CN102472870B - 光学纤维互连装置 - Google Patents

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Abstract

一种互连装置(10)，包括在其中形成有至少一个沟槽(22)的基板(22)。所述沟槽包括第一侧壁和第二侧壁(42、44)以及设置在侧壁的一个端部处的第一端部(54)。所述装置还包括设置在所述沟槽(22)中的光学纤维(30)，而所述光学纤维具有圆柱本体(112)、形成在所述圆柱本体的一个端部上的端面114和形成在所述端面上的多面式反射部110。所述装置还具有光源(40)，所述光源适配成向所述多面式反射部(110)传输光，以使光穿过所述光学纤维(30)。

Description

光学纤维互连装置
技术领域
本文的主题总体涉及一种光纤装置，更具体地说，涉及一种具有成形的光学纤维端面反射部(mirror)的互连装置，所述端面反射部能实现紧凑型直角源发射组件。
背景技术
光纤的应用多种多样。光学纤维作为传输数字数据(包括声音数据)的介质的使用变得越来越常见了，原因是利用光学传输系统可获得的高可靠性和大带宽。这些系统的基础是用于传输和/或接收光学信号的光学组件。
用于传输光学信号的一种常规装置包括在其中形成有沟槽以固定光学纤维的硅基板。基板用作光学组件的主基台，并且还用于将光学纤维固定在固定位置中。常规沟槽优选通过蚀刻基板而形成为“V”形，以包括沿其长度保持光学纤维的两个侧壁和用作反射部装置的端面。常规V形沟槽具有特定的俯仰角α，其是V形沟槽的壁与在其中蚀刻出V形沟槽的顶面或者基准面之间的角度。侧壁和端面中的每一个通常由于硅的晶态结构而以从基准面起的54.7度的精确角度形成。
操作期间，常规装置V形通道的端面被金属化，以使它可以用作向光学纤维中发射光的反射部。具体说，光源向V形通道端面反射部上发出圆锥形的光束。V形通道端面反射部反射光穿过光学纤维的端部。如上所述，V形通道端面的表面与基准面精确地呈54.7度的角度。如此一来，光以从基准面起的大致-9.3度穿过光学纤维反射离开通道端面反射部。然而，利用通道的端面反射部来发射光穿过光学纤维的端部的现有装置使大量光反射偏离光学纤维的轴，导致非最佳的信号传输性能。
发明内容
根据本发明，一种互连装置包括在其中形成有至少一个沟槽的基板。所述沟槽包括第一侧壁和第二侧壁以及设置在侧壁的一个端部处的第一端部。所述装置还包括设置在所述沟槽中的光学纤维，而所述光学纤维具有圆柱本体、形成在所述圆柱本体的一个端部上的端面和形成在所述端面上的多面式反射部。所述装置还具有光源，所述光源适配成向所述多面式反射部传输光，以使光穿过所述光学纤维。
附图说明
现在将参考附图通过示例来描述本发明，附图中：
图1是本发明一实施例的示例性互连装置的顶端透视图。
图2是本发明一实施例的图1所示示例性互连装置的底端透视图。
图3是本发明一实施例的图1和2所示的基板的顶端透视图。
图4是本发明一实施例的图3所示的基板的端部截面图。
图5是在本发明一实施例中安装在图1所示互连装置中的示例性光学纤维的侧视截面图。
图6是在本发明一实施例中可以形成到光学纤维上的示例性多面式反射部的示意图。
图7是图6所示多面式反射部的正视图。
图8是用于形成图6所示反射部所进行的多次切割或者劈切的侧视图。
图9是图8所示光学纤维在第一系列的切割或者劈切完成后的正视图。
具体实施方式
图1是本发明一实施例的示例性互连装置10的顶端透视图。图2是本发明一实施例的图1所示示例性互连装置10的底端透视图。互连装置包括基板20，所述基板具有两个部分21、23，每个部分21、23在其中形成有至少一个沟槽22。互连装置10还包括设置在每个相应沟槽22中的光学纤维30。在一个实施例中，光学纤维30是具有多面式端面反射部110(图5所示)的多模光学纤维。光学纤维30具有大致80微米的外径。可选地，光学纤维30是单模纤维。应该意识到的是，本文所述互连装置10可以构造成以任意类型的光学纤维进行操作。
互连装置10还包括光源40，所述光源构造成通过光学纤维30向相应检测器32传输一束光。在示例性实施例中，光源40是垂直空腔表面发射激光器(VCSEL)。可选地，光源40可以实施为例如发光二极管(LED)或者其它的半导体发光装置。VCSEL是构造成从VCSEL的顶面垂直地发射一束光的半导体激光二极管。操作时，VCSEL发射一束光通过光学纤维30的侧部(例如通过光学纤维的包覆层)。光于是从多面式端面反射部110反射，并传输穿过光学纤维30至检测器32。
再次参考图1，在一个实施例中，检测器32可以构造成接收来自光学纤维30的光学信号，例如检测器32构造在基板20上，并通过接触件34、接触件36和基板通路孔38(均在图5中示出)，以及挠性电路270电气地连接至图2所示的接收器电路292。光源40与检测器32通过接触件34、36的连接将在以下更详细地论述。
在示例性实施例中，互连装置10包括形成在基板20中的N个沟槽22。互连装置10还包括N个光学纤维30，其中单个光学纤维30设置在单个相应沟槽22中。此外，互连装置10包括N个光源40，其中每个光源40传输光通过安装在相应沟槽22中的相应光学纤维30。在一个实施例中，N大于1。可选地，N可以等于1。在本文示出的示例性实施例中N等于六。
图3是本发明一实施例的图1和2所示的基板部分21的顶端透视图。图4是本发明一实施例的图3所示的基板部分21的端部截面图。应该意识到的是，基板部分21大致与基板部分23相同，因此下面只描述基板部分21。在示例性实施例中，基板20是被蚀刻成形成多个V形沟槽22的硅晶片。包括V形沟槽22的基板20用作光学安装平台，所述光学安装平台基本消除或者降低主动对齐与基板20联接的多个不同部件的需求。更具体地说，对于待光学地对齐的部件，它们必须沿x、y和z轴相对于彼此保持成精确的空间关系。(z轴通常是光轴。)
主要存在两种对齐途径来在一平台上对齐光学部件，即主动对齐和被动对齐。在主动对齐中，光学部件被放置在平台上，但是在附着于平台前，在操作各部件的同时将光学信号传输穿过各部件以提供最佳的光学性能。一旦获得了最佳性能，则将各部件附着至平台。在被动对齐中，通常在部件上以及在待安装部件的平台上直接制造对准或者对齐特征。然后使用对齐特征在平台上定位各部件，并将之附着就位。在示例性实施例中，互连装置10包括多个不同的对齐特征，它们能使光学部件在基板20被动地对齐。一种这样的对齐特征是允许光学纤维30沿图3所示Z轴或者光轴24对齐的沟槽22。其它对齐特征在以下更详细地论述。在示例性实施例中，每个V形沟槽22沿Z轴24对齐，使得多个V形沟槽22配置成平行构造。
在示例性实施例中，基板20是用于附接光学部件的基台。此外，基板20用作用于支承和对齐附接于其上的光学部件的背骨。基板20由可以被蚀刻或者机械加工以形成V形沟槽22的刚性材料制成。例如，基板可以由具有晶态形式的基本材料、聚合材料、玻璃材料、陶瓷材料制成，例如金属或者半金属的氧化物、氮化物、碳化物、硼化物和硅化物，及其组合。其它适当的材料包括水晶材料和金属材料。在示例性实施例中，基板20通过硅材料制成，例如硅晶片。
再次参考图4，每个V形沟槽22包括第一侧壁42、第二侧壁44和底面46。第一和第二侧壁42、44以及底面46的组合形成具有平坦底面46的大致V形的沟槽。V形沟槽22具有形成为相反于底面46的开口48。开口48在基板20的表面76处具有沟槽宽度50，所述沟槽宽度50大于底面46的宽度52，以便能使光学纤维30至少部分地设置在沟槽22内。开口48的沟槽宽度50在大致125到175微米之间。在示例性实施例中，沟槽宽度50大致为150微米，以便能使直径大致为80微米的光学纤维定位在沟槽22中。
