CN102490278A - 线切割晶体激光仪定向切割方法 - Google Patents
线切割晶体激光仪定向切割方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102490278A CN102490278A CN201110389565XA CN201110389565A CN102490278A CN 102490278 A CN102490278 A CN 102490278A CN 201110389565X A CN201110389565X A CN 201110389565XA CN 201110389565 A CN201110389565 A CN 201110389565A CN 102490278 A CN102490278 A CN 102490278A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- crystal
- cutting
- laser
- axle
- line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110389565.XA CN102490278B (zh) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | 线切割晶体激光仪定向切割方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110389565.XA CN102490278B (zh) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | 线切割晶体激光仪定向切割方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102490278A true CN102490278A (zh) | 2012-06-13 |
CN102490278B CN102490278B (zh) | 2014-07-16 |
Family
ID=46182160
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201110389565.XA Active CN102490278B (zh) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | 线切割晶体激光仪定向切割方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102490278B (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103101121A (zh) * | 2013-01-06 | 2013-05-15 | 保定科瑞晶体有限公司 | 一种碳化硅单晶切割线定位的方法 |
CN104908167A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-16 | 洛阳鸿泰半导体有限公司 | 一种硅棒晶向调节装置 |
CN105127883A (zh) * | 2015-06-26 | 2015-12-09 | 中国科学技术大学 | 用于制备表面为特定晶面的单晶空间取向调控方法和装置 |
CN112026030A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-12-04 | 山西烁科晶体有限公司 | 一种晶体单线调向切割方法 |
CN114030095A (zh) * | 2021-06-01 | 2022-02-11 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 激光辅助定向粘接装置及方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5839424A (en) * | 1996-04-16 | 1998-11-24 | Hct Shaping System Sa | Process for the orientation of several single crystals disposed side by side on a cutting support for their simultaneous cutting in a cutting machine and device for practicing this process |
US6055293A (en) * | 1998-06-30 | 2000-04-25 | Seh America, Inc. | Method for identifying desired features in a crystal |
CN1439495A (zh) * | 2003-04-02 | 2003-09-03 | 南开大学 | 准确定向切割晶体的方法 |
CN1441459A (zh) * | 2002-02-25 | 2003-09-10 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种晶体的激光定向方法 |
CN1529647A (zh) * | 2001-06-13 | 2004-09-15 | 用于确定晶面相对于晶体表面定向的设备和方法以及用于在切割机内切割单晶体的设备和方法 | |
JP2004306536A (ja) * | 2003-04-10 | 2004-11-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ワイヤソー切断方法とそのための設備 |
JP4188983B2 (ja) * | 2006-06-19 | 2008-12-03 | 東芝Itコントロールシステム株式会社 | 結晶方位決定装置 |
-
2011
- 2011-11-30 CN CN201110389565.XA patent/CN102490278B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5839424A (en) * | 1996-04-16 | 1998-11-24 | Hct Shaping System Sa | Process for the orientation of several single crystals disposed side by side on a cutting support for their simultaneous cutting in a cutting machine and device for practicing this process |
US6055293A (en) * | 1998-06-30 | 2000-04-25 | Seh America, Inc. | Method for identifying desired features in a crystal |
CN1529647A (zh) * | 2001-06-13 | 2004-09-15 | 用于确定晶面相对于晶体表面定向的设备和方法以及用于在切割机内切割单晶体的设备和方法 | |
CN1441459A (zh) * | 2002-02-25 | 2003-09-10 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种晶体的激光定向方法 |
CN1439495A (zh) * | 2003-04-02 | 2003-09-03 | 南开大学 | 准确定向切割晶体的方法 |
JP2004306536A (ja) * | 2003-04-10 | 2004-11-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ワイヤソー切断方法とそのための設備 |
JP4188983B2 (ja) * | 2006-06-19 | 2008-12-03 | 東芝Itコントロールシステム株式会社 | 結晶方位決定装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
蓝国祥: "红宝石晶体的激光定向", 《硅酸盐学报》, 30 September 1986 (1986-09-30) * |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103101121A (zh) * | 2013-01-06 | 2013-05-15 | 保定科瑞晶体有限公司 | 一种碳化硅单晶切割线定位的方法 |
CN104908167A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-16 | 洛阳鸿泰半导体有限公司 | 一种硅棒晶向调节装置 |
CN105127883A (zh) * | 2015-06-26 | 2015-12-09 | 中国科学技术大学 | 用于制备表面为特定晶面的单晶空间取向调控方法和装置 |
CN105127883B (zh) * | 2015-06-26 | 2017-10-03 | 中国科学技术大学 | 用于制备表面为特定晶面的单晶空间取向调控方法和装置 |
CN112026030A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-12-04 | 山西烁科晶体有限公司 | 一种晶体单线调向切割方法 |
CN114030095A (zh) * | 2021-06-01 | 2022-02-11 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 激光辅助定向粘接装置及方法 |
CN114030095B (zh) * | 2021-06-01 | 2024-04-19 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 激光辅助定向粘接装置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102490278B (zh) | 2014-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102490278A (zh) | 线切割晶体激光仪定向切割方法 | |
CN205438085U (zh) | 板材的周缘加工装置 | |
CN102490279B (zh) | 线切割晶体x射线衍射定向切割方法 | |
CN102490277A (zh) | 线切割晶体作图定向切割法 | |
CN103234991B (zh) | 一种晶体材料晶向的测量方法 | |
CN104439698A (zh) | 用于激光加工系统的标定方法及装置 | |
CN102455259A (zh) | 平面tem样品制取方法 | |
CN206348537U (zh) | 面向纸海图作业的双色光源光路合束装置 | |
US9047671B2 (en) | Platelike workpiece with alignment mark | |
CN102937418A (zh) | 一种扫描式物体表面三维形貌测量方法及装置 | |
KR102186214B1 (ko) | 가공 장치에서의 웨이퍼의 중심 검출 방법 | |
CN103597314A (zh) | 带状体的端部位置检测装置和带状体的端部位置检测方法 | |
CN105241718A (zh) | 一种tem样品制备方法 | |
KR20170000320A (ko) | 스크라이브 장치 | |
KR102344826B1 (ko) | 집광점 위치 검출 방법 | |
CN103424103A (zh) | 一种近景大幅面数字摄影测量系统 | |
JP5211904B2 (ja) | 単結晶材料の面方位合わせ装置および面方位合わせ方法 | |
CN1201915C (zh) | 准确定向切割晶体的装置及其方法 | |
US11011393B2 (en) | Cutting apparatus | |
CN104503144A (zh) | 一种液晶显示基板 | |
CN104269365A (zh) | 晶圆移除量的测量装置以及测量方法 | |
CN103728989A (zh) | 一种划片机回转轴中心位置调整方法、装置及划片机 | |
CN103398678B (zh) | 用于航摄飞机内部测量gps偏心分量的装置及测量方法 | |
CN101504266A (zh) | 硅片检测工具及检测方法 | |
CN203811150U (zh) | 一种细圆柱工件表面粗糙度的快速检测装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: ERMEI INSTITUTE OF SEMICONDUCTOR MATERIAL Free format text: FORMER OWNER: DONGFANG ELECTRIC EMEI SEMICONDUCTOR MATERIAL CO., LTD. Effective date: 20131115 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20131115 Address after: 614200 No. 88 Fu Bei Road, Mount Emei, Sichuan, Leshan Applicant after: Emei Semiconductor Material Institute Address before: 614200 No. 88 Fu Bei Road, Mount Emei, Sichuan, Leshan Applicant before: Dongfang Electric EMEI Semiconductor Material Co.,Ltd. |
|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |