CN102636195B - 伺服马达及其制造方法和制造设备以及编码器 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及伺服马达及其制造方法和制造设备以及编码器。伺服马达制造方法包括：在旋转盘(110)待被固定到马达(M)的轴(SH)的情况下用于调节所述旋转盘(110)相对于所述轴(SH)的位置的盘位置调节步骤(S5，S10，S12，S15，S17，S20，S25)，至少一个同心图案(CP)围绕盘中心(O)形成到所述旋转盘(110)，其中，在所述盘位置调节步骤(S5，S10，S12，S15，S17，S20，S25)中，所述同心图案(CP)被用作线性编码器(160)的标度，以调节所述旋转盘(110)的偏心。

Description

伺服马达及其制造方法和制造设备以及编码器
技术领域
本发明涉及包括编码器的伺服马达的制造方法、伺服马达制造设备、伺服马达以及编码器。
背景技术
存在两种类型的光学编码器：透过型编码器和反射型编码器。透过型编码器将光源设置在旋转盘的一侧并且将受光元件设置在旋转盘的另一侧。从光源发出的光经过旋转盘并且由受光元件接收。另一方面，反射型编码器将光源和受光元件都设置在旋转盘的一侧。从光源发出的光由旋转盘反射并且由受光元件接收。在这两种编码器的情况下，基于受光元件的输出信号来检测供固定旋转盘的旋转体的旋转位置和旋转速度，所述受光元件接收由旋转盘的旋转引起的略为脉动形式的光。
对于与透过型编码器相关的现有技术，已知日本特开专利第2010-96503号公报。
发明内容
本发明要解决的技术问题
透过型编码器将旋转盘和构成受光元件的光学模块设置成紧密靠近。结果是，当光学模块在正常状况下被安装时，操作员在利用显微镜验证受光元件和旋转盘的位置关系时手动调节光学模块的位置。
然而，当光学模块和旋转盘彼此相对较远地被设置时，例如像在反射型编码器的情况的那样，利用显微镜进行位置调节是相当困难的。
本发明的目的在于提供一种即使当旋转盘和包括受光元件的光学模块被设置得相对远离时，也能够在旋转盘的十分精确的位置调节的情况下容易地制造伺服马达的伺服马达制造方法、伺服马达制造设备、伺服马达以及编码器。
本发明的目的还在于提供一种即使当旋转盘和包括受光元件的光学模块被设置得相对远离时，也能够在旋转盘和光学模块的十分精确的位置调节的情况下容易地制造伺服马达的伺服马达制造方法、伺服马达制造设备、伺服马达以及编码器。
解决该技术问题的手段
为了实现上述目的，根据本发明的第一方面，提供一种伺服马达制造方法，该伺服马达制造方法包括：在旋转盘待被固定到马达的轴的情况下用于调节所述旋转盘相对于所述轴的位置的盘位置调节步骤，至少一个同心图案围绕盘中心形成到所述旋转盘，其中：在所述盘位置调节步骤中，所述同心图案被用作线性编码器的标度，以调节所述旋转盘的偏心。
根据第二方面，在根据第一方面的伺服马达制造方法中，在所述盘位置调节步骤中，基于所述线性编码器的输出信号来调节所述旋转盘的位置，使得所述轴的轴线与所述旋转盘的盘中心对准，所述线性编码器能够检测所述旋转盘的局部周向区域的所述同心图案的径向方向的变化。
根据第三方面，在根据第二方面的伺服马达制造方法中，在所述盘位置调节步骤中，借助在所述旋转盘旋转时所述同心图案的径向方向的变化来识别所述盘中心相对于所述轴线的偏心量以及偏心方向；并且盘位置调节装置基于致使消除所述偏心量的移动方向以及移动量来使所述旋转盘沿所述径向方向移动。
根据第四方面，在根据第一方面的伺服马达制造方法中，所述伺服马达制造方法还包括：在所述光学模块被固定成面向被安装到所述轴的所述旋转盘的情况下用于调节所述光学模块的相对于所述旋转盘的位置的模块位置调节步骤，所述光学模块包括位于基板上的第一受光元件和第二受光元件，所述第一受光元件和所述第二受光元件接收从光源发出并且经受所述同心图案的作用的光；其中在所述模块位置调节步骤中，基于所述第一受光元件和所述第二受光元件的输出信号的振幅变化来调节所述光学模块相对于所述旋转盘的径向位置，并且基于所述第一受光元件的输出信号和所述第二受光元件的输出信号之间的相位差来调节所述光学模块的相对于从所述旋转盘的所述盘中心以放射形状延伸的放射状线的倾斜位置。
为了实现上述目的，根据本发明的第五方面，提供一种伺服马达制造设备，所述伺服马达制造设备包括：线性编码器，所述线性编码器构造成将围绕旋转盘的盘中心形成的同心图案作为标度；盘位置调节装置，所述盘位置调节装置构造成调节所述旋转盘的位置，使得马达的供固定所述旋转盘的轴的轴线与所述旋转盘的所述盘中心对准；以及控制装置，所述控制装置构造成基于所述线性编码器的输出信号来控制所述盘位置调节机构。
根据第六方面，在根据第五方面的伺服马达制造设备中，所述伺服马达制造设备还包括：模块位置调节装置，所述模块位置调节装置具有第一模块位置调节装置以及第二模块位置调节装置，所述第一模块位置调节装置构造成调节光学模块相对于所述旋转盘的径向位置，所述光学模块在基板上包括第一受光元件和第二受光元件，所述第一受光元件和所述第二受光元件接收从光源发出并且经受所述同心图案的作用的光，所述第二模块位置调节装置构造成调节所述光学模块的相对于从所述旋转盘的所述盘中心以放射形状延伸的放射状线的倾斜位置，其中所述控制装置基于所述第一受光元件和所述第二受光元件的输出信号的振幅变化来控制所述第一模块位置调节装置，并且基于所述第一受光元件的输出信号和所述第二受光元件的输出信号之间的相位差来控制所述第二模块位置调节装置。
为了实现上述目的，根据本发明的第七方面，提供一种伺服马达，所述伺服马达包括：作为编码器的旋转盘，所述旋转盘具有围绕盘中心形成的至少一个同心图案，所述同心图案被用于调节所述盘中心偏离马达的轴的轴线的偏心量。
根据第八方面，在根据第八方面的伺服马达中，所述编码器包括位于基板上的光学模块，所述光学模块具有第一受光元件和第二受光元件，所述第一受光元件和所述第二受光元件接收从光源发出并且经受所述同心图案的作用的光；所述光学模块被布置在基于由所述第一受光元件和所述第二受光元件接收的光学信号相对于所述旋转盘调节过的位置。
为了实现上述目的，根据本发明的第九方面，提供一种编码器，该编码器包括：旋转盘，所述旋转盘具有围绕盘中心形成的至少一个同心图案，所述同心图案被用于调节所述盘中心偏离马达的轴的轴线的偏心量。
