CN102466834A - 红外光阻隔多层膜结构 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种红外光阻隔多层膜结构，上述红外光阻隔多层膜结构包括：透明基板；掺杂氧化物薄膜，设置于上述透明基板上；氧化物隔绝层，设置于上述掺杂氧化物薄膜上，以使入射光从上述透明基板顶面射入上述红外光阻隔多层膜结构。
Description
技术领域
本发明涉及一种红外光阻隔多层膜结构，特别是涉及一种低成本和高阻隔效果的红外光阻隔多层膜结构。
背景技术
近年来随着能源议题逐渐被重视，节能玻璃建材产业也随之蓬勃发展，有报导指出，若能在建筑上使用正确的节能装置，将可节省3～4成的空调使用量。目前低辐射玻璃(low-emissivity glass)的制作主要应用真空溅镀设备与技术，其中为金属膜层与透明氧化物膜层，金属膜层以银为主材料，对红外光具有高热阻隔效果；而透明氧化物膜层通常以氧化锡(SnO2)为主，具高反射功能与提高膜层透光率，并结合其它保护膜层或中空层达到高阻隔效果。然而，由于采用真空镀膜设备，且膜层教需大于10层以上，所以低辐射玻璃的价格一直居高不下，工艺的复杂性与困难度为现阶段的一大挑战，另外，电镀金属膜为高污染产物，并不像一般清玻璃可回收再利用，对于地球环保也将是一大伤害。
在此技术领域中，有需要一种红外光阻隔多层膜结构，以改善上述缺点。
发明内容
有鉴于此，本发明实施例提供红外光阻隔多层膜结构，上述红外光阻隔多层膜结构包括透明基板；掺杂氧化物薄膜，设置于上述透明基板上；氧化物隔绝层，设置于掺杂氧化物薄膜上，以使入射光从透明基板顶面射入该红外光阻隔多层膜结构。
附图说明
图1为本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构的示意图。
图2为已知红外光阻隔多层膜结构的示意图。
图3为本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构和比较例的红外光阻隔多层膜结构红外线隔绝膜层温度测试曲线。
图4显示本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构的透光率对光波长的关系图。
图5显示本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构的反射率对光波长的关系图。
图6为本发明另一实施例的红外光阻隔多层膜结构的示意图。
图7显示本发明另一实施例的红外光阻隔多层膜结构的氧化物布拉格反射镜膜层的透光率对光波长的模拟关系图。
图8显示本发明另一实施例的红外光阻隔多层膜结构的穿透率对光波长的关系图。
图9显示本发明另一实施例的红外光阻隔多层膜结构的反射率对光波长的关系图。
图10为布拉格反射镜的示意图
图11a和图11b为本发明实施例的氧化物布拉格反射镜膜层210的二氧化硅薄膜的折射率(n)与消散系数(k)的量测值。
图11c至图11d为本发明实施例的氧化物布拉格反射镜膜层的二氧化钛薄膜的折射率(n)与消散系数(k)的量测值。
图12a至图12d为本发明实施例的具有不同氧化物膜厚的氧化物布拉格反射镜膜层的反射率对光波长模拟结果，其具有三组氧化物薄膜对。
附图标记说明
300～已知红外光阻隔多层膜结构；
500a、500b～红外光阻隔多层膜结构；
100、200～透明基板；
102、202～掺杂氧化物薄膜；
204～二氧化钛薄膜；
206～二氧化硅薄膜；
208～氧化物薄膜对；
210～氧化物布拉格反射镜膜层；
112、212～氧化物隔绝层；
214～顶面；
116、216～入射光；
810～布拉格反射镜；
804～低折射率材料；
806～高折射率材料；
808～对。
具体实施方式
以下以各实施例详细说明并伴随着附图说明的范例，作为本发明的参考依据。在附图或说明书描述中，相似或相同的部分皆使用相同的图号。且在附图中，实施例的形状或是厚度被夸大了，并以简化或是方便的方式标示。再者，附图中各组件的部分将分别描述说明，值得注意的是，图中未绘示或描述的组件，为所属技术领域中普通技术人员所知的形式，另外，特定的实施例仅为揭示本发明使用的特定方式，其并非用以限定本发明。
本发明的实施例是提供一种红外光阻隔多层膜结构，其利用高掺杂氧化物薄膜作为具有良好可见光穿透度与红外光(在此指波长介于700nm至2500nm之间的近红外光(near infrared light))阻隔的节能玻璃建材。上述红外光阻隔多层膜结构使入射光从透明基板顶面射入上述红外光阻隔多层膜结构中的高掺杂氧化物薄膜近红外光阻隔层，利用薄膜本身高载流子浓度的特性来达到高阻隔效率。
