CN102549399A - 用于确定和/或监测至少一个物理过程变量的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于确定和/或监测带有能够振动的单元的介质的至少一个物理过程参数的方法，其中发射/接收单元借助发射信号激发可振动单元以执行振动，其中可振动单元的振动以接收信号的形式被接收并且其中基于接收信号的频率和/或振幅和/或在发射信号和接收信号之间的相移确定和/或监测过程参数。本发明进一步的特征在于，根据可振动单元的激发的时间变化检查和评估接收信号的振幅的时间行为并且因此确定附着物是否已经在可振动单元上形成。

Description

用于确定和/或监测至少一个物理过程变量的方法

技术领域

本发明涉及一种用于利用可振荡单元(oscillatable unit)确定和/或监测介质的至少一个物理过程变量的方法，其中发射/接收单元借助发射信号激发可振荡单元以执行振荡，其中可振荡单元的振荡以接收信号的形式被接收，并且其中基于接收信号的频率和/或振幅和/或在发射信号和接收信号之间的相移确定和/或监测该过程变量。

背景技术

过程变量例如是介质在容器中的填充水平、密度或者液体的粘度。用于确定或者监测过程变量的设备是电子振动测量装置，其中可振荡单元优选地被实现为膜、振荡叉(oscillatory fork)或者单个杆。

电子振动测量装置的主要用途是用于液体在容器中的填充水平的测量。为了检测是否达到预定填充水平，利用了振荡阻尼的效果。测量装置包含布置于膜上的、最常见以两股振荡叉形式的可振荡单元，这种可振荡单元被激发以利用共振频率执行振荡。然而，还已知一种以可振荡杆或者以上面没有另外布置元件的膜形式的可振荡单元。未超过(subceeding)或者低于预定填充水平的情况能够根据振荡不再被介质阻尼的特征而得以识别。相反，达到预定最大填充水平能够根据当可振荡单元不再在空气中而是在介质中振荡时振荡受到阻尼的特征而得以识别。

通常，在特定时间之后，填充介质的填充水平下降并且因此可振荡单元再次自由地振荡。这样利用液体临时覆盖可振荡单元能够导致在可振荡单元上的残留物。特别地当填充介质包括诸如芥末或者酸奶酪的粘性液体时，这样的附着物(accretion)就发生。如果这种沉积物在可振荡单元上形成，则会损害测量，因振荡频率降低，这是由于额外质量而使其移动。因此过程变量不再是可靠可确定的，例如因为存在附着物的测量装置不再检测到可振荡单元何时在介质之外振荡。因此，期望获取有关测量装置是否不存在附着物并且递送可靠的测量值的信息。

根据用于附着物检测的现有技术，用于检测可振荡单元的振荡频率变化的方法是已知的。因此，DE 10014724A1教导了一种方法，其中通过评估优选地受到介质不同影响的至少两个振荡模式而识别可振荡单元的质量的改变。这种方法是不利的，在一方面，因为必须存在两个完全解耦的振荡模式，并且在另一方面，这些必须按电子方式处理，这对于电子设备提出了高的要求。

根据DE 10328296A1已知一种方法，其中根据过程条件建立了用于振荡频率的界限值。未超过或者跌过这个界限值等价于附着物形成。这种方法的缺点在于，对于每一种介质必须重新确定这种界限值，并且诸如温度的可变因素影响这种界限值。进而，在将设备应用于检测最大填充水平的情形中，当介质升高并且覆盖可振荡单元时，也未超过界限值，从而在逐渐覆盖的情形中，在无其它措施的情况下，因为介质已经升高，所以难以在附着和覆盖之间加以辨别。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种利用可振荡单元确定和/或监测过程变量的方法，而且该方法使得能够检测在可振荡单元上的附着物。

