CN102528166A

CN102528166A - 一种研磨式线锯

Info

Publication number: CN102528166A
Application number: CN2012100433259A
Authority: CN
Inventors: 陈盈同; 陈伟恩
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2012-02-24
Filing date: 2012-02-24
Publication date: 2012-07-04
Anticipated expiration: 2032-02-24
Also published as: CN102528166B

Abstract

一种研磨式线锯，包括复数金刚石磨粒藉由金属黏结剂固定于金属线；金刚石磨粒具有含硼的导电钻石，可直接吸附金属离子，可不需要另外再真空蒸镀一层金属(钛)层或形成碳化物层(碳化钛)，可简化线锯的制造程序；由于含硼导电钻石在电镀浴池中，会自然吸附金属离子，自然形成一金属外层，以利附着于金属在线，更方便制造线锯；且由于含硼的导电钻石具有较高的耐温性，更适合做为磨削用的磨料。

Description

一种研磨式线锯

技术领域

本发明涉及一种研磨式线锯，有关用于切割半导体硅单晶铸锭、多晶硅、石英或单晶氧化铝等被加工工件之研磨线锯切断装置之线锯，尤其是有关超耐磨的研磨式线锯。属于磨料磨具技术领域。

背景技术

有多种以不同的方法制造的不同的线锯，例如：台湾专利I291389揭示一种将磨粒固着于线之固定磨粒线，系对线依序施以脱脂步骤、酸洗步骤、水洗步骤以及电镀步骤，将磨粒利用电镀固着于线。台湾公开专利201111106揭示一种金钢石线锯及金钢石线锯之制造方法，系以金属薄膜被覆由镀敷层及金钢石研磨粒所构成之金钢石线锯的外表面，使分散于金属制芯线之外表面的金钢石研磨粒之稳固性高，并且使用时无损于锋利度。

又如台湾专利I249449揭示一种硬焊磨料线锯制法，系将表面涂布有机溶液之钻石和大量的焊料合金粉末加以混拌，使焊料合金粉末均匀沾上钻石表面；将粘有焊料合金粉末之钻石和大量的细粒氧化陶瓷粉末混拌后置入承具中，再置入真空炉中进行加热以将焊料合金粉末加热熔化；将加热工程加热后之混料加以冷却并过滤以获得表面批覆有焊料之钻石粗胚；将钻石粗胚均匀涂布在线锯基材之线材之四周而成为钻石线；将批覆有混料之钻石线经由吹干及绕硬等硬焊制造过程以成为精密之钻石硬焊线锯。

一般的线锯中所使用的钻石磨粒，为了加快电镀的速率及可以将钻石磨粒更加牢固的固定在钢在线，通常会在钻石磨粒上先镀一层金属(镍)层，再放置于电镀浴槽中，使其易于附着在钢在线，增加附着强度。但是钻石是绝缘体，因此需要利用化学气相沉积的蒸镀法，先在钻石的表面蒸镀上一层钛(Ti)，或是形成碳化钛(TiC)层，继而在镀上其它的金属(镍)。钻石磨粒是绝缘体，如果没有电镀金属层，在电镀时，钻石磨粒不会附着金属离子，而是藉由机械力附着卡住，附着强度差，因此若直接使钻石磨粒置于电镀浴槽中，使其附着在钢在线，钻石磨粒将无法牢固的固定在钢在线。

发明内容

为了克服现有技术结构的不足，进一步改进已有的研磨式线锯，本发明提供一种研磨式线锯。

一种研磨式线锯，包括：一金属线；

复数金刚石磨粒，藉由金属黏结剂固定于该金属在线；

该金刚石磨粒具有含硼的导电钻石。

一种研磨式线锯，包括复数金刚石磨粒藉由金属黏结剂固定于金属线，金刚石磨粒具有含硼的导电钻石，钻石磨粒可直接吸附金属离子，可不需要另外再真空蒸镀一层金属(钛)层或形成碳化钛层，可简化研磨式线锯的制造程序。

本申请的另一目的，在提供一种研磨式线锯，具有含硼的导电钻石，由于含硼的导电钻石具有较高的耐温性，更适合做为磨削用的磨料。

本申请的又一目的，在提供一种研磨式线锯，具有含硼的导电钻石，由于含硼导电钻石在电镀浴池中，会自然吸附金属离子，自然形成一金属外层，以利附着于金属在线，更方便制造线锯。

本申请的其它目的、功效，请参阅图式及实施例。

本发明的有益效果包括：

1.金刚石磨粒具有含硼的导电钻石，由于含硼的钻石本身能导电，可直接吸附金属离子，不需要另外再真空蒸镀一层金属(钛)层或形成碳化物层(碳化钛)，可简化研磨式线锯的制造程序。

2.含硼的导电钻石具有较高的耐温性，更适合做为磨削用的磨料。

3.含硼导电钻石在电镀浴池中，会自然吸附金属离子，自然形成一金属外层，以利附着于金属在线，更方便制造线锯。

4.当钻石颗粒在电镀浴中泡置一段时间，钻石吸附的金属层会过厚，如使用含硼的导电钻石，可易于移除表面的金属，例如可直接蚀刻移除，不需考虑钛的碳化物(TiC)层，简化制造过程。

