CN102734480A - 流体控制阀 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种小型且能够流过大流量流体的流体控制阀(3)，在落座面(6a)与阀座面(4a)之间交替地设置有多个环状有底槽(9(A))与环状有底槽(9(B))，环状有底槽(9(A))通过阀内流路(41)与上游流路连通，环状有底槽(9(B))通过阀内流路(42)与下游流路连通，在该控制阀(3)内，阀内流路(41)的作为针对有底槽(9)的开口的连通口(41c)形成在该有底槽(9)的至少侧面上。

Description

流体控制阀
技术领域
本发明涉及在控制例如气体流量的质量流量控制器等中所使用的流体控制阀。
背景技术
所谓流体控制阀是指介于上游流路与下游流路之间，控制流过这些流路的流体的流量，能够打开或关闭的部件。例如，作为半导体工序中所使用的控制气体流量的流体控制阀，公知的有专利文献1所示结构的流体控制阀。
该专利文献1所示的流体控制阀，在阀座面(或落座面(着座面))上交替地设置有多个与所述上游流路连通的圆环状有底槽(以下称为第一有底槽)、以及与所述下游流路连通的圆环状有底槽(以下称为第二有底槽)。
在这些有底槽中设置有阀内流路，该阀内流路设在阀体部件或阀座部件上，分别与所述上游流路及下游流路连通，该阀内流路与所述各有底槽的底面连接，并形成有连通口。
而且，在所述落座面与阀座面紧密接触的状态下，所述第一有底槽的开口与所述第二有底槽的开口的连通被截断，成为所述上游流路与下游流路未连接的关闭状态，另一方面，在所述落座面与阀座面分开的状态下，所述第一有底槽的开口与第二有底槽的开口通过落座面与阀座面的间隙连通，成为所述上游流路与下游流路连接的打开状态。
然而，流过该流体控制阀的流量是以在其他的流路部分中没有瓶颈为前提，依赖于所述落座面与阀座面之间的分开距离。更严密地讲，形成在第一有底槽与第二有底槽之间的条形凸起的总延长距离乘以所述分开距离得到的值是用于控制的流路截面面积亦即阀开度，所以流过流体控制阀的流量依赖于该阀开度。
但是，如上所述，通过使有底槽形成为多个，例如与单个的有底槽相比，可以使条形凸起的总延长距离变长，所以能够相应地缩短落座面与阀座面之间的分开距离而能够同时确保相同的流路截面面积，从而可以促进驱动阀体部件的驱动器的小型化。此外，反之，如果落座面与阀座面之间的分开距离与以往的相同，则由于所述流路截面面积增大，所以能够实现增大流量、降低压力损失。
因此，按照以上的理论，应该尽量多地设置有底槽。
专利文献1：日本专利公开公报特开2010-230159号
然而，由于以往的阀内流路的针对有底槽的连通口形成在有底槽的底面上，所以该有底槽的宽度不能小于阀内流路的内径，因此对增加有底槽的数量产生了限制。
但是，如果要减小阀内流路及连通口的直径并缩小有底槽的宽度，则阀内流路或连通口的面积就会成为瓶颈，从而导致产生流量控制的宽量程(wide range)亦即最大可控制流量减小的问题。而且，阀内流路的直径越小，该阀内流路的制造难度就越会急剧增大，也越容易发生堵塞等问题。
发明内容
因此，鉴于所述的问题，本发明的主要目的在于提供一种小型且能够流过大流量流体的流体控制阀，可以解决所述的全部问题。