再次参考图3，每个沟槽22还包括第一端部54和形成在沟槽22的远端端部58处的开口56。具体说，侧壁42和44、底面46、第一端部54以及开口58的组合限定出在上表面处打开以及在远端端部处打开以便能使光学纤维插入其中的V形沟槽。在示例性实施例中，如图3所示，每个沟槽22与相邻沟槽22分离一预限定距离60。预限定距离60是从第一沟槽64的中心线62到相邻沟槽68的中心线66测得的。预限定距离60基于沟槽22的宽度50。例如，在示例性实施例中，光学纤维30的直径大致为80微米，而预限定距离60大致为250微米。此外，如果使用直径大于80微米的光学纤维30，则预限定距离60可以大于250微米。此外，如果光学纤维30具有小于80微米的直径，则预限定距离60可以小于250微米。
如图4所示，每个V形沟槽22还形成为具有预限定深度70。预限定深度70基于待安装于沟槽22中的光学纤维的直径。例如，在示例性实施例中，光学纤维30具有大致80微米的直径，例如光学芯子加上包围光学芯子的包覆材料的直径大致为80微米。在该情况下，预确定深度70大于80微米。在示例性实施例中，沟槽22的深度70大于待安装于沟槽中的光学纤维的直径，以使纤维不会接触沟槽底面46。沟槽的宽度50选择成使得光学纤维的一部分延伸到在其中形成有沟槽22的基板20的表面76上方，并且纤维将只接触沟槽侧壁42、44，用于被动对齐。应该意识到的是，沟槽22的宽度50和深度70是基于待安装于沟槽22中的光学纤维的直径而确定的。
V形沟槽22是通过蚀刻工艺形成在基板20中的。在示例性实施例中，V形沟槽22是通过湿蚀刻工艺限定在基板20中的。从成本有效性和精度观点来说湿蚀刻是优选的，因为比起干蚀刻，极其精确的湿蚀刻技术能够更轻松地在大规模基础上进行。因此，在一优选实施例中，基板20具有晶态形式，以便能使用湿蚀刻技术来形成具有可预测形状和/或几何结构的V形沟槽22。
如图4所示，沟槽侧42/44和第一端部54各自被蚀刻至预确定角度74。在一个实施例中，预确定角度74在53-56度之间。在示例性实施例中，预确定角度74大致为54.7度。预确定角度74是指在其中蚀刻有V形沟槽的基板20的V形沟槽侧42/44与表面76之间的角度。预确定角度74取决于所使用的蚀刻技术以及被蚀刻的材料。例如，由于硅的晶态结构，能够在湿蚀刻于硅中的V形沟槽中实现可预测的和高精确的54.7度角。
图5是安装于相应沟槽22中的示例性光学纤维30的侧视截面图。光学纤维30包括芯子100和包围芯子100的包覆层102。光学纤维还可以包括包围包覆层102的保护性覆盖材料104。保护性覆盖材料104的示例在图1和2中示出。如上所述，在示例性实施例中，光学纤维30具有大致为80微米的外径106。外径106包括芯子100和包覆层102两者。
沟槽22的第一端部54被蚀刻成在示例性实施例中大致为54.7度的预确定角度74。如上所述，至少一种已知的常规装置利用通道的端部(例如第一端部54)来发射光通过光学纤维。然而，常规装置使大量光反射离开光学纤维，导致非最佳的信号传输性能。如此一来，在本文所述的示例性实施例中，光学纤维30形成为包括多面式反射部110。
更具体地说，光学纤维30包括圆柱本体112，该圆柱本体112在其一端形成有端面114。光学纤维30的端面114然后被修改成形成多面式反射部110。具体说，制造期间，在一个实施例中，端面114被劈切以形成多面式反射部110。端面劈切可以利用激光器劈切装置(未示出)来实现。可选地，端面114可以使用适合于移除光学纤维端面114的一部分的任何其它装置来劈切。例如，可以使用蚀刻技术，通过研磨和抛光端面114，和/或使用光刻技术向纤维端面114添加和/或去除材料，来使端面114形成为多面式反射部110。
在示例性实施例中，劈切端面114的激光器能使特定的表面轮廓，即多面式反射部110，加工到多模纤维端面114上。此外，向端面114施加涂层116，能使光学纤维30，包括一体化的多面式反射部110，永久地且稳定地与光学纤维30的中心光轴对齐。通过相对于源(VCSEL或者LED)定位一体化反射部110和光学纤维30，于是能够向多模纤维波导中发射特定的模式能量分布(mode power distribution)。这将允许用于特定模式能量分布发射条件的源规格满足简单、低成本且稳定(对环境&长时间)的封装途径。更具体地说，通过组合多面式反射部110和湿蚀刻V形沟槽22，包括多面式反射部110的一体化光学纤维30能够通过简单的机械组装高精度地经由V形沟槽22被动地对齐至基板20。
图6是可以被蚀刻到例如光学纤维30等光学纤维上的一个示例性多面式反射部110的示意图。图7是图6所示多面式反射部110的正视图。在示例性实施例中，多面式反射部110包括多个平坦分区120，在本文也称为反射部分区。平坦分区120各自定位或者形成为沿光学纤维30的纵轴提供最佳的光反射。具体说，平坦分区120各自被蚀刻成使得从光源40(图1所示)发出的光束以最佳角度进入每个平坦分区120，以便能使光束传输穿过光学纤维30。
如图6和7所示，平坦分区120中的每一个是基于一对角度识别符122得以定位或者蚀刻的。这对角度识别符(α，β)相对于Z轴和Z轴的45度旋转线限定出每个平坦分区120的复杂角度。Z轴大致平行于延伸穿过光学纤维30的中心线轴，例如图3所示的中心线62或66。
例如，如图6所示，一个示例性平坦分区130是使用一对角度识别符(45，0)来蚀刻的。在该情况下，平坦分区130相对于Z轴以45度的角度形成，而相对于Z轴的45度旋转线以0度形成，所述Z轴的45度旋转线形成作为平坦分区130的面的法线的轴。此外，另一示例性平坦分区134是以一对角度识别符(45，-5)蚀刻的。具体说，平坦分区134相对于Z轴以45度的角度蚀刻出，而相对于平坦分区130的面以-5度的角度蚀刻出。如图6和7所示，每个平坦分区120是基于各自的一对角度识别符(α，β)形成或者蚀刻出的。在示例性实施例中，角度识别符(α，β)选择成使光穿过光学纤维30的传输最佳化。
如上所述，每个平坦分区120是使用一对角度识别符(α，β)形成的，所述一对角度识别符选择成使光在多面式反射部110上的特定点处的传输最佳化。更具体地说，光学纤维30以多个不同角度得到劈切，以限定出平坦分区120。例如，图8是相对于Z轴进行多次切割或者劈切以形成如上所述的角度α的侧视图。图9是沿Z轴进行切割或者劈切后的光学纤维30的正视图。应该意识到的是，本文所述的形成多面式反射部110的方法是相对于直径大致为80微米的光学纤维描述的。然而，还应该意识到的是，角度识别符以及蚀刻每个平坦分区120的方法可以基于光学纤维的直径进行修改。例如，假设光学纤维具有125微米的外径，则角度识别符可以修改为使穿过具有125微米外径的光学纤维的光传输最佳化。
再次参考图8，在示例性实施例中，用于形成多面式反射部110的切割1或者劈切1的第一部分150是从光学纤维30的第一侧140向光学纤维30的第二侧142进行的。在本实施例中，第一侧140设置成邻近光源40，并从光源40接收光。此外，第二侧142相反于第一侧140，并设置在V形沟槽22中。如图7和8所示，切割1的第一部分150是通过以大致54.7度的角度激光蚀刻光学纤维来进行的。在本示例中，角度识别符α大致等于54.7，使得第一切割150是相对于Z轴以大致54.7度的角度进行的。此外，为了改善制造时间，第一切割150是沿光学纤维30的整个宽度进行的。