图1为本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a的示意图。红外光阻隔多层膜结构500a可包括透明基板200；掺杂氧化物薄膜202，设置于透明基板200上；氧化物隔绝层212，设置于掺杂氧化物薄膜202上，以使入射光216从透明基板200顶面射入上述红外光阻隔多层膜结构500a。在本发明实施例中，透明基板200可包括玻璃基板、高分子膜片基板或有机无机混合软性基板。
在本发明实施例中，可利用化学喷雾法或大气化学合成法沉积掺杂氧化物薄膜202。于本发明实施例中，当采用化学喷雾法形成掺杂氧化物薄膜202时，可于介于360～460℃的温度下利用如振荡频率介于1.5KHz～2.6MHz的雾化器或具有小于10微米开口的精密喷嘴将混有如空气、氧气、氮气的载气与如Sn(OH)4、NH4F、LiF、Li(OH)等反应气体的混合气体所产生的尺寸介于5～80μm的雾滴形成经加热的透明基板200上，进而形成了掺杂氧化物薄膜202。而掺杂氧化物薄膜202可包括氧化锡掺杂薄膜，例如为锂与氟共掺杂的氧化锡(lithium and fluorine co-doped tin oxide，Li-F:SnO2)薄膜、铝掺杂氧化锌薄膜及锡掺杂氧化铟薄膜，其中例如锂与氟共掺杂的氧化锡薄膜内的锂掺杂浓度约介于0.3～4.2at％以及氟掺杂浓度约介于0.1～2.5at％。上述掺杂氧化物薄膜202作为第一层近红外光阻隔层，其中掺杂氧化物薄膜202的厚度可小于2μm。掺杂氧化物薄膜202可阻隔波长介于1500nm至2500nm之间的光。
在本发明实施例中，氧化物隔绝层212可包括氧化钨(WO3-x)层，且其厚度可介于100nm至5000nm之间，优选为介于2000nm至3000nm之间。氧化物隔绝层212可以将掺杂氧化物薄膜202无法阻隔的红外光波长区间的光隔绝(例如氧化钨(WO3-x)可隔绝波长介于800nm至1450nm之间的光)，以使红外光阻隔多层膜结构500a达到更佳的红外光阻隔效果。
图2为已知红外光阻隔多层膜结构300的示意图，其作为比较例。已知红外光阻隔多层膜结构300包括依序设置于透明基板100上的掺杂氧化物薄膜102和氧化物隔绝膜层112。已知红外光阻隔多层膜结构300与本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a的不同处为入射光116先从氧化物隔绝膜层112顶面射入已知红外光阻隔多层膜结构300中。
图3为如图1所示的本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a的红外线隔绝膜层202和如图2所示的已知红外光阻隔多层膜结构300的红外线隔绝膜层102温度测试曲线，其中曲线30显示如图2所示的已知红外光阻隔多层膜结构300的红外线隔绝膜层102的温度测试曲线，而曲线32显示如图1所示的本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a的红外线隔绝膜层202的温度测试曲线。如图3所示，在照射光线时，本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a的红外线隔绝膜层202的温度低于已知红外光阻隔多层膜结构300的红外线隔绝膜层102。特别是在光线照射一段时间之后(约15分钟之后)，本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a的红外线隔绝膜层202与已知红外光阻隔多层膜结构300的红外线隔绝膜层102之间的温度差异可高达5℃，本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a表现出优良的热阻隔效果。
