CN102639971A - 用于振动流量计的抗腐蚀涂层及用于形成该涂层的方法 - Google Patents

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Abstract

提供了一种抗腐蚀振动流量计（5）。流量计（5）包括流量计组件（10），流量计组件（10）包括构造成被振动的一个或多个流管（103）以及在流量计组件（10）的至少一部分上的扩散涂层（202）。扩散涂层（202）被扩散到流量计组件（10）中并且包括流量计组件（10）的一部分。

Description

用于振动流量计的抗腐蚀涂层及用于形成该涂层的方法
技术领域
本发明涉及振动流量计和方法，并且更具体地涉及抗腐蚀振动流量计和方法。
背景技术
诸如Coriolis质量流量计和振动密度计的振动管道传感器通常通过检测包含流动材料的振动管道的运动进行操作。可以通过处理从与管道相关联的运动换能器接收到的测量信号来确定与管道中的材料相关联的性质，诸如质量流量、密度等等。填充有振动材料的系统的振动模式通常受到包容管道和包含在其中的材料的联合的质量、硬度和阻尼特性的影响。
典型Coriolis质量流量计包括在管线或其它输送系统中连接的一个或多个管道并在系统中传送例如流体、浆料（slurry）、乳状液等材料。可以将每个管道视为具有一组自然振动模式，包括例如简单弯曲、扭转、径向和耦合模式。在典型的Coriolis质量流量测量应用中，随着材料流过管道，在一个或多个振动模式下激励管道，并在沿着管道间隔开的多个点处测量管道的运动。通常由以周期性的方式扰乱管道的致动器来提供该激励，所述致动器例如为机电装置，诸如音圈式驱动器。可以通过在换能器位置处测量运动之间的时间延迟或相位差来确定质量流率。两个此类换能器（或拾取传感器，pickoff sensor）通常被用于测量一个或多个流动管道的振动响应，且通常位于致动器的上游和下游的位置处。两个拾取传感器连接到电子仪器。该仪器从两个拾取传感器接收信号并处理该信号以便得出质量流率测量结果以及其他测量结果。
因而，振动流量计（包括Coriolis质量流量计和密度计）采用一个或多个振动的流管以便测量流体。这种流管通常由金属形成，以便具有良好的振动特性和高强度，例如用于高压流动流体应用。
然而，振动流量计常常用于处理腐蚀性和/或易起化学反应的材料。金属流管可能被腐蚀性或反应性流动流体损坏。另外，金属流管可从流动流体沥滤材料和/或流动流体可从流管沥滤材料。此外，一个或多个涂层可通过提供非常坚固的表面来防止侵蚀。而且，所述涂层可以对于流动而言是光滑的或具有低摩擦系数。
图1是现有技术流管的剖面图，该流管包括形成在管内部的内侧的额外衬里。这种现有技术衬里通常包括例如TEFLON、TEFZEL或其他塑料，并且提供抗腐蚀和化学惰性的衬里。结果，流动流体不接触金属流管。
然而，该现有技术存在缺点。该现有技术衬里包括分离的部件，其必须被沉积、结合或粘附到现有技术流管的内表面。不幸的是，现有技术衬里可能从流管的内部分层剥离。分层剥离可导致泄漏到现有技术衬里后面、腐蚀和流动阻碍。在极端情况中，分层剥离可能导致衬里的破裂并且衬里的破裂碎片可能加入流动流体中并且影响下游的过滤器、阀、泵或其他机构。此外，衬里的自由碎片可能影响下游的混合物、化学过程、设备或测量。
现有技术衬里通常比现有技术流管的金属软得多。因此，现有技术衬里必须具有显著厚度以便提供充分的屏障并且防止流动流体接触下面的流管。而且，现有技术衬里必须具有显著厚度以便不会崩塌或者在结构上被振动不利地影响。不幸的是，现有技术衬里的厚度将会影响现有技术流量计组件的振动特性。可能需要更多的驱动功率。可能降低敏感度。将会改变流量计的谐振频率。
发明内容
在本发明的一个方面中，一种抗腐蚀振动流量计包括：
流量计组件，所述流量计组件包括构造成被振动的一个或多个流管；和
在所述流量计组件的至少一部分上的扩散涂层，所述扩散涂层被扩散到所述流量计组件中并且包括所述流量计组件的一部分。
优选地，所述扩散涂层在高于预定高温下被扩散到所述流量计组件的所述至少一部分中。
优选地，在将温度敏感元件附接到所述流量计组件之前，所述扩散涂层被扩散到所述流量计组件的所述至少一部分中。
