧壁垂直，所述第一料盘包括多个网孔；

进料口，其设置于所述第一侧壁上，并位于所述第一料盘上方；

第二排尘装置，设置于所述舱体内部且位于所述进料口的上方，用于当物料从所述进料口进入所述舱体中时，阻绝尘粒子随物料进入；

出料口，设置于靠近所述舱体内底部，且位于第一侧壁上，用于移出物料。

2.如权利要求1所述的无尘室，其特征在于，所述舱体为长方体，且于所述舱体的其中一与地面垂直的侧壁上设置所述舱门。

3.如权利要求1所述的无尘室，其特征在于，所述舱体内还设置有第二料盘，所述第二料盘位于所述第一料盘的下方，并保持一预定距离，用于承载物料。

4.如权利要求3所述的无尘室，其特征在于，所述第二料盘与所述第一侧壁垂直，并与所述第一料盘平行设置。

5.如权利要求3所述的无尘室，其特征在于，所述第二料盘包括多个网孔。

6.如权利要求1所述的无尘室，其特征在于，所述舱体的外部还覆盖一层防静电外层。

7.如权利要求6所述的无尘室，其特征在于，所述外层为网状，并由防静电胶皮材料制成。

8.如权利要求1所述的无尘室，其特征在于，所述舱体的底部还设置有多个脚轮。

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