CN102745691A - 一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法及装置 - Google Patents

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Abstract

一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法，包括合成炉和硅粉收集罐，具体操作步骤包括，A、在合成炉正常停车后，对合成炉进行置换；B、在置换合格后，将合成炉底部硅粉泄放阀与硅粉收集罐通过金属软管进行相连，通过氮气进口管线向合成炉通入氮气；C、打开硅粉泄放阀，氮气连同硅粉被带入硅粉收集罐，氮气通过硅粉收集罐顶部布袋过滤器被放空，使硅粉被收集到硅粉收集罐内，实现了硅粉的全部回收使用。本发明的有益效果如下：本方法工艺简单，工艺条件易于实现，且操作方便；再生产中可以将合成炉内废旧硅粉全部回收再使用，同时回收时不会对人员身体产生粉尘危害。本发明同时公开了三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置。

Description

一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法及装置
技术领域
本发明涉及一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法，特别是改变了原有合成炉内废旧硅粉的回收方法，大大节约了劳动力，同时减少了硅粉的浪费，回收后的硅粉还可以继续使用。
背景技术
目前多晶硅行业中，大多数企业中的三氯氢硅合成炉停车后需将合成炉内的硅粉进行回收，主要是将合成炉椎体进行拆除，将硅粉泄放再处理，此方法容易造成在拆卸时硅粉粉尘较严重，对拆卸人员身体健康产生影响，同时在拆卸时大量硅粉被溅落到地面，造成此硅粉无法使用。
专利号为CN101966993A，名称为一种三氯氢硅生产过程中废硅粉的回收利用方法，综合利用废硅粉生产三氯氢硅的设备,包括三氯氢硅合成炉混合气出口管道连接高效旋风分离器,高效旋风分离器的出料口与硅粉回收罐连接；高效旋风分离器的出气口连接一级旋风分离器,一级旋风分离器的下方设有一级存渣罐,一级旋风分离器的出气口连接二级旋风分离器,二级旋风分离器的下方设有二级存渣罐；二级旋风分离器的出气口依次连接一级布袋除尘器和二级布袋除尘器,一级布袋除尘器和二级布袋除尘器出料口均通过吹渣管道与硅粉回收罐相连接,硅粉回收罐的出料口与三氯氢硅合成炉回收口连接，但该设备具投资较大、操作复杂、设备占地面积大等缺点。
发明内容
本发明的目的是针对三氯氢硅合成装置硅粉回收方法进行改进，通过改变硅粉回收方法减少硅粉的浪费，同时减少员工的劳动强度，避免员工身体受到硅粉粉尘的危害。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现：
一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法，包括合成炉和硅粉收集罐，具体操作步骤包括，
A、在合成炉正常停车后，对合成炉进行置换；
B、在置换合格后，将合成炉底部硅粉泄放阀与硅粉收集罐通过金属软管进行相连，通过氮气进口管线向合成炉通入氮气；
C、打开硅粉泄放阀，氮气连同硅粉被带入硅粉收集罐，氮气通过硅粉收集罐顶部布袋过滤器被放空，使硅粉被收集到硅粉收集罐内，实现了硅粉的全部回收使用。
在回收硅粉时合成炉内压力控制在0.2MPa以下，防止压力太高泄压时造成布袋过滤器损坏。
一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置，包括合成炉和硅粉收集罐，合成炉通过金属软管与硅粉收集罐的接口连通，具体的说，所述合成炉的底部具有锥体结构，所述锥体结构的两端分别与氮气进口管线和正常氯化氢进气管线连通，在所述合成炉的锥体结构上部侧壁上设有硅粉泄放阀，硅粉泄放阀通过金属软管与硅粉收集罐侧壁上的接口连接，在所述硅粉收集罐顶部的氮气出口处设有布袋过滤器。
本发明的有益效果如下：
本方法工艺简单，工艺条件易于实现，且操作方便；再生产中可以将合成炉内废旧硅粉全部回收再使用，同时回收时不会对人员身体产生粉尘危害。
附图说明
下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
图1为本发明所述三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置的结构图。
图中：1、氮气进口管线；2、正常氯化氢进气管线；3、金属软管；4、氮气出口 10-三氯氢硅合成炉；20-锥体结构；30-硅粉泄放阀；40-硅粉收集罐；50-布袋过滤器。
具体实施方式
如图1所示，本发明实施例所述的三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置，包括合成炉10和硅粉收集罐40，合成炉10通过金属软管30与硅粉收集罐40的接口连通，所述合成炉10的底部具有锥体结构20，所述锥体结构20的两端分别与氮气进口管线1和正常氯化氢进气管线2连通，在所述合成炉10的锥体结构20上部侧壁上设有硅粉泄放阀30，硅粉泄放阀30通过金属软管3与硅粉收集罐40侧壁上的接口连接，在所述硅粉收集罐40顶部的氮气出口4处设有布袋过滤器50。
三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法，其步骤为：
三氯氢硅合成正常停车后对合成炉10进行置换合格后，将合成炉底部硅粉泄放阀30与硅粉收集罐40通过金属软管进行相连，通过1向合成炉通入氮气，打开硅粉泄放阀30，氮气连同硅粉被带入硅粉收集罐40，氮气通过硅粉收集罐顶部布袋过滤器50被放空，硅粉被收集到硅粉收集罐40内，实现了硅粉的全部回收使用。

Claims (5)

1.一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法，包括合成炉（10）和硅粉收集罐（40），具体操作步骤包括，
A、在合成炉（10）正常停车后，对合成炉（10）进行置换；
B、在置换合格后，将合成炉底部硅粉泄放阀（30）与硅粉收集罐（40）通过金属软管（3）进行相连，通过氮气进口管线（1）向合成炉（10）通入氮气；
C、打开硅粉泄放阀（30），氮气连同硅粉被带入硅粉收集罐（40），氮气通过硅粉收集罐顶部布袋过滤器（50）被放空，使硅粉被收集到硅粉收集罐（40）内，实现了硅粉的全部回收使用。
2.如权利要求1所述的三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法，其特征在于，在回收硅粉时合成炉内（10）压力控制在0.2MPa以下。
3.一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置，包括合成炉（10）和硅粉收集罐（40），其特征在于，合成炉（10）通过金属软管（30）与硅粉收集罐（40）的接口连通。
4.如权利要求3所述三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置，其特征在于，所述合成炉（10）的底部具有锥体结构（20），所述锥体结构（20）的两端分别与氮气进口管线（1）和正常氯化氢进气管线（2）连通，在所述合成炉（10）的锥体结构（20）上部侧壁上设有硅粉泄放阀（30），硅粉泄放阀（30）通过金属软管（3）与硅粉收集罐（40）侧壁上的接口连接。
5.如权利要求3或4所述三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置，其特征在于，在所述硅粉收集罐（40）顶部的氮气出口（4）处设有布袋过滤器（50）。
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