CN102419151B - 用于真空仓室的信号探测装置 - Google Patents

Abstract

用于真空仓室的信号探测装置，其信号发生和接收组件穿过仓室顶板后设在顶板上，两组件分别处于仓室宽度方向中心线两侧；倒置U形架设在仓室内且其第一和第二支腿分别处于仓室宽度方向中心线两侧，第一支腿与信号发生组件、第二支腿与信号接收组件分别在位置上相对应；第一和第二支腿内分别有L形第一和第二光通道，两支腿下端有与两者成45°角且分别与两光通道折弯部位相通的第一和第二反射片，所述反射片的反射面分别朝向第二和第一支腿；使用时，信号发生组件的光沿第一光通道竖直腔、第一反射片、第一光通道水平腔、第二光通道水平腔、第二反射片、第二光通道竖直腔、信号接收组件传递。本装置具有使用稳定可靠、维修方便的优点。

Description

用于真空仓室的信号探测装置

技术领域

本发明提供一种用于真空仓室的信号探测装置。

背景技术

目前，用于真空仓室的信号探测装置已在真空镀膜生产线中广泛使用，以检测工件架在真空仓室中的具体位置。

现有的信号固定方式都是直接固定在仓体上的，并且是固定在仓室的两侧，当在真空仓室过程中使用时，出现漏气等现象、需要维修时，在仓室的两边进行维修是很困难的事情。另外，当工件架上的工件落下，正好挡在仓室两侧之间的路线上时，会导致检测的情况发生错误，影响工作。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种使用稳定可靠、维修方便的用于真空仓室的信号探测装置。

为解决上述技术问题，本发明提供的用于真空仓室的信号探测装置，它包括仓室、信号发生组件、信号接收组件，其特征在于：

信号发生组件、信号接收组件穿过仓室的顶板后密封地设置在顶板上，且信号发生组件、信号接收组件分别处于仓室宽度方向中心线的两侧；

倒置的U形架设置在仓室内，U形架的第一支腿、第二支腿分别处于仓室宽度方向中心线的两侧，第一支腿、信号发生组件在位置上相对应，第二支腿、信号接收组件在位置上相对应；

第一支腿内设有一个L形第一光通道，第一光通道的上开口位于第一支腿的上端面上，第一光通道的下开口位于第一支腿的下端侧面上且指向第二支腿，第一支腿的下端装有与其成锐角且与第一光通道的折弯部位相通的倾斜第一反射片，第一反射片的反射面朝向第二支腿；

第二支腿内设有一个L形第二光通道，第二光通道的上开口位于第二支腿的上端面上，第二光通道的下开口位于第二支腿的下端侧面上且指向第一支腿，第二支腿的下端装有与其成锐角且与第二光通道的折弯部位相通的倾斜第二反射片，第二反射片的反射面朝向第一支腿；

使用时，信号发生组件发出的光按以下线路依次传递：第一光通道的竖直腔、第一反射片、第一光通道的水平腔、第二光通道的水平腔、第二反射片、第二光通道的竖直腔、信号接收组件。

作为本发明的优化，所述第一反射片与第一支腿之间的夹角为45°角，第二反射片与第二支腿之间的夹角为45°角。

作为本发明的进一步优化，所述信号发生组件由第一固定总成、信号发生体组成；

第一固定总成包括空心的第一信号座、非透光水平第一垫圈、水平第一钢化玻璃板、第一密封圈、空心的第一信号管柱、第二密封圈、第一紧固螺母；

第一信号管柱的上端有一外伸的第一安装台，第一信号管柱的中部制有外螺纹，第一安装台的上侧有第一凹坑，第一密封圈、第一钢化玻璃板、非透光第一垫圈自下而上依次层叠地安置于第一凹坑内，第二密封圈设置在第一安装台的下侧，第一信号管柱竖直穿过仓室的顶板，第一信号管柱通过旋装在其上且与仓室顶板内侧面紧密接触的第一紧固螺母得以定位，使得第一安装台与仓室顶板之间密封配合；

第一信号座放置在第一安装台上且两者通过紧固件相接，第一信号座与非透光第一垫圈紧密接触，使得第一钢化玻璃板与第一凹坑底面之间密封配合；

信号发生体依次穿过第一信号座、第一垫圈置于第一钢化玻璃板上，使其安装在第一固定总成内。

所述信号接收组件由第二固定总成、信号接收体组成；

第二固定总成包括空心的第二信号座、非透光水平第二垫圈、水平第二钢化玻璃板、第三密封圈、空心的第二信号管柱、第四密封圈、第二紧固螺母；

第二信号管柱的上端有一外伸的第二安装台，第二信号管柱的中部制有外螺纹，第二安装台的上侧有第二凹坑，第三密封圈、第二钢化玻璃板、非透光第二垫圈自下而上依次层叠地安置于第二凹坑内，第四密封圈设置在第二安装台的下侧，第二信号管柱竖直穿过仓室的顶板，第二信号管柱通过旋装在其上且与仓室顶板内侧面紧密接触的第二紧固螺母得以定位，使得第二安装台与仓室顶板之间密封配合；

第二信号座放置在第二安装台上且两者通过紧固件相接，第二信号座与非透光第二垫圈紧密接触，使得第二钢化玻璃板与第二凹坑底面之间密封配合；

信号接收体依次穿过第二信号座、第二垫圈置于第二钢化玻璃板上，使其安装在第二固定总成内。

为能简洁说明问题起见，以下对本发明所述用于真空仓室的信号探测装置均简称为本装置。

本装置的工作原理是：倒置的U形架设置在仓室内，信号发生组件发出的光按以下线路依次传递：第一光通道的竖直腔、第一反射片、第一光通道的水平腔、第二光通道的水平腔、第二反射片、第二光通道的竖直腔、信号接收组件。当光线从第一光通道的水平腔到达第二光通道的水平腔内时，如果遇到工件架，则光线的传导受阻。据此，可以判断仓室中处于倒置的U形架内的工件架的位置，即使工件架上有工件掉落，也不会影响信号检测，避免了误测。

将信号发生组件、信号接收组件穿过仓室的顶板后密封地设置在顶板上，信号源和仓体分开，互不影响，各自成为单独的个体。这样，即使信号发生组件或信号接收组件出现了故障、需要检测维修时，比较方便；也增加了整个信号探测装置的安全系数。

综上所述，本装置具有使用稳定可靠、维修方便的优点。

附图说明

图1是本装置的结构示意图。

图2是图1中M部放大图。

图3是图1中N部放大图。

具体实施方式

下面通过实施例及其附图对本发明作进一步详细说明。

为简明说明问题起见，附图中省略仓室，以仓室顶板A代替仓室。图1中所示的直箭头表示信号发生体1所发出的光线在本装置中的行进方向。

参见图1：本装置包括仓室、信号发生组件、信号接收组件，信号发生组件、信号接收组件穿过仓室的顶板A后密封地设置在顶板A上，且信号发生组件、信号接收组件分别处于仓室宽度方向中心线的两侧；

倒置的U形架B设置在仓室内，U形架B的第一支腿B1、第二支腿B2分别处于仓室宽度方向中心线的两侧，

第一支腿B1、信号发生组件在位置上相对应，且两者共同一竖直中心线，第二支腿B2、信号接收组件在位置上相对应，且两者共同一竖直中心线；

第一支腿B1内设有一个L形第一光通道B11，第一光通道B11的上开口位于第一支腿B1的上端面上、且与第一支腿B1共竖直中心线，第一光通道B11的下开口位于第一支腿B1的下端侧面上且指向第二支腿B2，第一支腿B1的下端装有与其成45°且与第一光通道B11的折弯部位相通的倾斜第一反射片B3，第一反射片B3的反射面朝向第二支腿B2；