本发明的优点
根据本发明，即使当旋转盘和包括受光元件的光学模块被相对较远地设置时也可以容易地制造伺服马达同时容易地调节旋转盘和光学模块的位置。
附图说明
图1是用于说明根据实施方式的包括编码器的伺服马达的概要构造的说明图。
图2是用于说明根据实施方式的反射型编码器的概要构造的说明图。
图3是示出反射型编码器的旋转盘的图案形成面的一部分的平面图。
图4是示出反射型编码器的基板的受光元件的布局的布局图。
图5沿图4中的线V-V截取的基板的纵向剖视图，用于说明光源。
图6是用于说明根据实施方式的伺服马达制造设备的当调节旋转盘的位置时使用的部分的构造的说明图。
图7是示出当轴的轴线和旋转盘的盘中心偏心时的实施例的俯视图。
图8是用于说明当轴的轴线和旋转盘的盘中心偏心时线性编码器的同心图案的运动的说明图。
图9是用于说明根据实施方式的伺服马达制造设备的当调节光学模块的位置时使用的部分的构造的说明图。
图10是示出了用于调节模块位置的线性编码器的布局的实施例的俯视图。
图11A是用于说明模块位置调节操作的实施例的说明图。
图11B是用于说明模块位置调节操作的实施例的说明图。
图11C是用于说明模块位置调节操作的实施例的说明图。
图12是示出由控制器的CPU执行的在盘位置调节期间的控制细节的流程图。
图13是示出由控制器的CPU执行的在模块位置调节期间的控制细节的流程图。
具体实施方式
在下文参照附图描述所公开的实施方式。
伺服马达
首先，将参照图1来描述根据实施方式的包括编码器的伺服马达的构造的概要说明。图1是用于说明根据实施方式的包括编码器的伺服马达的概要构造的说明图。
如图1所示，伺服马达SM包括：作为根据实施方式的编码器的反射型编码器100；以及马达M。马达M是不包括反射型编码器100的动力产生源的一个示例。虽然存在马达M作为单个单元被称为伺服马达的情况，但是该实施方式中的伺服马达SM包括具有反射型编码器100的构造。马达M在至少一端上包括作为旋转体的轴SH。马达M通过使轴SH围绕轴线AX旋转来输出旋转力。
注意，马达M并不被特别地受限，只要该马达M是基于位置数据来控制的马达即可。此外，马达M不局限于利用电力作为动力源的电动式马达，而是允许利用基于其他类型的动力源的马达，例如液压马达、气动马达或蒸汽马达。为了便于说明，下述说明将利用电动式马达作为马达M举例说明。
反射型编码器100将马达M的轴SH的旋转动力输出端连接到位于相对侧的端部。然后，反射型编码器100通过检测轴SH的位置来检测马达M的轴SH自身或者旋转目标的相对位置(从基准角度的相对角度)，并且输出表示该位置的位置数据。
反射型编码器100的设置位置并不特别地局限于在该实施方式中所示的实施例。例如，反射型编码器100可以被设置成使得其直接连接到轴SH的输出端。此外，反射型编码器100可经由减速齿轮、旋转方向变换器或其他机构(例如，制动器)连接到轴SH等。
注意，该实施方式在伺服马达SM具有这样的构造的情况下是特别有效的，在该构造中，编码器100的旋转盘110被直接连接到马达M的轴SH，如图1和图2所示。这是因为，当利用具有轴承和固定有旋转盘的轴线的编码器来制造伺服马达时，光学模块和编码器的旋转盘被整体地组装，其中轴线位置与旋转轴和轴承对准。结果是，编码器被组装到马达，使得旋转轴与轴SH同轴，由此将编码器的旋转盘、光学模块和马达M的轴SH在不偏心的情况下连接。这消除了对于调节旋转盘和光学模块的位置的任何具体需要。另一方面，在该实施方式中，编码器100不包括旋转轴或轴承；而是，编码器100的旋转盘110被直接连接到马达M的轴SH。在该情况下，当制造伺服马达SM时，旋转盘110的位置需要相对于轴SH被调节，并且光学模块120的位置需要相对于旋转盘110被调节。如果未进行这些调节，编码器100不能被精确地组装到马达M。在此，利用使用所谓的“内置式”编码器100的情况进行说明，其中旋转盘110被直接连接到马达M的轴SH，如图1和图2所示。然而，利用“完整式”编码器100也是可能的，该“完整式”编码器100被形成为使得旋转盘110被连接到专用于编码器100的轴并且该轴能够被连接到马达M等。
反射型编码器
接下来，将参照图2至图5说明根据该实施方式的反射型编码器100的构造。图2是用于说明根据该实施方式的反射型编码器的概要构造的说明图。图3是示出了反射型编码器的旋转盘的图案形成面的一部分的平面图。图4是示出反射型编码器的基板的受光元件的布局的布局图。图5是沿图4的线V-V截取的基板的纵向剖视图，用于说明光源。
如图2所示，根据该实施方式的反射型编码器100包括与轴SH连接的旋转盘110以及与所述旋转盘110相对地设置的光学模块120。光学模块120被设置到印刷布线板190(见图9)。
旋转盘
如图3所示旋转盘110被形成为圆板形状，并且被设置成使得盘中心O与轴线AX大致对准。接着，将旋转盘110连接到轴SH，该轴SH经由毂等能够围绕该轴线AX旋转。因此，旋转盘110对应于马达M的旋转被围绕轴线AX可旋转地设置。
如图3所示，增量图案IP沿周向方向被形成在旋转盘110上。此外，多个同心图案CP被径向形成在增量图案IP的内周侧，该多个同心图案CP围绕盘中心O形成同心圆形。此时，旋转盘110例如由透过光或吸收光的材料形成。接着，增量图案IP和同心图案CP被形成到透过光或吸收光的材料的旋转盘110上。具体地，通过例如将高反射型材料沉积到旋转盘110上的方法，在该旋转盘110上同心地形成反射狭缝。注意，增量图案IP等同于在多个方面中描述的用于位置检测的图案。
上述反射狭缝以预定的间距被等距离地形成，从而使得增量图案IP包括以该间距重复进行光的反射和吸收或透过的图案。另一方面，同心图案CP包括这样的图案，在该图案中，围绕盘中心O的同心圆形的多个反射狭缝沿径向方向以预定间隔被形成。采用该图案，在旋转盘110上沿径向方向重复进行光的反射和吸收或透过。虽然将在下文详细地描述，但是当旋转盘110在制造伺服马达SM期间要被固定到轴SH时，使用同心图案CP来调节旋转盘110相对于轴SH的位置。此外，当光学模块120与旋转盘110相对地被固定时，同心图案CP还被用于调节光学模块120相对于旋转盘110的位置。
光学模块