附图说明

当结合附图考虑时，通过参照下面的详细描述，能够更完整更好地理解本发明以及容易得知其中许多伴随的优点，但此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定，其中：

图1为本申请研磨式线锯的外观示意图。

图2为本申请研磨式线锯的剖面示意图。

图3为本申请研磨式线锯部分放大的剖面示意图。

【主要组件符号说明】

研磨式线锯1；金刚石磨粒10；含硼的导电钻石微粒11；内镀膜层12；外镀膜层13；金属线20；金属线的表面201；金属黏结剂21；

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

具体实施方式

显然，本领域技术人员基于本发明的宗旨所做的许多修改和变化属于本发明的保护范围。

实施例1：如图1、2所示，本申请研磨式线锯1，包括复数金刚石磨粒10及一金属线20；复数金刚石磨粒10藉由金属黏结剂21固定于金属线20上。

如图1、3所示，本申请的金刚石磨粒10具有含硼的导电钻石，本身能导电，可直接吸附金属离子，不需要另外再真空蒸镀一层金属(钛)层或形成碳化钛层，可简化研磨式线锯的制造程序。

如图3所示，本申请的金刚石磨粒10也可包括一含硼的导电钻石微粒11；含硼的导电钻石微粒11的外表面依序电镀一内镀膜层12及一外镀膜层13。内镀膜层12结合含硼的导电钻石微粒11的外表面；外镀膜层13结合内镀膜层12的外表面；金属黏结剂21结合金属线20的表面201及第二镀膜层13的外表面，使复数金刚石磨粒10固定于金属线20上。

本申请的钻石微粒10的粒度可为5-50μm(微米)，具有磁性，含硼量可为0.01％-3％。第一镀膜层12的材质可为碳化钛(TiC)或碳化铬(CrC)或碳化硅(SiC)或碳化钨(WC)或碳化钼(MoC)等；第二镀膜层13的材质可为镍(Ni)或铜(Cu)或钛(Ti)或铬(Cr)等。含硼的导电钻石微粒10的含硼量多时，其导电率增加而会提升电镀的效率及制作线锯的效率。

本申请的金属线20的线径可为0.05毫米(mm)-0.3毫米(mm)，其材质可为选自含有铁、镍、钴、铬、钨、钼以及含有其任一之合金中至少一者所组成者。

本申请的金属黏结剂21的材质可为镍或镍合金，可利用电镀或硬焊等制造过程，使复数金刚石磨粒10稳固的固定于金属线20上。

如上所述，对本发明的实施例进行了详细地说明，但是只要实质上没有脱离本发明的发明点及效果可以有很多的变形，这对本领域的技术人员来说是显而易见的。

以上所记载，仅为利用本申请技术内容之实施例，任何熟悉本项技艺者运用本申请所为之修饰、变化，皆属本申请主张之保护范围，而不限于实施例所揭示者。因此，这样的变形例也全部包含在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种研磨式线锯，包括：

一金属线；

复数金刚石磨粒，藉由金属黏结剂固定于该金属在线；

其特征在于：该金刚石磨粒具有含硼的导电钻石。

2.如申请权利要求1所述之研磨式线锯，其特征在于其中该金刚石磨粒的粒度为5微米-50微米。

3.如申请权利要求2所述之研磨式线锯，其特征在于其中该金刚石磨粒的含硼量为0.01％-3％。

4.如申请权利要求3所述之研磨式线锯，其特征在于其中该金刚石磨粒包括一外镀膜层；该外镀膜层的材质为镍、铜、钛或铬其中之一。

5.如申请权利要求4所述之研磨式线锯，其特征在于其中该金刚石磨粒包括一含硼的导电钻石微粒；该含硼的导电钻石微粒的外表面依序电镀一内镀膜层及该外镀膜层；该内镀膜层结合该含硼的导电钻石微粒的外表面；该外镀膜层结合该内镀膜层的外表面；该内镀膜层的材质为碳化钛、碳化铬、碳化硅、碳化钨或碳化钼其中之一。

6.如申请权利要求5所述之研磨式线锯，其特征在于其中该金属黏结剂结合该金属线的表面及该第二镀膜层的外表面。

7.如申请权利要求1至6中任一项所述之研磨式线锯，其特征在于其中该金刚石磨粒具有磁性。

8.如申请权利要求1至6中任一项所述之研磨式线锯，其特征在于其中该金属线的材质为选自含有铁、镍、钴、铬、钨、钼及含有其任一之合金中至少一者所组成者。

9.如申请权利要求8所述之研磨式线锯，其特征在于其中该金属线的线径为0.05毫米-0.3毫米。

10.如申请权利要求9所述之研磨式线锯，其特征在于其中该金属黏结剂的材质为镍或镍合金其中之一。

11.如申请权利要求7所述之研磨式线锯，其特征在于其中该金属线的材质为选自含有铁、镍、钴、铬、钨、钼及含有其任一之合金中至少一者所组成者。

12.如申请权利要求11所述之研磨式线锯，其特征在于其中该金属线的线径为0.05毫米-0.3毫米。

13.如申请权利要求12所述之研磨式线锯，其特征在于其中该金属黏结剂的材质为镍或镍合金其中之一。