CN102553834A - 双相机组合对准式条带测试分选机 - Google Patents

双相机组合对准式条带测试分选机 Download PDF

Info

Publication number
CN102553834A
CN102553834A CN2010105922568A CN201010592256A CN102553834A CN 102553834 A CN102553834 A CN 102553834A CN 2010105922568 A CN2010105922568 A CN 2010105922568A CN 201010592256 A CN201010592256 A CN 201010592256A CN 102553834 A CN102553834 A CN 102553834A
Authority
CN
China
Prior art keywords
test
camera
focusing camera
test platform
transistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2010105922568A
Other languages
English (en)
Inventor
张巍巍
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JIANGYIN GLORY TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
JIANGYIN GLORY TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JIANGYIN GLORY TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical JIANGYIN GLORY TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN2010105922568A priority Critical patent/CN102553834A/zh
Publication of CN102553834A publication Critical patent/CN102553834A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

本发明实施例公开了一种双相机组合对准式条带测试分选机,包括:盖板,其下表面上设置有测试座,所述测试座上设置有测试针;设置在盖板一侧且获取晶体管具体位置影像的顶部对焦相机;设置在盖板下方的测试平台,测试平台上设有用于驱动其在空间X-Y-Z方向移动的驱动装置;设置在该测试平台上的条带,该条带上的引线框上设置有晶体管,设置在测试平台的一侧且获取测试针位置影像的底部对焦相机,顶部对焦相机和底部对焦相机分布在测试平台的两侧;与顶部对焦相机、底部对焦相机和驱动装置相连,并根据顶部对焦相机和底部对焦相机获取的影像驱动所述驱动装置的控制器。提高了测试针与晶体管在测试过程中的对准精确度。