利用以下特征实现了该目的，即，根据可振荡单元的激发的时间变化来检查和评估接收信号的振幅的时间行为，并且由此确定附着物是否已经在可振荡单元上形成。

激发装置的时间变化例如是激发的中断或者激发频率的改变。

该方法特别适合于填充水平测量装置情形中的附着物检测，这种填充水平测量装置利用所谓的MAX操作，即，用于溢流保护(overflowprotection)。在该应用情形，可振荡单元大部分时间经由空气振荡，直至介质达到预定填充水平。在空气中，振荡无阻尼地发生，从而能够在激发之后特别容易通过考虑接收信号的减小的振幅而检查可振荡单元的衰减行为。对于介质中振荡的情形，振荡因阻尼的衰减显著地更快，从而在这种情形下，衰减行为的研究是困难的。另外地，必须辨别更快的振荡衰减是仅由于介质还是另外受到附着物影响。为了克服这个问题，一种选择是，在测量装置启动时或者在出厂时对确定的介质执行校准测量，其中在无附着物的可振荡单元激发之后记录衰减行为。这个校准测量能够用作以后测量的参考，在以后测量的情形中附着物可能位于可振荡单元上。

本发明的解决方案的第一实施例提供了借助在可振荡单元的工作范围中的预定频带内的频率扫描用发射信号来激发可振荡单元，以利用一个接一个的离散的激发器频率相继地执行振荡，其中可振荡单元具有共振频率fRES，并且其中激发器频率中的至少一个处于共振频率fRES附近的窄间隔内，

并且相对于以局部最大值和最小值的形式在接收信号中发生的调制评估接收信号，

其中检测接收信号的局部最大值，当利用共振频率fRES附近的窄间隔内的激发器频率的衰减振荡与处于在扫描中的随后的频率的振荡相长叠加时，局部最大值出现，并且其中根据检测到的局部最大值的数目和/或高度来检测附着物是否已经在可振荡单元上形成。

在一个有利的实施例中，通过扫描定出在发射信号和接收信号之间存在预定相移

的振荡频率。

用于激发可振荡单元的一种有利的方法包括下述特征，即，利用频率扫描内的离散激发频率来激发可振荡单元以执行振荡。在一个实施例中，在频率扫描期间寻找这种振荡频率，在该振荡频率的情形，在发射信号和接收信号之间出现预定相移

优选地，预定相移

从而通过频率扫描定出可振荡单元的本征频率。以这种频率被确定的方式，相对于接收信号的振幅评估接收信号，在这种情形中，预定相移

存在并且接收信号示出全局最大值，因此振幅是最大的。在本受让人的、尚未公开的专利申请(DE 102009028022)中描述了一种用于评估振幅的特别有利的方法。在此处公开的方法中，接收信号被相位选择性地采样，从而出现的最大值被更加清楚地给出，并且计算花费也减少。

在可替代实施例中，不是参考发射信号和接收信号之间的相移来评估接收信号，而是仅对相对于附着物的评估来执行频率扫描。

在频率扫描的接收信号中，除了全局最大值，存在其它的局部最大值。在用于定出接收信号和发射信号之间存在预定相移

的频率的频率扫描的情形，在待定出的频率的情形中出现全局最大值。如果仅仅经由出现的局部最大值来执行频率扫描用于附着物检测，并且没有相应地相对于相移处理接收信号，则在共振频率附近的窄间隔内的频率下在接收信号中出现全局最大值。局部最大值属于在时间上跟随全局最大值的调制。在通过频率扫描激发可振荡单元的情形，除了别的以外，可振荡单元还利用其共振频率fRES或者共振频率fRES附近的窄间隔内的接近共振频率fRES的频率而被激发。共振频率fRES依赖于边界条件，诸如、例如可振荡单元的振荡被阻尼的阻尼程度。在无阻尼振荡的特殊情形中，共振频率fRES与待定出的激发器频率符合。通过利用共振频率fRES或者接近共振频率fRES的频率来激发可振荡单元，能量被存储在可振荡单元中。这使得调制能够发生，调制出现的原因在于，以共振频率fRES或者接近共振频率fRES的频率的衰减振荡和以在频率扫描中在时间上随后的频率的振荡叠加。

在阻尼附着物位于可振荡单元上的情形中，振荡受到阻尼，这表现为调制减弱并且因此局部最大值也减弱。局部最大值的数目和高度因此代表在可振荡单元上形成的附着物的量度。较之确定发射信号和接收信号之间存在预定相移的频率的情况，该评估方法的情况的优点是，不需要执行用于附着物检测的任何另外的测量，而是仅仅检查接收信号作为附加特征。随后的频率扫描以及过程变量的确定能够并行发生，而不受附着物检测的妨碍。