即，本发明提供一种流体控制阀，其具备一对阀部件，在一方的阀部件上形成有落座面，在另一方的阀部件上形成有阀座面，在所述落座面或所述阀座面的任意一方上交替地分别形成有多个大体环状的第一有底槽和大体环状的第二有底槽，所述第一有底槽通过设置在对应的阀部件内部的第一阀内流路与外部的上游流路连通，所述第二有底槽通过设置在该阀部件内部的第二阀内流路与外部的下游流路连通，在所述落座面与所述阀座面紧密接触的状态下，所述第一有底槽的开口与所述第二有底槽的开口的连通被截断，成为所述上游流路与所述下游流路未连接的关闭状态，在所述落座面与所述阀座面分开的状态下，所述第一有底槽的开口与所述第二有底槽的开口通过所述落座面与所述阀座面之间的间隙连通，成为所述上游流路与所述下游流路连接的打开状态，所述第一阀内流路的针对所述第一有底槽的连通口或所述第二阀内流路的针对所述第二有底槽的连通口的任意一方或双方形成在对应的有底槽的至少侧面上。
按照所述的流体控制阀，由于有底槽的宽度不受连通口直径的限制，所以能够实现减小有底槽的宽度尺寸、增加有底槽的数量。
此外，由于连通口在有底槽的侧面开口，所以只要使有底槽的深度足够大，就能够增大连通口的面积，可以使阀内流路具有足够大的直径，从而可以使制造容易并可以容易地防止堵塞。
作为能够起到同样效果的方案，还可以考虑到以下的流体控制阀。即，本发明还提供一种流体控制阀，其具备一对阀部件，在一方的所述阀部件上形成有落座面，在另一方的所述阀部件上形成有阀座面，在所述落座面或所述阀座面的任意一方上形成有多个大体为环状的第一有底槽，该第一有底槽通过设置在对应的阀部件内部的第一阀内流路与外部的上游流路连通，并且在所述落座面或所述阀座面的另一方上形成有多个大体为环状的第二有底槽，该第二有底槽位于相邻的所述第一有底槽之间的位置，通过设置在对应的阀部件内部的第二阀内流路与外部的下游流路连通，在所述落座面与所述阀座面紧密接触的状态下，所述第一有底槽的开口与所述第二有底槽的开口的连通被截断，成为所述上游流路与所述下游流路未连接的关闭状态，在所述落座面与所述阀座面分开的状态下，所述第一有底槽的开口与所述第二有底槽的开口通过所述落座面与所述阀座面之间的间隙连通，成为所述上游流路与所述下游流路连接的打开状态，所述第一阀内流路的针对所述第一有底槽的连通口或所述第二阀内流路的针对所述第二有底槽的连通口的任意一方或双方形成在对应的有底槽的至少侧面上。
为了合理地扩大连通口的大小，优选的是，所述第一阀内流路的针对所述第一有底槽的连通口或所述第二阀内流路的针对所述第二有底槽的连通口的任意一方或双方从对应的有底槽的底面延伸到侧面。
为了不使流过该流体控制阀的最大可能流量因连通口而减少，优选的是，所述第一阀内流路的针对所述第一有底槽的连通口或所述第二阀内流路的针对所述第二有底槽的连通口的任意一方或双方的面积被设定为是位于接近对应的连通口的位置的对应的阀内流路的截面面积以上。
作为阀内流路的具体结构，可以列举出：所述第一阀内流路或所述第二阀内流路的任意一方或双方从对应的有底槽的底方向延伸，所述第一阀内流路或所述第二阀内流路的任意一方或双方的前端部在对应的有底槽的底面及侧面开口，该开口成为对应的连通口。
此外，也可以是下述结构：所述第一阀内流路或所述第二阀内流路的任意一方或双方沿与对应的有底槽的延伸方向大体垂直的方向延伸，所述第一阀内流路或所述第二阀内流路的任意一方或双方的侧周面在对应的有底槽的底面及侧面开口，该开口成为对应的连通口。
按照以上所述的本发明，由于有底槽的宽度不受连通口直径的限制，所以能够减小有底槽的宽度尺寸，从而能够设置更多的有底槽。其结果是，例如与单个有底槽相比，由于能够使条形凸起的总延长距离增大，所以能够相应地缩小落座面与阀座面之间的分开距离而能够同时确保相同的流路截面面积，从而可以促进驱动阀体部件的驱动器的小型化。此外，相反的，如果落座面与阀座面之间的分开距离与以往的相同，则由于所述流路的截面面积变大，所以能够实现增大流量及降低压力损失。
此外，由于连通口在有底槽的侧面开口，所以只要使有底槽的深度足够大，就能够增大连通口的面积，所以能够使阀内流路具有足够大的直径，从而能够使制造容易并能够容易地防止堵塞。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式的质量流量控制器的整体剖视图。