如图4所示，光学模块120包括与旋转盘110相对的基板121。然后，光源130、用于位置检测的受光元件群140以及用于位置调节的受光元件群150L和150R被设置到位于与基板121的旋转盘110相对侧的表面。光源130朝向旋转盘110发出光。用于位置检测的受光元件群140包括用于位置检测的多个受光元件141，所述多个受光元件141接收从增量图案IP反射的光。用于位置调节的受光元件群150L和150R包括用于位置调节的多个受光元件151，所述多个受光元件151接收从同心图案CP反射的光。用于位置调节的受光元件群150L和150R被相对于基板121的中心线LC非对称地设置。注意，中心线LC是沿基板121的旋转方向与对称轴线大致重合的线，并且光源130被设置在中心线LC上。此外，用于位置检测的受光元件群140以及用于位置调节的受光元件群150L和150R在例如由硅形成的基板121上优选地利用光刻法(photolithography)形成。在这种情况下，用于位置检测的受光元件群140以及用于位置调节的受光元件群150L和150R能够以极高的精度被形成。这使得可以进一步改善定位后述的基板121的精度。
注意，用于位置调节的受光元件群150L相当于权利要求中描述的第一受光元件。用于位置调节的受光元件群150R相当于权利要求中描述的第二受光元件。并且，用于位置检测的受光元件群140相当于用于位置检测的受光元件。
用于位置调节的受光元件群150L和150R均包括一组多个用于位置检测的受光元件141(在如图4所示的实施例中为四个)，用于以不同的相位来检测四个光学信号。这四个用于位置调节的受光元件151均被设置处于这样的位置，这些位置将与沿同心图案CP的径向方向的一个间距对应的区域分成四个，并且这四个用于位置调节的受光元件151基于电角度每90°输出一信号。接着，在每个用于位置调节的受光元件群150L和150R中，这四个用于位置调节的受光元件151沿旋转盘110的径向方向(该径向方向如稍后所述以基准位置O’为中心)以阵列布置。
在此，上述的相位不同的四个光学信号包括相A+(0度)、从相A+移位90度相位的相B+(90度)、从相A+移位180度相位的相A-(180度)以及从相A+移位270度相位的相B-(270度)的光学信号。上述相A+的光学信号以及相B+的光学信号(其是90°相位的不同的信号)被用于基于首先检测到的是相A+还是相B+来检测同心图案CP移位的方向。此外，相A+和相B+的光学信号以及以180°相位的不同的相A-和相B-的光学信号被用于确保光学信号的可靠性。
如图3所示，光学模块120被布置成使得光源130面向增量图案IP的径向中心位置(距盘中心O半径RI的位置)与同心图案CP的径向中心位置(距盘中心O半径RC的位置)之间的大致中心位置。采用该布置，被布置在基板121上的用于位置检测的受光元件群140被设置在与形成于旋转盘110上的增量图案IP对应的径向位置。此外，被布置在基板121上的用于位置调节的受光元件群150L和150R被设置在与形成于旋转盘110上的同心图案CP对应的径向位置。
在用于位置检测的受光元件群140中，多个用于位置检测的受光元件141沿旋转盘110的周向方向(图4中的方向CI)以阵列布置。注意，方向CI是指将位于距离kRL的基准位置O’作为其中心的半径kRI的周向方向，距离kRL是距光源130的长度RL的k倍[k＝(d1+d2)/d1]，如图4所示。如图3所示，距离RI是从旋转盘110的盘中心O到增量图案IP的中心位置的距离。距离RL是从旋转盘110的盘中心O到光源130的距离。这是因为从反射型编码器100中的光源130发出的光由旋转盘110反射，并且被反射的光由用于位置检测的受光元件群140接收，如图2所示。也就是说，该图案的放大图像被反射投影到用于位置检测的受光元件群140上。具体地，从光源130发出的光到旋转盘110的光路的距离是d1，而从旋转盘110反射的光到用于位置检测的受光元件群140的光路的距离是d2。结果是，将增量图案IP放大k倍[k＝(d1+d2)/d1]的放大图像被反射投影到用于位置检测的受光元件群140上。结果是，用于位置检测的受光元件群140被沿方向CI布置，使得能够与被反射投影的增量图案IP的放大图像对应。此外，构成用于位置检测的受光元件群140的每个用于位置检测的受光元件141的取向被设置成将上述基准位置O’作为中心的放射形状。采用该布置，每个用于位置检测的受光元件141的取向与被放大k倍的反射投影增量图案IP的图像相一致的取向。
在用于位置调节的受光元件群150L和150R中，多个用于位置调节的受光元件151沿旋转盘110的径向方向(在图4中，以基准位置O’为中心的圆的径向方向)以阵列布置。此外，每个用于位置调节的受光元件151的取向处于旋转盘110的周向方向(图4中的方向CC)。注意，上述方向CC是指将基准位置O’作为中心的半径kRC的周向方向，设定距离RC是从旋转盘110的盘中心O到同心图案CP的中心位置的距离，如图3和图4所示。构成用于位置调节的受光元件群150L和150R的每个用于位置调节的受光元件151因此沿以基准位置O’为中心的圆的径向方向布置，并且沿方向CC取向。采用该布置，如上所述，可以与被反射投影的同心图案CP的初始尺寸的k倍尺寸的图像一致。此外，用于位置调节的受光元件群150L和150R的径向宽度Wt与等于旋转盘110的同心图案CP的径向宽度Wp的k倍的值大致匹配。
如图5所示，形成有光源130的芯片131利用例如银浆料的导电性粘结剂被粘结到基板121。被用作光源130的光源例如是发光二极管(LED)。布线图案(未示出)被形成在基板121的表面上并且通过布线122与光源130的电极连接。
制造设备
接下来，将参考图6至图11描述根据该实施方式的伺服马达制造设备的概要构造。当旋转盘110要被固定到轴SH时，根据该实施方式的伺服马达制造设备MD调节旋转盘110相对于轴SH的位置。此外，当光学模块120被与旋转盘110相对地固定时，伺服马达制造设备MD调节光学模块120相对于旋转盘110的位置。
旋转盘位置的调节
首先，将参考图6至图8描述当旋转盘110要被固定到轴SH时旋转盘110相对于轴SH的位置调节。图6是用于说明根据实施方式的伺服马达制造设备的当调节旋转盘的位置时被使用的部分的构造的说明图。图7是示出了当轴的轴线与旋转盘的盘中心偏心时的实施例的俯视图。图8是用于说明当轴的轴线与旋转盘的盘中心偏心时线性编码器的同心图案的运动的说明图。
如图6所示，伺服马达制造设备MD包括反射型线性编码器160、线性马达171以及控制器180。线性编码器160检测被可动地布置在轴SH上的旋转盘110的周向区域的一部分的同心图案CP的径向方向的变化。线性马达171调节旋转盘110的位置，使得固定有旋转盘110的轴SH的轴线AX与旋转盘110的盘中心O对准。控制器180基于上述线性编码器160的输出信号来控制线性马达171和马达M。
线性编码器160包括线性编码器头161和偏心量计算部162。线性编码器头161的输出信号例如经受A/D转换且随后倍乘处理，并且由偏心量计算部162转换为旋转盘110的位置信号。该位置信号然后被输入到控制器180。从控制器180输出到线性马达171的信号由马达控制器172转换为马达驱动信号。随后，该信号被临时转换为模拟信号，由放大器(未示出)进一步电流放大，并且被输入到线性马达171中。结果是，线性马达171按照控制器180的指令来驱动该单元。此外，马达控制器173基于从控制器180输出到马达M的输出信号使马达M旋转。
注意，线性马达171和马达控制器172和173相当于权利要求中描述的盘位置调节装置。此外，控制器180相当于控制装置。
线性编码器头161被布置成与旋转盘110的同心图案CP的周向区域的一部分相对。该线性编码器头161包括光源和受光元件(未示出)以及固定狭缝163(见图8)。如图8所示，多个矩形狭缝SL被并列地形成在固定狭缝163上。多个狭缝SL沿旋转盘110的径向方向被布置在光源/受光元件和旋转盘110之间。在固定有旋转盘110的轴SH的轴线AX与旋转盘110的盘中心O偏心的情况下，当旋转盘110旋转时同心图案CP在线性编码器头161的布置位置处径向变化(移动)。这使得线性编码器160可以检测偏心。
例如，在图7所示的实施例中，轴SH的轴线AX与旋转盘110的盘中心O偏心的量等于ΔD1。在此，旋转盘110上的从轴SH的轴线AX到旋转盘110的外周的距离处于最长、最短以及中间的旋转位置分别是(a)、(c)、(b)和(d)。这些旋转位置(a)、(b)、(c)和(d)中的每个之间的角度是90°。在该情况下，如图8所示，当旋转盘110的旋转位置是(a)时，线性编码器头161的同心图案CP被设置得沿径向方向比狭缝SL更靠外周侧的位置。当旋转盘110的旋转位置是(b)或(d)时，线性编码器头161的同心图案CP被设置在狭缝SL上。当旋转盘110的旋转位置是(c)时，线性编码器头部161的同心图案CP被设置得沿径向方向比狭缝SL更靠内周侧的位置。也就是说，同心图案CP在线性编码器头161的布置位置处径向变化(移动)等于2ΔD1的量。
因此，当沿周向方向的窄区域部分地观看形成于旋转盘110上的同心图案CP时，当旋转盘110旋转时与线性狭缝类似地观看到可能存在的任何偏心。因此，在该实施方式中，线性编码器被用作用于检测偏心的装置。也就是说，同心图案CP被用作用于旋转盘110的偏心调节的线性编码器160的标度。注意，还能够使用除了线性编码器之外的检测装置，只要该装置是能够检测旋转盘110的同心图案CP的径向变化的光学检测装置即可。
根据如上所述的这种原理，从线性编码器头部161与同心图案CP的径向运动的量对应地产生两个不同相位的正弦波模拟信号。在信号经受倍乘和数字化过程之后，偏心量计算部162得出这些数字形式的模拟信号。接着，偏心量计算部162计算当旋转盘110旋转一次时得到的位置信号的最大值和最小值之间的差值的一半作为偏心量，并且将该值输入到控制器180。控制器180将得到位置信号的最大值或最小值(即，偏心量最大)的旋转盘110的角度识别为最大偏心量位置。接着，控制器180在该如此被识别的最大偏心量位置处停止马达M的驱动动力以停止旋转盘110的旋转，并且致动该线性马达171以减小偏心量。
被用作控制器180的控制器的实施例包括通用的个人计算机(PC)，该PC包括显示器部181(例如，液晶显示器)以及操作部182，该操作部182包括鼠标和键盘等。虽然未示出，但是该控制器180具有作为中央处理单元的内置式CPU、ROM、RAM等。该CPU根据利用RAM的临时存储功能并且被提前存储在ROM中的程序(包括用于执行后述的图12和图13中所示的伺服马达的制造方法过程的程序)执行信号处理。
当旋转盘110被布置在轴SH上时，采用上述构造的控制器180调节位置，使得轴SH的轴线AX对准旋转盘110的盘中心O。为了实现该目的，控制器180基于线性编码器160的输出信号控制线性马达171以及马达M的驱动。具体地，控制器180在驱动马达M以及使旋转盘110旋转时确定同心图案CP是否根据线性编码器160的输出信号沿径向方向变化。当检测到变化时，控制器180在最大偏心量位置处停止马达M。结果是，如图7所示，相对于线性编码器160和旋转盘110被设置在相同的周向位置的线性马达171提供驱动从而减小偏心量，因而使得旋转盘110径向移动。随后，控制器180再次驱动马达M并且检测同心图案CP是否基于线性编码器160的输出信号径向变化。如果不存在变化，那么控制器180认为轴SH的轴线AX与旋转盘110的盘中心O对准，并且结束位置调节。另一方面，如果存在变化，那么控制器180认为仍存在偏心，并且重复如上所述的相同过程。
注意，在上述调节期间由线性马达171提供的驱动量可以根据由线性编码器160检测的同心图案CP中的位移量被确定，或者该驱动量可以是以固定方式提前被确定的量。在该情况下，线性马达171在观测线性编码器160的输出信号以调节位置的同时可以间歇性地提供在多个时间内的驱动。此外，虽然控制器180在由上述线性马达171进行位置调节之前停止旋转盘110的旋转，但是控制器180可以在使旋转盘110旋转时致动线性马达171以执行位置调节。此外，虽然在该实施方式中线性马达被用作盘位置调节装置，但是可以使用任何其他致动器，只要该致动器能够使得旋转盘110以极小的量移动即可。
光学模块位置的调节
接下来，将参照图9至图11描述当光学模块120与旋转盘110相对地固定时光学模块120相对于旋转盘110的位置调节。图9是用于说明根据实施方式的伺服马达制造设备的当调节光学模块的位置时被使用的部分的构造的说明图。图10是示出了用于调节模块位置的线性编码器的布局的实施例的俯视图。图11是用于说明模块位置调节操作的实施例的说明图。