在本发明方法的进一步的改进中，根据接收信号产生相位选择性信号并且检测相位选择性信号的最大值。术语相位选择性信号在这种情形中意味着该信号仅仅包含对应于预定相移

的选定值。如果预定相移例如是90°，则接收信号仅在具有相对于发射信号移位90°的信号极值和/或零截距的那些时间点被采样。这些采样点适当地被加以考虑并且形成相位选择性信号。如果接收信号具有90°相移，则利用这种方法，其极值和零截距被检测并且被适当评估。如果接收信号的相移从这种规格偏离，则检测到不与极值或者零截距一致的接收信号的点。前面提及的调制还在相位选择性信号中发生。

在本发明另外的进一步的改进的情形中，相对于根据激发类型产生的指数函数的衰减常数来评估接收信号，并且根据衰减常数在限定时间段之中的变化来检测附着物是否已经在可振荡单元上形成。尽管调制出现，仍然能够以包络的形式检测接收信号的振幅的指数下降。例如，通过曲线拟合过程，能够发现对应于衰减行为的指数函数并且能够确定衰减常数。

根据本发明的方法的进一步的改进，建立接收信号或者相位选择性信号的阈值Ulimit，该阈值在时间点t1被全局最大值超过并且在以后的时间点t2未被超过，其中全局最大值发生在共振频率fRES附近的窄间隔内的频率和/或存在预定相移

的频率下，并且其中未超过或者跌过阈值Ulimit的时间点t2建立全局最大值的终点。阈值Ulimit将被选择为使得噪声底低于这种阈值，并且因此超过阈值Ulimit能够被明确地与最大值的出现相关联。

在本发明的方法的进一步的改进中，确定在接收信号中或者在相位选择性信号中出现的局部最大值的数目，其中局部最大值由以下特征限定，即，阈值Ulimit在处于用来确定全局最大值的终点的时间点t2后面的时间点t3被超过，并且在以后的时间点t4未被超过，建立当可振荡单元无任何附着物时应该存在的局部最大值的最小数目，并且通过把所出现的局部最大值的数目与该最小数目比较来确定附着物是否已经在可振荡单元上形成。例如，可以在测量装置启动时执行无阻尼可振荡单元的基准测量，在此情形中，确定出现的局部最大值数目。如果这个数目在测量操作期间降低或者如果局部最大值甚至完全消失，则能够推导出附着物存在。

根据本发明的解决方案的进一步的改进，定出用来确定全局最大值的终点的时间点t2之后的接收信号或者相位选择性信号的电压值的方差，用于方差的阈值被固定，至少当可振荡单元无附着物时达到该阈值，并且通过把对于方差确定的值与阈值比较来确定附着物是否已经在可振荡单元上形成。方差越高，局部最大值越高。低方差因此与小的最大值相关联，小的最大值又是附着物形成的结果。

根据本发明的另一个进一步的改进，可振荡单元具有共振频率fRES，利用共振频率fRES附近的窄间隔内的频率或者利用在发射信号和接收信号之间存在预定相移

的频率实现可振荡单元的激发，激发被短时间中断，相对于由于激发的中断引起的指数函数的衰减常数评估接收信号，并且根据衰减常数来确立附着物是否已经在可振荡单元上形成。

可振荡单元的激发在该实施例中利用共振频率或者接近共振频率的频率或者利用在发射信号和接收信号之间存在预定相移

的频率发生。例如，这个频率通过经由振荡电路规定相移

而被自动地调谐。例如，通过记录接收信号并且确定最大振幅而确定共振频率。

为了能够经由接收信号检查可振荡单元的衰减行为，激发必须被短时间中断。短时间在此情形中仅意味着这样的时长，即直到接收信号表现出例如达最大值10％的明显的下降，从而衰减常数能够被明确地确定。然后，激发可以继续。其中激发被中断并且衰减常数得以确定的间隔在这种情形中优选地与过程匹配。

在本发明的有利的实施例中，预定相移等于90°。如果可振荡单元以使得相移等于90°的方式被激发，则它利用特征频率振荡。对于空气中振荡的情形，特征频率等于共振频率，并且因此，以此方式，利用共振频率激发是可能的。

在本发明的方法的进一步的改进中，在附着物已经形成的情形中，错误报告被产生并且被输出和/或显示。特别地，错误报告经由总线系统而被发送到控制室。替代地或者补充性地，错误报告能够被以例如经由发光二极管、信号音或者在显示器上的各种方式来显示。

本发明的方法的一个有利的实施例中，在调制的评估中，为局部最大值的数目或者方差预定多个界限值，通过与出现的局部最大值的定出数目或者与定出的方差比较来确定可振荡单元被附着物覆盖的强度，并且相应的错误报告被产生并且被输出和/或显示。通过与多个界限值比较，可以说，在附着程度方面存在等级。如果附着物程度小，则不存在过程变量被不正确确定的现时危险，并且以附着物开始形成的指示形式的警告报告就足够了。如果相反，附着物程度高，则能够输出紧迫的警告报告，该报告要求快速地更换或者清洁测量装置。不同的警告报告能够例如在显示器上出现。

在本发明的方法的一个实施例中，在可振荡单元在空气中振荡的情形中评估接收信号或者相位选择性信号的振幅的时间行为。对于在空气中的振荡，可振荡单元几乎不经历任何阻尼，从而阻尼附着物良好地可检测。

另一个实施例包括，在可振荡单元在介质中振荡的情形中评估接收信号或者相位选择性信号的振幅的时间行为，并且为此，在介质中完成校准测量，其中在可振荡单元上无附着物的行为得以确定。由于介质阻尼而使得对介质中振荡的情形的评估是困难的。为了能够参考附着物形成检查衰减行为，因此，一个选择包括例如在测量装置启动时的基准测量，以确定阻尼介质对于振荡的影响。然后根据示意额外阻尼的对这个行为的偏离能够定出附着物形成。

在本发明的解决方案的进一步的改进中，可振荡单元是膜、带有振荡叉的膜或者振荡杆。一种用于执行本发明的方法的设备包括例如用于确定液体的填充水平、密度或者粘度的电子振动测量装置。可以从本受让人获得、商标为“Liquiphant”的用于在液体中测量的、带有振荡叉的电子振动填充水平测量装置。

附图说明

现在将基于附图更加详细地解释本发明，附图中的图如下地示出：

图1在利用扫描激发的情形中具有调制的接收信号；

图2在不同的附着物量的情形中经过相位加权和低通滤波的接收信号。

具体实施方式

图1示出利用频率扫描(frequency sweep)激发膜的情形中利用膜振荡器记录的接收信号。另外还提供了相位选择性信号。这是当接收信号仅在特定时间点被采样时获得的，用于定出在发射信号和接收信号之间存在预定相移的振荡频率，其中特定时间点被选择为使得当在发射信号和接收信号之间存在预定相移时，在接收信号中的极值和/或零截距被检测并且被适当评估。可以看出，调制(modulation)在未改变的接收信号中发生，并且还在相位选择性信号中发生。在两个信号中的存在意味着在调制期间也发生预定相移

调制通过各种频率的叠加而发生。尽管激发是离散的，频率的叠加仍然是可能的，因为振荡在激发之后不是立即结束，而是指数地降低，因此振荡能量要被存储一定时间。根据当前相移，振荡加强或者减弱。当衰减振荡和新激发的振荡适当叠加时，在相位选择性信号中、并且相应地在接收信号中的最大值出现。因此，预定相移

不仅在定出的使得出现全局最大值的频率的情形下得以满足，而且还在随后的频率的情形下得以满足。然而，在调制期间的振幅更小，从而通过频率扫描确定的频率被明确地确定。共振振荡的指数下降以接收信号的包络的形式清楚地可识别。

图2图示在用于定出发射信号和接收信号之间存在预定相移

的频率的频率扫描的情形下附着物对于相位选择性接收信号的影响。示出了在20ms的时间段中记录的、在膜振荡器不带附着物和带有四种不同附着物量的情形中在低通滤波之后接收的相位选择性信号。附着物的质量越大，相位选择性接收信号的振幅越低。所示曲线是在附着物量为100、200、300和400mg的情况下记录的，这对应于例如膜质量的1-4％。全局最大值减弱，但是在所有的情形中都是能够清楚地检测的。另外，由于振荡的快速衰减，局部最大值的出现已经受到限制，从而其数目降低并且对于更大的附着物量不存在任何局部最大值。

