CN102784510B - 一种真空密闭槽内加热液体的循环过滤装置及其方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空密闭槽内加热液体的循环过滤装置，包括加工单元、储液单元、连接管路和加液装置，所述加工单元和储液单元由连接管路连接；连接管路上设有过滤器（22）和电磁换向阀，所述加工单元包括连接有主真空泵（7）和主真空微调阀（8）的封闭加工槽（1），所述储液单元包括连接有副真空泵（10）和副真空微调阀（12）的封闭储液槽（17），储液槽（17）内壁密封有柔性隔膜（14），所述加工槽（1）底部高于储液槽（17）的顶部。该方法及装置发明的优点在于：该方法利用重力和压差对液体进行循环过滤，循环过滤管路无泵参与，节能且操作简单。

Description

一种真空密闭槽内加热液体的循环过滤装置及其方法

技术领域

本发明专利涉及一种循环过滤装置及其方法，尤其涉及一种在真空或低气压密闭槽内加热液体的循环过滤装置及其方法。

背景技术

目前，液体循环过滤是化工、制药、电子、矿山、机械、冶金、能源、食品及环保等诸多工业部门的必需操作环节。泵（如离心泵、叶片泵、磁力泵等）是液体循环过滤系统的常用动力源。

为了提升工艺质量或满足特定工艺要求，有时需要对真空或低气压条件下密闭槽内的加热液体进行循环过滤。如在真空条件下进行电镀、电铸等电沉积加工，需要对温度为30～70℃的电解液进行循环过滤，以保证工艺的高效可靠实施。由于液体的沸点随气压的降低而降低，处于真空或低气压环境下的液体往往具有易汽蚀和沸腾的特性。在这种情况下，若仍用泵作为液体循环过滤的动力源，往往会使处于泵室内的液体因为受到泵运行发热的作用而汽蚀或沸腾起来，产生大量的蒸汽和气泡。而这些气泡的产生与爆破必然在循环过滤系统中引发强烈的冲击、汽蚀和振动效应，导致泵或空转或剧烈振动而无法工作。中国专利ZL97218324.8 “真空液体循环泵”公开了一种真空液体循环泵，它通过采用旋转叶片来挤压排出泵室内含有大量气体的液体，叶轮由4~12瓣叶片组成，以达到在真空下对液体进行循环的目的。然而这种泵无法适用于处于剧烈振动冲击效应的循环系统中。因为无论如何完善泵的结构，特定真空度下处于沸腾状态的液体必然与快速动作的泵的旋转或移动结构发生作用，使泵产生强烈地振动而不能正常工作。

发明内容

本发明的目的在于针对真空或低气压密闭槽内加热液体难以使用泵体进行高效循环过滤这一技术难题，提供一种以压差为驱动力的膜片式无泵循环过滤的装置及其方法。

本发明的技术方案是： 

一种真空密闭槽内加热液体的循环过滤装置，包括加工单元、储液单元、连接管路和加液装置，所述加工单元和储液单元由连接管路连接；连接管路上设有过滤器（22）和电磁换向阀，所述加工单元包括连接有主真空泵（7）和主真空微调阀（8）的封闭加工槽（1），所述储液单元包括连接有副真空泵（10）和副真空微调阀（12）的封闭储液槽（17），储液槽（17）内壁密封有柔性隔膜（14），所述加工槽（1）底部高于储液槽（17）的顶部。

所述加工槽（1）底部竖直设有挡板（4），将加工槽（1）分为工作槽（2）和附槽（3），工作槽（2）和附槽（3）在加工槽（1）的上部连通；储液单元包括加液装置、位于储液槽（17）下部的可调隔板（11），所述可调隔板（11）上开设有通孔，所述柔性隔膜（14）位于可调隔板（11）之上；所述柔性隔膜（14）与储液槽（17）的内壁密封连接，将储液槽（17）分为上下两个密闭的腔室，所述副真空泵（10）、副真空微调阀（12）均与储液槽（17）内的上部腔室连接；加液装置包括阀门和加液管道（16），加液管道（16）上端与加液装置的阀门连接，所述加液管道（16）与储液槽（17）连通；所述连接管路包括循环过滤管道（20）、第一电磁换向阀（19）、第二电磁换向阀（21）、过滤器（22）、并联管路（25）、第三电磁换向阀（23）、第四电磁换向阀（24）以及附槽管（26），所述过滤器（22）两端分别与第二电磁换向阀（21）、第三电磁换向阀（23）连接，所述并联管路（25）的两端也分别与第二电磁换向阀（21）、第三电磁换向阀（23）连接；所述附槽管（26）一端连接在附槽（3）底部，另一端连接第四电磁换向阀（24）；循环过滤管道（20）两端分别与工作槽（2）底部和储液槽（17）底部连接，循环过滤管道（20）的中间依次与第一电磁换向阀（19）、第二电磁换向阀（21）、过滤器（22）、第三电磁换向阀（23）、第四电磁换向阀（24）连接；所述第二电磁换向阀（21）、第三电磁换向阀（23）、第四电磁换向阀（24）为三位三通电磁换向阀，第一电磁换向阀（19）为两位三通电磁换向阀。