图2是与图1为相同实施方式的流体控制阀的剖视图。
图3是与图1为相同实施方式的阀座部件的俯视图。
图4是沿图3中的A-A线的剖视图。
图5是与图1为相同实施方式的阀座部件的立体图。
图6是表示与图1为相同实施方式的有底槽的放大剖视立体图。
图7是本发明的第二实施方式的流体控制阀的剖视图。
图8是与图7为相同实施方式的阀座部件的立体图。
图9是与图7为相同实施方式的阀座部件的俯视图。
图10是与图7为相同实施方式的阀座部件的部分剖视立体图。
图11是与图7为相同实施方式的阀座部件的部分剖视立体图。
附图标记说明
3…流体控制阀
4…阀座部件(一方的阀部件)
41…第一阀内流路
42…第二阀内流路
4a…阀座面
41c…连通口
6…阀体部件(另一方的阀部件)
6a…落座面
9(A)…第一有底槽
9(B)…第二有底槽
9a…槽侧面
9b…槽底面
具体实施方式
下面，参照附图对安装有本发明的流体控制阀的质量流量控制器100的一个实施方式加以说明。
第一实施方式
本实施方式的质量流量控制器100用于半导体制造装置，如图1所示，质量流量控制器100包括：主体5，形成有成为测量对象的流体流动的流路；流量检测机构2，检测流过所述主体5的流路51的流体的流量；流体控制阀3，控制流过所述流路的流体的流量；以及控制部(未图示)，控制所述流体控制阀3的阀开度，使得所述流量检测机构2输出的测量流量接近预定的设定流量。
下面对各部分进行详细说明。
所述主体5为块状，所述流路51贯通该主体5，该流路51的上游端与作为进口5A的外部流入管道(未图示)连接，并且下游端与作为出口5B的外部流出管道(未图示)连接。
作为流量检测机构2可以考虑使用各种机构，在此采用的是所谓的热式流量检测机构2。该热式流量检测机构2包括：细管21，与所述流路51并联连接，导入流过所述流路51的流体中的规定比例的流体；加热器24，设置在该细管21上；以及温度传感器22、23，设置在加热器24的前面和后面。此外，在所述细管21中流过流体时，会在两个温度传感器22、23之间产生对应于该流体的质量流量的温度差，所以基于该温度差就能够测量流量。
在该实施方式中，设置有能够容纳所述细管21、加热器24、温度传感器22、23及其周围电路的细长状的箱体25，另一方面，设置有从主体5的流路51分支的分支流路2a、2b，通过将所述箱体25安装在所述主体5上，由此所述细管21的导入口与上游的分支流路2a连接，所述细管21的导出口与下游的分支流路2b连接。
此外，流量传感器并不限于所述方式。
流体控制阀3设置在所述流路51上，流体控制阀3包括一对构成阀部件的阀座部件4与阀体部件6；以及驱动器7，驱动所述阀体部件6，从而设定阀开度亦即阀座部件4与阀体部件6的分开距离。
如图2等所示，阀座部件4是两段的圆柱形，将与其底面相反一侧的端面作为阀座面4a，并且底面一侧的直径小、阀座面一侧的直径大，在阀座部件4的内部设置有第一阀内流路41和第二阀内流路42。
第一阀内流路41包括第一大直径流路41a与多条第一小直径流路41b，第一大直径流路41a的一端在所述阀座部件41的底面开口，第一小直径流路41b从所述第一大直径流路41a的另一端分支，沿所述阀座部件41的轴向延伸，与所述阀座面4a连通。
所述第二阀内流路42包括第二大直径流路42a与多条第二小直径流路42b，第二大直径流路42a的一端在所述阀座部件4的小直径部分的侧面开口，并沿半径方向延伸，第二小直径流路42b从所述第二大直径流路42a分支，沿所述阀座部件4的轴向延伸，并与所述阀座面4a连通。