切割1的第二部分152是以大致50度的角度激光蚀刻光学纤维30的一部分来进行的，例如α大致等于50.0度。如图8所示，激光蚀刻工具被重新定位，以使切割1的第二部分152在从光学纤维30的第一侧140起的大致30微米的深度处开始，并在从光学纤维30的第一侧140起的大致35微米的深度处结束。当切割1的第二部分152完成后，清楚的是第一平坦分区160和第二平坦分区162得以形成。第一平坦分区160和第二平坦分区162还在图9中示出。
切割1的第三部分154是以大致45度的角度激光蚀刻光学纤维30的一部分来进行的，例如α大致等于45.0度。更具体地说，激光蚀刻工具被重新定位，以使切割1的第三部分154在从第一侧140起的大致35微米的深度处开始，并延伸至从第一侧140起的大致45微米的深度。
切割1的第四部分156是以大致40度的角度激光蚀刻光学纤维30的一部分来进行的，例如α大致等于40.0度。更具体地说，激光蚀刻工具被重新定位，以使切割1的第四部分156在从第一侧140起的大致45微米的深度处开始，并在第二侧142处结束。当切割1的第四部分156完成后，清楚的是第三平坦分区164和第四平坦分区166得以形成。第三平坦分区164以大致等于45度的角度α从第二平坦分区162延伸至大致45微米的深度。第四平坦分区166以大致等于40度的角度α从第三平坦分区164延伸至第二侧142。第三和第四平坦分区164、166还在图9中示出。
再次参考图6和8，当切割1或劈切1的四个部分(150、152、154和156)如图8所示沿Z轴完成后，如图6所示，以角度+/-β关于Z轴的45度旋转线进行额外的切割，即切割2(157)和切割3(159)或者劈切2和劈切3，切割2和切割3在从光学纤维30的中心光轴起大致+/-5微米的距离处开始，并继续至光学纤维30的边缘，从而在光学纤维30上形成多面式反射部110。
如上所述，图7和8示出和描述了示例性切割或者劈切，它们可以被进行以在具有80微米直径的光学纤维上形成多面式反射部的一部分。在另一示例性实施例中，可以劈切具有125微米的直径的光学纤维来形成多面式反射部110。例如，在在纤维上的切割在进行时，调节激光劈切。更具体地说，对于第一个32.5微米的y轴移动，z轴移动被程序化为相对于光学纤维30的例如Z轴或者中心光轴62或64给予54.7度角的切割。对于下一个20微米的y轴移动，z轴移动被程序化为提供52度的角度。紧接着进行给予50度角度的5微米的y轴移动，然后以45度再行进10微米，紧接着以40度再行进5微米，最后以38度再行进52.5微米。一旦已切割出垂直轮廓角度后，在Y-Z平面中旋转纤维45度。接着，使用激光劈切来将新表面额外地轮廓化成关于纤维中心线的突出横向地呈0度、+/-5度和+/-7度的表面。这些额外的轮廓限制来自VCSEL或者LED的光束的横向传播。
再次参考图5，当已蚀刻出端面平坦分区120后，向多面式反射部110的外表面施加反射性涂层116。操作期间，反射性涂层116能使传输穿过光学纤维的光反射离开反射表面而通过光学纤维30。为了促进涂覆多面式反射部，邻接光源40的光学纤维30的外表面的至少一部分117被掩蔽，以防止金属化或者涂覆。该被掩蔽的区域起着允许去往/来自多面式反射部110的光束路径的窗口117的作用。在示例性实施例中，反射性涂层116直接施加至多面式反射部110以及芯子和光学纤维端面的周围区域的至少一部分。在一个实施例中，反射性涂层116是厚度大致为1微米的反射性金属材料。可选地，也可以利用其它反射性涂层。在另一实施例中，为了监测从光源40发出的光学能量，可以穿过反射部涂层116形成小的孔口121，以允许所发出能量的一部分穿过多面式反射部110，并前进穿过基板20，到放置于基板20的背侧的大面积监测检测器(未示出)。为了满足用于模式能量分布的源发射需求，可以将最低级模式成分(mode content)的一部分用于该监测功能。
