CN102426412A - 一种掩模板表面微尘去除的方法 - Google Patents
一种掩模板表面微尘去除的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102426412A CN102426412A CN201110194155XA CN201110194155A CN102426412A CN 102426412 A CN102426412 A CN 102426412A CN 201110194155X A CN201110194155X A CN 201110194155XA CN 201110194155 A CN201110194155 A CN 201110194155A CN 102426412 A CN102426412 A CN 102426412A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- mask plate
- micronic dust
- mask
- protection film
- ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
本发明涉及一种去除微尘的方法,尤其涉及一种掩模板表面微尘去除的方法。本发明一种掩模板表面微尘去除的方法,在不提高吹气压力的前提下,通过吹送离子风以中和带电微尘的电性,从而消除其吸附力,不仅能提高除尘效率,去除带电微尘,又能降低破坏掩模板的风险,且工艺简单,易于实现操作。
Description
技术领域
本发明涉及一种去除微尘的方法,尤其涉及一种掩模板表面微尘去除的方法。
背景技术
半导体芯片制造业所使用的掩模板对微尘要求很高,当微尘颗粒尺寸足够大时,会在光刻工艺中投影到硅片上破坏芯片电路图形,所以必须去除;清除掩模板表面微尘的方法一般是采用吹气式去除掩模板上的微尘,如吹气式气枪吹送氮气空气、气帘等;但由于掩模板表面一般均吸附有带电微尘,如图1所示,当利用吹气式气枪3进行单纯的吹气方式,当吹气压力低时无法去除带电微粒4,而提高吹气压力又会对掩模板1造成一定的破坏,特别是对数百微米厚的掩模保护膜2(pellicle)的破坏严重,甚至能导致其报废。
但是,目前在不提高吹气压力的前提下,既能提高除尘效率,去除带点微尘,又能降低破坏掩模板风险的方法还没有出现。
发明内容
本发明公开了一种掩模板表面微尘去除的方法,其中,包括以下步骤:
步骤S1,将普通气体吹扫掩模板及其掩模保护膜,以去除不带电的微尘;
步骤S2,切换至第一类离子风吹扫所述掩模板及其掩模保护膜,以中和并去除带与所述第一类离子相反电性的微尘;
步骤S3,切换至第二类离子风吹扫所述掩模板及其掩模保护膜,以中和并去除带与所述第二类离子相反电性的微尘;
步骤S4,切换至普通气体吹扫所述掩模板及其掩模保护膜,以去除剩余微尘。
上述的掩模板表面微尘去除的方法,其中,还包括:利用吹气式气枪将普通气体或离子风吹扫所述掩模板及其掩模保护膜。
上述的掩模板表面微尘去除的方法,其中,所述普通气体为空气或者氮气。
上述的掩模板表面微尘去除的方法,其中,所述第一类离子为负离子,以中和带正电微尘。
上述的掩模板表面微尘去除的方法,其中,所述第二类离子为正离子,以中和带负电微尘。
本发明还公开了另一种掩模板表面微尘去除的方法,其中,包括以下步骤:
步骤S1,将普通气体吹扫掩模板及其掩模保护膜,以去除不带电的微尘;
步骤S2,通过电荷测试感应器检测所述掩模板表面及其掩模保护膜上残留带电微尘颗粒的极性;
步骤S3,采用与所述掩模板表面及其掩模保护膜上残留带电微尘颗粒的极性相反的离子风吹扫所述掩模板及其掩模保护膜,以中和并去除所述残留带电微尘颗粒;
步骤S4,切换至普通气体吹扫所述掩模板及其掩模保护膜,以去除剩余微尘。
上述的掩模板表面微尘去除的方法,其中,所述步骤S2中通过电荷测试感应器检测所述掩模板表面及其掩模保护膜上的残留带电微尘颗粒的极性为正极性微尘,步骤S3中采用负离子吹扫所述掩模板及其掩模保护膜;反之,则采用正离子吹扫所述掩模板及其掩模保护膜,以中和并去除所述残留带电微尘颗粒。
上述的掩模板表面微尘去除的方法,其中,还包括:利用吹气式气枪将普通气体或离子风吹扫所述掩模板及其掩模保护膜。
上述的掩模板表面微尘去除的方法,其中,所述普通气体为空气或者氮气。
综上所述,由于采用了上述技术方案,本发明提出一种掩模板表面微尘去除的方法,在不提高吹气压力的前提下,既能提高除尘效率,去除带电微尘,又能降低破坏掩模板的风险,且工艺简单,易于实现操作。
附图说明
图1是本发明背景技术中进行单纯的吹气方式的结构示意图;
图2-5是本发明掩模板表面微尘去除的方法实施例一的流程示意图;
图6-9是本发明掩模板表面微尘去除的方法实施例二的流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明:
实施例一:
如图2-5所示,本发明提供了一种掩模板表面微尘去除的方法,其中,包括以下步骤:
首先,根据掩模板21及其上的掩模保护膜22承受的气压值调整将吹气式气枪23的吹起气压,对掩模板21和掩模保护膜22进行吹气,以去除其上的部分微尘24,此时,吹气式气枪23吹出的气体为空气或者氮气。
吹气式气枪23吹气一段时间后,在吹气气压不变的情况下,一般采用手动将吹气式气枪23的吹出的气体转换为带有正离子的气体,以中和吸附在掩模板21和掩模保护膜22上带负电微尘241的电性,使之放电消除其吸附性的同时被吹离掩模板21和掩模保护膜22。
之后,同样保持吹气式气枪23吹气气压不变的情况下,手动将其吹出的气体转换为带有负离子的气体,以中和吸附在掩模板21和掩模保护膜22上带正电微尘242的电性,使之放电消除其吸附性的同时被吹离掩模板21和掩模保护膜22。
最后,在吹气气压不变的情况下,手动将吹气式气枪23的吹出的气体转换为空气或者氮气,以除去掩模板21和掩模保护膜22上剩余的微尘243。
进一步的,本发明也可以通过采用其他装置如形成气帘等,吹送离子气体去除掩模板和掩模保护膜上的带电微尘,且也可应用于其他类似需要去除微尘的领域。
实施例二:
如图6所示,首先,采用和实施例一中相同的步骤,根据掩模板31及其上的掩模保护膜32承受的气压值调整将吹气式气枪33的吹起气压,对掩模板31和掩模保护膜32进行吹气,以去除其上的部分微尘34,此时,吹气式气枪33吹出的气体为空气或者氮气。
吹气式气枪33吹气一段时间后,在吹气气压不变的情况下,通过电荷测试感应器35检测掩模板31表面及其掩模保护膜32上的残留带电微尘颗粒的极性;如图7所示,若检测出掩模板31表面及其掩模保护膜32上的残留带电微尘颗粒为负离子微尘341,则自动将吹气式气枪33的吹出的气体转换为带有正离子的气体331,以中和吸附在掩模板31和掩模保护膜32上带负电微尘341的电性,使之放电消除其吸附性的同时被吹离掩模板31和掩模保护膜32;如图8所示,若检测出掩模板31表面及其掩模保护膜32上的残留带电微尘颗粒为正离子微尘342,则自动将吹气式气枪33的吹出的气体转换为带有负离子的气体332,以中和吸附在掩模板31和掩模保护膜32上带正电微尘342的电性,使之放电消除其吸附性的同时被吹离掩模板31和掩模保护膜32。
最后,如图9所示,在吹气气压不变的情况下,将吹气式气枪33的吹出的气体转换为空气或者氮气,以除去掩模板31和掩模保护膜32上剩余的微尘343。
进一步的,本发明也可以通过采用其他装置如形成气帘等,吹送离子气体去除掩模板和掩模保护膜上的带电微尘,且也可应用于其他类似需要去除微尘的领域。
综上所述,由于采用了上述技术方案,本发明一种掩模板表面微尘去除的方法,在不提高吹气压力的前提下,通过吹送离子风以中和带电微尘的电性,从而消除其吸附力,不仅能提高除尘效率,去除带电微尘,又能降低破坏掩模板的风险,且工艺简单,易于实现操作。
以上对本发明的具体实施例进行了详细描述,但其只是作为范例,本发明并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言,任何对本发明进行的等同修改和替代也都在本发明的范畴之中。因此,在不脱离本发明的精神和范围下所作的均等变换和修改,都应涵盖在本发明的范围内。
Claims (9)
1.一种掩模板表面微尘去除的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1,将普通气体吹扫掩模板及其掩模保护膜,以去除不带电的微尘;
步骤S2,切换至第一类离子风吹扫所述掩模板及其掩模保护膜,以中和并去除带与所述第一类离子相反电性的微尘;
步骤S3,切换至第二类离子风吹扫所述掩模板及其掩模保护膜,以中和并去除带与所述第二类离子相反电性的微尘;
步骤S4,切换至普通气体吹扫所述掩模板及其掩模保护膜,以去除剩余微尘。
2.根据权利要求1所述的掩模板表面微尘去除的方法,其特征在于,还包括:利用吹气式气枪将普通气体或离子风吹扫所述掩模板及其掩模保护膜。
3.根据权利要求1所述的掩模板表面微尘去除的方法,其特征在于,所述普通气体为空气或者氮气。
4.根据权利要求1所述的掩模板表面微尘去除的方法,其特征在于,所述第一类离子为负离子,以中和带正电微尘。
5.根据权利要求1所述的掩模板表面微尘去除的方法,其特征在于,所述第二类离子为正离子,以中和带负电微尘。
6.一种掩模板表面微尘去除的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1,将普通气体吹扫掩模板及其掩模保护膜,以去除不带电的微尘;
步骤S2,通过电荷测试感应器检测所述掩模板表面及其掩模保护膜上的残留带电微尘颗粒的极性;
步骤S3,采用与所述掩模板表面及其掩模保护膜上的残留带电微尘颗粒的极性相反的离子风吹扫所述掩模板及其掩模保护膜,以中和并去除所述残留带电微尘颗粒;
步骤S4,切换至普通气体吹扫所述掩模板及其掩模保护膜,以去除剩余微尘。
7.根据权利要求6所述的掩模板表面微尘去除的方法,其特征在于,所述步骤S2中通过电荷测试感应器检测所述掩模板表面残留带电微尘颗粒的极性为正极性微尘,步骤S3中采用负离子吹扫所述掩模板及其掩模保护膜;反之,则采用正离子吹扫所述掩模板及其掩模保护膜,以中和并去除所述残留带电微尘颗粒。
8.根据权利要求6所述的掩模板表面微尘去除的方法,其特征在于,还包括:利用吹气式气枪将普通气体或离子风吹扫所述掩模板及其掩模保护膜。
9.根据权利要求6所述的掩模板表面微尘去除的方法,其特征在于,所述普通气体为空气或者氮气。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110194155XA CN102426412A (zh) | 2011-07-12 | 2011-07-12 | 一种掩模板表面微尘去除的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110194155XA CN102426412A (zh) | 2011-07-12 | 2011-07-12 | 一种掩模板表面微尘去除的方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102426412A true CN102426412A (zh) | 2012-04-25 |
Family
ID=45960413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201110194155XA Pending CN102426412A (zh) | 2011-07-12 | 2011-07-12 | 一种掩模板表面微尘去除的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102426412A (zh) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103203341A (zh) * | 2013-03-17 | 2013-07-17 | 上海宏科半导体技术有限公司 | 一种用于电子产品包装盘的清洗装置及其清洗方法 |
CN103645603A (zh) * | 2013-11-28 | 2014-03-19 | 上海华力微电子有限公司 | 清洁光掩模板的装置及方法 |
CN103639151A (zh) * | 2013-11-28 | 2014-03-19 | 上海华力微电子有限公司 | 清洁光掩模板的装置和方法 |
CN103691703A (zh) * | 2013-12-12 | 2014-04-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种清洁装置以及自动清洁系统 |
CN104925452A (zh) * | 2015-06-01 | 2015-09-23 | 江苏通盛换热器有限公司 | 一种水检后换热器翅片吹水装置 |
CN105204233A (zh) * | 2015-10-26 | 2015-12-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板摩擦取向方法及装置、显示基板制备方法及系统 |
CN105448667A (zh) * | 2015-12-23 | 2016-03-30 | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 | 一种wafer表面脏污清洗方法 |
CN109107987A (zh) * | 2017-06-22 | 2019-01-01 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种吹扫方法 |
CN111128678A (zh) * | 2019-12-17 | 2020-05-08 | 无锡中微掩模电子有限公司 | 一种去除掩模保护膜上颗粒的方法 |
CN111736425A (zh) * | 2020-06-15 | 2020-10-02 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种光掩模板保护装置 |
US20230176483A1 (en) * | 2020-03-13 | 2023-06-08 | Changxin Memory Technologies, Inc. | Exposure machine and exposure method |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1359534A (zh) * | 1999-07-02 | 2002-07-17 | 松下电器产业株式会社 | 电荷发生半导体基板用凸起形成装置、电荷发生半导体基板的除静电方法、电荷发生半导体基板用除静电装置、及电荷发生半导体基板 |
CN201332088Y (zh) * | 2008-11-12 | 2009-10-21 | 苏州群策科技有限公司 | 自动除尘机 |
CN201413817Y (zh) * | 2009-06-01 | 2010-02-24 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 掩膜版移载机 |
CN201618702U (zh) * | 2009-11-30 | 2010-11-03 | 比亚迪股份有限公司 | 一种除尘机 |
-
2011
- 2011-07-12 CN CN201110194155XA patent/CN102426412A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1359534A (zh) * | 1999-07-02 | 2002-07-17 | 松下电器产业株式会社 | 电荷发生半导体基板用凸起形成装置、电荷发生半导体基板的除静电方法、电荷发生半导体基板用除静电装置、及电荷发生半导体基板 |
CN201332088Y (zh) * | 2008-11-12 | 2009-10-21 | 苏州群策科技有限公司 | 自动除尘机 |
CN201413817Y (zh) * | 2009-06-01 | 2010-02-24 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 掩膜版移载机 |
CN201618702U (zh) * | 2009-11-30 | 2010-11-03 | 比亚迪股份有限公司 | 一种除尘机 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103203341B (zh) * | 2013-03-17 | 2017-12-26 | 上海宏科半导体技术有限公司 | 一种用于电子产品包装盘的清洗装置及其清洗方法 |
CN103203341A (zh) * | 2013-03-17 | 2013-07-17 | 上海宏科半导体技术有限公司 | 一种用于电子产品包装盘的清洗装置及其清洗方法 |
CN103639151B (zh) * | 2013-11-28 | 2016-07-06 | 上海华力微电子有限公司 | 清洁光掩模板的装置和方法 |
CN103645603A (zh) * | 2013-11-28 | 2014-03-19 | 上海华力微电子有限公司 | 清洁光掩模板的装置及方法 |