优选地，所述扩散涂层通过沉积工艺来施加。
优选地，所述扩散涂层通过气相沉积工艺来施加。
优选地，所述扩散涂层通过化学气相沉积工艺来施加。
优选地，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的内表面。
优选地，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的外表面。
优选地，所述流量计组件包括至少两个工艺连接部，并且其中，所述扩散涂层覆盖所述至少两个工艺连接部。
优选地，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的基本上所有表面。
在本发明的一个方面中，一种形成抗腐蚀振动流量计的方法包括：
构造流量计组件，所述流量计组件包括构造成被振动的一个或多个流管；
用扩散涂层涂覆所述流量计组件的至少一部分，所述扩散涂层被扩散到所述流量计组件中并且包括所述流量计组件的一部分。
优选地，所述扩散涂层在高于预定高温下被扩散到所述流量计组件的所述至少一部分中。
优选地，在将温度敏感元件附接到所述流量计组件之前，所述扩散涂层被扩散到所述流量计组件的所述至少一部分中。
优选地，通过沉积工艺来施加所述扩散涂层。
优选地，通过气相沉积工艺来施加所述扩散涂层。
优选地，通过化学气相沉积工艺来施加所述扩散涂层。
优选地，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的内表面。
优选地，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的外表面。
优选地，所述流量计组件包括至少两个工艺连接部，并且其中，所述扩散涂层覆盖所述至少两个工艺连接部。
优选地，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的基本上所有表面。
在本发明的一个方面中，一种形成抗腐蚀振动流量计的方法包括：
构造流量计组件，所述流量计组件包括构造成被振动的一个或多个流管；
将至少两个工艺连接部附接到所述流量计组件；以及
用扩散涂层涂覆所述流量计组件的至少一部分和所述至少两个工艺连接部，所述扩散涂层被扩散到所述流量计组件中并且包括所述流量计组件的一部分。
优选地，所述扩散涂层在高于预定高温下被扩散到所述流量计组件的所述至少一部分中。
优选地，在将温度敏感元件附接到所述流量计组件之前，所述扩散涂层被扩散到所述流量计组件的所述至少一部分中。
优选地，通过沉积工艺来施加所述扩散涂层。
优选地，通过气相沉积工艺来施加所述扩散涂层。
优选地，通过化学气相沉积工艺来施加所述扩散涂层。
优选地，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的内表面。
优选地，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的外表面。
优选地，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的基本上所有表面。
附图说明
图1是现有技术流管的剖面图，其包括形成在管内部的内侧的额外衬里。
图2示出了根据本发明的振动流量计。
图3示出了根据本发明的包括扩散涂层的流管的剖面图。
图4示出了根据本发明的包括扩散涂层的单直管振动流量计。
具体实施方式
图2-4和以下说明描绘了特定示例以教授本领域的技术人员如何完成并使用本发明的最佳模式。出于教授本发明原理的目的，已将一些传统方面简化或省略。本领域的技术人员将认识到这些示例的变体落入本发明范围内。本领域的技术人员将认识到可以以各种方式将下述特征组合以形成本发明的多个变体。结果，本发明不限于下述特定示例，而是仅仅由权利要求及其等同物来限制。
图2示出了根据本发明的振动流量计5。振动流量计5包括流量计组件10和流量计电子装置20。流量计电子装置20经由引线100连接到流量计组件10并被构造成在通信路径26上提供密度、质量流率、体积流率、总质量流量、温度中的一个或多个的测量结果、或其他测量结果或信息。本领域的技术人员应认识到振动流量计可以包括任何类型的振动流量计，与驱动器、拾取传感器、流动管道、或振动的操作模式的数目无关。另外，应认识到振动流量计5可替代地包括振动密度计。
