CN102817010A

CN102817010A - 单臂升降装置和双臂升降装置

Info

Publication number: CN102817010A
Application number: CN2011101563931A
Authority: CN
Inventors: 赵海洋
Original assignee: Beijing North Microelectronics Co Ltd
Current assignee: Beijing North Microelectronics Co Ltd
Priority date: 2011-06-10
Filing date: 2011-06-10
Publication date: 2012-12-12
Anticipated expiration: 2031-06-10
Also published as: CN102817010B

Abstract

本发明实施例公开了一种单臂升降装置和一种双臂升降装置，属于电子制造技术领域。本发明提供的单臂升降装置和双臂升降装置能够保证托架平稳上升或下降。该单臂升降装置，包括对射传感器，对射传感器的发射端设置于升降臂上，对射传感器的接收端设置于托架远离升降臂的一端；或者，对射传感器的接收端设置于升降臂上，对射传感器的发射端设置于托架远离升降臂的一端。该双臂升降装置，包括对射传感器，对射传感器的发射端和接收端分别设置于两个升降臂上。本发明应用于改进升降装置。

Description

单臂升降装置和双臂升降装置

技术领域

本发明属于电子制造技术领域，具体涉及一种单臂升降装置和一种双臂升降装置。

背景技术

随着电子技术的不断发展，等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备已经被广泛地应用于半导体领域，尤其在制造集成电路(integrated circuit，IC)或光伏(photovoltaic，PV)产品的制造工艺中，PECVD设备用于沉积氮化硅、透明导电薄膜等各种薄膜。在各种PECVD设备中，平行板电容耦合等离子体(Capacitively Coupled Plasma，CCP)装置放电的原理简单，又可产生大面积均匀的等离子体，在太阳能电池的制备工艺流程中，PECVD设备是制备减反射薄膜的关键设备。所以，在光伏产品生产中PECVD设备被广泛应用。

在太阳能电池的生产过程中，PECVD是其中关键的一道工序，具体的工作流程如图1所示，将电池片装载到装载台上，通过传送带传送至预热腔加热，达到设定温度后，传送到工艺腔，完成镀膜工艺，再传送至冷却腔进行冷却，经冷却后，传送至卸载台，下降并经过冷却回收台、工艺回收台、预热回收台，最后回到装载台，完成一个循环。在进行上述工序的过程中，电池片需要放置在载板上进行传输。

在装载台和卸载台上，需要利用升降装置将载板进行上升和下降操作。如图2所示，载板1传输到装载台或卸载台的托架2上，托架2上有若干支撑梁3，用于增加稳定性。对于单臂升降装置，托架2的一端固定在升降臂4上；对于双臂升降装置，托架2的两端分别固定在两个升降臂4上。目前载板1的上升下降方式是，将升降臂4放在导向架上，以气缸、油缸或者电机带动丝杠作为驱动器，使升降臂4沿导向架上升或下降，以此使托架2和载板1上升或下降。将载板1平放在托架2上，则通过判断托架2的平稳性即可判断载板1的平稳性。

本发明人在实现本发明的过程中发现，现有技术至少存在以下问题：对于双臂升降装置，当两个升降臂上升或下降的速度不同步时，托架就会不稳定，导致托架卡死，或者引起电机过载，烧毁电机。对于单臂升降装置，由于托架本身具有一定的惯性，当升降臂上升或下降的加速度过大时，也会造成托架不稳定。现有的升降装置存在不能保证托架在上升或下降过程中的稳定性的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供了一种单臂升降装置和一种双臂升降装置，能够保证托架平稳上升或下降。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

该单臂升降装置，包括导向架以及设置于所述导向架上的升降臂，由驱动器驱动所述升降臂沿所述导向架上升或下降，所述升降臂与托架的一端相连，还包括对射传感器，所述对射传感器的发射端设置于所述升降臂上，所述对射传感器的接收端设置于所述托架远离所述升降臂的一端；或者，所述对射传感器的接收端设置于所述升降臂上，所述对射传感器的发射端设置于所述托架远离所述升降臂的一端。

该双臂升降装置，包括两个导向架以及分别设置于所述两个导向架上的两个升降臂，由驱动器驱动所述升降臂沿所述导向架上升或下降，所述两个升降臂分别与托架的两端相连，还包括对射传感器，所述对射传感器的发射端和接收端分别设置于所述两个升降臂上。

与现有技术相比，本发明所提供的上述技术方案具有如下优点：对射传感器的接收端用于接收发射端发出的信号，当托架平稳上升或下降时，发射端和接收端位于同一高度，接收端就能够接收到发射端发出的信号，并以此作为驱动器运转的先决条件；当托架上升或下降不稳定时，发射端和接收端就处在不同的高度，接收端就接收不到发射端发出的信号，此时不满足驱动器运转的先决条件，所以驱动器就会停止工作。通过设置对射传感器，为驱动器的运转设定了一个先决条件，从而保证了托架平稳上升或下降。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为PECVD的工序流程图；

图2为载板与托架的位置关系示意图；

图3为本发明的实施例所提供的单臂升降装置的一种实施方式的示意图；

图4为本发明的实施例所提供的单臂升降装置中传感器信号控制的光耦电路示意图；

图5为本发明的实施例所提供的双臂升降装置的一种实施方式的示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1：

如图3所示，本发明实施例所提供的单臂升降装置，包括导向架5以及设置于导向架5上的升降臂4，由驱动器6驱动升降臂4沿导向架5上升或下降，升降臂4与托架2的一端相连，还包括对射传感器，对射传感器的发射端71设置于升降臂4上，对射传感器的接收端72设置于托架2远离升降臂4的一端。当然，也可以将对射传感器的接收端设置于升降臂上，发射端设置于托架远离升降臂的一端。

对射传感器的接收端72用于接收发射端71发出的信号，当托架2平稳上升或下降时，升降臂4上的发射端71和托架2远端上的接收端72位于同一高度，接收端72就能够接收到发射端71发出的信号，并以此作为驱动器6运转的先决条件。如果采用PNP型传感器，传感信号为高电平；如果采用NPN型传感器，传感信号为低电平。当升降臂4沿导向架5上升或下降的加速度过大，导致托架2不稳定时，升降臂4上的发射端71和托架2远端上的接收端72就处在不同的高度，接收端71就接收不到发射端72发出的信号，此时不满足驱动器6运转的先决条件，所以驱动器6就会停止工作。通过设置对射传感器，为驱动器6的运转设定了一个先决条件，从而保证了托架2平稳上升或下降。除此之外，本发明实施例对单臂升降装置现有的结构作了最小限度的改进，没有改变单臂升降装置原有的构造，所以对正常的生产过程不会造成负面影响。

本发明实施例中，还包括与对射传感器的接收端相连的报警器。当对射传感器的接收端接收不到发射端发出的信号时，驱动器停止工作的同时，还会发出报警信号，报警信号的具体形式可以是亮起报警信号灯或者发出报警音等。通过发出报警信号，告知设备维护人员，避免设备出现故障，待设备维护人员检查修复问题后，再恢复设备运行。

本发明实施例中，对射传感器的接收端通过光耦电路与驱动器相连。作为一个优选方案，报警信号线也与光耦电路相连。传感器信号控制的光耦电路示意图如图4所示，当托架平稳上升或下降，接收端接收到发射端发出的信号时，光耦41导通，继电器42动作，驱动器的控制信号线43导通，驱动器运转，同时报警器44关闭；当托架上升或下降不稳定时，接收端接收不到发射端发出的信号，光耦41不导通，驱动器的控制信号线43断开，驱动器停止运转，同时报警器44发出报警信号。由于对射传感器信号的驱动能力有限，所以借助驱动能力更强的光耦电路间接控制驱动器和报警器。

实施例2：

本实施例与实施例1基本相同，其不同点在于：本实施例中，对射传感器的接收端通过可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller，PLC)或者现场总线与驱动器相连。PLC或者现场总线能够直接采集对射传感器的传感信号，以控制驱动器和报警器，产生的技术效果与光耦电路相同，可根据具体情况选择方便的实现方式。