所述工作槽（2）内设有温度传感器（5）和加热装置。

所述加热装置为加热管（6）。

所述加液管道（16）的出口位于可调隔板（11）和储液槽（17）槽底的中间位置；所述第一电磁换向阀（19）连接有废液处理管（18）；所述加液装置的阀门为真空球阀（15）；所述可调隔板（11）上开有微小通孔阵列。

所述加工槽（1）上连接有主真空表（9），所述储液槽（17）上连接有副真空表（13）。

循环过滤管路（20）、第一电磁换向阀（19）、第二电磁换向阀（21）、第三电磁换向阀（23）和第四电磁换向阀（24）以及过滤器（22）组成注液管路；

回液管路与放液管路均包含并联管（25）、第一电磁换向阀（19）、第二电磁换向阀（21）、第三电磁换向阀（23）和第四电磁换向阀（24），放液管路还包含附槽管（26），其中回液时，工作槽（2）第四电磁换向阀（24）断开，仅附槽（3）通过附槽管与第四电磁换向阀（24）接通；而放液时，工作槽（2）、附槽（3）均与第四电磁换向阀（24）接通；

第一电磁换向阀（19）和废液处理管道（18）组成弃液管路；

本循环过滤方法按以下步骤进行：

第一步，加液；首先，关闭储液槽（17）的下部出口，经真空球阀（15）将适量液体注入储液槽（17）内，液体液面高度位于可调隔板（11）上，且可调隔板（11）之上的液体体积应大于加工槽（1）内工作槽（2）与附槽（3）的容积之和；加液结束后，关闭真空球阀（15）；

第二步，注液；操作第一电磁换向阀（19）打开储液槽（17）的下部出口，导通注液管路，启动密闭加工槽（1）上的主真空泵（7），在加工槽（1）内形成负压，在压差驱动下柔性隔膜（14）下移，推动液体经由第一电磁换向阀（19）、第二电磁换向阀（21）及过滤器（22），再经由第三电磁换向阀（23）、第四电磁换向阀（24）接通后注入工作槽（2）内，工作槽（2）注满后液体由挡板（4）上部溢入附槽（3）；当柔性隔膜（14）下移至可调隔板（11）位置时，操作各电磁换向阀置于常位，工作槽（2）不再进出液体，停止注液；

第三步：启动密闭加工槽（1）上由温度传感器（5）和加热管（6）组成的温控单元，同时启动储液槽（17）上的副真空泵（10），使整个系统内真空度相同，加工槽（1）达到指定温度和真空度后，工作槽（2）进入工作状态；

第四步，循环过滤液体：

4.1回液；加工进行一定时间后需要回液时，导通回液管路，在重力作用下，附槽（3）内的液体经回液管路完全进入储液槽（17），主真空泵（7）始终处于工作状态，以保证加工槽（1）内真空度基本恒定；回液过程结束后，操作各电磁换向阀置于常位，封闭回液管路；

4.2过滤：增大储液槽（17）上腔的压力，在压差作用下液体由储液槽（17）下腔经注液管路注入加工槽（1）内的工作槽（2），然后封闭注液管路；

4.3若过滤不满足要求，则再回液，然后再过滤，循环反复直到过滤满足要求；

第五步，加工结束后，关闭各真空泵，开启各真空微调阀，工艺过程结束。

一定时间间隔后，当工作槽（2）液体不足时应再次供流，开启储液槽（17）上的副真空微调阀（12），使储液槽（17）压力大于加工槽（1）压力，打开注液管路，向工作槽（2）注液，当柔性隔膜（14）下移至可调隔板（11）位置时，关闭副真空微调阀（12），操作各电磁换向阀置于常位。

第六步，放液；工艺过程结束，如果液体可继续使用，则关闭主真空泵（7）和副真空泵（10），开启主真空微调阀（8）和副真空微调阀（12），然后操作第一电磁换向阀（19）、第四电磁换向阀（24）置于常位，第三电磁换向阀（23）、第二电磁换向阀（21）使放液管路导通，附槽（3）和工作槽（2）内的液体经由放液管路完全进入储液槽（17）进行存储，存储完毕后，操作第二电磁换向阀（21）、第三电磁换向阀（23）置于常位，关闭放液管路。

第六步，弃液；如果液体不能继续循环使用，继续操作第一电磁换向阀（19），导通弃液管路，将进入储液槽（17）的液体由储液槽（17）经废液处理管道（18）排出。

该方法及装置发明的优点在于：

(1)该方法利用重力和压差对液体进行循环过滤，循环过滤管路无泵参与，节能且操作简单。

(2)该装置不仅适用于真空或低气压密闭槽内加热液体的高效循环过滤，而且适用于常温常压液体的循环过滤，应用范围广泛。

可调隔板的高度可调，这便于根据实际需要的液体体积调节柔性隔膜压出的液体体积。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2为注液管路示意图；

图3为回液管路示意图；

图4为放液管路示意图；

图5为弃液管路示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明包括：加工单元、储液单元以及注液管路、回液管路、放液管路、弃液管路。

加工单元包括加工槽1、工作槽2、附槽3、挡板4、温度传感器5、加热管6、主真空泵7、主真空微调阀8、主真空表9。储液单元包括副真空泵10、可调隔板11、副真空微调阀12、副真空表13、柔性隔膜14、真空球阀15、加液管道16、储液槽17。

注液管路包含循环过滤管路20、第二电磁换向阀21、第三电磁换向阀23、第四电磁换向阀24和第一电磁换向阀19及过滤器22，其中第二电磁换向阀21、第三电磁换向阀23、第四电磁换向阀24为三位三通电磁换向阀，第一电磁换向阀19为两位三通电磁换向阀。电磁换向阀采用三位三通和两位三通已满足发明的技术要求，所以不必采用三位四通阀等，会增加不必要的成本。但采用近似功能的电磁阀仍可满足本发明的要求，这样的近似变换仍落在本发明的保护范围之内。

回液管路与放液管路均包含并联管25、第二电磁换向阀21、第三电磁换向阀23、第四电磁换向阀24和第一电磁换向阀19，此外，放液管路还包含附槽管26。

弃液管路包含第一电磁换向阀19和废液处理管道18。过滤器22与并联管25并联，它们的两端均分别与第二电磁换向阀21、第三电磁换向阀23连接。

加工槽1包括工作槽2与附槽3，工作槽2与附槽3之间由挡板4隔开，挡板4的上端与加工槽1有一定间距，在加工槽1上盖安装有主真空微调阀8、主真空表9，加工槽1上盖还通过管路与主真空泵7连接。加工槽1上的主真空微调阀8设定压力范围，可自动开启和关闭进行压力调节，保证工作槽3内真空度基本恒定。工作槽2内壁左侧还安装有温度传感器5和加热管6。工作槽2的底部通过循环过滤管路20与第四电磁换向阀24连接，附槽3底部通过附槽管26与第四电磁换向阀24连接。

储液槽17外侧壁连接有加液管道16，加液管道16下端出口通入储液槽17底部，上端入口高于储液槽17的上盖（顶部）；加液管道16的入口连接有真空球阀15。储液槽17的上盖装有副真空微调阀12和副真空表13，储液槽17的上盖还通过管路与副真空泵10连接。储液槽17内部靠下位置安装有可调隔板11，可调隔板11安装位置位于加液管道16和储液槽17的下端接口与柔性隔膜14之间，可根据实际需要，调整可调隔板11与储液槽17底部的间距。可调隔板11上开有微小通孔阵列。

柔性隔膜14位于可调隔板11之上，位于储液槽17的中间位置，与储液槽17内壁固定密封连接，柔性隔膜14采用高弹性、不透气的材料，柔性隔膜14向下运动的下极限位置是可调隔板11的上表面，柔性隔膜14应使每次过滤的液体体积大于工作槽2与附槽3的容积之和。