如图9和图10所示，伺服马达制造设备MD包括线性马达174、旋转马达175以及上述控制器180。线性马达174调节光学模块120沿径向方向(用箭头r表示)相对于旋转盘110的位置，光学模块120包括用于位置调节的受光元件群150L和150R。旋转马达175调节光学模块120的相对于径向线LR的倾斜位置(用箭头θ表示)，该径向线LR从旋转盘110的盘中心O径向延伸。控制器180基于用于位置调节的受光元件群150L和150R的输出信号的振幅的变化来控制线性马达174。此外，控制器180基于每个用于位置调节的受光元件群150L和150R的输出信号的相位差来控制旋转马达175。
注意，上述线性马达174、旋转马达175以及线性马达174和旋转马达175相当于在权利要求书中描述的第一模块位置调节机构、第二模块位置调节机构以及模块位置调节机构。
用于调节光学模块120的位置的受光元件群150L和150R的每个输出信号被输入到模块位置判定部176。模块位置判定部176检测振幅的变化并且基于这些输出信号判定光学模块120是否被定位在正确位置。当模块位置判定部176判定该位置不正确时，控制器180经由马达控制器177和178来致动线性马达174和旋转马达175，以使印刷布线板190沿径向方向和倾斜方向移动。由于印刷布线板190的移动，光学模块120被调节到位。光学模块120被设置到印刷布线板190。该印刷布线板190在保持距旋转盘110预定距离时沿上述径向方向以及倾斜方向以自由移动的方式被设置。注意，根据该实施方式，通过移动安装有光学模块120的印刷布线板190来调节光学模块120的位置。然而，光学模块120可以由线性马达174和旋转马达175直接移动。
如图10所示，线性马达173的相对于旋转盘110的周向位置与光学模块120的相对于旋转盘110的周向位置相同。采用这种布置，线性编码器174通过移动印刷布线板190而能够调节光学模块120相对于旋转盘110沿径向方向的位置。此外，旋转马达175(在图10中未示出)的轴线的位置与光学模块120的中心位置大致对准。采用该布置，旋转马达175通过旋转印刷布线板190而能够调节光学模块120相对于旋转盘110沿倾斜方向的位置。
注意，线性马达174和旋转马达175的布置位置和数量并不局限于上述，而是允许进行合适的变化。
当光学模块120与旋转盘110相对地被固定时，控制器180基于用于位置调节的受光元件群150L和150R的输出信号来控制线性马达174和旋转马达175的驱动。采用该布置，控制器180调节光学模块120相对于旋转盘110沿径向方向和倾斜方向的位置。也就是说，光学模块120相对于旋转盘110沿径向方向的位置的变化具体化为用于位置调节的受光元件群150L和150R的输出信号的振幅的变化。采用该布置，控制器180基于振幅变化来控制线性马达174的驱动，由此实现将光学模块120的径向位置调节到期望位置。也就是说，光学模块120相对于旋转盘110沿倾斜方向的位置的变化具体化为用于位置调节的受光元件群150L和150R的每个输出信号的相位差。采用该布置，控制器180基于相位差来控制线性马达175的驱动，由此实现将光学模块120的倾斜位置调节到期望位置。
注意，在上述调节期间线性马达174和旋转马达175的驱动量可以根据用于位置调节的受光元件群150L和150R的输出信号被确定，或者该驱动量可以是以固定方式被提前预定的量。在该情况下，在观测用于位置调节的受光元件群150L和150R的输出信号时线性马达174和旋转马达175可以间歇性地提供在多个时间的驱动以调节位置。此外，虽然在该实施方式中将线性马达和旋转马达用作模块位置调节装置，但是可以使用任何其他致动器，只要该致动器能够使印刷布线板190以极小的量移动即可。
现将参考图11描述光学模块120的位置调节操作的实施例。如图11A所示，光学模块120相对于旋转盘110在径向方向以及倾斜方向都移动位置。在该实施例中，用于位置调节的受光元件群150L和150R的中心线CC(与先前在图4中所示的CC相同)与同心图案CP的中心线CR之间的径向距离是ΔD2，并且径向位移是ΔD2。此外，旋转盘110的径向线LR和光学模块120(基板121)的中心线LC之间的角度是Δθ，并且沿倾斜方向的位移量是Δθ。
从如图11A所示的状态，控制器180驱动线性马达174以使得印刷布线板190沿径向方向移动。在此情况下，基于某个正时，旋转盘110的同心图案CP显现成与用于位置调节的受光元件群150L和150R相对。此时，由于同心图案CP由例如沉积高反射型材料的方法形成，因此，用于位置调节的受光元件群150L和150R的每个输出信号的振幅增加到最大值(或增加到预定阈值或高于预定阈值)。在该状态下，控制器180停止印刷布线板190的运动。采用该布置，如图11B所示，光学模块120沿径向方向移动等于ΔD2的量，从而完成径向位置的调节。
接下来，从如图11B所示的状态，控制器180驱动旋转马达175，以使得印刷布线板190沿倾斜方向移动。在此情况下，基于某个正时，旋转盘110的同心图案CP显现成与用于位置调节的受光元件群150L和150R相对，其中相对的状态大致相同。此时，用于位置调节的受光元件群150L和150R的每个输出信号的相位差改变为0(或改变为预定阈值或低于预定阈值)。在该状态下，控制器180停止印刷布线板190的运动。采用该布置，如图11C所示，光学模块120沿倾斜方向移动等于Δθ的量，从而完成倾斜位置的调节。
因此，完成光学模块120相对于旋转盘11的径向位置和倾斜位置的调节。注意，虽然上文描述了径向位置和倾斜位置均被调节一次的示例性情形，但是该调节可以重复进行以提高位置调节精度。
制造设备的操作(制造方法)
接下来，将参照图12和图13描述当旋转盘110的位置和光学模块120的位置按如上方式被伺服马达制造设备MD调节时由控制器180的CPU执行的控制操作的细节。图12是示出了由控制器的CPU执行的在盘位置调节期间的控制细节的流程图。该说明将在盘位置按照如图12所示的方式被调节之后模块位置按照如图13所示的方式被调节的情况作为实施例。
盘位置调节
在图12中，在步骤S5之前，首先将旋转盘110临时安装到轴SH。该临时安装由操作员例如通过临时拧接部件或通过在粘结剂固化之前利用粘结剂的粘性固定部件等来执行。注意，任何其他方法也是可接受的，只要该方法使得由旋转马达171进行在平面内的运动并且随轴SH一起旋转即可(或只要该方法在运动时能够迟缓以能够实现运动即可)。
在步骤S5中，控制器180向马达M输出驱动信号，以驱动马达M并且使得旋转盘110旋转。
接下来，在步骤S10中，控制器180输入要被从线性编码器160输出的信号。
接下来，在步骤S12中，控制器180基于当旋转盘110旋转一次时得到的位置信号的最大值与最小值之间的差值的一半来识别偏心量，该偏心量从偏心量计算部162被输入。此外，控制器180将获得位置信号的最大值或最小值(即，偏心量最大)的旋转盘110的角度识别为最大偏心量位置。
接下来，在步骤S15中，控制器180识别轴SH的轴线AX与旋转盘110的盘中心O之间的任何偏心。具体地，控制器180判定当在上述步骤S12中从偏心量计算部162输入的半值是0(或小于或等于预定阈值)时不存在偏心。当该半值不是0(或大于或等于预定阈值)时，控制器180判定存在偏心。当控制器180判定存在偏心(步骤S15中为否)时，流程前进到步骤S17。
在步骤S17中，控制器180在上述步骤S12所识别的最大偏心量位置处停止马达M，从而停止旋转盘110的旋转。注意，对于此时的位置控制，控制器180向马达控制器173输出指令，以实现在上述步骤S12中识别的最大偏心量位置。或者控制器180通过测量在最大值位置处的偏心量并停止旋转可以实现控制(在该情况下，不需要在上述步骤S12中的最大偏心量位置的识别)。
在步骤S20中，控制器180向马达控制器172输出驱动信号并且基于在上述步骤S12中识别的偏心量以预定量驱动线性马达171，从而移动旋转盘110，使得偏心量减小。随后，流程返回到步骤S5，在步骤S5中，控制器180再次驱动马达M以使旋转盘110旋转并且基于线性编码器160的输出信号判定任何偏心。
控制器180因此通过重复上述步骤S5至S20的过程来调节旋转盘110的位置。
另一方面，在控制器180在上述步骤S15中判定不存在偏心(步骤S15中为是)的情况下，流程前进到步骤S25。
在步骤S25中，控制器180使马达M停止，从而停止旋转盘110的旋转。
于是，旋转盘110由操作员固定到轴SH。该固定过程通过利用诸如螺钉的固定构件或例如通过固化粘结剂来紧固旋转盘110而被完全实现。由此，流程结束。
模块位置调节
如图13所示，首先，在步骤S30中，控制器180输入信号，该信号要从用于调节光学模块120的位置的受光元件群150L和150R被输出。
接下来，在步骤S35中，控制器180基于在上述步骤S30中被输入的用于位置调节的受光元件群150L和150R的输出信号的振幅的变化来判定光学模块120沿径向方向的位置调节是否已经完成。具体地，控制器180判定例如输出信号的振幅是否处于最大值(或大于或等于预定阈值)。当输出信号的振幅不是最大值(或大于或等于预定阈值；在步骤S35中为否)时，控制器180判定光学模块120的位置调节未完成，并且流程前进到步骤S40。
在步骤S40中，控制器180向马达控制器177输出驱动信号并且以预定量驱动线性马达174。采用该布置，印刷布线板190移动预定量，由此减小光学模块120的径向偏心的量。随后，流程返回到步骤S30，在步骤S30中，控制器180再次输入要从用于位置调节的受光元件群150L和150R输出的信号，并且在下一步骤S35中判定是否已经完成光学模块120沿径向方向的位置调节。
控制器180因此通过重复上述步骤S30至S40的过程来调节光学模块120的径向位置。
在上述步骤S35中，当输出信号的振幅是最大值(或大于或等于预定阈值；在步骤S35中为是)时，那么控制器180判定完成光学模块120的径向位置调节，并且流程前进到步骤S45。
在步骤S45中，控制器180按照与上述步骤S30相同的方式输入要从用于光学模块120的位置调节的受光元件群150L和150R被输出的信号。
接下来，在步骤S50中，控制器180基于在上述步骤S45中被输入的用于位置调节的受光元件群150L和150R的每个输出信号的相位差来判定是否已经完成光学模块120沿倾斜方向的位置调节。具体地，控制器180判定例如输出信号的相位差是否为0(或小于或等于预定阈值)。当输出信号的相位差不是0(或小于或等于预定阈值；步骤S50中为否)时，控制器180判定光学模块120的倾斜位置调节未完成，并且流程前进到步骤S55。
在步骤S55中，控制器180向马达控制器178输出驱动信号并且以预定量驱动旋转马达175。采用该布置，印刷布线板190沿倾斜方向移动预定量，由此减小光学模块120的倾斜偏心的量。随后，流程返回至步骤S45，在步骤S45中，控制器180再次输入要从用于位置调节的受光元件群150L和150R输出的信号，并且在下一步骤S50中，判定是否已经完成光学模块120沿倾斜方向的位置调节。
控制器180因此通过重复上述步骤S45至S55的过程来调节光学模块120的倾斜位置。
在上述步骤S50中，当输出信号的相位差是0(或小于或等于预定阈值；在步骤S50中为是)时，控制器180判定完成光学模块120的倾斜位置调节，并且流程结束。
在上述中，步骤S5、S10、S12、S15、S17、S20和S25相当于在权利要求中说明的盘位置调节步骤，并且步骤S30、S35、S40、S45、S50和S55相当于在权利要求书的模块位置调节步骤。此外，包括这些步骤S5至S25以及S30至S55的上述的总体盘位置调节过程和模块位置调节过程相当于在权利要求中描述的伺服马达制造方法。
优点的示例
在根据上述实施方式的反射型编码器100中，同心形状的同心图案CP围绕旋转盘110的盘中心O的外周形成。此外，如上所述，能够检测沿同心图案CP的沿径向方向的变化的线性编码器160被布置成与形成有旋转盘的同心图案CP的部分的周向区域的一部分相对。采用该布置，在固定有旋转盘110的轴SH的轴线AX与旋转盘110的盘中心O偏心的情况下，当旋转盘110旋转时同心图案CP在线性编码器160的布置位置处径向变化。这使得线性编码器160可以检测任何存在的偏心。因此，当旋转盘110被布置在轴SH上时，可以基于线性编码器160的输出信号来调节旋转盘110的位置，使得轴SH的轴线AX与旋转盘110的盘中心O对准。