图4显示如图1所示的本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a的透光率(Transmittance(％))对光波长的关系图，图5显示图1所示的本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a的反射率(Reflection(％))对光波长的关系图。在本实施例中，红外光阻隔多层膜结构500a的掺杂氧化物薄膜202厚度为300nm的锂掺杂的氟氧化锡薄膜，而隔绝层212厚度为3000nm的氧化钨(WO3-x)层，本实施例的红外光阻隔多层膜结构500a的总膜层数为2层。由图4和图5可知，红外光阻隔多层膜结构500a使入射光从透明基板200顶面依序射入掺杂氧化物薄膜202和隔绝层212，对波长于800nm之后的光的阻隔效果可达80％。另外，锂掺杂的氟氧化锡薄膜形成的掺杂氧化物薄膜202也可阻隔1500nm之后至10um的红外光。并且，氧化钨(WO3-x)的隔绝层212可隔绝波长介于800nm至1450nm之间的红外光。所以，本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a可有效阻隔红外光。且由图8可知，本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a对可见光(波长介于400nm至700nm)的透光率皆大于60％。
综合上述，本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a对可见光(波长介于400nm至700nm)的透光率大于60％，并可阻隔大部分的红外光(在此指波长介于700nm至2500nm之间的近红外光(near infrared light))。另外，本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a具有优良的热阻隔效果。尤其是在光线照射20分钟之后，本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500a的温度低于已知红外光阻隔多层膜结构300至少5℃。
本发明的另一实施例亦是提供一种红外光阻隔多层膜结构。上述红外光阻隔多层膜结构可利用例如锂与氟共掺杂的氧化锡(Li-FTO)的高掺杂氧化物薄膜作为第一层近红外光阻隔层，利用薄膜本身高载流子浓度的特性来达到高阻隔效率，再将二氧化硅/二氧化钛反射叠层沉积在高掺杂氧化物薄膜上，此叠层以布拉格反射镜(distributed Bragg reflector，DBR)原理，针对特定波段波长达到高反射效果，可补足高掺杂氧化物薄膜的近红外光阻隔极限。本发明的实施例结合上述两种材料的特性制作出高效能红外光阻隔多层膜结构，此种新型结构将可大幅提升节能玻璃建材的利用性。
图6为本发明另一实施例的红外光阻隔多层膜结构500b的示意图。如图6所示，红外光阻隔多层膜结构500b包括透明基板200。掺杂氧化物薄膜202，设置于透明基板200上。氧化物布拉格反射镜膜层210，设置于掺杂氧化物薄膜202上，入射光216从透明基板200顶面射入上述红外光阻隔多层膜结构500b。在本发明实施例中，透明基板200可包括玻璃基板、高分子膜片基板或有机无机混合软性基板。在本发明实施例中，可利用化学喷雾法或大气化学合成法沉积掺杂氧化物薄膜202。于本发明实施例中，当采用化学喷雾法形成掺杂氧化物薄膜202时，可于介于360～460℃的温度下利用如振荡频率介于1.5KHz～2.6MHz的雾化器或具有小于10微米开口的精密喷嘴将混有如空气、氧气、氮气的载气与如Sn(OH)4、NH4F、LiF、Li(OH)等反应气体的混合气体所产生的尺寸介于5～80μm的雾滴形成经加热的透明基板200上，进而形成了掺杂氧化物薄膜202。而掺杂氧化物薄膜202可包括氧化锡掺杂薄膜，例如为锂与氟共掺杂的氧化锡(lithium and fluorine co-dopedtin oxide，Li-F:SnO2)薄膜、铝掺杂氧化锌薄膜、锡掺杂氧化铟薄膜，其中例如锂与氟共掺杂的氧化锡薄膜内的锂掺杂浓度约介于0.3～4.2at％以及氟掺杂浓度约介于0.1～2.5at％。上述掺杂氧化物薄膜202作为第一层近红外光阻隔层，其中掺杂氧化物薄膜202的厚度可小于2μm。掺杂氧化物薄膜202可吸收波长介于1500nm至2500nm之间的光。