加工槽1的底板高度应高于储液槽17的顶部，保证加工槽1内的液体可以依靠自重流入储液槽17。加工槽1上的主真空泵7与储液槽17上的副真空泵10极限抽真空能力相同。

通过增大储液槽17上腔压力可以产生压差，可驱动柔性隔膜14下移推动液体进行循环过滤。由于柔性隔膜14将储液槽17上下隔开，形成各自密闭的上下两腔。

在液体由储液槽17进入工作槽2的过程中，加工槽1上部气体空间基本不变，加工槽1上的主真空微调阀8设定压力范围，可自动开启和关闭，保证加工槽1内真空度基本恒定；重力作用下液体由附槽3进入储液槽17时，主真空泵7始终处于工作状态，与主真空微调阀8协调工作保证加工槽1内真空度基本恒定。

该发明方法的具体循环过滤过程包括以下步骤：

(1)关闭储液槽17的下部出口，经真空球阀15将适量液体注入储液槽17内，液体液面高度位于可调隔板11上，且可调隔板11之上的液体体积应大于加工槽1内工作槽2与附槽3的容积之和。加液结束后，关闭真空球阀15。

(2)如图2所述，操作第二电磁换向阀21、第三电磁换向阀23、第四电磁换向阀24使K2、K4、K6电磁机构动作，导通注液管路，启动密闭加工槽1上的主真空泵7，加工槽1内形成负压，由于密闭储液槽17压力大于密闭加工槽1压力，在压差驱动下柔性隔膜14下移，推动液体经由第一电磁换向阀19、第二电磁换向阀21及过滤器22，再经由第三电磁换向阀23、第四电磁换向阀24接通后注入工作槽2内，工作槽2注满后液体由挡板4上部溢入附槽3，当柔性隔膜14下移至可调隔板11位置时，操作各电磁换向阀置于常位，工作槽2不再进出液体。停止注液。

(3)启动密闭加工槽1上由温度传感器5和加热管6组成的温控单元，同时启动储液槽17上的副真空泵10，使整个系统内真空度相同，加工槽1达到指定温度和真空度后，工作槽2进入工作状态。

(4)如图3所示，加工进行一定时间后，需要回液时，操作第四电磁换向阀24、第三电磁换向阀23、第二电磁换向阀21中K7、K5、K3电磁机构动作，导通回液管路，在重力作用下，附槽3内的液体经回液管路完全进入储液槽17，主真空泵7始终处于工作状态，保证加工槽1内真空度基本恒定。回液过程结束后，操作各电磁换向阀置于常位，封闭回液管路。回液过程不进行过滤。

如图2所示，一定时间间隔后，工作槽3液体不足时应再次供流，开启储液槽17上的副真空微调阀12，使储液槽17压力大于加工槽1压力，操作第二电磁换向阀21、第三电磁换向阀23、第四电磁换向阀24中K2、K4、K6电磁机构动作，压差驱动下柔性隔膜14下移，推动液体经电磁换向阀第一电磁换向阀19、第二电磁换向阀21及过滤器22，再经过第三电磁换向阀23、第四电磁换向阀24注入工作槽2，液体注满工作槽2后由挡板4上部溢入附槽3，当柔性隔膜14下移至可调隔板11位置时，关闭副真空微调阀12，操作各电磁换向阀置于常位。到此，完成一次循环过滤。

(5)如图4所示，工艺过程结束，

如果液体可继续使用，短时间内仍会使用，则关闭主真空泵7和副真空泵10，开启主真空微调阀8和副真空微调阀12使液体保持原态； 

如果液体可继续使用，但是有很长一段时间不使用，则需要进行放液，关闭各真空泵，开启各真空微调阀，然后操作第一电磁换向阀19、第四电磁换向阀24置于常位，第三电磁换向阀23、第二电磁换向阀21中K5、K3电磁机构动作使放液管路导通，附槽3和工作槽2内的液体经由放液管路完全进入储液槽17进行存储，存储完毕后，操作第二电磁换向阀21、第三电磁换向阀23置于常位，关闭放液管路。