此外，在根据实施方式的反射型编码器100中，光学模块120包括用于位置调节的受光元件群150L和150R，用于位置调节的受光元件群150L和150R接收从旋转盘110的同心图案CP反射的光。这些用于位置调节的受光元件群150L和150R被布置在基板上的预定位置处，使得可以调节光学模块120相对于旋转盘110的位置。也就是说，光学模块120相对于旋转盘110沿径向方向的位置具体化为用于位置调节的受光元件群150L和150R的输出信号的振幅的变化。因此，光学模块120的径向位置能够基于振幅的变化被调节到期望位置。也就是说，光学模块120相对于旋转盘110沿倾斜方向的位置变化具体化为用于位置调节的受光元件群150L和150R的每个输出信号的相位差。因此，光学模块120的倾斜位置能够基于该相位差被调节到期望位置。因此能够实现光学模块120相对于旋转盘110的径向位置和倾斜位置的自动调节。
如上所述，根据该实施方式，不需要利用显微镜来调节旋转盘110和光学模块120的位置。因此，即使包括用于位置调节的受光元件群150L和150R的光学模块120以及旋转盘110被设置成相对远离的情况下，也可以容易地制造伺服马达SM同时以高精度调节旋转盘110和光学模块120的位置。此外，由于能够自动实现位置调节，因此能够缩短循环时间。
此外，具体地，根据实施方式，用于位置调节的受光元件群150L和150R被相对于光学模块120的基板121的中心线LC非对称地布置。采用该布置，连接用于位置调节的受光元件群150L和150R的线正交于基板121的中心线LC。这使得通过进行将用于位置调节的受光元件群150L和150R的每个输出信号的相位差变为0(或小于或等于预定阈值)的调节而可以将基板121的中心线LC与旋转盘110的径向线LR对准。结果是，可以实现基板121的倾斜位置的可靠调节。
此外，具体地，根据该实施方式，增量图案IP与同心图案CP一起在旋转盘110上沿周向方向形成。基板121包括用于位置检测的受光元件群140，该受光元件群140接收从光源130发出的反射光并且受到增量图案IP的作用。采用该布置，可以检测固定有旋转盘110的轴SH的相对位置(从基准角度的相对角度)。
此外，具体地，在实施方式中，将反射型编码器用作编码器。与透过型编码器相比，反射型编码器将旋转盘110和基板181以及包括用于位置调节的受光元件群150L和150R的基板121彼此相对远离地设置。因此，该实施方式具有不需要利用显微镜来调节旋转盘110和基板121的位置的显著效果。结果是，图12和图13所示的伺服马达制造方法特别地是用于包括反射型编码器的伺服马达的优选制造方法。
另选实施方式等
注意，本发明并不局限于上述公开的实施方式，并且可以在不偏离本发明的精神和范围的情况下进行各种修改。
例如，虽然在上文描述了所使用的编码器是反射型编码器的情形，在该反射型编码器中，光源130以及用于位置调节的受光元件群150L和150R被设置在光学模块120的基板121上，但是本发明并不如此限制。也就是说，所使用的编码器可以是所谓的透过型编码器，在该透过型编码器中，光源被设置成与包括用于位置调节的受光元件群150L和150R的基板121相对，而旋转盘110被设置在光源与基板121之间。在这种情况下，同心图案CP被最佳地形成为用作旋转盘110上的孔的狭缝，其中线型编码器160用作透过型线性编码器。采用该布置，可以按照与上述实施方式相同的方式相对于轴SH调节旋转盘110的位置。此外，通过使得用于位置调节的受光元件群150L和150R接收从光源发出并且通过在旋转盘110上形成的同心狭缝透过的光，可以相对于旋转盘110调节基板121的位置。因此，透过型编码器使用的这种情况导致与上述实施方式相同的优点。
此外，虽然在上文中仅增量图案IP形成为位于旋转盘110上的用于位置检测的图案，但是可以形成串联绝对图案。在这种情况下，接收从串联绝对图案反射的光的绝对受光元件群被设置到基板121，使得可以检测轴SH的绝对位置(绝对角度)。
此外，虽然在上文描述了在旋转盘110的位置调节之后调节光学模块120的位置的示例性情形，但是这些位置不必要按照该顺序进行调节。可以在光学模块120的位置调节之后调节旋转盘110的位置。例如，旋转盘110可以被粗略地定位并且临时固定到轴SH，并且可以执行光学模块120相对于旋转盘110的位置调节。于是，随后能够精细调节旋转盘110的位置。
此外，虽然上文描述了多个同心图案CP形成在旋转盘110上的示例性情形，但是本发明并不局限于此。也就是说，同心图案CP不必要被设置为多个，而是可以形成为单个图案。在这种情况下，包括接收从同心图案CP反射的光的用于位置调节受光元件群150L和150R的构造可以改变为仅包括用于位置调节的单个受光元件151的构造。注意，在设置多个同心图案CP的情况下，例如当调节盘的位置时可以改善由伺服马达制造设备使用的线性编码器的检测分辨率。这使得可以以更高的精度执行位置调节。
此外，虽然在上述实施方式中偏心量计算部162和模块位置判定部176被与控制器180分离地设置，但是这些功能可以在控制器180内被实现。在这种情况下，来自于光学模块120或线性编码器头部161的输出信号优选地在D/A转换之后被发送到控制器180。此外，布置在伺服马达制造设备MD内的马达控制器172可以被建立作为与待被制造的伺服马达SM的编码器100分离的编码器，以便识别要移动的目标(旋转盘110或光学模块120)待移动的程度。此外，马达控制器172等的控制功能可以在控制器180内被实现。然而，注意，在这种情况下，从控制器180输出的用于控制马达的信号优选地在A/D转换并放大之后被供应给每个马达。
此外，除了上述实施例以外，上述实施方式的技术以及示例性修改还可以被合适地组合。
虽然其他实施例在本文未被单独描述，但是在不偏离本发明的精神和范围的情况下能够进行各种变化和修改。

Claims (8)

1.一种伺服马达制造方法，是用于制造伺服马达(SM)的控制装置(180)所执行的伺服马达制造方法，该伺服马达制造方法包括：