第二支腿B2内设有一个L形第二光通道B21，第二光通道B21的上开口位于第二支腿B2的上端面上、且与第二支腿B2共竖直中心线，第二光通道B21的下开口位于第二支腿B2的下端侧面上且指向第一支腿B1，第二支腿B2的下端装有与其成45°且与第二光通道B21的折弯部位相通的倾斜第二反射片B4，第二反射片B4的反射面朝向第一支腿B1；

信号发生组件由第一固定总成2、信号发生体1组成；

第一固定总成2包括空心的第一信号座21、非透光水平圆形第一垫圈22、水平第一钢化玻璃板23、第一密封圈24、空心的第一信号管柱25、第二密封圈26、第一紧固螺母27；

第一信号管柱25的上端有一外伸的第一安装台251，第一信号管柱25的中部制有外螺纹，第一安装台251的上侧有第一凹坑252，第一密封圈24、第一钢化玻璃板23、非透光圆形第一垫圈22自下而上依次层叠地安置于第一凹坑252内，第二密封圈26设置在第一安装台251的下侧，第一信号管柱25竖直穿过仓室的顶板A，第一信号管柱25通过旋装在其上且与仓室顶板A内侧面紧密接触的第一紧固螺母27得以定位，在第一紧固螺母27上面配装一圆垫圈28，使得第一安装台251与仓室顶板A之间密封配合；

第一信号座21放置在第一安装台251上且两者通过紧固件相接，第一信号座21与非透光圆形第一垫圈22紧密接触，使得第一钢化玻璃板23与第一凹坑252底面之间密封配合；

信号发生体1依次穿过第一信号座21、第一垫圈22置于第一钢化玻璃板23上，使其安装在第一固定总成2内。

信号接收组件由第二固定总成4、信号接收体3组成；

第二固定总成4包括空心的第二信号座41、非透光水平圆形第二垫圈42、水平第二钢化玻璃板43、第三密封圈44、空心的第二信号管柱45、第四密封圈46、第二紧固螺母47；

第二信号管柱45的上端有一外伸的第二安装台451，第二信号管柱45的中部制有外螺纹，第二安装台451的上侧有第二凹坑452，第三密封圈44、第二钢化玻璃板43、非透光圆形第二垫圈42自下而上依次层叠地安置于第二凹坑452内，第四密封圈46设置在第二安装台451的下侧，第二信号管柱45竖直穿过仓室的顶板A，第二信号管柱45通过旋装在其上且与仓室顶板A内侧面紧密接触的第二紧固螺母47得以定位，在第二紧固螺母47上面配装一圆垫圈48，使得第二安装台451与仓室顶板A之间密封配合；

第二信号座41放置在第二安装台451上且两者通过紧固件相接，第二信号座41与非透光水平圆形第二垫圈42紧密接触，使得第二钢化玻璃板43与第二凹坑452底面之间密封配合；

信号接收体3依次穿过第二信号座41、第二垫圈42置于第二钢化玻璃板43上，使其安装在第二固定总成4内。

使用时，信号发生体1发出的光按以下线路依次传递：第一光通道B11的竖直腔、第一反射片B3、第一光通道B11的水平腔、第二光通道B21的水平腔、第二反射片B4、第二光通道B21的竖直腔、信号接收体3。如果有工件架C在倒置的U形架B的第一支腿B1、第二支腿B2之间，光线被工件架C阻隔，则信号接收体3接收不到光线到达信号，据此，可以判断工件架C的存在。

由于倒置的U形架设置在仓室内，即使工件架上有工件掉落，不会停留在U形架的两个支腿之间，因此，也就不会影响信号检测，避免了误测。

将信号发生组件、信号接收组件穿过仓室的顶板后密封地设置在顶板上，信号源和仓体分开，互不影响，各自成为单独的个体。这样，即使信号发生组件或信号接收组件出现了故障、需要检测维修时，比较方便；信号发生组件、信号接收组件置于顶板上，不易被触碰，增加了整个信号探测装置的安全系数。

综上所述，本装置具有使用稳定可靠、维修方便的优点。可广泛应用于真空镀膜生产线检测工件架所在位置。

以上所述的仅是本发明的一种实施方式。应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出显而易见的若干变换或替代以及改型，这些也应视为属于本发明的保护范围。