如图5所示，为了将光学纤维30安装到互连装置10中，光学纤维30被定位在V形沟槽22中，并被向前推送直到光学纤维30的端部接触沟槽第一端部54。更具体地说，在上述示例性实施例中，平坦分区120中的至少一个被蚀刻成提供光学纤维30已接触第一端部54的物理标识。在上述示例性实施例中，平坦分区212被蚀刻成具有大致为54.7度的角度α。此外，第一端部54以54.7度的角度形成。如此一来，平坦分区212还用作止动装置，以便能使安装者确定光学纤维30已恰当地定位在沟槽22中。当光学纤维30接触第一端部54时，光学纤维30得以恰当地定位在沟槽22中。此外，在此时，多面式反射部110相对于一已知位置得到精确地定位，所述已知位置由V形沟槽第一端部54与硅晶片的表面的交点(如图1、3和5所示的端面基准E)形成。
然后，例如，使用紫外线粘结剂将光学纤维30固定在沟槽内。此外，当光学纤维30得以恰当地定位在沟槽22内时，光学纤维30的至少一部分延伸到沟槽22上方达一尺寸D1。在示例性实施例中，D1大致为3.2微米，因此光学纤维30的大致3.2微米延伸到沟槽22上方。此外，光学纤维30的至少一部分延伸超出沟槽22达一尺寸D2。在示例性实施例中，D2大致为2.3微米，因此光学纤维的大致2.3微米延伸超出沟槽22的端面基准E。该定位能使光源40相对于多面式反射部110恰当地对齐。具体说，该定位能使从光源40传来的光进入如上所述的居中定位的平坦分区130(图6所示)。具有一体化多面式反射部110的光学纤维30在光学纤维30的端面114接触沟槽22的第一端部54时恰当地对齐于光源40，从而将反射部分区130的中心定位在源40的光学孔口的中心的正下方。
如图5所示，当光学纤维30恰当地定位在沟槽22内时，在光源40与光学纤维30之间限定出一个间隙260。在示例性实施例中，间隙260填充有光学透明材料262。在示例性实施例中，材料262具有这样一种折射率，其选择成增强光源40与光学纤维30之间的联接，以使该界面处的反射最小化。材料262的选择可以包括聚对二甲苯、环氧树脂、硅树脂或者若干透明模具未充满材料。此外，材料262还提供光电子模具的环境保护，并且防止水分得以进入光源40与光学纤维30的窗口表面117之间的光学界面。
如图1和5所示，为了能使光源40电气地连接至光源驱动器电路290，互连装置10利用接触件34来提供从光源40到向光源40提供能量的光源驱动器电路290的接地-信号-接地电气连接。这些接触件34通过晶片通路孔38电气地连接至晶片背侧电气传导接触件36(如图2和5所示)。使用电气挠性电路270来将装置10互连至光源驱动器电路290。
再次参考图1，在示例性实施例中，每个光源40通过多个衬垫250固定至基板20。在示例性实施例中，安装衬垫250通过高精确光刻技术设置在基板20上，以在基板20的表面上以从第一端部54到端面基准E的预确定距离252定位金属安装衬垫250。此外，安装衬垫250骑跨各个相应的沟槽22。在示例性实施例中，安装衬垫250的阵列定位成与形成在光源40上的安装衬垫的另一阵列对齐。如此一来，安装衬垫250的阵列的位置是基于所使用的光源40得到确定的。在另一实施例中，安装衬垫250可以通过镀覆技术或者蒸发沉积技术安装在基板20上。此外，安装衬垫250可以通过例如金、锡或者不同比例的金和锡等金属性材料制成。然后将包含光源40的光电子模具对齐至安装衬垫250。这是在光源上使用相同的金属衬垫阵列(其相对于模具上的主动光孔口得以精确地定位)来完成的。将例如锡或者金等焊料添加至光源40上的该第二金属衬垫阵列，并在使光源40于一与金属衬垫阵列粗略对齐的位置连结至基板20后，使焊料回流以将光源40被动地对齐至期望位置。
