CN102738051A

CN102738051A - 自动化料盘移运机台

Info

Publication number: CN102738051A
Application number: CN2012102019094A
Authority: CN
Inventors: 陈建名
Original assignee: Chroma ATE Suzhou Co Ltd
Current assignee: Chroma ATE Suzhou Co Ltd
Priority date: 2012-06-19
Filing date: 2012-06-19
Publication date: 2012-10-17
Anticipated expiration: 2032-06-19
Also published as: CN102738051B

Abstract

一种自动化料盘移运机台，用于搬运承载多个待测晶片的料盘，并以测试装置依序让每一个待测晶片进行测试及分类，该自动化料盘移运机台包含一用以承载具有多个待测晶片的料盘的进料匣、一用以接收自该进料匣所输入的料盘的待测区、一组分料匣、一组次品收料匣及至少一个X-Y-Z三轴向搬移机构，其中该分料匣具有一用以接收承置空载料盘的暂置区及一堆叠区，另外该次品收料匣配置于该分料匣的相对侧，具有一用以接收承置空载料盘的暂置区及一堆叠区。本发明能够于更换料盘的过程中不需暂停作业，节省人力搬运成本，使单位时间得到最大的待测物测试量。

Description

自动化料盘移运机台

技术领域

本发明关于一种自动化料盘移运机台，特别是指一种能够将空载料盘由搬移机构移载至分料匣或次品收料匣的任一暂置区的自动化料盘移运机台。

背景技术

业界习用于承载半导体晶片的料盘的供给模式，依测试结果将完测的晶片分置于各级别的收料处，因此当进行分料程序时，主要藉由一移载臂将空料盘先移至所设定的等待位置，并由晶片取放器将晶片取出并放至该空料盘上；待料盘满料之后，移载臂再将已满载的料盘移送至一满载料盘储存区，之后，再将一新的空料盘载入至所设定的等待位置，以便继续进行分料程序。

但上述的料盘供给模式，于出料的过程中，由于通过一移载臂进行搬运移转且满载料盘储存区与整体机台连动，因此当料盘满料后，整体作业必须暂时停止让满载的料盘运送至该满载料盘储存区，并更换新的空料盘，才能够继续开始下一轮的作业；另外，当已满载的料盘运送至该满载料盘储存区后，作业人员必须手动将已满载的料盘搬走，以维持下一个满载料盘能够置放的空间，因此习知处理已满载的料盘除了必须先由移载臂运送至该满载料盘储存区后，更需要多一次人力的搬移程序，如此将会造成人力成本的额外过度支出，停机等待时间的浪费也直接造成测试成本的增加。

因此，若能够于料盘已满载后，机台上的计算机可将已满载的料盘能够受控制指令而自动移送至一堆叠区，而该堆叠区更能够受控制指令而自动升降以导入多个已满载的料盘，且移载臂能够受控制指令而自动将空料盘自可提供空料盘处搬移至所设定的等待位置，因此能够于更换料盘的过程中不需暂停作业，同时亦能够节省多余的人力成本，如此应为一最佳解决方案。

发明内容

本发明的主要目的在于能够自进料区输入待测区的满载料盘，在待测物逐一取出测试后成为空载料盘，该空载料盘由搬移机构直接移载至分料匣或次品收料匣的任一暂置区作为供完测待测物置放的料盘。

本发明的次一目的在于提供一种自动化料盘移运机台，用以将每一个暂置区上已满载的料盘自动化移运至堆叠区中并顺序堆叠存放。

可达成上述目的的自动化料盘移运机台，用于搬运承载多个待测晶片的料盘，并以测试装置依序让每一个待测晶片进行测试及分类，该自动化料盘移运机台包含一进料匣，用以承载具有多个待测晶片的料盘；一待测区，用以接收自该进料匣所输入的料盘；一组分料匣，具有一暂置区及一堆叠区，该暂置区用以接收承置空载料盘，该堆叠区用以接收来自该暂置区的满载料盘并顺序堆叠；一组次品收料匣，配置于该分料匣的相对侧，具有一暂置区及一堆叠区，该暂置区用以接收承置空载料盘，该堆叠区用以接收来自该暂置区的满载料盘并顺序堆叠；以及至少一个X-Y-Z三轴向搬移机构，移动于该待测区、分料匣及次品收料匣的范围间，该X-Y-Z三轴向搬移机构具有一组取放器，用以携行空载料盘由该待测区搬运至该分料匣的暂置区与该次品收料匣的暂置区。

更具体的说，所述X-Y-Z三轴向搬移机构以X轴向作动于该待测区与该分料匣的暂置区间。

更具体的说，所述X-Y-Z三轴向搬移机构的取放器具有一伸缩机构，使该取放器所携行的空载料盘自该待测区直接搬移至该次品收料匣的暂置区。

更具体的说，所述分料匣的暂置区及堆叠区之间具有一组导引装置，使该暂置区内满载晶片的料盘能够导入该分料匣的堆叠区。

更具体的说，所述次品收料匣的暂置区及堆叠区之间具有一组导引装置，使该暂置区内满载晶片的料盘能够导入该次品收料匣的堆叠区。

更具体的说，所述邻接该次品收料匣还具有一缓冲位置可供放置至少一个空载料盘。

更具体的说，所述邻接于该待测区位置设置有一缓冲区，用以放置空载料盘。该缓冲区用以调节空载料盘以及满载料盘的输入输出的时间差。

本发明所提供的一种自动化料盘移运机台，与其他习用技术相互比较时，更具备下列优点：

1.本发明能够移送已满载的料盘至一堆叠区，而该堆叠区更能够升降以导入多个已满载的料盘。

2.搬移机构能够将空料盘搬移至所设定的等待位置，因此能够于更换料盘的过程中不需暂停作业，节省人力搬运成本，使每小时单位时间(UPH)得到最大的待测物测试量。

附图说明

图1：为本发明自动化料盘移运机台的实施架构图；

图2A：为本发明自动化料盘移运机台的空载料盘搬运至分料匣的暂置区的实施示意图；以及

图2B：为本发明自动化料盘移运机台的空载料盘搬运至次品收料匣的暂置区的实施示意图。

具体实施方式

有关于本发明的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。

请参阅图1，为本发明自动化料盘移运机台的实施架构图，由图中可知，该本发明的自动化料盘移运机台用于搬运承载多个待测晶片7(亦称待测集成电路元件；IC)的料盘11，并由一组测试手臂(图未示)自料盘11取出待测晶片7及通过测试装置9依序让每一个测试完毕的待测晶片7进行测试及分类，该测试装置9将视待测物的测试需求提供不同的测试讯号。该自动化料盘移运机台包含用以承载具有多个待测晶片7的料盘11的进料匣1、用以接收自该进料匣1所输入的料盘11的待测区2、一组分料匣3、一组次品收料匣4及至少一个移动于该待测区2、分料匣3及次品收料匣4的范围间的X-Y-Z三轴向搬移机构5，其中该分料匣3具有一暂置区31及一堆叠区32，该暂置区31用以接收承置来自待测区2、缓冲区21或预先置放的空载料盘11，而该堆叠区32用以接收来自该暂置区31的满载料盘11并顺序堆叠(为方便阅读及标号一致，料盘11上已满载晶片称为满载料盘11，料盘11上未承载晶片称为空载料盘11)。

邻接于待测区2位置处设置有一个缓冲区21，该缓冲区21具有调节空载料盘11以及满载料盘11的输入输出的时间差的作用。举例来说，若待测区2的料盘11因测试取件使该料盘11上的待测晶片7已经取完而成为空载料盘11时，同一时间分料匣3或次品收料匣4的暂置区31、41料盘尚未被完测待测物填满时，此时空载料盘11将会被X-Y-Z三轴向搬移机构5先行移至缓冲区21，等待适当时机再移载。

该次品收料匣4配置于该分料匣3的相对侧，具有暂置区41及堆叠区42，暂置区41用以接收承置来自待测区2、缓冲区21或预先制置放的空载料盘11，堆叠区42用以接收来自暂置区41的满载料盘11并顺序堆叠。X-Y-Z三轴向搬移机构5具有一组取放器51，用以携行空载料盘11由待测区2搬运至分料匣3的暂置区31与次品收料匣4的暂置区41，而取放器51具有一组伸缩机构52，如图2A及图2B所示，当X-Y-Z三轴向搬移机构5于X轴向作动于待测区2与分料匣3的暂置区31间时，能够将取放器51所携行的空载料盘11自待测区2或缓冲区21直接搬移至分料匣3的暂置区31；或是于移动至分料匣3的暂置区31上时延伸伸缩机构52，并通过X-Y轴向作动将取放器51所携行的空载料盘11自待测区2或缓冲区21直接搬移至次品收料匣4的暂置区41，最终以Z轴向作动放置空载料盘11。该取放器51对于料盘的携行方式，熟悉本项技艺人士可知，譬如通过：以机构件夹持料盘、真空吸取料盘等方式为之皆可达成。

另外，分料匣3的暂置区31及堆叠区32之间具有一组导引装置33，使暂置区31内满载完测晶片8的满载料盘11能够导入分料匣3的堆叠区32；而次品收料匣4的暂置区41及堆叠区42之间亦具有一组导引装置43，使暂置区41内满载完测晶片8的满载料盘11能够导入次品收料匣4的堆叠区42；因此，当分料匣3的暂置区31或是次品收料匣4的暂置区41上的料盘11已满载时，分料匣3的暂置区31(或是次品收料匣4的暂置区41)均能藉由导引装置33(或导引装置43)将满载料盘11导入分料匣3的堆叠区32(或次品收料匣4的堆叠区42)，使分料匣3的暂置区31(或次品收料匣4的暂置区41)上具有空间能够承置新的空载料盘11。前述导引装置33、43将暂置区31、41及堆栈区32、42之间导引连结，譬如：通过一组轨道、架设在料盘下的滑车或传动轴等多种控制方式均可以达成导引装置33、43所预期的将暂置区上已满载的料盘自动化移运至堆叠区中并顺序堆叠存放效果。

另外，邻接该次品收料匣4设置有缓冲位置6供放置至少一个空载料盘11，当该X-Y-Z三轴向搬移机构未更换新料盘11、而次品收料匣4的暂置区41上的料盘11已满载时或其他原因需要人工更换料盘11时，则能先暂时将已完测晶片8置放该缓冲位置6上的空载料盘11上，使机台运作更具有弹性。

藉由以上较佳具体实施例的详述，希望能更加清楚描述本发明的特征与精神，而并非以上述所揭露的较佳具体实施例来对本发明的范畴加以限制。相反地，其目的是希望能涵盖各种改变及具相等性的安排于本发明所欲申请的专利范围的范畴内。

Claims

1.一种自动化料盘移运机台，用于搬运承载多个待测晶片的料盘，其特征在于，该移运机台包含：

一进料匣，用以承载具有多个待测晶片的料盘；

一待测区，用以接收自该进料匣所输入的料盘；

一组分料匣，具有一暂置区及一堆叠区，该暂置区用以接收承置料盘，该堆叠区用以接收来自该暂置区的料盘并顺序堆叠；

一组次品收料匣，配置于该分料匣的相对侧，具有一暂置区及一堆叠区，该暂置区用以接收承置料盘，该堆叠区用以接收来自该暂置区的料盘并顺序堆叠；以及

一X-Y-Z三轴向搬移机构，移动于该待测区、分料匣及次品收料匣的范围间，该X-Y-Z三轴向搬移机构具有一组取放器，用以携行料盘由该待测区搬运至该分料匣的暂置区、该次品收料匣的暂置区。

2.如权利要求1所述的自动化料盘移运机台，其特征在于，邻接于该待测区位置设置有一缓冲区，用以放置料盘。

3.如权利要求1或第2所述的自动化料盘移运机台，其特征在于，该X-Y-Z三轴向搬移机构以X轴向作动于该待测区与该分料匣的暂置区间。

4.如权利要求1或第2所述的自动化料盘移运机台，其特征在于，该X-Y-Z三轴向搬移机构的取放器具有一伸缩机构，通过X-Y轴向作动使该取放器所携行的料盘直接搬移至该次品收料匣的暂置区。

5.如权利要求1所述的自动化料盘移运机台，其特征在于，该分料匣的暂置区及堆叠区之间具有一组导引装置，使该暂置区内料盘能够导入该分料匣的堆叠区。

6.如权利要求1所述的自动化料盘移运机台，其特征在于，该次品收料匣的暂置区及堆叠区之间具有一组导引装置，使该暂置区内料盘能够导入该次品收料匣的堆叠区。

7.如权利要求1所述的自动化料盘移运机台，其特征在于，邻接该次品收料匣还具有一缓冲位置可供放置至少一个空载料盘。