Description

双相机组合对准式条带测试分选机
技术领域
本发明涉及半导体测试设备技术领域,更具体地说,涉及一种双相机组合对准式条带测试分选机。
背景技术
在半导体测试封装行业中,条带测试分选机是一种对晶体管进行测试、并根据测试结果将晶体管中的合格产品筛选出的一种设备。其工作过程为:晶体管由UV(ultraviolet紫外线)膜框上料,晶体管进行批号确定和方向定位后进入到测试平台上,通过该测试平台上的X-Y-Z方向的驱动马达,驱动测试平台移动实现将测试平台上的晶体管与设置在测试平台上方的盖板上的测试针进行对准,对准后测试平台在驱动马达的作用下上移,实现测试针与晶体管的管脚对位接触,并对测试针进行检测,上述盖板的上表面设置的测试板和测试主机主要是控制测试针进行工作,并将检测结果进行记录,检测完毕后,根据测试结果,采用机械手把晶体管中合格的产品选出,再进行光检,以便进入下一工序进行编带。
上述条带测试分选机在工作的过程中,需要将测试针和晶体管进行对准后测试针与晶体管的管脚接触才能实现检测。虽然上述盖板上设置有光检系统,可以实现对测试平台上的晶体管进行位置检测并其与测试针实现对准,但是,在实际的对准过程中,很难做到完全的对准,对准精确度不高。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种双相机组合对准式条带测试分选机,以提高条带测试分选机在工作过程中测试针与晶体管之间对准的精确度。
为了达到上述目的,本发明实施例提供如下技术方案:
一种双相机组合对准式条带测试分选机,包括:
盖板,其下表面上设置有测试座,所述测试座上设置有测试针;
设置在所述盖板一侧且获取所述晶体管具体位置影像的顶部对焦相机;
设置在所述盖板下方的测试平台,所述测试平台上设有用于驱动其在空间X-Y-Z方向移动的驱动装置;
设置在该测试平台上的条带,该条带上的引线框上设置有晶体管;
设置在所述测试平台的一侧且获取所述测试针位置影像的底部对焦相机,所述顶部对焦相机和底部对焦相机分布在所述测试平台的两侧;
与所述顶部对焦相机、底部对焦相机和驱动装置相连,并根据所述顶部对焦相机和底部对焦相机获取的影像驱动所述驱动装置的控制器。
优选的,上述双相机组合对准式条带测试分选机中,所述驱动装置包括分别驱动所述测试平台沿空间X-Y-Z三个方向移动的三个驱动马达。
由上述技术方案可知,本发明实施例提供的双相机组合式条带测试分选机中,在盖板的一侧设置有顶部对焦相机,该顶部对焦相机可以获取晶体管具体位置的影像;在测试平台的一侧设置有底部对焦相机,该底部对焦相机获取测试针的具体位置影像,在检测的过程中,测试平台移动的过程中将安装在盖板上的测试针的位置确定后,控制器接收底部对焦相机和顶部对焦相机所采集的影像,并根据底部对焦相机获取的测试针的位置影像和顶部对焦相机获取的晶体管的位置影像,驱动测试平台移动实现将晶体管与测试针的对准。本发明实施例提供的双相机组合对准式条带测试分选机采用顶部对焦相机和底部对焦相机采集影像,通过控制器根据上述两者的影像实现测试针和晶体管的对准,提高了测试针与晶体管在测试过程中的对准精确度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的双相机组合对准式条带测试分选机的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明提供了一种双相机组合对准式条带测试分选机,提高了条带测试分选机在工作过程中测试针与晶体管之间对准的精确度。
请参考附图1,图1为本发明实施例提供的双相机组合对准式条带测试分选机的结构示意图。
本发明实施例提供的双相机组合对准式条带测试分选机,包括盖板1、顶部对焦相机7、测试平台5、条带6、底部对焦相机4和控制器(图中未示出),其中:
盖板1的下表面上设置有测试座2,测试座2上设置有测试针3;
顶部对焦相机7设置在所述盖板1一侧且用于获取晶体管具体位置,通过顶部对焦相机7可以获取到晶体管具体位置的影像;
测试平台5设置在所述盖板1的下方,该测试平台5上设置有用于驱动其在空间X-Y-Z方向移动的驱动装置(图中未示出);
条带6设置在该测试平台5上,该条带6上的引线框上设置有晶体管,
底部对焦相机4设置在测试平台5的一侧且获取测试针位置的影像,顶部对焦相机7和底部对焦相机4分别分布在测试平台5的两侧;
控制器与所述顶部对焦相机7、底部对焦相机4和驱动装置相连,可以根据顶部对焦相机7和底部对焦相机4所获取的影像驱动驱动装置。
由上述技术方案可知,本发明实施例提供的双相机组合式条带测试分选机中,在盖板1的一侧设置有顶部对焦相机7,该顶部对焦相机7可以获取晶体管具体位置;在测试平台5的一侧设置有底部对焦相机4,该底部对焦相机4获取测试针的具体位置,在检测的过程中,测试平台5移动的过程中将安装在盖板1上的测试针的位置确定后,控制器接收底部对焦相机4和顶部对焦相机7所采集的影像,顶部对焦相机7获取晶体管的位置后,控制器根据顶部对焦相机7所获取的影像信息驱动测试平台5移动实现将晶体管与测试针3的对准。本发明实施例提供的双相机组合对准式条带测试分选机采用顶部对焦相机7和底部对焦相机4采集影像,通过控制器根据上述两者的影像实现测试针3和晶体管的对准,提高了测试针3与晶体管在测试过程中的对准精确度。
本发明实施例中提供的双相机组合对准式条带测试分选机中,所述驱动装置包括分别驱动所述测试平台沿空间X-Y-Z三个方向移动的三个驱动马达。
对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (2)

1.一种双相机组合对准式条带测试分选机,其特征在于,包括:
盖板,其下表面上设置有测试座,所述测试座上设置有测试针;
设置在所述盖板一侧且获取所述晶体管具体位置影像的顶部对焦相机;
设置在所述盖板下方的测试平台,所述测试平台上设有用于驱动其在空间X-Y-Z方向移动的驱动装置;
设置在该测试平台上的条带,该条带上的引线框上设置有晶体管;
设置在所述测试平台的一侧且获取所述测试针位置影像的底部对焦相机,所述顶部对焦相机和底部对焦相机分布在所述测试平台的两侧;
与所述顶部对焦相机、底部对焦相机和驱动装置相连,并根据所述顶部对焦相机和底部对焦相机获取的影像驱动所述驱动装置的控制器。
2.根据权利要求1所述的双相机组合对准式条带测试分选机,其特征在于,所述驱动装置包括分别驱动所述测试平台沿空间X-Y-Z三个方向移动的三个驱动马达。
CN2010105922568A 2010-12-16 2010-12-16 双相机组合对准式条带测试分选机 Pending CN102553834A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010105922568A CN102553834A (zh) 2010-12-16 2010-12-16 双相机组合对准式条带测试分选机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010105922568A CN102553834A (zh) 2010-12-16 2010-12-16 双相机组合对准式条带测试分选机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102553834A true CN102553834A (zh) 2012-07-11