流量计组件10包括一对凸缘101和101’、歧管102和102’、驱动器104、拾取传感器105和105’、以及流动管道103A和103B。驱动器104以及拾取传感器105和105’连接到流动管道103A和103B。
凸缘101和101’包括被附着于歧管102和102’的工艺连接部。在一些实施例中，歧管102和102’可以附着于隔离物106的相对的端部。隔离物106保持歧管102和102’之间的间距，以便避免管线力被传递到流动管道103A和103B。当流量计组件10被插入携载被测量的流动流体的管线系统（未示出）中时，流动流体通过凸缘101进入流量计组件10，经过进口歧管102，在那里，流动流体的总量被指引进入流动管道103A和103B，流动流体流过流动管道103A和103B并返回到出口歧管102’，在那里，其通过凸缘101’离开流量计组件10。
流动流体包括液体。流动流体可包括气体。流动流体可包括多相流体，例如包括了夹带气体和/或夹带固体的液体。
流动管道103A和103B被选择并适当地安装到进口歧管102和出口歧管102’，从而具有分别关于弯曲轴线W-W和W’-W’的基本上相同的质量分布、惯性动量和弹性模数。流动管道103A和103B以基本平行的方式从歧管102和102’向外延伸。
流动管道103A和103B可由多种材料形成。在一些实施例中，流动管道103A和103B由金属或钢形成。在其他实施例中，流动管道103A和103B由抗腐蚀材料形成，包括诸如不锈钢、钽、哈司特镍合金或钛。然而，尽管它们具有优异的抗腐蚀性质，但钽、哈司特镍合金和钛是非常昂贵的材料，并且极大地增加了流量计成本。其他材料也在构想之中并且在本说明书和权利要求书的范围内，包括非金属材料。
另外，流量计组件10可由材料的混合物形成。例如，歧管102和102’可由抗腐蚀金属（例如哈司特合金）形成，而一个或多个流动管道可由较便宜且较易于工作的金属或材料形成并且可然后被涂覆有涂层，如本文所述的。涂层和抗腐蚀金属或材料的其他组合也在构想之中并且在本说明书和权利要求书的范围内。
流动管道103A和103B被驱动器104沿着关于各弯曲轴线W和W’相反的方向且在振动流量计5的所谓第一异相弯曲模式下驱动。驱动器104可以包括许多众所周知的布置之一，诸如安装到流动管道103A的磁体和安装到流动管道103B的反作用线圈。交流电通过反作用线圈以促使两个管道振荡。由流量计电子装置20经由引线110向驱动器104施加适当的驱动信号。其他驱动器装置也在构想之中并且在本说明书和权利要求书的范围内。
流量计电子装置20分别在引线111和111’上接收传感器信号。流量计电子装置20在引线110上产生驱动信号，该驱动信号导致驱动器104使流动管道103A和103B振荡。其他传感器装置也在构想之中并且在本说明书和权利要求书的范围内。
流量计电子装置20处理来自拾取传感器105和105’的左和右速度信号以便计算流率和其他信息。通信路径26提供允许流量计电子装置20与操作员或与其它电子系统相交互的输入和输出装置。图2的描述仅仅是作为Coriolis流量计的操作示例而提供的且并不意图限制本发明的教导。
在一个实施例中，流量计电子装置20构造成使流管103A和103B振动。通过驱动器104来执行该振动。流量计电子装置20还从拾取传感器105和105’接收所得到的振动信号。振动信号包括流管103A和103B的振动响应。流量计电子装置20处理该振动响应并且确定响应频率和/或相位差。流量计电子装置20处理振动响应并确定一个或多个流动测量结果，包括质量流率和/或流动流体的密度。其他振动响应特性和/或流动测量结果也在构想之中并且在本说明书和权利要求书的范围内。
在一个实施例中，如图所示，流管103A和103B包括基本上为U形的流管。替代地，在其它实施例中，流管可以包括基本直的流管（参见图4和下面附随的讨论）。其他的流量计形状和/或构造也可被使用并且在本说明书和权利要求书的范围内。
图3示出了根据本发明的流管103的剖面图，其包括扩散涂层202。该图示出了流管103并且还示出了被扩散到流管103的材料中的扩散涂层202。因此，涂层材料变为流管103的一部分，即与流管103形成为整体。扩散涂层202不仅仅是被添加到流管103的分离的层，而且被结合或附着到流管103。由于扩散工艺中所用的高温，扩散涂层202的材料与结构混合并且成为结构的一部分。
扩散涂层202被扩散到流量计组件10的至少一部分中，包括内表面。另外，扩散涂层202可另外地被施加到凸缘101和101’、歧管102和102’、隔离物106（如果包括在流量计组件10中的话）、撑杆、平衡配重/平衡结构、和/或其他部件的支架。有可能被涂覆的部件的这个清单不是穷尽性的，流量计组件10的其他部分也可被涂覆，如本文所描述的。在一些实施例中，扩散涂层202被施加到振动流量计5的完整流动路径上。
重要的是，在将温度敏感元件附接到流量计组件10之前，扩散涂层202被扩散到流量计组件10的至少一部分中。这可包括可受扩散工艺的温度影响的任何形式的温度敏感元件。例如，流管拾取传感器、温度传感器、驱动器和配线通常包括可能被热损坏的非金属部件。其他部件也可能受影响，例如粘接剂、塑料、电绝缘和电路材料以及其他相对低温的材料。
因此，在一些实施例中，在大多数或全部焊接操作之后施加扩散涂层202。结果，焊接操作不会损坏或影响扩散涂层202。不需要焊接已经被涂覆的部件，从而焊接操作不可能焊穿或削弱所述涂层。此外，扩散涂层202可至少部分地填充焊缝中的任何缺陷，例如低点或小间隙。
可为了各种目的（例如为了防止流管103的腐蚀）来实现期望的表面成分。替代地或另外地，期望的表面成分可防止与流动流体的化学反应和/或防止流管103的材料和流动流体之间的沥滤或传递。此外，一个或多个涂层可通过提供非常坚固的表面来防止侵蚀。而且，所述涂层可以对于流动而言是光滑的或具有低摩擦系数。
可通过沉积工艺来施加扩散涂层202。可通过气相沉积工艺来施加扩散涂层202。可通过化学气相沉积工艺来施加扩散涂层202。
可采用许多种形式的沉积或扩散以及许多不同的变形来将气相/镀敷材料沉积到表面上。一些类型的气相沉积是：气溶胶辅助的化学气相沉积（CVD）、等离子体CVD、微波CVD、直接液体注射CVD、原子层CVD、热丝CVD、快热CVD以及气相外延。应当理解的是，这个清单不是穷尽性的并且可存在或发展出其他工艺。所有这些工艺和工艺的变形可用于将涂层施加到表面上并且不限制本专利的范围。
通过高温工艺来施加扩散涂层202，其中，流量计组件10（或其一部分）与扩散载体一起被放置在扩散室中。在存在扩散载体的情况下加热流量计组件10，其中，扩散载体中的扩散组分被扩散到流量计组件10的一个或多个表面上并扩散到该一个或多个表面中。温度可取决于流量计组件10的材料、形成扩散涂层202的扩散组分、以及其他可能的因素，包括载体材料、期望的扩散速度、外部加热等等。
被扩散进入的金属成为流量计组件10的一部分并且不仅仅是被结合或粘附到流量计组件10。这通过使用高温扩散环境来实现，其中，扩散涂层在高于预定高温下被扩散到流量计组件10中。在一些实施例中，预定高温是三百华氏度或更高，或者是将非塑料涂层材料扩散到金属（或更硬的）流量计材料中所需的任何温度。扩散可需要涂层材料的分子至少部分地穿透进入流量计材料并且与流量计材料的分子搀和、结合和/或互锁。
为此，扩散涂层202不能用于由塑料形成的流管。甚至高温塑料或热塑性塑料。
所得到的扩散涂层202变得与流管材料形成为整体。此外，扩散涂层202不形成并且不局限于均匀且可分辨的层，如图中所示。这与现有技术形成对比。
扩散载体可包括气体，该气体携载将要被沉积到流量计组件10上的预定扩散颗粒（即扩散组分）。预定扩散颗粒可包括抗腐蚀材料或混合物。扩散载体可在环境压力下或在高于或低于环境压力的压力下被引入。替代地，扩散载体可包括液体、浆料、糊状物等等，其包括了预定扩散颗粒或化学物质。
流量计组件10的至少一部分与扩散载体接触，其中，预定扩散颗粒被扩散到流量计组件10的一些或所有表面中。
扩散载体可进一步包括任何形式的有助于扩散工艺的化学反应剂、催化剂或促进剂。扩散载体被热激活并且预定扩散颗粒被沉积到流量计组件10的表面上并扩散到流量计组件10的表面中。在一些CVD工艺中，与热激活扩散载体一起，等离子体也激活扩散载体并且促进优质涂层。