所述阀座部件4嵌入设置在主体5上的圆柱状凹部52中。该凹部52配置为切断主体5的流路51，在由该凹部52切断的流路51中，上游的流路(以下也称为上游流路)51(A)例如在该凹部52的底面开口，从该凹部52起位于下游的流路(以下也称为下游流路)52(B)例如在该凹部52的侧面开口。
此外，在所述阀座部件4嵌入所述凹部52的状态下，该阀座部件4的大直径部分与该凹部52的内侧周面大体无间隙地嵌合，另一方面，阀座部件4的小直径部分与凹部52的内侧周面之间形成有间隙，主体5的上游流路51(A)通过凹部52的底面与所述第一阀内流路41连通，并且主体5的下游流路51(B)通过凹部52的侧周面与所述第二阀内流路42连通。此外，所述阀座面4a与该凹部52周围的主体外表面在一个面上。
阀体部件6收容在安装于主体5上的圆筒状外壳部件72内，与阀座部件4相对配置，为大体圆板状。具体地说，圆筒状外壳部件72通过薄壁圆环状隔膜部件8支承该阀体部件6的周向边缘部。此外，通过所述隔膜部件8弹性变形，该阀体部件6运动，所述落座面6a接触或离开所述阀座面4a。此外，所述落座面6a为平面。
驱动器7例如具备压电堆(ピエヅスタツク)71，该压电堆71是将多个压电元件叠层所形成的。该压电堆71收容在外壳部件74内，其前端部通过棒状的中间连接部件73与所述阀体部件6的落座面的相反一侧连接。此外，通过施加一定的电压使压电堆71伸长，使阀体部件6移动，将落座面6a压向阀座面4a，从而成为关闭的状态。此外，当电压小于一定的电压时，阀座面4a与落座面6a就分开间隙，该间隙之间的距离与所述电压值对应。于是，上游流路51(A)与下游流路51(B)就通过该间隙连通。即，该流体控制阀3为常开阀。
此外，在该实施方式中，如图2～图6所示，形成有多条(四条以上)在所述阀座部件4的阀座面4a上开口的圆环状的有底槽9。该有底槽9有两种，窄而深的槽(以下也称为第一有底槽9(A))与宽而浅的槽(以下也称为第二有底槽9(B))交替配置。各有底槽是所谓的角槽(角溝)，截面为矩形。
第二阀内流路42的另一端侧亦即第二小直径流路42b与所述第二有底槽9(B)连通。而且，该第二有底槽9(B)的宽度设置成与第二小直径流路42b的槽附近的实质内径相同或比其稍大，第二小直径流路42b的针对第二有底沟槽9(B)的连通口42c仅在第二有底槽9(B)的底面上出现。
第一阀内流路41的另一端侧亦即第一小直径流路41b与所述第一有底槽9(A)连通。而且，该第一有底槽9(A)的宽度设置成比第一小直径流路41b的槽附近的实质内径小，特别是如图6所示，该第一小直径流路41b的针对第一有底槽9(A)的连通口41c横跨该第一有底槽9(A)的底面9b及侧面9a出现，且连通口41c的开口面积为第一小直径流路41b的实质上的截面面积(有效截面面积)以上。此外，在本实施方式中，第一小直径流路41b的连通口41c针对一个第一有底槽9(A)设置有多个，但这些连通口41c的中心不一定都位于第一有底槽9(A)的宽度中心线上，可以偏心。偏心的连通口41c除了在第一有底槽9(A)的底面出现之外，还仅在一方的侧面上出现，或者在一方的侧面出现的面积与在另一方的侧面上出现的面积不同。这样，使开口中心偏心，能够使第一小直径流路41b加工容易以及避免与其他部件相互干扰。
此外，在本实施方式中，阀体部件6的落座面6a具有覆盖到形成在阀座部件4的最外周的有底槽9与紧邻该有底槽的内侧的一个有底槽9之间的条形凸起10的大小。因此，隔膜部件8与最外周的有底槽9相对。
另一方面，由于隔膜部件8需要具有一定程度的径向的宽度，所以，在本实施方式中，对应于隔膜部件8的宽度，特别使最外周的有底槽9的宽度变大。
