CN102707168A - 一种基于设备维护风险控制的缺陷监控方法 - Google Patents

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倪棋梁
陈宏璘
王洲男
龙吟
郭明升
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Abstract

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种基于设备维护风险控制的缺陷监控方法，通过将各项工艺设备维护划分为多个风险类型，对机台进行不同的工艺设备维护分别采用不同的缺陷抽检规则，生产执行系统根据该缺陷抽检规则能有效的监控在机台做完维护后一段时间内的风险控制，从而提高工艺的在线监控的效率和降低监控的成本。

Description

一种基于设备维护风险控制的缺陷监控方法
技术领域
本发明涉及半导体集成电路及其制造领域，尤其涉及一种基于设备维护风险控制的缺陷监控方法。
背景技术
随着集成电路工艺的发展以及关键尺寸不断缩小，工厂需要引入更加先进、更加昂贵的缺陷检测设备以满足对在线工艺步骤的品质监控的要求。然而，当工厂工艺稳定并实现大规模量产后，很多缺陷又都是和机台在使用过程中的各种特性相关，尤其是当设备刚做完硬件维护后的一段时间内其不稳定的风险特别高，但是目前业内采用的两种缺陷监控方法都没有基于这方面的设计，从而造成检测效率的低下和抽检成本的大幅度增加。
现今，普遍采用的两种缺陷检测方法为：
第一种缺陷检测方法是按照产品lotID的尾数进行控制；例如针对机台A，如将机台A上尾数为“5”的产品lotID设为抽检对象，那么就意味着在生产上就会有10%的产品接受抽检；如将机台A的工艺抽检规则设定为20%，可采取对产品lotID的尾数为1和5的产品进行检测；图1是本发明背景技术中第一种缺陷检测方法的影响分析示意图，其中，横向箭头表示lot的进程（process）和抽检顺序，纵向箭头表示抽检的产品，如图1所示，第一批次11和第二批次12的产品13均按照20%的工艺抽检规则进行抽检，第一批次11被检测的产品13由于被检测的产品13其lotID正好均匀分布在所有的产品中，而第二批次12被检测的产品其lotID的时间连却在一起，那么对于机台工艺风险的控制，第一批次11要明显优于第二批次12，即第一种缺陷检测方法的风险控制具有不确定性。
第二种缺陷检测方法是按照产品lot数量，每隔一定数量的产品进行抽检；例如针对机台B，如将机台B的工艺抽检规则设定为50%，可采取对产品每隔一个进行检测；图2是本发明背景技术中第二种缺陷检测方法的影响分析示意图，其中，横向箭头表示lot的进程（process）和抽检顺序，如图2所示，第一批次21和第二批次22的产品23均按照50%的工艺抽检规则进行抽检，以如此高的抽检比例虽然可以控制机台处于高风险条件下的安全性，但是在机台处于相对安全的条件下进行了过多的监控，造成抽检效率的低下和抽检成本的大幅度增加。
发明内容
本发明公开了一种基于设备维护风险控制的缺陷监控方法，其中，包括以下步骤：
步骤S1：经定义的风险及根据该风险将工艺设备维护划分为N个风险类型，并将所述的N个风险类型和在线监控规则整合后存储至数据库中；
步骤S2：缺陷抽样系统根据数据库中风险定义给每个风险类型设定对应的缺陷抽检规则；
步骤S3：在一机台完成一项工艺设备维护后，生产执行系统根据存储在所述数据库中的该项工艺设备维护的风险类型调去对应的在线监控规则对该机台进行判断，若不进行检测则进入对下个机台的判断；若进行检测，缺陷抽样系统则根据该机台的风险类型插入对应抽样规则检测标志，并对该机台进行检测后，再进入下个机台的判断。
上述的基于设备维护风险控制的缺陷监控方法，其中，风险类型的数目N小于200。
上述的基于设备维护风险控制的缺陷监控方法，其中，步骤S2中的抽样规则，抽样比例高低与风险大小成正比。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明提出一种基于设备维护风险控制的缺陷监控方法，通过将各项工艺设备维护划分为多个风险类型，对机台进行不同的工艺设备维护分别采用不同的缺陷抽检规则，生产执行系统根据该缺陷抽检规则能有效的监控在机台做完维护后一段时间内的风险控制，从而提高工艺的在线监控的效率和降低监控的成本。
附图说明
图1是本发明背景技术中第一种缺陷检测方法的影响分析示意图；
图2是本发明背景技术中第二种缺陷检测方法的影响分析示意图；
图３是本发明基于设备维护风险控制的缺陷监控方法的流程示意图。
具体实施方式  
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明：
本发明一种基于设备维护风险控制的缺陷监控方法：
首先，根据工艺需求定义风险，并根据该风险将工艺设备维护划分为N个风险类型，Ｎ一般小于200，并将划分好的风险类型与在线监控规则整合后存储至数据库中。
然后，利用缺陷抽样系统根据数据库中风险的定义给每个风险类型设定对应的缺陷抽检规则；
最后，在一机台完成一项工艺设备维护后，生产执行系统根据存储在数据库中的该项工艺设备维护的风险类型调去对应的在线监控规则对该机台进行判断，若不进行检测则进入对下个机台的判断；若进行检测，缺陷抽样系统则根据该机台的风险类型插入对应抽样规则检测标志，并对该机台进行检测后，再进入下个机台的判断；其中，抽样比例的高低与风险大小成正比，即风险类型中风险较大时其抽样比例就高，风险类型中风险小时其抽样比例就低；这样就能兼顾风险控制的情况下，提升效率和降低监控工艺成本。
图３是本发明基于设备维护风险控制的缺陷监控方法的流程示意图。
具体的，如图３所示，在工艺机台１进行完一项工艺设备维护后，进入检测阶段，生产执行系统首先根据存储在数据库中的该项工艺设备维护的风险类型调去对应的在线监控规则对工艺机台１进行对比判断，若工艺机台1不满足抽样检测的条件，则直接进入对其他工艺机台的抽检判断，若工艺机台1满足抽样检测的条件，则缺陷抽样系统插入则根据工艺机台１进行的工艺设备维护的风险类型插入对应抽样规则检测标志（flag），并对工艺机台1进行对应的抽样检测后，再对其他工艺机台进行对比判断，并重复上述对工艺机台1的工艺操作步骤。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明提出一种基于设备维护风险控制的缺陷监控方法，通过将各项工艺设备维护划分为多个风险类型，对机台进行不同的工艺设备维护分别采用不同的缺陷抽检规则，生产执行系统根据该缺陷抽检规则能有效的监控在机台做完维护后一段时间内的风险控制，从而提高工艺的在线监控的效率和降低监控的成本。
通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。
对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。

Claims (3)

1.一种基于设备维护风险控制的缺陷监控方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S1：经定义的风险及根据该风险将工艺设备维护划分为N个风险类型，并将所述的N个风险类型和在线监控规则整合后存储至数据库中；
步骤S2：缺陷抽样系统根据数据库中风险定义给每个风险类型设定对应的缺陷抽检规则；
步骤S3：在一机台完成一项工艺设备维护后，生产执行系统根据存储在所述数据库中的该项工艺设备维护的风险类型调去对应的在线监控规则对该机台进行判断，若不进行检测则进入对下个机台的判断；若进行检测，缺陷抽样系统则根据该机台的风险类型插入对应抽样规则检测标志，并对该机台进行检测后，再进入下个机台的判断。
2.根据权利要求1所述的基于设备维护风险控制的缺陷监控方法，其特征在于，所述风险类型的数目N小于200。
3.根据权利要求1或２所述的基于设备维护风险控制的缺陷监控方法，其特征在于，步骤S2中的抽样规则，抽样比例高低与风险大小成正比。
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