在本发明实施例中，可利用化学溶凝胶法合成，并以例如化学喷雾法的化学湿式法制成氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210，以作为第二层近红外光阻隔层，其中化学喷雾法的工作温度可介于100℃至350℃之间。在本发明其它实施例中，也可用例如旋转涂布法或浸渍覆膜法的化学湿式法形成氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210，利用湿式法能有效控制氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210中各薄膜的厚度，且各膜层间可达到均匀分布的效果。如图6所示，氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210可包括多个垂直且连续堆栈的氧化物薄膜对208，例如至少二个该氧化物薄膜对208，优选可为二个至十个氧化物薄膜对。其中每一个氧化物薄膜对208包括下层的二氧化钛薄膜204和上层的二氧化硅薄膜206。就每一组氧化物薄膜对208而言，下层的二氧化钛薄膜204的折射率为1.9～2.7，且其厚度例如可介于50至250nm之间。另外，上层的二氧化硅薄膜206折射率为1.4～1.5，且其厚度例如可介于50至250nm之间。
以下针对布拉格反射镜(DBR)的结构及特性加以详细说明。图10为布拉格反射镜(DBR)810的示意图，一般而言，布拉格反射镜(DBR)是用四分之一特定波长λ厚的高折射率材料806以及低折射率材料804成双成对交互堆栈而成，如图10所示，每一对808是一个周期，因此，布拉格反射镜(DBR)810的总反射率则视对808的数目、高折射率材料806以及低折射率材料804两者之间折射率的区别以及边界情况而定。故要得到反射光的建设性干涉则需调控每一对808中的高折射率材料806以及低折射率材料804两者膜层的厚度与膜层折射率差异。如图6所示的本发明实施例的氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210的每一个氧化物薄膜对208选择二氧化钛薄膜204作为下层的低折射率材料，以及二氧化硅薄膜206作为上层的高折射率材料，其中二氧化硅(SiO2)薄膜206的折射率约为1.4～1.5，而二氧化钛(TiO2)薄膜204约为1.9～2.7。图11a和图11b为本发明实施例的氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210的二氧化硅(SiO2)薄膜206的折射率(n)与消散系数(k)的量测值。图11c至图11d为本发明实施例的氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210的二氧化钛(TiO2)薄膜204的折射率(n)与消散系数(k)的量测值。由图11a至图11d的量测值可得知，本发明实施例的氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210的二氧化硅(SiO2)薄膜206的折射率约为1.46，而二氧化钛(TiO2)薄膜204的折射率约为2.11。。因此，调控二氧化钛(TiO2)薄膜204的折射率对氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210的反射效果会相对显著。
图12a至图12d为本发明实施例的具有不同氧化物膜厚的氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210的反射率对光波长模拟结果，其具有三组氧化物薄膜对(pair)。其中图12a、12b、12c、12d的氧化物薄膜对(pair)中二氧化钛薄膜204和二氧化硅薄膜206厚度分别为125nm、130nm、150nm、170nm。由图12a至图12d的模拟结果可得知，氧化物膜厚为125nm的氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210可有效阻隔波长介于750nm至1000nm的光，氧化物膜厚为130nm的氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210可有效阻隔波长介于800nm至1100nm的光，氧化物膜厚为150nm的氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210可有效阻隔波长介于950nm至1200nm的光，而氧化物膜厚为170nm的氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210可有效阻隔波长介于1050nm至1400nm的光。
在本发明实施例中，红外光阻隔多层膜结构500b可还包括氧化物隔绝层212，设置于氧化物布拉格反射镜膜层上210，其中氧化物隔绝层212可包括氧化钨(WO3-x)层，且其厚度可介于2000nm至5000nm之间。氧化物隔绝层212可以将掺杂氧化物薄膜202和氧化物布拉格反射镜膜层上210无法阻隔的红外光波长区间的光隔绝(例如氧化钨(WO3-x)可隔绝波长介于800nm至1450nm之间的光)，以使红外光阻隔多层膜结构500b达到更佳的红外光阻隔效果。