其结果，假设使该最外周的有底槽9与压力高的上游流路51(A)连通，则将宽度大的最外周的有底槽的开口面积乘以压力后得到的朝向打开口方向的很大的力会作用于阀体部件6，这对于维持可靠的关闭状态是不利的。因此，在本实施方式中，最外周的有底槽9与下游流路51(B)连通，并使最外周的有底槽作为所述第二有底槽9(B)，以此为基准来决定其内侧的有底槽的顺序，亦即决定是第一有底槽9(A)还是第二有底槽9(B)。
接着对流体控制阀3的动作加以说明。
由所述结构可知，主体5的上游流路51(A)通过第一阀内流路41与第一有底槽9(A)连通，另一方面，主体5的下游流路51(B)通过第二阀内流路42与第二有底槽9(B)连通。
在此，如果对驱动器7施加电压，则阀体部件6向阀座部件4移动，落座面6a与阀座面4a亦即条形凸起10的顶面紧密接触。其结果，通过该条形凸起10及落座面6a，截断形成在第一有底槽9(A)上的第一阀内流路41的连通口41c与形成在第二有底槽9(B)上的第二阀内流路42的连通口42c之间的连通。即，与第一阀内流路41连通的上游流路51(A)和与第二阀内流路42连通的下游流路51(B)被截断，阻止了流体的流动，这是关闭状态。
另一方面，当停止对驱动器7施加电压时，阀体部件6向与阀座部件4相反的方向移动，落座面6a从阀座面4a亦即条形凸起10的顶面离开到最大限度。其结果，流体从第一阀内流路41的连通口41c，通过条形凸起10与落座面6a之间的间隙流入第二阀内流路42的连通口42c，这是全打开状态。
在控制流体流量的情况下，对驱动器7施加所述规定的最大电压与零之间的电压。由此，调节条形凸起10的顶面与落座面6a之间的间隙距离，从而控制流量，这是流量控制状态。在本说明书中，将所述全打开状态与流量控制状态总称定义为打开状态。
该流体控制阀3的阀开度是由条形凸起10的顶面与落座面6a之间的间隙距离乘以所述条形凸起10的总延长距离得到的值所决定的，按照本实施方式的结构，由于第一有底槽9(A)的槽宽度小于第一小直径流路41b的有效内径，所以与以往的将槽宽度设定为是第一小直径流路41b的有效内径以上的情况相比，能够实现增大有底槽9的数量并增大所述条形凸起10的总延长距离。所以，即使阀体部件6从阀座部件4离开的离开量比以往的少，也能够确保同等的流路截面面积，可以流过与以往相等流量的流体。反过来说，如果使阀体部件6从阀座部件4离开与以往相同的距离，则能够流过更多的流量。
而且，由于形成在宽度窄的第一有底槽9(A)上的连通口41c的面积利用了槽侧面，所以可以确保比以往大的面积，即能够确保连通口41c的面积大于以槽宽度作为直径的圆的面积，所以该连通口41c就不会成为流量的瓶颈，由于无需减小第一小直径流路41b的内径，所以就不存在穿孔困难的问题。
按照所述的实施方式，通过使驱动器小型化、使阀座面、落座面的小型化，能够实现比以往技术更紧凑的流体控制阀，或者以与以往技术相同的大小实现大流量化。
第二实施方式
在该第二实施方式中，与所述第一实施方式的不同之处在于阀座部件4与阀体部件6的配置相反。即，在驱动器7的一侧设置不动的阀座部件4，在该阀座部件4的与驱动器7相反的一侧亦即主体5一侧，通过贯通阀座部件4的中心的连接棒P，连接有阀体部件6。所述的阀座部件4与阀体部件6嵌入设置在主体5上的凹部52中。该凹部52与所述第一实施方式相同，以切断主体5的流路51的方式设置。
此外，在不对驱动器7施加电压的正常状态下，阀体部件6被周围的弹性体(在此是板簧)施加作用力，与阀座部件4紧密接触，另一方面，对驱动器7施加电压使其伸长时，阀体部件6向离开阀座部件4的方向移动，成为打开状态。即，该流体控制阀3是常闭阀。
在本实施方式中，在阀体部件6的落座面6a及阀座部件4的阀座面4a上分别设置有多条圆环状的有底槽9。设置在阀体部件6上的有底槽是第一有底槽9(A)，设置在阀座部件4上的有底槽是第二有底槽9(B)。
第一有底槽9(A)与第二有底槽9(B)相互不同，在关闭状态下，形成在相邻的第一有底槽9(A)之间的条形凸起(以下也称为第一条形凸起10(A))，将第二有底槽9(B)的开口堵塞。另一方面，形成在相邻的第二有底槽9(B)之间的条形凸起(以下也称为第二条形凸起10(B))，将第一有底槽9(A)的开口堵塞。在该实施方式中，在第二条形凸起10(B)的表面还设置有比所述有底槽浅的圆环状的槽，来降低压力损失，但是也可以在第一条形凸起10(A)上设置比所述有底槽浅的圆环状的槽，比所述有底槽浅的圆环状的槽也可以设置在第一条形凸起10(A)与第二条形凸起10(B)双方上。
此外，在阀体部件6上设置有第一阀内流路41，使第一阀内流路41与所述第一有底槽9(A)连通，并且在阀座部件4上设置有第二阀内流路42，使第二阀内流路42与所述第二有底槽9(B)连通。
第一阀内流路41的一个端部在阀体部件6的侧周面开口，第一阀内流路41沿径向延伸，在此放射状地设置有多条第一阀内流路41。此外，该第一阀内流路41的侧周面与所述各第一有底槽9(A)的底面重合，特别是如图10所示的部分剖视立体图，连通口41c横跨各第一有底槽9(A)的底面9b及侧面9a开口。该连通口41c的面积为第一阀内流路41的实质截面面积(有效截面面积)以上。此外，该第一阀内流路41在轴向上分支，在阀体部件6的与落座面相反的一侧开口，与在凹部52的底面开口的上游流路51(A)连通。
第二阀内流路42的一个端部在阀座部件4的侧周面上开口，与在凹部52的侧周面开口的下游流路连通。在此，与第一阀内流路41同样，多条第二阀内流路42呈放射状地设置，亦即第二阀内流路42沿径向延伸。此外，该第二阀内流路42的侧周面与所述各第二有底槽9(B)的底面重合，特别是如图11所示的部分剖视立体图，连通口42c横跨各第二有底槽9(B)的底面9b及侧面9a开口。该连通口42c的面积为第二阀内流路42的实质截面面积(有效截面面积)以上。
按照所述的结构，基本上能够得到与第一实施方式同样的效果。进一步而言，由于与第一实施方式的不同之处在于可以使第一有底槽9(A)与第二有底槽9(B)双方的槽宽度减小，所以能够实现更高的密度，其效果也比第一实施方式更为显著。
当然，本发明并不限于所述实施方式。
例如，所述实施方式是流量控制阀，但是本发明也可以适用于开-关的开关阀。此外，驱动器也不限于压电式，也可以使用电磁线圈等。
有底槽的形状也不限于角槽，也可以是U形槽或圆形槽。U形槽、圆形槽的情况下的侧面及底面的定义如下：与槽深度方向大体垂直的面为底面，与槽深度方向大体平行的面为侧面，在此将中间角度的面设为侧面。
此外，有底槽也不限于单一的槽形状，可以由多个槽要素构成，即，槽的形状可以是在槽底面上设置有一个以上的条形凸起的形状。此外，在关闭状态下，该条形凸起与其顶面相对的阀部件可以接触也可以离开。
此外，可以适当组合所述实施方式及变形实施方式的一部分或全部，本发明不限于所述实施方式，当然可以在不脱离本发明宗旨的范围内进行各种变形。

Claims (10)

1.一种流体控制阀，其特征在于：具备一对阀部件，在一方的阀部件上形成有落座面，在另一方的阀部件上形成有阀座面，
在所述落座面或所述阀座面的任意一方上交替地分别形成有多个大体环状的第一有底槽和大体环状的第二有底槽，所述第一有底槽通过设置在对应的阀部件内部的第一阀内流路与外部的上游流路连通，所述第二有底槽通过设置在该阀部件内部的第二阀内流路与外部的下游流路连通，