在旋转盘(110)待被固定到马达(M)的轴(SH)的情况下所述控制装置(180)调节所述旋转盘(110)相对于所述轴(SH)的位置的盘位置调节步骤(S5,S10,S12,S15,S17,S20,S25)，同心图案(CP)围绕盘中心(O)形成到所述旋转盘(110)，其中：
在所述盘位置调节步骤(S5,S10,S12,S15,S17,S20,S25)中，
所述控制装置(180)输入能够检测所述旋转盘(110)的局部周向区域的所述同心图案(CP)的径向方向的变化的线性编码器(160)的输出信号，根据该输入的输出信号，所述控制装置(180)调节所述旋转盘(110)的位置，使得所述轴(SH)的轴线(AX)与所述旋转盘(110)的盘中心(O)对准，
所述线性编码器(160)包括光源和受光元件以及固定狭缝(163)，所述固定狭缝(163)形成有沿所述旋转盘(110)的径向方向布置的多个狭缝(SL)。
2.根据权利要求1所述的伺服马达制造方法，其中：
在所述盘位置调节步骤(S5,S10,S12,S15,S17,S20,S25)中，所述控制装置(180)借助在所述旋转盘(110)旋转时所述同心图案(CP)的径向方向的变化来识别所述盘中心(O)相对于所述轴线(AX)的偏心量以及偏心方向；并且
所述控制装置(180)通过盘位置调节装置(171,172,173)基于致使消除所述偏心量的移动方向以及移动量来使所述旋转盘(110)沿所述径向方向移动。
3.根据权利要求2所述的伺服马达制造方法，其中：
在所述盘位置调节步骤(S5,S10,S12,S15,S17,S20,S25)中，
所述控制装置(180)根据所述识别结果，旋转所述马达(M)使所述旋转盘位于所述偏心量成为最大的旋转位置，在该旋转位置上，所述控制装置(180)通过所述盘位置调节装置(171,172,173)使所述旋转盘向径向方向移动。
4.根据权利要求1所述的伺服马达制造方法，该伺服马达制造方法还包括：
在光学模块(120)被固定成面向被安装到所述轴(SH)的所述旋转盘(110)的情况下用于调节所述光学模块(120)相对于所述旋转盘(110)的位置的模块位置调节步骤(S30,S35,S40,S45,S50,S55)，所述光学模块(120)包括位于基板(121)上的第一受光元件(150L)和第二受光元件(150R)，所述第一受光元件(150L)和所述第二受光元件(150R)接收从光源(130)发出并且经受所述同心图案(CP)的作用的光；其中
在所述模块位置调节步骤(S30,S35,S40,S45,S50,S55)中，基于所述第一受光元件(150L)和所述第二受光元件(150R)的输出信号的振幅变化来调节所述光学模块(120)相对于所述旋转盘(110)的径向位置，并且基于所述第一受光元件(150L)的输出信号和所述第二受光元件(150R)的输出信号之间的相位差来调节所述光学模块(120)的相对于从所述旋转盘(110)的所述盘中心(O)以放射形状延伸的放射状线的倾斜位置。
5.一种伺服马达制造设备(MD)，所述伺服马达制造设备包括：
线性编码器(160)，所述线性编码器构造成能够检测围绕旋转盘(110)的盘中心(O)形成的同心图案(CP)的局部周向区域的径向方向的变化；
盘位置调节装置(171,172,173)，所述盘位置调节装置构造成调节所述旋转盘(110)的相对于固定配置所述旋转盘(110)的马达(M)的轴(SH)的位置；以及
控制装置(180)，所述控制装置构造成输入所述线性编码器(160)的输出信号，根据该输入的输出信号，来控制所述盘位置调节装置(171,172,173)，以使得所述轴(SH)的轴线(AX)与所述旋转盘(110)的盘中心(O)对准，
所述线性编码器(160)包括光源和受光元件以及固定狭缝(163)，所述固定狭缝(163)形成有沿所述旋转盘(110)的径向方向布置的多个狭缝(SL)。
6.根据权利要求5所述的伺服马达制造设备(MD)，其中：
所述控制装置(180)借助在所述旋转盘(110)旋转时所述同心图案(CP)的径向方向的变化来识别所述盘中心(O)相对于所述轴线(AX)的偏心量以及偏心方向，根据所述识别结果，旋转所述马达(M)使所述旋转盘位于所述偏心量成为最大的旋转位置，在该旋转位置上，通过所述盘位置调节装置(171,172,173)，基于致使消除所述偏心量的移动方向以及移动量来使所述旋转盘(110)沿所述径向方向移动。
7.根据权利要求5所述的伺服马达制造设备(MD)，该伺服马达制造设备还包括：
模块位置调节装置(174,175)，所述模块位置调节装置具有第一模块位置调节装置(174)以及第二模块位置调节装置(175)，所述第一模块位置调节装置(174)构造成调节光学模块(120)相对于所述旋转盘(110)的径向位置，所述光学模块(120)在基板(121)上包括第一受光元件(150L)和第二受光元件(150R)，所述第一受光元件(150L)和所述第二受光元件(150R)接收从光源(130)发出并且经受所述同心图案(CP)的作用的光，所述第二模块位置调节装置(175)构造成调节所述光学模块(120)的相对于从所述旋转盘(110)的所述盘中心(O)以放射形状延伸的放射状线的倾斜位置，其中
所述控制装置(180)基于所述第一受光元件(150L)和所述第二受光元件(150R)的输出信号的振幅变化来控制所述第一模块位置调节装置(174)，并且基于所述第一受光元件(150L)的输出信号和所述第二受光元件(150R)的输出信号之间的相位差来控制所述第二模块位置调节装置(175)。
8.一种伺服马达(SM)，所述伺服马达具有编码器(100)，
所述编码器(100)包括：
旋转盘(110)，所述旋转盘具有围绕盘中心(O)形成的至少一个同心图案(CP)，所述同心图案(CP)被用于调节所述盘中心(O)偏离马达的轴(SH)的轴线(AX)的偏心量；
位于基板(121)上的光学模块(120)，所述光学模块(120)具有第一受光元件(150L)和第二受光元件(150R)，所述第一受光元件(150L)和所述第二受光元件(150R)接收从光源(130)发出并且经受所述同心图案(CP)的作用的光；
所述光学模块(120)被布置在基于由所述第一受光元件(150L)和所述第二受光元件(150R)接收的光学信号相对于所述旋转盘(110)调节过的位置。
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