CN103639151A (zh) * | 2013-11-28 | 2014-03-19 | 上海华力微电子有限公司 | 清洁光掩模板的装置和方法 |
CN103691703A (zh) * | 2013-12-12 | 2014-04-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种清洁装置以及自动清洁系统 |
CN104925452A (zh) * | 2015-06-01 | 2015-09-23 | 江苏通盛换热器有限公司 | 一种水检后换热器翅片吹水装置 |
US20170118828A1 (en) * | 2015-10-26 | 2017-04-27 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Method and apparatus for aligning display substrate by rubbing, method and system for preparing display substrate |
CN105204233A (zh) * | 2015-10-26 | 2015-12-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板摩擦取向方法及装置、显示基板制备方法及系统 |
CN105448667A (zh) * | 2015-12-23 | 2016-03-30 | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 | 一种wafer表面脏污清洗方法 |
CN109107987A (zh) * | 2017-06-22 | 2019-01-01 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种吹扫方法 |
CN111128678A (zh) * | 2019-12-17 | 2020-05-08 | 无锡中微掩模电子有限公司 | 一种去除掩模保护膜上颗粒的方法 |
US20230176483A1 (en) * | 2020-03-13 | 2023-06-08 | Changxin Memory Technologies, Inc. | Exposure machine and exposure method |
US11852976B2 (en) * | 2020-03-13 | 2023-12-26 | Changxin Memory Technologies, Inc. | Exposure machine and exposure method |
CN111736425A (zh) * | 2020-06-15 | 2020-10-02 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种光掩模板保护装置 |
CN111736425B (zh) * | 2020-06-15 | 2021-08-31 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种光掩模板保护装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102426412A (zh) | 一种掩模板表面微尘去除的方法 | |
CN203355876U (zh) | 具有改良式多级静电集尘器的可携式空气清净器 | |
CN102254764B (zh) | 器件承载装置 | |
WO2015029698A1 (ja) | パーティクルコレクタシステム及び集塵方法 | |
JP7350339B2 (ja) | クリーニング装置 | |
KR101523209B1 (ko) | 전기집진장치 | |
JP5388643B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
CN205191768U (zh) | 一种具有两种可互换除尘模块的空气净化器 | |
CN105727683A (zh) | 一种烟气冷凝静电处理装置和处理工艺 | |
CN108279552B (zh) | 基板载台和曝光机 | |
CN207839194U (zh) | 静电集尘式空气净化装置 | |
CN206517656U (zh) | 一种用于等离子发生器的放电电极 | |
CN103706475A (zh) | 一种静电式空气净化器的低臭氧装置 | |
CN104275242B (zh) | 一种空气净化器 | |
KR20150112829A (ko) | 전기집진장치 및 그 제조방법 | |
CN201413817Y (zh) | 掩膜版移载机 | |
CN112987490A (zh) | 掩模保护膜表面污染颗粒去除装置和方法 | |
CN113457387A (zh) | 一种从含硫含汞烟气中回收汞的方法 | |
CN208029168U (zh) | 干法刻蚀后晶圆上残留静电去除的装置组件 | |
CN206392251U (zh) | 一种微通道阳极除水雾装置 | |
CN205650024U (zh) | 一种烟气冷凝静电处理装置 | |
CN206517655U (zh) | 一种低温等离子发生器 | |
KR102671297B1 (ko) | 클리닝 장치 | |
CN114504429B (zh) | 一种小型负氧离子护目眼镜的性能提升方法 | |
CN2712045Y (zh) | 防爆安全静电消除装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20120425 |