扩散涂层202可具有任意合适的厚度。因为涂层的材料被扩散到流管103的金属中，所以扩散涂层202可以非常薄。对于扩散涂层202的薄度一个限制可能是下面的流管材料的孔隙率。多孔的流管材料可需要较厚的扩散涂层202。另一个限制可能是流管表面的平滑度。粗糙的表面可需要较厚的扩散涂层202，以便完全地覆盖下面的流管材料并且防止涂层中的任何针孔缺陷。此外，对于流量计组件10的一个区域上的较厚扩散涂层202的需要可要求在整个流量计组件10上的较厚扩散。应当理解的是，扩散涂层202的厚度可能难以测量，因为扩散涂层202可能不包括完全平滑的表面并且可能不包括规则或均匀的层。
扩散涂层202可包括金属或金属混合物。替代地，扩散涂层202可包括能够被扩散到流管103中的非金属材料。
扩散涂层202优选地包括高度抗腐蚀的材料。扩散涂层202包括高度化学温度的且非反应性的材料。扩散涂层202包括不从流动流体沥滤材料的材料。扩散涂层202所包括的材料使得流动流体不能从扩散涂层202沥滤材料。
在一些实施例中，扩散涂层202包括硅或主要包括硅材料。在该实施例中，扩散涂层202在厚度上可通常为约二十五微米。替代地，扩散涂层202可包括碳或主要包括碳材料，例如由C2H2扩散载体供应的碳材料。在该实施例中，扩散涂层202在厚度上可通常为约八十微米。应当理解的是，其他扩散材料/扩散载体也在构想之中并且在本说明书和权利要求书的范围内。
在一些实施例中，扩散涂层202被施加到流量计组件10或流管103的内表面。在一些实施例中，扩散涂层202被施加到流量计组件10或流管103的外表面。在一些实施例中，扩散涂层202被施加到流量计组件10或流管103的所有表面。这可进一步包括进口和出口结构以及分流器。另外，扩散涂层202可被施加到流量计组件10的其他表面，包括凸缘/工艺连接部101和101’，因为工艺连接部101和101’可能需要是抗腐蚀的。根据本发明，其他可被涂覆的部件包括隔离物、歧管、连杆或撑杆、平衡结构以及安装结构。上述示例不是穷尽性的并且其他被涂覆的表面或部件也在构想之中并且在本说明书和权利要求书的范围内。
流管103和/或流量计组件10可由预定材料形成。流管103和/或流量计组件10可由可经受高温扩散工艺的材料形成。在一些实施例中，流管103和/或流量计组件10可例如由预定金属或金属材料形成。在一些实施例中，流管103和/或流量计组件10可例如由不锈钢形成，其具有良好的振动特性和良好的抗腐蚀性质。替代地，流量计组件10的部件可由其他材料形成。流量计组件10可部分地或全部是非金属的，例如由玻璃、陶瓷、石英或其他能承受扩散工艺的温度的材料形成。
图4示出了根据本发明的包括扩散涂层202的单直管振动流量计5。在所示的实施例中，扩散涂层202仅形成在流管103的内表面上。然而应当理解的是，如前面所讨论的，振动流量计5的各个区域均可包括扩散涂层202。直管振动流量计5包括扩散涂层202。如前面的图和讨论中那样，扩散涂层202被施加并且提供相对薄的腐蚀涂层的优点，而不需要厚的、昂贵的且振动改性的流管或流量计组件结构。
如果期望的话，可根据任何实施例来采用根据本发明的振动流量计和方法，以便提供多个优点。扩散涂层提供流量计组件和流动流体之间的屏障。扩散涂层提供一体的涂层，其为结构的一部分并且不仅仅被结合到该结构。因此，扩散涂层将不会分离、剥离或裂成碎片。扩散涂层是较薄的并且添加微不足道的质量，从而对于振动特性具有可忽略的影响。扩散涂层使得流量计组件能够保持流管材料的振动性质。扩散涂层需要较少的昂贵材料以便提供屏障。

Claims (29)

1.一种抗腐蚀振动流量计（5），所述流量计（5）包括流量计组件（10），所述流量计组件（10）包括构造成被振动的一个或多个流管（103），所述流量计（5）的特征在于：
在所述流量计组件（10）的至少一部分上的扩散涂层（202），所述扩散涂层（202）被扩散到所述流量计组件（10）中并且包括所述流量计组件（10）的一部分。
2.如权利要求1所述的抗腐蚀振动流量计（5），其中，所述扩散涂层（202）在高于预定高温下被扩散到所述流量计组件（10）的所述至少一部分中。