如果液体不能继续循环使用，则如图5所示，继续操作第一电磁换向阀19使K1电磁机构动作，导通弃液管路，将进入储液槽17的液体由储液槽17经废液处理管道18排出。

过滤方法：

（1）调整位于储液槽17下腔内可调隔板11的高度并关闭储液槽17的下部出口，经真空球阀15将适量液体注入储液槽17下腔内，使液体液面高度位于可调隔板（11）上，且可调隔板（11）之上的液体体积应大于加工槽（1）内工作槽（2）与附槽（3）的容积之和；

（2）关闭真空球阀15，导通注液管路，启动密闭加工槽1上的主真空泵7，储液槽17下腔内液体在压差作用下经由注液管路注入加工槽1内的工作槽2中，封闭注液管路；

（3）启动密闭储液槽17上的副真空泵10，使整个系统内真空度相同后，工作槽2进入工作状态；

（4）循环过滤液体：a.回液：重力作用下液体由密闭加工槽1内的附槽3经回液管路回注到密闭储液槽17中；b.过滤：增大储液槽17上腔的压力，压差作用下液体由储液槽17下腔经注液管路注入加工槽1内的工作槽2，封闭注液管路；c.再回液，再过滤，如此循环反复；

（5）关闭各真空泵，开启各真空微调阀，工艺过程结束。

Claims (10)

1.一种真空密闭槽内加热液体的循环过滤装置，其特征在于：包括加工单元、储液单元、连接管路和加液装置，所述加工单元和储液单元由连接管路连接；连接管路上设有过滤器（22）和电磁换向阀，所述加工单元包括连接有主真空泵（7）和主真空微调阀（8）的封闭的加工槽（1），所述储液单元包括连接有副真空泵（10）和副真空微调阀（12）的封闭的储液槽（17），储液槽（17）内壁密封有柔性隔膜（14），所述加工槽（1）底部高于储液槽（17）的顶部。

2.根据权利要求1所述的循环过滤装置，其特征在于：所述加工槽（1）底部竖直设有挡板（4），将加工槽（1）分为工作槽（2）和附槽（3），工作槽（2）和附槽（3）在加工槽（1）的上部连通；储液单元包括加液装置、位于储液槽（17）下部的可调隔板（11），所述可调隔板（11）上开设有通孔，所述柔性隔膜（14）位于可调隔板（11）之上；所述柔性隔膜（14）与储液槽（17）的内壁密封连接，将储液槽（17）分为上下两个密闭的腔室，所述副真空泵（10）、副真空微调阀（12）均与储液槽（17）内的上部腔室连接；加液装置包括阀门和加液管道（16），加液管道（16）上端与加液装置的阀门连接，所述加液管道（16）与储液槽（17）连通；所述连接管路包括循环过滤管道（20）、第一电磁换向阀（19）、第二电磁换向阀（21）、过滤器（22）、并联管路（25）、第三电磁换向阀（23）、第四电磁换向阀（24）以及附槽管（26），所述过滤器（22）两端分别与第二电磁换向阀（21）、第三电磁换向阀（23）连接，所述并联管路（25）的两端也分别与第二电磁换向阀（21）、第三电磁换向阀（23）连接；所述附槽管（26）一端连接在附槽（3）底部，另一端连接第四电磁换向阀（24）；循环过滤管道（20）两端分别与工作槽（2）底部和储液槽（17）底部连接，循环过滤管道（20）的中间依次与第一电磁换向阀（19）、第二电磁换向阀（21）、过滤器（22）、第三电磁换向阀（23）、第四电磁换向阀（24）连接；所述第二电磁换向阀（21）、第三电磁换向阀（23）、第四电磁换向阀（24）为三位三通电磁换向阀，第一电磁换向阀（19）为两位三通电磁换向阀。

3.根据权利要求2所述的循环过滤装置，其特征在于：所述工作槽（2）内设有温度传感器（5）和加热装置。

4.根据权利要求3所述的循环过滤装置，其特征在于：所述加热装置为加热管（6）。

5.根据权利要求2-4任一条所述的循环过滤装置，其特征在于：所述加液管道（16）的出口位于可调隔板（11）和储液槽（17）槽底的中间位置；所述第一电磁换向阀（19）连接有废液处理管道（18）；所述加液装置的阀门为真空球阀（15）；所述可调隔板（11）上开有微小通孔阵列。