随后，现在将描述用于附着物的检测的两个优选的方法。方法的选择首先依赖于为了确定过程变量如何激发可振荡单元。然而，原则上，激发方法和评估方法的任何组合都是可能的。

在用于附着物检测的第一方法的情形中，通过确定衰减常数，评估在利用发射信号和接收信号之间存在预定相移

的频率来激发可振荡单元之后的接收信号的衰减行为。

当激发是以经由振荡电路固定的相移发生并且不执行任何频率扫描，可振荡单元的激发被短时间中断。当激发是经由频率扫描，激发的中断是不必要的，因为在任何情形中为了频率确定而记录的接收信号也能被用于对附着物的评估。在处于预定相移

的激发下，能量被存储在可振荡单元中，从而它在激发之后的特定时间内继续振荡，其中振荡的振幅f(t)根据下述指数函数随着时间t降低：

f(t)＝A·e^-αt

在这种情形中，A是度量常数并且α是所谓的衰减常数，衰减常数表明指数函数下降的强度。对于利用共振频率激发可振荡单元的情形，在可振荡单元中存在特别大量的动能，从而振荡继续的时间段相应地长。衰减常数α依赖于振荡系统的阻尼。如果阻尼附着物已经在可振荡单元上形成，则振荡的振幅较之无附着物的情形更加强烈地下降。如果例如通过在测量装置启动时进行测量，在无附着物状态中对于可振荡单元的衰减常数α0是已知的，因此通过比较测量操作期间确定的衰减常数α与起始衰减常数α0，能够决定附着物是否已经形成。

在替代的评估方法中，附着物检测通过在接收信号的振幅中的调制的评估发生，在频率扫描中，该调制在时间上跟随在频率扫描要确定的激发器频率下的全局最大值之后。优选地，该评估根据尚未公开的专利申请(申请号DE 10 2009 028022)中描述的方式进行，借助这种方式，调制能够被更好地从噪声隔离。优选地通过暂时地超过预定阈值Ulimit建立全局最大值，其中全局最大值的开始由时间点t1建立，此时阈值Ulimit被首次超过，并且全局最大值的结束由时间点t2固定，此时阈值Ulimit被第二次、然而沿着相反的方向穿越。

相应地，第一局部最大值由时间点t3和t4限定，这里阈值Ulimit被第三次和第四次穿越，等等。在这种情况下，阈值Ulimit被建立以使得它总是高于接收信号的噪声底(noise floor)。在图2中标记的时间点涉及在可振荡单元上无附着物的情况下记录的曲线。

对于调制的评估，有两种方法是特别地有利。现在将如下地描述这些方法。

在第一方法中，确定出现的局部最大值的数目，并且与对于明确无附着物的可振荡单元的接收信号所确定的数目相比较。优选地，在测量装置启动时或者在出厂时进行这种基准测量。在被应用于监测最大填充水平的测量装置的情形中，制造商进行的基准测量是特别适当的，因为基准测量能够在空气中进行并且因此与填充介质无关地执行。替代地，代替局部最大值的准确数目，可以确定局部最大值是否存在。如果不存在任何局部最大值，则危险量的附着物形成已经具高可能性，并且输出报警信号或者将警告发射到控制室。

在用于调制评估的替代方法中，在全局最大值出现之后，对于在时间t2之后记录的所有测量值确定测量值的方差。该方差给出测量值从平均值的偏差。方差越小，曲线越平滑并且最大值和最小值越少出现。低方差因此与调制的消失并且因此与附着物的形成相关联。

标记列表

t1  全局最大值开始的时间点

t2  全局最大值结束的时间点

t3  第一局部最大值开始的时间点

t4  第一局部最大值结束的时间点

Ulimit  为识别最大值而应该由接收信号超过的电压值

Claims (15)

1.一种用于利用可振荡单元确定和/或监测介质的至少一个物理过程变量的方法，

其中发射/接收单元用发射信号激发所述可振荡单元以执行振荡，其中所述可振荡单元的振荡以接收信号的形式被接收，

并且其中基于所述接收信号的频率和/或振幅和/或在发射信号和接收信号之间的相移确定和/或监测所述过程变量，

其特征在于：

根据所述可振荡单元的激发的时间变化来检查和评估所述接收信号的振幅的时间行为，并且由此确定附着物是否已经在所述可振荡单元上形成。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