3.如权利要求1所述的抗腐蚀振动流量计（5），其中，在将温度敏感元件附接到所述流量计组件（10）之前，所述扩散涂层（202）被扩散到所述流量计组件（10）的所述至少一部分中。
4.如权利要求1所述的抗腐蚀振动流量计（5），其中，所述扩散涂层（202）通过沉积工艺来施加。
5.如权利要求1所述的抗腐蚀振动流量计（5），其中，所述扩散涂层（202）通过气相沉积工艺来施加。
6.如权利要求1所述的抗腐蚀振动流量计（5），其中，所述扩散涂层（202）通过化学气相沉积工艺来施加。
7.如权利要求1所述的抗腐蚀振动流量计（5），其中，所述扩散涂层（202）被施加到所述流量计组件（10）的内表面。
8.如权利要求1所述的抗腐蚀振动流量计（5），其中，所述扩散涂层（202）被施加到所述流量计组件（10）的外表面。
9.如权利要求1所述的抗腐蚀振动流量计（5），其中，所述流量计组件（10）包括至少两个工艺连接部（101，101’），并且其中，所述扩散涂层（202）覆盖所述至少两个工艺连接部（101，101’）。
10.如权利要求1所述的抗腐蚀振动流量计（5），其中，所述扩散涂层（202）被施加到所述流量计组件（10）的基本上所有表面。
11.一种形成抗腐蚀振动流量计的方法，所述方法包括构造流量计组件，所述流量计组件包括构造成被振动的一个或多个流管，所述方法的特征在于：
用扩散涂层涂覆所述流量计组件的至少一部分，所述扩散涂层被扩散到所述流量计组件中并且包括所述流量计组件的一部分。
12.如权利要求11所述的方法，其中，所述扩散涂层在高于预定高温下被扩散到所述流量计组件的所述至少一部分中。
13.如权利要求11所述的方法，其中，在将温度敏感元件附接到所述流量计组件之前，所述扩散涂层被扩散到所述流量计组件的所述至少一部分中。
14.如权利要求11所述的方法，其中，通过沉积工艺来施加所述扩散涂层。
15.如权利要求11所述的方法，其中，通过气相沉积工艺来施加所述扩散涂层。
16.如权利要求11所述的方法，其中，通过化学气相沉积工艺来施加所述扩散涂层。
17.如权利要求11所述的方法，其中，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的内表面。
18.如权利要求11所述的方法，其中，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的外表面。
19.如权利要求11所述的方法，其中，所述流量计组件包括至少两个工艺连接部，并且其中，所述扩散涂层覆盖所述至少两个工艺连接部。
20.如权利要求11所述的方法，其中，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的基本上所有表面。
21.一种形成抗腐蚀振动流量计的方法，所述方法包括构造流量计组件，所述流量计组件包括构造成被振动的一个或多个流管，所述方法的特征在于：
将至少两个工艺连接部附接到所述流量计组件；以及
用扩散涂层涂覆所述流量计组件的至少一部分和所述至少两个工艺连接部，所述扩散涂层被扩散到所述流量计组件中并且包括所述流量计组件的一部分。
22.如权利要求21所述的方法，其中，所述扩散涂层在高于预定高温下被扩散到所述流量计组件的所述至少一部分中。
23.如权利要求21所述的方法，其中，在将温度敏感元件附接到所述流量计组件之前，所述扩散涂层被扩散到所述流量计组件的所述至少一部分中。
24.如权利要求21所述的方法，其中，通过沉积工艺来施加所述扩散涂层。
25.如权利要求21所述的方法，其中，通过气相沉积工艺来施加所述扩散涂层。
26.如权利要求21所述的方法，其中，通过化学气相沉积工艺来施加所述扩散涂层。
27.如权利要求21所述的方法，其中，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的内表面。
28.如权利要求21所述的方法，其中，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的外表面。
29.如权利要求21所述的方法，其中，所述扩散涂层被施加到所述流量计组件的基本上所有表面。
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