图7显示本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500b的氧化物布拉格反射镜膜层210的透光率(Transmission(无单位))对光波长的关系图。由于布拉格反射镜(DBR)为一种一维光子晶体，其由至少一对不同折射率且厚度分别为四分之一特定波长的介电物质所堆叠而成的结构，上述设计可使特定波长区间的光在其中无法传播，其中上述特定波长区间可称为光能隙(photonicband gap)。另外，若控制布拉格反射镜(DBR)的膜层折射率与膜厚，也可有效调控阻隔波段与效率。如图7所示，当本发明实施例的氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层210由垂直且连续堆叠的三对氧化物薄膜对208构成，且其中氧化物薄膜对208的二氧化钛薄膜204(n＝2.5)和二氧化硅薄膜206(n＝1.5)的厚度皆为150nm时，氧化物布拉格反射镜膜层210可有效阻隔波长介于800nm至1100nm的光，其中波长介于800nm至1100nm的光的透光率皆低于0.3，因而阻隔效果可达70％。
图8显示如图6所示的本发明另一实施例的红外光阻隔多层膜结构500b的透光率(Transmittance(％))对光波长的关系图，图9显示图6所示的本发明另一实施例的红外光阻隔多层膜结构500b的反射率(Reflection(％))对光波长的关系图。用于图8和图9的本发明另一实施例的红外光阻隔多层膜结构500b以下述方式制作。本发明实施例中，可利用化学喷雾法或大气化学合成法沉积掺杂氧化物薄膜202。于本发明实施例中，当采用化学喷雾法形成掺杂氧化物薄膜202时，可于介于360～460℃的温度下利用如振荡频率介于1.5KHz～2.6MHz的雾化器或具有小于10微米开口的精密喷嘴将混有如空气、氧气、氮气的载气与如Sn(OH)4、NH4F、LiF、Li(OH)等反应气体的混合气体所产生的尺寸介于5～80μm的雾滴形成经加热的透明基板200上，进而形成了掺杂氧化物薄膜202。而掺杂氧化物薄膜202可包括氧化锡掺杂薄膜，例如为锂与氟共掺杂的氧化锡(lithium and fluorine co-doped tin oxide，Li-F:SnO2)薄膜、铝掺杂氧化锌薄膜及锡掺杂氧化铟薄膜，其中例如锂与氟共掺杂的氧化锡薄膜内的锂掺杂浓度约介于0.3～4.2at％以及氟掺杂浓度约介于0.1～2.5at％。上述掺杂氧化物薄膜202作为第一层近红外光阻隔层，其中掺杂氧化物薄膜202的厚度可小于2μm。掺杂氧化物薄膜202可阻隔波长介于1500nm至2500nm之间的光。再向上堆栈氧化物布拉格反射镜膜层210，其中氧化物布拉格反射镜膜层210是利用溶凝胶法配置二氧化硅(SiO2)与二氧化钛(TiO2)水溶液。在反应过程中，以盐酸调控SiO2溶液pH值来影响水解速率，并加入适当界面活性剂以延长凝胶时间避免团聚。另外，控制TiO2反应温度与添加水的量来控制水解速度，进而控制溶解速度与晶核数析出量，以达到控制粒径的目的。最后以旋转涂布机(spin coater)制作DBR叠层结构，步骤如下：(1)于干净玻璃基板上涂布一层SiO2，控制膜厚约为100-170nm，以300℃高温除去多余溶剂，并形成致密膜层；(2)接着涂布TiO2，控制膜厚约为100-170nm，350℃高温除去多余溶剂；(3)重复上述叠层步骤，最后于500℃下烘烤5小时，使非晶系二氧化钛转变成结晶相，提高膜层折射率。即完成本发明另一实施例的红外光阻隔多层膜结构500b。在本实施例中，红外光阻隔多层膜结构500b的掺杂氧化物薄膜202厚度为2300nm的锂掺杂的氟氧化锡薄膜，氧化物布拉格反射镜膜层210由垂直且连续堆栈的三对氧化物薄膜对208(共6层)构成，且其中氧化物薄膜对208的二氧化钛薄膜204(n＝2.5)和二氧化硅薄膜206(n＝1.5)的厚度皆为100～170nm，而隔绝层212厚度为3000nm的氧化钨(WO3-x)层，本实施例的红外光阻隔多层膜结构500b的总膜层数为8层。由图8和图9可知，红外光阻隔多层膜结构500b的红外光阻隔效果同时来自于掺杂氧化物薄膜202和氧化物布拉格反射镜膜层上210两种膜层，且两者之间并无相互干涉影响。