应该意识到的是，光源40在本文中描述为单个和分离的光源，光源40可以作为包括多个光源40的单个装置制成，以进一步改善成本节约。例如，单个模具可以制造成包括6个VCSEL的阵列，每个VCSEL能够实现10Gbit/秒的调制速度。单个基板20将具有六个沟槽的阵列，以及用于使光源模具与基板对齐的金属衬垫的阵列。
如上所述，在示例性实施例中，互连装置包括六个光源40。每个光源40经由一组接触件34联接至相应的柔性电路270。在示例性实施例中，接触件34配置成一个组，包括三个接触件272、274和276。接触件272、276用作使光源40接地的接地构件。此外，接触件274向光源40提供电气信号能量，以操作光源40。如图5所示，互连装置还包括安装在基板20的下表面278上的多个电气接触件36。在示例性实施例中，每组接触件34联接至安装在基板20上的相应一组的接触件，例如接触件36。例如，在示例性实施例中，互连装置10包括六个光源40。每个光源40包括三个接触件34，例如总计18个接触件34。如此一来，互连装置10还包括安装在基板20上的18个接触件34。在示例性实施例中，每个接触件34经由贯穿基板20形成的通路孔38联接至相应的接触件36。如此一来，在示例性实施例中，互连装置还包括18个通路孔38。组装期间，柔性电路270联接至接触件36，以利用通路孔38和接触件34向光源40提供接地和电能。

Claims (8)

1.一种互连装置(10)，包括：
基板(20)，在该基板中形成有至少一个沟槽(22)，所述沟槽包括第一侧壁和第二侧壁(42、44)以及设置在侧壁的一个端部处的第一端部(54)；
设置在所述沟槽(22)中的光学纤维(30)，所述光学纤维具有圆柱本体(112)、形成在所述圆柱本体(112)的一个端部上的端面(114)和形成在所述端面(114)上的多面式反射部(110)；和
光源(40)，适配成向所述多面式反射部(110)传输光，以使光穿过所述光学纤维(30)，
其中，所述多面式反射部(110)包括形成在所述光学纤维(30)的所述端面上的多个平坦分区(120)，
所述沟槽的第一端部(54)以一角度α形成，并且所述多面式反射部(110)的至少一个平坦分区以所述角度α形成，并且
所述多面式反射部(110)的所述至少一个平坦分区与所述沟槽的第一端部(54)接触。
2.如权利要求1所述的互连装置，其中，所述沟槽的第一端部(54)以一角度α形成，并且所述光学纤维(30)包括包围所述光学纤维的芯子的包覆层，所述包覆层的至少一部分以所述角度α形成。
3.如权利要求1所述的互连装置，其中，所述光源(40)设置成邻接所述光学纤维(30)的一侧，所述光源(40)构造成传输光穿过所述光学纤维(30)的一侧至所述多面式反射部(110)。
4.如权利要求1所述的互连装置，其中，所述多面式反射部(110)包括设置在所述多面式反射部(110)的外表面上的反射性涂层(116)。
5.如权利要求1所述的互连装置，其中，所述多面式反射部(110)的至少一部分以不同于所述角度α的角度β形成。
6.如权利要求1所述的互连装置，其中，所述多面式反射部的第一部分150以第一组角度形成，所述多面式反射部的第二部分(152)以不同的第二角度形成，而所述多面式反射部的第三部分(154)以不同于第一和第二角度的第三角度形成。
7.如权利要求1所述的互连装置，其中，所述光源(40)包括垂直空腔表面发射激光器(VCSEL)。
8.如权利要求1所述的互连装置，还包括：
形成在所述光学纤维(30)的至少一部分与所述光源(40)之间的间隙(260)；和
设置在所述间隙(260)中的密封剂(262)。
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