CN102779906B - 太阳能电池电极的电化学制备方法 - Google Patents

太阳能电池电极的电化学制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种太阳能电池电极的电化学制备方法。该方法用光诱导电镀制备太阳能电池电极，并在光诱导电镀制备太阳能电池电极完成后，在太阳能电池衬底背面电极和辅助电极之间施加一电压，使p型层和n型层导通。同时在光诱导电镀制备的金属电极和辅助电极之间施加另一电压，保护光诱导电镀制备的金属电极不被退镀去除。电镀产生的多余金属沉积物由于 p 型层和n型层导通而被退镀去除。该方法避免了由于电镀产生的多余金属沉积物对太阳能电池效率和寿命造成的负面影响。

Description

太阳能电池电极的电化学制备方法
技术领域
本发明涉及太阳能电池的制备方法，具体涉及一种太阳能电池电极的电化学制备方法。
背景技术
太阳能电池主要是以半导体材料为基础，并加以电极而形成电导通的器件，目前大多数太阳能电池的制造基于硅衬底材料，其制备工艺流程包括：去除硅片表面损伤层、制绒面、形成p 型层和n 型层、在正面镀SiNx 减反射膜与n 型层接触、制作正、背面电极及烧结形成欧姆接触等。目前太阳能电池电极的制作方法主要是用丝网图案印刷技术将高纯度银浆印刷到硅片表面。由于银浆的主要成分金属银微粒的成本很高，其他金属取代银制作太阳能电池电极已成为太阳能电池电极制备的必然趋势。近几年来，铜已经被成功的应用到太阳能电池电极的制备上。但由于铜非常容易在硅中扩散，从而降低太阳能电池的可靠性与寿命，在制作太阳能电池电极时必须隔离金属铜和太阳能电池功能区域。如何利用简单工艺制作低成本的铜电极是太阳能电池研究的一个重点。
图 1 显示了一种常见的太阳能电池制备流程。首先在太阳能电池衬底上制作p 型层和n 型层，形成pn 结。再在已完成p 型层和n 型层制作的太阳能电池衬底正表面形成一层SiNx 减反射膜，使其与太阳能电池n 型层接触。然后在太阳能电池衬底背面形成背电极，使背电极与p 型层接触，通常是用丝网印刷的方法制备背面铝电极。然后通过去除部分SiNx 减反射膜在太阳能电池衬底表面形成沟槽图案，在沟槽图案底部暴露出n 型层。然后利用丝网印刷在沟槽中印刷银浆，并退火形成电极。由于银浆成本较高，电化学镀已经逐步被采用以取代丝网印刷，具体流程如图2 所示。在电化学镀之前，通常先通过化学镀、墨水喷印、溶胶喷印等方法在沟槽底部镀上一层籽晶层。在实际操作中，根据所用电极材料的不同，籽晶层制作步骤也可以省略。然后再将太阳能电池衬底正面和至少一辅助电极接触电镀液,利用光诱导电镀（light induced plating）形成金属电极。光诱导电镀的优点是不用在太阳能电池衬底正面进行电极连接，电极连接到太阳能电池衬底的背面，能大大简化电镀工艺（CN101257059B，CN101562217A）。尽管用光诱导电镀形成太阳能电极的技术的发明早在上世纪70 年代（US4144139，US4251327），但是光诱导电镀的手段在在实际大批量生产中没有被采用，它的一个问题是多余电镀产生金属沉积物严重降低太阳能电池效率和寿命（Industrial LCP selective emitter solar cells with plated contacts，D. Kray, N. Bay, G. Cimiotti, S.
Kleinschmidt, N. K?sterke, A. L?sel, M. Sailer, A. Tr?ger, H. Kühnlein, H.Nussbaumer, C. Fleischmann, F. Granek，Photovoltaic Specialists Conference(PVSC), 2010 35th IEEE）。
SiNx 减反射膜通常是用PECVD 的方法制备到太阳能电池衬底表面。由于SiNx 成膜温度较低，生成的SiNx 减反射膜的密度低且具有较多的孔隙。在SiNx 减反射膜上形成沟槽图案通常用掩膜刻蚀，也可以用激光刻蚀。激光刻蚀形成的图案线宽较窄，减小了表面电极的面积。利用激光熔融掺杂的方法（LDSE）还可以增加电极区域n 型层中n 型掺杂的浓度，提高太阳能电池的效率。然而激光刻蚀会在附近的SiNx 减反射膜中形成更多的缺陷和孔隙。在制作籽晶层之前，用HF 清洗太阳能电池衬底表面，去除n 型层表面的SiO2层。但是去除SiO2 的同时，HF 也会腐蚀SiNx 减反射膜，形成更大的孔隙（Improved ghost plating of light-induced plating on crystalline silicon, Dongye Sun, Wen-Pei Sung and Ran Chen, Applied Mechanics and Materials, Volumes 71–78, Page 2290-2293, 2011）。在光诱导电镀过程中电镀液很容易通过SiNx 的孔隙接触到下层的n 型层，并在孔隙中形成多余电镀金属沉积物，或者通过与太阳能电池衬底导通的p 型层和n 型层相接触而导电的缺陷在表面形成多余电镀金属沉积物。多余电镀形成的金属沉积物会覆盖在太阳能电池衬底表面阻挡光的吸收降低效率。多余电镀的金属沉积物和p 型层接触还会引起太阳能电池短路。如果为了降低成本采用铜电极，铜更容易扩散到硅中降低太阳能电池的效率和寿命（Improved LDSE processing for the avoidance of overplating yielding 19.2% efficiency on commercial grade crystalline Si solar cell，Eunjoo Lee, Hyunwoo Lee, Junyoung Choi, Dongjun Oh, Jimyung Shim,
Kyungyeun Cho, Jisun Kim, Soohong Lee, Brett Hallam, Stuart R. Wenham, Haeseok Lee，Solar Energy Materials and Solar Cells，Volume 95, Issue 12, December 2011, Pages 3592–3595）。因此要将光诱导电镀技术用于商业化太阳能电池电极制备，避免和去除多余电镀产生的金属沉积物是必须要解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种新的太阳能电池电极的电化学制备方法，包括，首先具有可用于光诱导电镀的太阳能电池衬底，该太阳能电池衬底具备p 型层、n 型层、背表面电极接触p 型层、正表面减反射膜接触n 型层。其正面减反射膜表面有沟槽图案并在沟槽图案底部暴露n 型层，并且p 型层和n 型层与沟槽图案底部在接受光照时电导通。将所述太阳能电池衬底正表面和至少一个辅助电极与电镀液接触;并在所述背电极和辅助电极之间施加一电压v1，使背电极电势低于辅助电极电势，同时用一光源照射太阳能电池衬底正表面。利用光诱导电镀在所述太阳能电池衬底表面沟槽内形成至少一层金属电极。在所述光诱导电镀过程中监测电镀液中的离子浓度，当电镀液中的离子浓度达到一阀值时对电镀液中的离子进行补充，保持电镀液有效进行电镀。停止所述光照射太阳能电池衬底。在所述太阳能电池衬底背电极和光诱导电镀形成的金属电极之间施加电压v2，使背电极电势高于光诱导电镀的金属电极电势，并同时在所述太阳能电池衬底背电极和辅助电极之间施加电压v3，使背电极电势高于辅助电极电势。退镀去除在所述减反射膜孔洞中和表面上多余电镀形成的金属沉积物。
该方法利用光诱导电镀 (light induced plating) 工艺制备太阳能电池电极，用以取代传统的丝网印刷和银浆，降低太阳能电池的制造成本，并且在光诱导电镀制备金属电极完成后，利用电化学退镀（deplating）去除多余电镀在减反射膜表面上和孔洞中形成的金属沉积物，避免了多余电镀金属沉积物对太阳能电池效率和寿命的负面影响。
附图说明
图 1 为一种太阳能电池制备步骤的示意图；
图 2 为另一种太阳能电池制备步骤的示意图；
图 3 为本发明实施例一所提供的太阳能电池电极制备步骤的示意图；
图 4 为本发明实施例一所提供的太阳能电池电极制备方法的示意图；
图 5 为超声波频率与电镀表面边界层厚度的关系示意图；
图 6 为极限电流密度和边界层厚度的关系示意图；
图 7 为本发明实施例一所提供的一种电化学退镀过程控制示意图；
图 8 为本发明实施例一所提供的另一种电化学退镀过程控制示意图；
图 9 为本发明实施例二所提供的太阳能电池电极制备步骤的示意图；
图 10 为本发明实施例二所提供的太阳能电池电极制备方法的示意图。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本发明，在此本发明的示意性实施例以及说明用来解释本发明，但并不作为对本发明的限定。
实施例一：
图 3 为本发明实施例一提供的一种太阳能电池电极的制备方法的示意图。
参见图3 所示，该方法主要包括以下步骤：
步骤一：具有可用于光诱导电镀的太阳能电池衬底，该太阳能电池衬底具备p型层和n 型层、背表面电极接触p 型层、正表面减反射膜接触n 型层、其正面减反射膜表面有沟槽图案并在沟槽图案底部暴露n 型层、并且p 型层和n型层与沟槽图案底部在接受光照时电导通；
步骤二：将所述太阳能电池衬底正表面和至少一个辅助电极浸入到电镀液中，并在太阳能电池衬底背电极和辅助电极之间施加电压v1；
步骤三：用一光源照射所述太阳能电池衬底正表面，利用光诱导电镀在太阳能电池衬底表面沟槽内形成金属电极；
步骤四：在所述光诱导电镀形成金属电极完成后停止光照射所述太阳能电池衬底；
步骤五：在所述太阳能电池衬底背电极和光诱导电镀形成的金属电极之间施加电压v2，在太阳能电池衬底背电极和辅助电极之间施加电压v3；
步骤六：保护所述光诱导电镀形成的金属电极不被退镀，利用电化学退镀去除多余电镀在减反射膜表面上和孔隙中形成的金属沉积物；
步骤七：清洗并干燥所述太阳能电池衬底。
本实施例，在步骤三所述光诱导电镀的过程中，在太阳能电池衬底背电极和辅助电极之间施加电压v1，使背电极电势低于辅助电极电势。如图4a 所示，电镀液会进入SiNx 减反射膜102 的孔隙接触太阳能电池衬底n 型层构成回路，在SiNx 减反射膜102 的表面和孔隙中形成多余电镀金属沉积物106a和106b。表面形成的多余电镀的金属沉积物106a 会阻挡光到达太阳能电池衬底101，降低太阳能电池效率；孔隙中形成的多余电镀的金属沉积物106b 会扩散到太阳能电池衬底 101 中，减少太阳能电池的使用寿命。在所述光诱导电镀步骤中，用一电流表203 实时监测电镀时的电流。通过时间积分得到所述光诱导电镀时的电镀电通量。所述光诱导电镀步骤可以通过时间来控制，当光诱导电镀进行一段时间后结束该步骤。所述光诱导电镀步骤也可以通过电镀电通量来控制，当电镀电通量达到或超过一阀值时结束该步骤。利用光诱导电镀形成的金属电极材料为铜、镍、钴、银、锡、金，铅，锌中的一种及一种以上金属的合金。随着所述光诱导电镀的进行，电镀液中的金属离子和其它成份，例如氢离子，逐渐被消耗，当金属离子和其它成份的浓度达到某个阀值时，光诱导电镀形成的金属电极无法满足工艺要求，电镀不能正常进行。因此，需要在光诱导电镀的同时监测电镀液中金属离子及其它成份的浓度，并根据金属离子和其它成份的浓度变化，例如当电镀液中的金属离子和其它成份的浓度达到一阀值时，对电镀液中的金属离子和其它成份进行补充，维持电镀液中金属离子和其它成份的浓度不变，保证电镀的正常进行。
在所述光诱导电镀步骤中，可利用一超声波换能器 205 将超声波能量传送到太阳能电池衬底101 表面，用以提高电镀速率。在用较小电流密度进行电镀的情况下，电镀速率随着电流密度的增大而增大。当电流密度增大到一极限值时，电镀速率不再增大，此时电镀速率由电镀液中金属离子向电镀表面的扩散速率决定。该极限值被称之为极限电流密度。极限电流密度ilim 可以表示为ilim=                                                ，其中n 为电镀金属离子所带的电荷数，F 为法拉第常数，D 为电镀金属离子的扩散常数，C 0  为电镀金属离子在电镀液中的摩尔浓度。可以看到极限电流密度与边界层厚度成反比，边界层厚度越薄，极限电流密度越大，极限电镀速率越大。
在太阳能电池衬底表面施加超声波能量时，由于超声波造成电镀表面的流体快速流动，可以得到非常薄的扩散边界层。在超声波能量作用下，表面边界层厚度为超声波频率f 和液体黏度υ 的函数，可以表示为：δa=（The Removal of Deformed Submicron Particles from Silicon Wafers by Spin Rinse and Megasonics, Fan Zhang, Ahmed A. Busnaina, Michael A. Fury and Shi-Qing Wang, Journal of Electronic Materials, Volume 29 Issue 2, Pages 199-204, 2000）。如图5 所示，边界层厚度随着超声波频率的增大迅速降低，当超声波频率为1000 千赫兹时，表面的边界层厚度小于1 微米。如图6 所示，当边界层厚度大于10 微米时，极限电流密度小于0.1 安培/平方厘米。但是当边界层厚度小于10 微米时，极限电流密度随着边界层厚度的减小迅速增大。当边界层厚度为1 微米时，极限电流密度可以达到1.2 安培/平方厘米。在太阳能电池衬底电镀表面施加超声波能量可以使电镀速率提高10 倍以上，极大的提高了太阳能电池的生产速率。
本实施例，在步骤六中，如图4b 所示，在所述太阳能电池衬底背电极105和光诱导电镀形成的金属电极107 之间施加电压v2，使背电极电势高于光诱导电镀形成的金属电极的电势。同时在所述太阳能电池衬底背电极105 和辅助电极201 之间施加电压v3，使太阳能电池衬底背电极105 的电势高于辅助电极201 的电势，p 型层和n 型层导通，所述多余电镀产生的金属沉积物106a和106b 将被电化学退镀去除。保持v2 不小于v3，所述光诱导电镀形成的金属电极107 的电势小于等于辅助电极201 电势，光诱导电镀形成的金属电极107 将被保护不会被退镀去除。在所述电化学退镀步骤中，有一电流表204 实时监测电镀时的电流。通过时间积分得到电化学退镀时的退镀电通量。所述电化学退镀步骤可以通过电流来控制，如图7a 所示，当退镀电流等于或低于一阀值时停止电化学退镀步骤。也可以通过退镀电通量来控制，如图7b 所示，当退镀电通量达到或者超过一阀值时停止电化学退镀步骤。在所述电化学退镀去除多余电镀形成的金属沉积物 106a 和106b 时，可以控制背电极105 和辅助电极201 之间的电压v3 恒定，如图8a 所示；在这种模式下，退镀电流随着多余电镀产生的金属沉积物去除而变小，当退镀电流小于一阀值时停止电化学退镀步骤。也可以控制背电极105 和辅助电极201 之间的电流恒定，如图8b 所示；在这种模式下，可以控制电化学退镀的时间，也可以在背电极105 和辅助电极201 之间的电压达到或超过一阀值时转换到恒压模式。也可以控制背电极105 和辅助电极201 之间施加一脉冲电流，如图8c 所示；在这种模式下，可以控制电化学退镀的电通量，当退镀电通量达到或超过一阀值时停止电化学退镀。在所述退镀过程中同样可以对退镀表面施加超声波能量，由于超声波有效减少传质边界层的厚度，退镀效率提高，尤其是在微小的孔洞区域里。图8c 仅仅举出脉冲电流的一个例子，其所示的脉冲电流为一方波。其他频率和波形的脉冲电流亦在本发明的保护范围之内。
本实施例的优点是，首先通过在所述太阳能电池衬底电镀表面施加超声波能量，极大的提高了电极电镀的速率，提高了太阳能电池的产率，减少了设备成本，其次通过电化学退镀的方法去除多余电镀在减反射膜孔洞中和表面上产生的金属沉积物，解决了因为多余电镀金属沉积物造成太阳能电池效率降低寿命缩短的问题。
实施例二：
本发明实施例二提供了一种太阳能电池电极的制备方法，该方法主要包括以下步骤：
步骤一：具有可用于光诱导电镀的太阳能电池衬底，该太阳能电池衬底具备p型层和n 型层、背表面电极接触p 型层、正表面减反射膜接触n 型层、其正面减反射膜表面有沟槽图案并在沟槽图案底部暴露n 型层、并且p 型层和n型层与沟槽图案底部在接受光照时电导通；
步骤二：将所述太阳能电池衬底正表面和至少一个辅助电极浸入到电镀液中，并在太阳能电池衬底背电极和辅助电极之间施加电压v1；
步骤三：用一光源照射所述太阳能电池正表面，利用光诱导电镀在太阳能电池表面沟槽内形成金属电极；
步骤四：停止光照射所述太阳能电池衬底；
步骤五：在所述太阳能电池衬底背电极和光诱导电镀形成的金属电极之间施加电压v2，在太阳能电池背电极和辅助电极之间施加电压v3；
步骤六：保护所述光诱导电镀形成的金属电极不被退镀，利用电化学退镀去除多余电镀形成的金属沉积物；
步骤七：多次重复步骤二至步骤六；
步骤八：清洗并干燥所述太阳能电池衬底。
本实施例的所述光诱导电镀步骤和电化学退镀步骤与实施例一中所述相同。本实施例与实施例一的不同之处在于，本实施例中周期性重复光诱导电镀步骤和电化学退镀步骤，达到更好的电化学退镀去除多余电镀形成的金属沉积物的效果。此时，在光诱导电镀与退镀过程中，在背电极和辅助电极之间施加电压为周期性脉冲逆向波形。
实施例三：
图 9 为本发明实施例三提供的一种太阳能电池电极的制备方法的示意图。
参见图9 所示，该方法主要包括以下步骤：
步骤一：具有可用于光诱导电镀的太阳能电池衬底，该太阳能电池衬底具备p型层和n 型层、背表面电极接触p 型层、正表面减反射膜接触n 型层、其正面减反射膜表面有沟槽图案并在沟槽图案底部暴露n 型层、并且p 型层和n型层与沟槽图案底部在接受光照时电导通；
步骤二：在所述太阳能电池衬底表面沟槽内制作阻挡层和籽晶层；
步骤三：将所述太阳能电池衬底正表面和至少一个辅助电极浸入到电镀液中，并在太阳能电池衬底背电极和辅助电极之间施加电压v1；
步骤四：用一光源照射所述太阳能电池衬底正表面，利用光诱导电镀在太阳能电池表面沟槽内形成金属电极；
步骤五：停止光照射所述太阳能电池衬底；
步骤六：在所述太阳能电池背电极和光诱导电镀形成的金属电极之间施加电压v2，在太阳能电池背电极和辅助电极之间施加电压v3；
步骤七：保护所述光诱导电镀形成的金属电极不被退镀，利用电化学退镀去除多余电镀形成的金属沉积物；
步骤八：清洗并干燥所述太阳能电池衬底。
本实施例所述光诱导电镀和电化学退镀步骤与实施例一中所述相同。本实施例与实施例一的不同之处在于，在所述光诱导电镀之前在太阳能电池衬底表面沟槽内制作籽晶层104，如图10a 所示。所述籽晶层可以通过化学镀，电镀，墨水喷镀及溶胶喷镀等方法制作。在所述光诱导电镀在太阳能电池衬底101 上制备某些金属电极107 时，制作籽晶层104 是必需的一步。例如制备金属铜电极，籽晶层104 材料通常为金属镍。在制作镍籽晶层104 完成后进行热处理，使镍和太阳能电池衬底表面n 型层的硅形成镍硅化物，作为阻挡层阻挡金属铜电极107 向太阳能电池衬底101 中扩散。籽晶层的制备也可以用光诱导电镀实现，此时光诱导电镀在太阳能电池衬底表面沟槽内完成第一层金属的电镀。然后将所述太阳能电池衬底正表面和至少一个辅助电极浸入到硫酸铜电镀液中，并在太阳能电池衬底背电极和辅助电极之间施加电压v1，用一光源照射太阳能电池正表面，利用光诱导电镀在太阳能电池衬底表面沟槽内形成金属铜电极，此时光诱导电镀在太阳能电池衬底表面沟槽内完成第二层金属的电镀。随着电镀的进行，电镀液中的铜离子和其它成份，例如氢离子，逐渐被消耗，当铜离子和其它成份的浓度达到某个阀值时，电镀形成的金属铜电极无法满足工艺要求，电镀不能正常进行。因此，需要在所述光诱导电镀的同时监测电镀液中铜离子及其它成份的浓度，并根据铜离子和其它成份的浓度变化对电镀液进行补充，维持电镀液中铜离子及其它成份的浓度不变，保证电镀的正常进行。用所述电化学退镀去除多余电镀产生的金属铜106a 和106b 时，在光诱导电镀形成的铜电极和太阳能电池衬底背电极105 之间施加电压v2，保护铜电极不被退镀，如图10b 所示。在制备铜电极完成后，通常会在铜电极上再形成一层锡钝化层，此时所述光诱导电镀在太阳能电池衬底表面沟槽内完成第三层金属的电镀。金属锡钝化层也可由化学镀，电镀等方法制备。通过所述光诱导电镀后电化学退镀去除减反射膜表面上和孔洞中多余电镀的金属铜，避免了表面多余电镀的铜导致的透光率下降和孔洞中多余电镀铜扩散到太阳能电池衬底内部造成太阳能电池效率和寿命降低的问题。在铜电极与n 型层间形成镍硅化物阻挡层，则避免了电极的铜扩散到太阳能电池衬底内部造成太阳能电池效率和寿命降低的问题并同时降低了电极与n 型层间的欧姆接触电阻。锡钝化层不但对铜电极有保护作用，同时也便于连接外部导线。
需要说明的是，本发明不仅适用于各类晶硅太阳能电池，其他种类太阳能电池也可以用本发明的方法制作太阳能电池电极。
以上对本发明实施例所提供的方案进行了详细解释，本发明中应用了具体个例对本发明的原理和实施方式进行了阐述，以上的实施例说明只适用于帮助理解本发明实施例的原理。对于本领域的一般技术人员，依据本发明实施例，在具体实施方式及应用范围上均会有所改变，在不偏离本发明宗旨的基础上，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种太阳能电池电极的电化学制备方法，其特征在于，包括：  
具有可用于光诱导电镀的太阳能电池衬底，该太阳能电池衬底具备p型层和n型层、背面电极接触p型层、正面减反射膜接触n型层，其正面减反射膜表面有沟槽图案并在沟槽图案底部暴露n型层、并且p型层和n型层与所述沟槽图案底部在接受光照时电导通；  
将所述太阳能电池衬底正面和至少一个辅助电极与电镀液接触；
并在所述背面电极和所述辅助电极之间施加一电压v1，使背面电极电势低于辅助电极电势，同时用一光源照射太阳能电池衬底正面；  
利用光诱导电镀在所述太阳能电池衬底的正面减反射膜表面沟槽图案内形成至少一层金属电极； 
所述正面减反射膜具有孔隙； 
在所述光诱导电镀形成所述金属电极的同时，在所述正面减反射膜的孔隙中也会电镀形成多余金属沉积物；
在所述光诱导电镀过程中监测电镀液中的离子浓度，当电镀液中的离子浓度达到一阀值时对电镀液中的离子进行补充，保持电镀液有效进行电镀；  
停止用所述光源照射太阳能电池衬底；  
在所述太阳能电池衬底背面电极和光诱导电镀形成的金属电极之间施加电压v2，使背面电极电势高于光诱导电镀的金属电极电势，并同时在所述太阳能电池衬底背面电极和辅助电极之间施加电压v3，使背面电极电势高于辅助电极电势；  
退镀去除在所述正面减反射膜孔隙中电镀形成的多余金属沉积物。
2.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的电化学制备方法，其特征在于，该方法可应用于在所述太阳能电池衬底的正面减反射膜表面沟槽图案内与n型层接触的第一层金属电极的制备。
3.根据权利要求 2 所述的太阳能电池电极的电化学制备方法，其特征在于，在所述太阳能电池衬底的正面减反射膜表面沟槽图案内与n型层接触的第一层金属电极通过热处理与n型层形成金属硅化物。
4.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的电化学制备方法，其特征在于，该方法可应用于在所述太阳能电池衬底的正面减反射膜表面沟槽图案内的第二层金属电极制备。
5.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的电化学制备方法，其特征在于，该方法可应用于在所述太阳能电池衬底的正面减反射膜表面沟槽图案内的第三层金属电极制备。
6.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的电化学制备方法，其特征在于，在所述光诱导电镀过程中，在太阳能电池衬底的正面施加超声波能量。
7.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的电化学制备方法，其特征在于，在所述退镀去除在减反射膜孔隙中电镀形成的多余金属沉积物时，保持v2不小于v3，保护光诱导电镀形成的金属电极不被退镀。
8.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的电化学制备方法，其特征在于，用所述退镀去除电镀形成的多余金属沉积物时，通过设置包括电流、电压、电通量的阀值停止退镀。
9.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的电化学制备方法，其特征在于，所述光诱导电镀形成的金属电极材料为铜、镍、钴、银、锡、金，铅，锌中的一种及一种以上金属的合金。
10.根据权利要求 1 所述的太阳能电池电极的电化学制备方法，其特征在于，在所述光诱导电镀与退镀过程中，在背面电极和辅助电极之间施加电压为周期性脉冲逆向波形。
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