在所述落座面与所述阀座面紧密接触的状态下，所述第一有底槽的开口与所述第二有底槽的开口的连通被截断，成为所述上游流路与所述下游流路未连接的关闭状态，在所述落座面与所述阀座面分开的状态下，所述第一有底槽的开口与所述第二有底槽的开口通过所述落座面与所述阀座面之间的间隙连通，成为所述上游流路与所述下游流路连接的打开状态，
所述第一阀内流路的针对所述第一有底槽的连通口或所述第二阀内流路的针对所述第二有底槽的连通口的任意一方或双方形成在对应的有底槽的至少侧面上。
2.根据权利要求1所述的流体控制阀，其特征在于：所述第一阀内流路的针对所述第一有底槽的连通口或所述第二阀内流路的针对所述第二有底槽的连通口的任意一方或双方从对应的有底槽的底面延伸到侧面。
3.根据权利要求1所述的流体控制阀，其特征在于：所述第一阀内流路的针对所述第一有底槽的连通口或所述第二阀内流路的针对所述第二有底槽的连通口的任意一方或双方的面积被设定为是位于接近对应的连通口的位置的对应的阀内流路的截面面积以上。
4.根据权利要求2所述的流体控制阀，其特征在于：所述第一阀内流路或所述第二阀内流路的任意一方或双方从对应的有底槽的底方向延伸，所述第一阀内流路或所述第二阀内流路的任意一方或双方的前端部在对应的有底槽的底面及侧面开口，该开口成为对应的连通口。
5.根据权利要求1所述的流体控制阀，其特征在于：所述第一阀内流路或所述第二阀内流路的任意一方或双方沿与对应的有底槽的延伸方向大体垂直的方向延伸，所述第一阀内流路或所述第二阀内流路的任意一方或双方的侧周面在对应的有底槽的底面及侧面开口，该开口成为对应的连通口。
6.一种流体控制阀，其特征在于：具备一对阀部件，在一方的所述阀部件上形成有落座面，在另一方的所述阀部件上形成有阀座面，
在所述落座面或所述阀座面的任意一方上形成有多个大体为环状的第一有底槽，该第一有底槽通过设置在对应的阀部件内部的第一阀内流路与外部的上游流路连通，并且在所述落座面或所述阀座面的另一方上形成有多个大体为环状的第二有底槽，该第二有底槽位于相邻的所述第一有底槽之间的位置，通过设置在对应的阀部件内部的第二阀内流路与外部的下游流路连通，
在所述落座面与所述阀座面紧密接触的状态下，所述第一有底槽的开口与所述第二有底槽的开口的连通被截断，成为所述上游流路与所述下游流路未连接的关闭状态，在所述落座面与所述阀座面分开的状态下，所述第一有底槽的开口与所述第二有底槽的开口通过所述落座面与所述阀座面之间的间隙连通，成为所述上游流路与所述下游流路连接的打开状态，
所述第一阀内流路的针对所述第一有底槽的连通口或所述第二阀内流路的针对所述第二有底槽的连通口的任意一方或双方形成在对应的有底槽的至少侧面上。
7.根据权利要求6所述的流体控制阀，其特征在于：所述第一阀内流路的针对所述第一有底槽的连通口或所述第二阀内流路的针对所述第二有底槽的连通口的任意一方或双方从对应的有底槽的底面延伸到侧面。
8.根据权利要求6所述的流体控制阀，其特征在于：所述第一阀内流路的针对所述第一有底槽的连通口或所述第二阀内流路的针对所述第二有底槽的连通口的任意一方或双方的面积被设定为是位于接近对应的连通口的位置的对应的阀内流路的截面面积以上。
9.根据权利要求7所述的流体控制阀，其特征在于：所述第一阀内流路或所述第二阀内流路的任意一方或双方从对应的有底槽的底方向延伸，所述第一阀内流路或所述第二阀内流路的任意一方或双方的前端部在对应的有底槽的底面及侧面开口，该开口成为对应的连通口。
10.根据权利要求6所述的流体控制阀，其特征在于：所述第一阀内流路或所述第二阀内流路的任意一方或双方沿与对应的有底槽的延伸方向大体垂直的方向延伸，所述第一阀内流路或所述第二阀内流路的任意一方或双方的侧周面在对应的有底槽的底面及侧面开口，该开口成为对应的连通口。
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