CN102718400B - 砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明是一种砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法，其特征在于：将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管；所述的高纯石英砂是含有以下掺杂原素的二氧化硅材料。本发明方法中的原料石英砂的纯度较高，原料掺杂合理，拉制出来的石英玻璃管的气泡气线少，其质量较好，适用的范围较广。

Description

砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法
技术领域
 本发明涉及一种石英玻璃管的生产方法，特别是一种砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法。
背景技术
现有技术中的石英玻璃管的生产方法存在以下的缺陷：原料石英砂的纯度低，原产掺杂不合理，因此所拉制出来的石英玻璃管的气泡气线多，其质量较差，适用的范围较窄。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种新的、掺杂原料合理、使用范围较广的砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法。
本发明所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本发明是一种砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法，其特点是：将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管；所述的高纯石英砂是含有以下掺杂原素的二氧化硅材料，单位：PPM，
Al   10.0-11.0；     B   0.1-0.3；     Ca 0.7-0.9；
Cr      0.01-0.03；    Cu     0.001-0.01；   Fe    0.05-0.10；
K    0.1-0.2；       Li 0.05-0.10；    Mg      0.03-0.07；
Mn    0.05-0.08；     Na     0.15-0.25；    Ni     0.04-0.06；
P     0.1-0.3         Ti 1.5-2.0 ；     Zr   0.20-0.50。
以上所述砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法中：所述的高纯石英砂是优选含有以下掺杂原素的二氧化硅材料，单位：PPM，
Al   10.50；     B   0.2；     Ca   0.8；
Cr      0.02；     Cu 0.005；   Fe      0.08；
K    0.15；       Li     0.08；    Mg   0.05；
Mn    0.07；      Na 0.20；    Ni     0.05；
P     0.2；       Ti    1.80 ；   Zr   0.35。
与现有技术相比，本发明石英玻璃管的原料石英砂的纯度较高，原料掺杂合理，拉制出来的石英玻璃管的气泡气线少，其质量较好，适用的范围较广。
具体实施方式
下面进一步描述本发明的具体技术实施方案，以使本领域技术人员进一步理解本发明，而非对本发明的限制。
实施例1。一种砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管；所述的高纯石英砂是含有以下掺杂原素的二氧化硅材料，单位：PPM，
Al   10.0；     B   0.1；     Ca 0.7；
Cr      0.01；    Cu  0.001；     Fe  0.05；
K    0.1；       Li 0.05；    Mg   0.03；
Mn    0.05；     Na  0.15；       Ni     0.04；
P     0.1；        Ti     1.5 ；     Zr  0.20。
实施例2。一种砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管；所述的高纯石英砂是含有以下掺杂原素的二氧化硅材料，单位：PPM，
Al   11.0；     B   0.3；     Ca   0.9；
Cr      0.03；    Cu    0.01；     Fe      0.10；
K    0.2；       Li 0.10；    Mg   0.07；
Mn    0.08；     Na    0.25；     Ni        0.06；
P     0.3         Ti   2.0 ；     Zr    0.50。
实施例3。一种砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管；所述的高纯石英砂是含有以下掺杂原素的二氧化硅材料，单位：PPM，
Al   10.50；     B   0.2；     Ca   0.8；
Cr      0.02；     Cu 0.005；   Fe      0.08；
K    0.15；       Li     0.08；    Mg   0.05；
Mn    0.07；      Na 0.20；    Ni     0.05；
P       0.2；       Ti    1.80 ；   Zr   0.35。

Claims (2)

1.一种砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法，其特征在于：将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管；所述的高纯石英砂是含有以下掺杂元素的二氧化硅材料，单位：ppm，
2.根据权利要求1所述砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法，其特征在于：所述的高纯石英砂是含有以下掺杂元素的二氧化硅材料，单位：ppm，
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CN100586882C (zh) * 2007-03-28 2010-02-03 徐胜利 连熔法生产集成电路用大口径透明石英玻璃管的方法
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