实施例3：

如图5所示，本发明实施例所提供的双臂升降装置，包括两个导向架5以及分别设置于两个导向架5上的两个升降臂4，由驱动器6驱动升降臂4沿导向架5上升或下降，两个升降臂4分别与托架2的两端相连，还包括对射传感器，对射传感器的发射端71和接收端72分别设置于两个升降臂4上。

对射传感器的接收端72用于接收发射端71发出的信号，当托架2平稳上升或下降时，两个升降臂4上的发射端71和接收端72位于同一高度，接收端72就能够接收到发射端71发出的信号，并以此作为驱动器6运转的先决条件。如果采用PNP型传感器，传感信号为高电平；如果采用NPN型传感器，传感信号为低电平。当两个升降臂4沿导向架5上升或下降的速度不同步，导致托架2不稳定时，两个升降臂4上的发射端71和接收端72就处在不同的高度，接收端72就接收不到发射端71发出的信号，此时不满足驱动器6运转的先决条件，所以驱动器6就会停止工作。通过设置对射传感器，为驱动器6的运转设定了一个先决条件，从而保证了托架2平稳上升或下降。除此之外，本发明实施例对单臂升降装置现有的结构作了最小限度的改进，没有改变单臂升降装置原有的构造，所以对正常的生产过程不会造成负面影响。

本发明实施例中，对射传感器的接收端通过光耦电路与驱动器相连。作为一个优选方案，报警信号线也与光耦电路相连。当托架平稳上升或下降，接收端接收到发射端发出的信号时，光耦导通，继电器动作，驱动器的控制信号线导通，驱动器运转，同时报警信号关闭；当托架上升或下降不稳定时，接收端接收不到发射端发出的信号，光耦不导通，驱动器的控制信号线断开，驱动器停止运转，同时发出报警信号。由于对射传感器信号的驱动能力有限，所以借助驱动能力更强的光耦电路间接控制驱动器和报警器。

由于本发明实施例与上述本发明实施例所提供的单臂升降装置具有相同的技术特征，所以也能产生相同的技术效果，解决相同的技术问题。

实施例4：

本实施例与实施例3基本相同，其不同点在于：本实施例中，对射传感器的接收端通过可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller，PLC)或者现场总线与驱动器相连。PLC或者现场总线能够直接采集对射传感器的传感信号，以控制驱动器和报警器，产生的技术效果与光耦电路相同，可根据具体情况选择方便的实现方式。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims

1.一种单臂升降装置，包括导向架以及设置于所述导向架上的升降臂，由驱动器驱动所述升降臂沿所述导向架上升或下降，所述升降臂与托架的一端相连，其特征在于：还包括对射传感器，所述对射传感器的发射端设置于所述升降臂上，所述对射传感器的接收端设置于所述托架远离所述升降臂的一端；

或者，所述对射传感器的接收端设置于所述升降臂上，所述对射传感器的发射端设置于所述托架远离所述升降臂的一端。

2.根据权利要求1所述的单臂升降装置，其特征在于：还包括与所述对射传感器的接收端相连的报警器。

3.根据权利要求1所述的单臂升降装置，其特征在于：所述对射传感器的接收端通过光耦电路与所述驱动器相连。

4.根据权利要求1所述的单臂升降装置，其特征在于：所述对射传感器的接收端通过可编程逻辑控制器或现场总线与所述驱动器相连。

5.一种双臂升降装置，包括两个导向架以及分别设置于所述两个导向架上的两个升降臂，由驱动器驱动所述升降臂沿所述导向架上升或下降，所述两个升降臂分别与托架的两端相连，其特征在于：还包括对射传感器，所述对射传感器的发射端和接收端分别设置于所述两个升降臂上。

6.根据权利要求5所述的双臂升降装置，其特征在于：还包括与所述对射传感器的接收端相连的报警器。

7.根据权利要求5所述的双臂升降装置，其特征在于：所述对射传感器的接收端通过光耦电路与所述驱动器相连。

8.根据权利要求5所述的双臂升降装置，其特征在于：所述对射传感器的接收端通过可编程逻辑控制器或现场总线与所述驱动器相连。