Family

ID=46401212

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010105922568A Pending CN102553834A (zh) 2010-12-16 2010-12-16 双相机组合对准式条带测试分选机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102553834A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105445643A (zh) * 2015-11-12 2016-03-30 杭州长川科技股份有限公司 一种全自动探针台图像定位系统
CN105486995A (zh) * 2015-12-07 2016-04-13 杭州长川科技股份有限公司 全自动探针台图像定位装置及视觉对准方法
CN105513990A (zh) * 2015-12-07 2016-04-20 杭州长川科技股份有限公司 一种探针台图像定位装置及视觉对准方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1516806A (zh) * 2001-06-15 2004-07-28 ˹���հ����߹�˾ 自校准位置测定系统
JP2008182061A (ja) * 2007-01-25 2008-08-07 Tokyo Seimitsu Co Ltd プローバ
CN101271858A (zh) * 2007-03-23 2008-09-24 东京毅力科创株式会社 检查装置
US20090289206A1 (en) * 2008-05-23 2009-11-26 Delta Design, Inc. Camera based vision alignment with device group guiding for semiconductor device testing handlers
KR20100105366A (ko) * 2009-03-16 2010-09-29 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 웨이퍼 얼라인먼트 장치 및 웨이퍼 얼라인먼트 방법
JP2010245508A (ja) * 2009-03-16 2010-10-28 Micronics Japan Co Ltd ウェハアライメント装置及びウェハアライメント方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1516806A (zh) * 2001-06-15 2004-07-28 ˹���հ����߹�˾ 自校准位置测定系统
JP2008182061A (ja) * 2007-01-25 2008-08-07 Tokyo Seimitsu Co Ltd プローバ
CN101271858A (zh) * 2007-03-23 2008-09-24 东京毅力科创株式会社 检查装置
US20090289206A1 (en) * 2008-05-23 2009-11-26 Delta Design, Inc. Camera based vision alignment with device group guiding for semiconductor device testing handlers
KR20100105366A (ko) * 2009-03-16 2010-09-29 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 웨이퍼 얼라인먼트 장치 및 웨이퍼 얼라인먼트 방법
JP2010245508A (ja) * 2009-03-16 2010-10-28 Micronics Japan Co Ltd ウェハアライメント装置及びウェハアライメント方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105445643A (zh) * 2015-11-12 2016-03-30 杭州长川科技股份有限公司 一种全自动探针台图像定位系统
CN105486995A (zh) * 2015-12-07 2016-04-13 杭州长川科技股份有限公司 全自动探针台图像定位装置及视觉对准方法
CN105513990A (zh) * 2015-12-07 2016-04-20 杭州长川科技股份有限公司 一种探针台图像定位装置及视觉对准方法
CN105513990B (zh) * 2015-12-07 2018-02-02 杭州长川科技股份有限公司 一种探针台图像定位装置及视觉对准方法
CN105486995B (zh) * 2015-12-07 2018-08-17 杭州长川科技股份有限公司 全自动探针台图像定位装置及视觉对准方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102229364B1 (ko) 표시장치의 테스트 장치 및 그 장치를 이용한 테스트 방법
TWI498729B (zh) 用來檢測主機板之自動化檢測系統
CN108107347A (zh) 一种自动压接方法
JPWO2012108262A1 (ja) 表示パネルの検査装置および表示パネルの検査方法
KR20110022202A (ko) 멀티 프로브 유니트
CN102553834A (zh) 双相机组合对准式条带测试分选机
CN101782616A (zh) 一种触摸屏测试装置
JP2009099937A5 (zh)
CN204575547U (zh) 产品外观检测系统
CN204630943U (zh) 一种平面作品的两级影像采集系统
US8395401B2 (en) Method for setting contact parameter and recording medium having program for setting contact parameter recorded thereon
JP5686012B2 (ja) 表面欠陥検査装置及び方法
KR20100058395A (ko) 평판 디스플레이 패널의 검사장치
CN111239448A (zh) 测试机以及用于校准探针卡与待测器件的方法
CN206990465U (zh) 液晶面板的缺陷检测装置
CN209069842U (zh) 柔性定位的电路板侧边层偏检测机
CN104607802A (zh) 激光切割装置
CN204855351U (zh) 全自动aoi整机
CN202433317U (zh) 自动光学智能检测系统
KR101924853B1 (ko) 디스플레이패널의 열화상 검사장치
CN103217437A (zh) 光学元件缺陷扫描装置
KR101977305B1 (ko) 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치
CN205195882U (zh) 三工位摄相头模组自动检测设备
KR102025537B1 (ko) 반도체 패키지 검사장치
JP3185955U (ja) 回路再検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20120711

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication