CN105549553A - 生产机台的生产控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种生产机台的生产控制方法。其包括:指定生产机台对应的量测机台,在生产机台结束维护状态后,如果生产机台恢复到生产状态,检测生产机台是否已生产预设批次的产品;如果生产机台已生产预设批次的产品,将生产机台从生产状态变更为暂停状态,从量测机台获取预设批次的产品的量测数据,并累计一次循环次数;根据量测数据确认预设批次的产品是否满足质量要求;如果满足质量要求,判断循环次数是否达到预设次数;如果循环次数没有达到预设次数,将生产机台从暂停状态恢复到生产状态,并重复检测生产机台是否已生产预设批次的产品;如果不满足质量要求,将循环次数清零并发出报警通知。本发明能够避免人力浪费,同时预防产品出现异常。

Description

生产机台的生产控制方法
技术领域
本发明涉及自动化生产领域,特别是一种生产机台的生产控制方法。
背景技术
在自动化生产领域中,一般生产机台在进行维护后都会进行测机流程,即用控挡片模拟产品进入生产机台进行生产,然后通过量测机台对其进行量测,再确认量测结果。如果量测结果正常则进入正常生产流程,否则需要再次对机台进行维护。
然而,测机流程无法完全保证产品不会有异常,因为在实际生产中,生产机台进行维护后是产品发生异常最频繁的时候,并且由于生产线连续运行,所以产品很容易出现连续的异常。因此,为了防止这种情况发生,一般生产机台在进行维护后都需要工程人员在生产机台旁连续观察很长一段时间,既浪费时间,又浪费人力。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种生产机台的生产控制方法,能够避免人力浪费,同时预防产品出现异常。
为解决上述技术问题,本发明提供的一个技术方案是:一种生产机台的生产控制方法,包括以下步骤:S1:指定生产机台对应的量测机台,并在所述生产机台结束维护状态后,监控所述生产机台是否恢复到生产状态;S2:如果所述生产机台恢复到生产状态,则检测所述生产机台是否已生产预设批次的产品;S3:如果所述生产机台已生产预设批次的产品,则将所述生产机台从生产状态变更为暂停状态,从所述量测机台获取所述预设批次的产品的量测数据,并累计一次循环次数;S4:根据所述量测数据确认所述预设批次的产品是否满足质量要求;S5:如果所述预设批次的产品满足质量要求,则判断所述循环次数是否达到预设次数;S6:如果所述循环次数没有达到预设次数,则将所述生产机台从暂停状态恢复到生产状态,并重复进行步骤S2;S7:如果所述预设批次的产品不满足质量要求,则将所述循环次数清零并发出报警通知。在测机流程完成后增加自动化维护监控模式。
优选地,还包括:S8:如果所述循环次数达到预设次数,则将所述生产机台从暂停状态恢复到生产状态,并保持所述生产机台的生产状态不变。
优选地,所述量测机台为量测机台群中的任意一个。
优选地,所述预设批次为多批,所述量测数据由所述量测机台对所述预设批次的产品中的至少一批产品进行量测得到。
优选地,所述报警通知包括邮件或短信。
区别于现有技术的情况,本发明的有益效果是:在生产机台进行维护后,通过对生产机台生产的产品进行循环量测,只要期间任一批次的产品不满足质量要求,则暂停生产机台,从而能够避免人力浪费,同时预防产品出现异常,对生产效率和产品良率都有显著提升
附图说明
图1是本发明实施例的生产机台的生产控制方法的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明的附图1,对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
参见图1,是本发明实施例的生产机台的生产控制方法的流程示意图。本实施例的生产控制方法包括以下步骤:
S1:指定生产机台对应的量测机台,并在生产机台结束维护状态后,监控生产机台是否恢复到生产状态。
其中,量测机台可以是预先指定的,也可以是在生产机台进入维护状态后指定的。生产机台只要进行维修、保养都会进入维护状态,当然也可以是工程人员主动将生产机台设定为维护状态。量测机台应当是在生产工艺上位于生产机台之后的机台。可选地,量测机台可以是一台确定的机台,也可以为量测机台群中的任意一个。
生产机台只要进入维护状态后,不论是从维护状态直接进入生产状态,还是维护状态结束后,生产机台由其它状态进入生产状态,都认为生产机台恢复到生产状态。
S2:如果生产机台恢复到生产状态,则检测生产机台是否已生产预设批次的产品。
其中,在检测产品的批次时,可以通过传感器实现。预设批次可以是一批,也可以是多批。
S3:如果生产机台已生产预设批次的产品,则将生产机台从生产状态变更为暂停状态,从量测机台获取预设批次的产品的量测数据,并累计一次循环次数。
其中,生产机台进入暂停状态,将暂停生产,但是预设批次的产品仍然会流向量测机台,从而可以从量测机台获取预设批次的产品的量测数据。可选地,量测数据由量测机台对预设批次的产品中的至少一批产品进行量测得到。也就是说,预设批次可以是多批,而量测数据可以是其中一批产品的量测数据。
循环次数可以由一个计数器实现,可选地,量测机台每量测预设批次的产品,计数器加1,也就是循环次数累计一次。
S4:根据量测数据确认预设批次的产品是否满足质量要求。
其中,量测数据可以是产品的参数,只要参数达到参考标准,则认为满足质量要求。
S5:如果预设批次的产品满足质量要求,则判断循环次数是否达到预设次数。
S6:如果循环次数没有达到预设次数,则将生产机台从暂停状态恢复到生产状态,并重复进行步骤S2。
其中,通过循环次数来进行循环量测,可以确定产品质量稳定性,如果循环次数达到预设次数,说明产品质量稳定,如果循环次数没有达到预设次数,则需要继续量测。进一步地,预设批次在每次循环中可以是固定的,也可以是不固定的,比如,预设批次在每次循环中均为2批,共循环3次或者预设批次在在第一个循环中为1批,在第二个循环中为2批,在第三个循环中为3批。
S7:如果预设批次的产品不满足质量要求,则将循环次数清零并发出报警通知。
其中,发出报警通知后,工程人员可以对生产机台进行检查,可以根据需要再次对生产机台再次进行维修或保养,此时,生产机台进入维护状态。可选地,报警通知包括邮件或短信。
在本实施例中,生产控制方法还可以包括:
S8:如果循环次数达到预设次数,则将生产机台从暂停状态恢复到生产状态,并保持生产机台的生产状态不变。
其中,如果循环次数达到预设次数,说明产品质量稳定,此时不需要再进行量测,通过保持生产机台的生产状态不变,生产机台可以进行持续生产。
本发明实施例的生产控制方法可以应用到自动化生产中的任何领域,例如在半导体制造领域中,生产控制方法应用到制造执行系统(ManufacturingExecutionSystem,MES)中,来对半导体产品的生产进行控制。
下面,将通过两个具体实例对本发明实施例的生产控制方法进行详细说明:
具体实例1
在该具体实例中,生产机台为黄光区机台,量测机台为线宽量测机台。预设批次为2批,预设次数为3次。当黄光区机台结束维护状态并进入生产状态后,线宽量测机台只随机量测1批产品,过程如下:
(1)黄光区机台产出批次1产品后,批次2产品进入黄光区机台进行生产;
(2)批次1产品还未进入量测机台,黄光区机台产出批次2产品后,制造执行系统将黄光区机台从生产状态变更为暂停状态,黄光区机台暂停生产,批次3产品不能进入黄光区机台进行生产;
(3)线宽量测机台选择批次1产品和批次2产品中的一批产品进行两侧,得到量测数据,同时循环次数变为1;
(4)如果根据量测数据确认满足质量要求(如:线宽为295纳米),则黄光区机台恢复到生产状态,当批次3产品进入黄光区机台进行生产;如果根据量测数据确认不满足质量要求(如:线宽为335纳米),则将循环次数清零并发出报警通知,以通知工程人员对黄光区机台进行检查;
(5)如果根据量测数据确认满足质量要求,黄光区机台继续生产批次3产品和批次4产品,并重复步骤(3)和(4),在该步骤中,循环次数变为2,并且如果根据量测数据确认满足质量要求,进行步骤(6);
(6)黄光区机台继续生产批次5产品和批次6产品,并重复步骤(3)和(4),在该步骤中,循环次数变为3,并且如果根据量测数据确认满足质量要求,则保持黄光区机台的生产状态不变,黄光区机台将持续生产产品。
具体实例2
在该具体实例中,生产机台为研磨区机台,量测机台为厚度量测机台。预设批次为1批,预设次数为3次。当研磨区机台结束维护状态并进入生产状态后,厚度量测机台量测1批产品,过程如下:
(1)研磨区机台产出批次1产品后,制造执行系统将黄光区机台从生产状态变更为暂停状态,批次2产品不能进入黄光区机台进行生产;
(2)厚度量测机台选择批次1产品进行两侧,得到量测数据,同时循环次数变为1;
(3)如果根据量测数据确认满足质量要求(如:厚度为92微米),则研磨区机台恢复到生产状态,批次2产品进入研磨区机台进行生产;如果根据量测数据确认不满足质量要求(如:厚度为88微米),则将循环次数清零并发出报警通知,以通知工程人员对研磨区机台进行检查;
(4)如果根据量测数据确认满足质量要求,研磨区机台继续生产批次2产品,并重复步骤(3),在该步骤中,循环次数变为2,并且如果根据量测数据确认满足质量要求,进行步骤(5);;
(5)黄光区机台继续生产批次3产品,并重复步骤(3),在该步骤中,循环次数变为3,并且如果根据量测数据确认满足质量要求,则保持研磨区机台的生产状态不变,研磨区机台将持续生产产品。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (5)

1.一种生产机台的生产控制方法,其特征在于,包括:
S1:指定生产机台对应的量测机台,并在所述生产机台结束维护状态后,监控所述生产机台是否恢复到生产状态;
S2:如果所述生产机台恢复到生产状态,则检测所述生产机台是否已生产预设批次的产品;
S3:如果所述生产机台已生产预设批次的产品,则将所述生产机台从生产状态变更为暂停状态,从所述量测机台获取所述预设批次的产品的量测数据,并累计一次循环次数;
S4:根据所述量测数据确认所述预设批次的产品是否满足质量要求;
S5:如果所述预设批次的产品满足质量要求,则判断所述循环次数是否达到预设次数;
S6:如果所述循环次数没有达到预设次数,则将所述生产机台从暂停状态恢复到生产状态,并重复进行步骤S2;
S7:如果所述预设批次的产品不满足质量要求,则将所述循环次数清零并发出报警通知。
2.根据权利要求1所述的生产控制方法,其特征在于,还包括:
S8:如果所述循环次数达到预设次数,则将所述生产机台从暂停状态恢复到生产状态,并保持所述生产机台的生产状态不变。
3.根据权利要求1所述的生产控制方法,其特征在于,所述量测机台为量测机台群中的任意一个。
4.根据权利要求1所述的生产控制方法,其特征在于,所述预设批次为多批,所述量测数据由所述量测机台对所述预设批次的产品中的至少一批产品进行量测得到。
5.根据权利要求1所述的生产控制方法,其特征在于,所述报警通知包括邮件或短信。
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