Claims (2)

1.用于真空仓室的信号探测装置，包括仓室、信号发生组件、信号接收组件，其特征在于：

信号发生组件、信号接收组件穿过仓室的顶板后密封地设置在顶板上，且信号发生组件、信号接收组件分别处于仓室宽度方向中心线的两侧；

倒置的U形架设置在仓室内，U形架的第一支腿、第二支腿分别处于仓室宽度方向中心线的两侧，第一支腿、信号发生组件在位置上相对应，第二支腿、信号接收组件在位置上相对应；

第一支腿内设有一个L形第一光通道，第一光通道的上开口位于第一支腿的上端面上，第一光通道的下开口位于第一支腿的下端侧面上且指向第二支腿，第一支腿的下端装有与其成45°角且与第一光通道的折弯部位相通的倾斜第一反射片，第一反射片的反射面朝向第二支腿；

第二支腿内设有一个L形第二光通道，第二光通道的上开口位于第二支腿的上端面上，第二光通道的下开口位于第二支腿的下端侧面上且指向第一支腿，第二支腿的下端装有与其成45°角且与第二光通道的折弯部位相通的倾斜第二反射片，第二反射片的反射面朝向第一支腿；

使用时，信号发生组件发出的光按以下线路依次传递：第一光通道的竖直腔、第一反射片、第一光通道的水平腔、第二光通道的水平腔、第二反射片、第二光通道的竖直腔、信号接收组件。

2.根据权利要求1所述的用于真空仓室的信号探测装置，其特征在于：

信号发生组件由第一固定总成、信号发生体组成；

第一固定总成包括空心的第一信号座、非透光水平第一垫圈、水平第一钢化玻璃板、第一密封圈、空心的第一信号管柱、第二密封圈、第一紧固螺母；

第一信号管柱的上端有一外伸的第一安装台，第一信号管柱的中部制有外螺纹，第一安装台的上侧有第一凹坑，第一密封圈、第一钢化玻璃板、非透光水平第一垫圈自下而上依次层叠地安置于第一凹坑内，第二密封圈设置在第一安装台的下侧，第一信号管柱竖直穿过仓室的顶板，第一信号管柱通过旋装在其上且与仓室顶板内侧面紧密接触的第一紧固螺母得以定位，使得第一安装台与仓室顶板之间密封配合；

第一信号座放置在第一安装台上且两者通过紧固件相接，第一信号座与非透光第一垫圈紧密接触，使得第一钢化玻璃板与第一凹坑底面之间密封配合；

信号发生体依次穿过第一信号座、第一垫圈，信号发生体置于第一钢化玻璃板上，使信号发生体安装在第一固定总成内。

3. 根据权利要求1或2所述的用于真空仓室的信号探测装置，其特征在于：

信号接收组件由第二固定总成、信号接收体组成；

第二固定总成包括空心的第二信号座、非透光水平第二垫圈、水平第二钢化玻璃板、第三密封圈、空心的第二信号管柱、第四密封圈、第二紧固螺母；

第二信号管柱的上端有一外伸的第二安装台，第二信号管柱的中部制有外螺纹，第二安装台的上侧有第二凹坑，第三密封圈、第二钢化玻璃板、非透光第二垫圈自下而上依次层叠地安置于第二凹坑内，第四密封圈设置在第二安装台的下侧，第二信号管柱竖直穿过仓室的顶板，第二信号管柱通过旋装在其上且与仓室顶板内侧面紧密接触的第二紧固螺母得以定位，使得第二安装台与仓室顶板之间密封配合；

第二信号座放置在第二安装台上且两者通过紧固件相接，第二信号座与非透光第二垫圈紧密接触，使得第二钢化玻璃板与第二凹坑底面之间密封配合；

信号接收体依次穿过第二信号座、第二垫圈，信号接收体置于第二钢化玻璃板上，使信号接收体安装在第二固定总成内。

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