6.根据权利要求1-4任一条所述的循环过滤装置，其特征在于：所述加工槽（1）上连接有主真空表（9），所述储液槽（17）上连接有副真空表（13）。

7.采用权利要求1至6任一条所述循环过滤装置对真空密闭槽内加热液体进行循环过滤的方法，其特征在于：

循环过滤管道（20）、第一电磁换向阀（19）、第二电磁换向阀（21）、第三电磁换向阀（23）和第四电磁换向阀（24）以及过滤器（22）组成注液管路；

回液管路与放液管路均包含并联管路（25）、第一电磁换向阀（19）、第二电磁换向阀（21）、第三电磁换向阀（23）和第四电磁换向阀（24），放液管路还包含附槽管（26），其中回液时，工作槽（2）与第四电磁换向阀（24）断开，仅附槽（3）通过附槽管与第四电磁换向阀（24）接通；而放液时，工作槽（2）、附槽（3）均与第四电磁换向阀（24）接通；

第一电磁换向阀（19）和废液处理管道（18）组成弃液管路；

本循环过滤方法按以下步骤进行：

第一步，加液；首先，关闭储液槽（17）的下部出口，经真空球阀（15）将适量液体注入储液槽（17）内，液体液面高度位于可调隔板（11）上，且可调隔板（11）之上的液体体积应大于加工槽（1）内工作槽（2）与附槽（3）的容积之和；加液结束后，关闭真空球阀（15）；

第二步，注液；操作第一电磁换向阀（19）打开储液槽（17）的下部出口，导通注液管路，启动密闭加工槽（1）上的主真空泵（7），在加工槽（1）内形成负压，在压差驱动下柔性隔膜（14）下移，推动液体经由第一电磁换向阀（19）、第二电磁换向阀（21）及过滤器（22），再经由第三电磁换向阀（23）、第四电磁换向阀（24）接通后注入工作槽（2）内，工作槽（2）注满后液体由挡板（4）上部溢入附槽（3）；当柔性隔膜（14）下移至可调隔板（11）位置时，操作各电磁换向阀置于常位，工作槽（2）不再进出液体，停止注液；

第三步：启动密闭加工槽（1）上由温度传感器（5）和加热管（6）组成的温控单元，同时启动储液槽（17）上的副真空泵（10），使整个系统内真空度相同，加工槽（1）达到指定温度和真空度后，工作槽（2）进入工作状态；

第四步，循环过滤液体：

4.1回液；加工进行一定时间后需要回液时，导通回液管路，在重力作用下，附槽（3）内的液体经回液管路完全进入储液槽（17），主真空泵（7）始终处于工作状态，以保证加工槽（1）内真空度基本恒定；回液过程结束后，操作各电磁换向阀置于常位，封闭回液管路；

4.2过滤：增大储液槽（17）上腔的压力，在压差作用下液体由储液槽（17）下腔经注液管路注入加工槽（1）内的工作槽（2），然后封闭注液管路；

4.3若过滤不满足要求，则再回液，然后再过滤，循环反复直到过滤满足要求；

第五步，加工结束后，关闭各真空泵，开启各真空微调阀，工艺过程结束。

8.根据权利要求7所述的对真空密闭槽内加热液体进行循环过滤的方法，其特征在于：一定时间间隔后，当工作槽（2）液体不足时应再次供流，开启储液槽（17）上的副真空微调阀（12），使储液槽（17）压力大于加工槽（1）压力，打开注液管路，向工作槽（2）注液，当柔性隔膜（14）下移至可调隔板（11）位置时，关闭副真空微调阀（12），操作各电磁换向阀置于常位。

9.根据权利要求7或8所述的对真空密闭槽内加热液体进行循环过滤的方法，其特征在于：第六步，放液；工艺过程结束，如果液体可继续使用，则关闭主真空泵（7）和副真空泵（10），开启主真空微调阀（8）和副真空微调阀（12），然后操作第一电磁换向阀（19）、第四电磁换向阀（24）置于常位，第三电磁换向阀（23）、第二电磁换向阀（21）使放液管路导通，附槽（3）和工作槽（2）内的液体经由放液管路完全进入储液槽（17）进行存储，存储完毕后，操作第二电磁换向阀（21）、第三电磁换向阀（23）置于常位，关闭放液管路。

10.根据权利要求7或8所述的对真空密闭槽内加热液体进行循环过滤的方法，其特征在于：第六步，弃液；如果液体不能继续循环使用，继续操作第一电磁换向阀（19），导通弃液管路，将进入储液槽（17）的液体由储液槽（17）经废液处理管道（18）排出。