借助在所述可振荡单元的工作范围中的预定频带内的频率扫描用发射信号来激发所述可振荡单元，以利用一个接一个的离散的激发器频率相继地执行振荡，其中所述可振荡单元具有共振频率fRES，并且其中所述激发器频率中的至少一个处于所述共振频率fRES附近的窄间隔内，

并且相对于以局部最大值和最小值的形式发生在所述接收信号中的调制来评估所述接收信号，

其中检测所述接收信号的局部最大值，当具有所述共振频率fRES附近的窄间隔内的激发器频率的衰减振荡与处于所述扫描中随后的频率的振荡相长叠加时，所述局部最大值出现，并且其中根据检测到的局部最大值的数目和/或高度来检测附着物是否已经在所述可振荡单元上形成。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：

通过所述扫描定出在发射信号和接收信号之间存在预定相移Δφ的振荡频率。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：

根据所述接收信号产生相位选择性信号并且检测所述相位选择性信号的最大值。

5.根据权利要求2或4所述的方法，其特征在于：

相对于根据激发类型产生的指数函数的衰减常数来评估所述接收信号，并且根据所述衰减常数在限定时间段之中的变化来检测附着物是否已经在所述可振荡单元上形成。

6.根据权利要求2-5中至少一项所述的方法，其特征在于：

建立所述接收信号或者所述相位选择性信号的阈值Ulimit，所述阈值在时间点t1被全局最大值超过并且以后在时间点t2未被超过，其中全局最大值在所述共振频率fRES附近的窄间隔内的频率和/或当存在所述预定相移Δφ时的频率下出现，并且其中所述阈值Ulimit未被超过的时间点t2建立所述全局最大值的终点。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于：

确定在所述接收信号中或者在所述相位选择性信号中出现的局部最大值的数目，其中局部最大值由以下特征限定，即，所述阈值Ulimit在用来确定所述全局最大值的终点的时间点t2后面的时间点t3被超过，并且在以后的时间点t4未被超过，建立当所述可振荡单元无任何附着物时应该存在的局部最大值的最小数目，并且通过把出现的局部最大值的数目与所述最小数目做比较以确定附着物是否已经在所述可振荡单元上形成。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于：

定出用来限定所述全局最大值的终点的时间点t2之后的所述接收信号或者所述相位选择性信号的电压值的方差，用于所述方差的阈值被固定，至少当所述可振荡单元不带附着物时达到该阈值，并且通过把对所述方差确定的值与该阈值比较来确定附着物是否已经在所述可振荡单元上形成。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述可振荡单元具有共振频率fRES，

利用所述共振频率fRES附近的窄间隔内的频率或者利用在发射信号和接收信号之间存在预定相移Δφ的频率来实现所述可振荡单元的所述激发，

所述激发被短时间中断，

相对于由于所述激发的中断引起的指数函数的衰减常数评估所述接收信号，并且

根据所述衰减常数来检测附着物是否已经在所述可振荡单元上形成。

10.根据权利要求3-9中至少一项所述的方法，其特征在于：

所述预定相移等于90°。

11.根据前面权利要求中至少一项所述的方法，其特征在于：

当附着物已形成，错误报告被产生并且被输出和/或显示。

12.根据权利要求2-8中至少一项所述的方法，其特征在于：

为局部最大值的数目或者所述方差预定多个界限值，通过与出现的局部最大值的定出数目或者与定出的方差比较来确定所述可振荡单元被附着物覆盖的强度，并且相应的错误报告被产生并且被输出和/或显示。

13.根据前面权利要求中至少一项所述的方法，其特征在于：

在所述可振荡单元在空气中振荡的情况下评估所述接收信号或者所述相位选择性信号的振幅的时间行为。

14.根据前面权利要求中至少一项所述的方法，其特征在于：

在所述可振荡单元在介质中振荡的情况下评估所述接收信号或者所述相位选择性信号的振幅的时间行为，并且为此在所述介质中完成校准测量，其中确定当所述可振荡单元上无附着物时的行为。

15.根据前面权利要求中至少一项所述的方法，其特征在于：

所述可振荡单元是膜、带有振荡叉的膜或者振荡杆。

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