且三对氧化物布拉格反射镜膜层上210的对波长介于800nm至1100nm的光的阻隔效果可达70％。另外，锂掺杂的氟氧化锡薄膜形成的掺杂氧化物薄膜202也可阻隔1500nm之后至10um的红外光。并且，氧化钨(WO3-x)的隔绝层212可隔绝波长介于800nm至1450nm之间的红外光。所以，本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500b可有效阻隔红外光。且由图8可知，本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500b对可见光(波长介于400nm至700nm)的透光率皆大于60％。
综合上述，本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500b对可见光(波长介于400nm至700nm)的透光率大于60％，并可阻隔大部分的红外光(在此指波长介于700nm至2500nm之间的近红外光(near infrared light))。本发明实施例的红外光阻隔多层膜结构500b是利用组合结构的概念，将具有高效能红外光阻隔的高掺杂氧化物薄膜作为第一层红外光阻隔层，配合其上的氧化物布拉格反射镜膜层作为第二层红外光阻隔层，以使入射光从氧化物布拉格反射镜膜层的顶面射入该红外光阻隔多层膜结构中。氧化物布拉格反射镜膜可用来加强其红外光阻隔效果，因而可大幅提高近红外光阻隔效率。通过上述组合结构，使红外光阻隔多层膜结构500b的总膜层数可控制小于6层，因而使总厚度大为降低。另外，红外光阻隔多层膜结构500b是利用化学湿式镀膜技术制造，可大幅简化工艺与成本，此高效能红外光阻隔多层膜结构可大量应用于节能建材玻璃，为新一代节能材料结构。
本发明实施例是提供红外光阻隔多层膜结构500a和500b。本发明实施例的上述红外光阻隔多层膜结构500a使入射光先从透明基板顶面射入上述红外光阻隔多层膜结构中的高掺杂氧化物薄膜近红外光阻隔层，利用薄膜本身高载流子浓度的特性来达到高阻隔效率。另外，本发明另一实施例的红外光阻隔多层膜结构500b是使用高掺杂氧化物薄膜作为第一层近红外光阻隔层，且使用再将二氧化硅/二氧化钛反射叠层形成的氧化物布拉格反射镜(DBR)膜层作为第二层近红外光阻隔层，结合上述两种材料的特性，因而可有效阻隔800nm至10um的红外光，且对可见光(波长介于400nm至700nm)的透光率皆大于60％。本发明的红外光阻隔多层膜结构500a和500b均可大幅提升节能玻璃建材的利用性。
虽然本发明已以实施例披露如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域一般技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求所界定为准。
Claims (10)
1.一种红外光阻隔多层膜结构，包括：
透明基板；
掺杂氧化物薄膜，设置于该透明基板上；以及
氧化物隔绝层，设置于该掺杂氧化物薄膜上，以使入射光从该透明基板顶面射入该红外光阻隔多层膜结构。
2.如权利要求1所述的红外光阻隔多层膜结构，还包括氧化物布拉格反射镜膜层，夹设于该掺杂氧化物薄膜和该氧化物隔绝层之间。
3.如权利要求1所述的红外光阻隔多层膜结构，其中该掺杂氧化物薄膜包括锂与氟共掺杂的氧化锡薄膜、铝掺杂氧化锌薄膜、锡掺杂氧化铟薄膜或镓掺杂氧化锌薄膜。
4.如权利要求1所述的红外光阻隔多层膜结构，其中该掺杂氧化物薄膜的膜厚范围小于2μm。
5.如权利要求2所述的红外光阻隔多层膜结构，其中该氧化物布拉格反射镜膜层是由多个氧化物薄膜对堆叠而成，其中每一个氧化物薄膜对至少包含下层为二氧化钛氧化物薄膜以及上层为二氧化硅的氧化物薄膜。
6.如权利要求5所述的红外光阻隔多层膜结构，其中该氧化物布拉格反射镜膜层包括二个至十个该氧化物薄膜对。
7.如权利要求5所述的红外光阻隔多层膜结构，其中该二氧化钛薄膜的厚度介于50nm至250nm之间。
8.如权利要求5所述的红外光阻隔多层膜结构，其中该二氧化硅薄膜的厚度介于50nm至250nm之间。
9.如权利要求1所述的红外光阻隔多层膜结构，其中该氧化物隔绝层包括氧化钨层，且该氧化物隔绝层的厚度介于100nm至5000nm之间。
10.如权利要求9所述的红外光阻隔多层膜结构，其中该氧化钨层的厚度介于2000nm至3000nm之间。
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