CN102411185B - 透镜模块及其形成方法 - Google Patents

透镜模块及其形成方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102411185B
CN102411185B CN201110085946.9A CN201110085946A CN102411185B CN 102411185 B CN102411185 B CN 102411185B CN 201110085946 A CN201110085946 A CN 201110085946A CN 102411185 B CN102411185 B CN 102411185B
Authority
CN
China
Prior art keywords
lens
substrate
lens element
lens combination
depression
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201110085946.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102411185A (zh
Inventor
林建邦
钟三源
朱翁驹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
VisEra Technologies Co Ltd
Omnivision Technologies Inc
Original Assignee
VisEra Technologies Co Ltd
Omnivision Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by VisEra Technologies Co Ltd, Omnivision Technologies Inc filed Critical VisEra Technologies Co Ltd
Publication of CN102411185A publication Critical patent/CN102411185A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102411185B publication Critical patent/CN102411185B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/021—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses for more than one lens
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
    • B29D11/00365—Production of microlenses
    • B29D11/00375—Production of microlenses by moulding lenses in holes through a substrate
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/001—Miniaturised objectives for electronic devices, e.g. portable telephones, webcams, PDAs, small digital cameras

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)

Abstract

本发明一实施例提供一种透镜模块及其形成方法，该透镜模块包括：一第一透镜组，包括：一第一图案化基底；一第一凹陷，形成自该第一图案化基底的一第一表面；一第一透镜元件，设置于该第一凹陷之中；以及一第二透镜元件，设置于该第一图案化基底之上，其中该第二透镜元件对齐于穿过该第一透镜元件的一光轴。本发明的透镜元件可全部或至少部分对齐于相同的光轴。

Description

透镜模块及其形成方法
技术领域
本披露涉及透镜模块，尤其涉及具有图案化基底的透镜模块及其形成方法。
背景技术
微光学构件(micro-optical components)(例如，一维及/或二维透镜组)一般用于例如是透镜模块的元件中。便携式电子产品的透镜模块的设计与制造非常具有挑战性。一些挑战性因素包括：高生产量、固定价钱损耗、尺寸限制、效能改变、及功能需求。
图1显示公知图像透镜模块的剖面图。请参照图1，公知图像透镜模块10包括：第一双平行面基底(plano-plano substrate)12，其具有形成于基底12的两侧上的第一透镜14及第二透镜16；第二双平行面基底22，其具有形成于基底22的两侧上的第三透镜24及第四透镜26；以及夹置于第一基底12与第二基底22之间的间隔物(spacer)36。可于第二透镜16上形成黑色阻光层(black yard coating(layer))18以作为光圈(aperture)。可于第四透镜26上形成抗反射膜(antireflection film)28。间隔物36可分离第一基底12及第二基底22，使其间隔有预定间隙(predetermined gap)。此外，分别于第一基底12的前表面上及第二基底22的背表面上形成间隔物34及38。于间隔物(34、36、38)与基底(12、22)之间使用堆叠胶(stacking glue)32。
一般而言，当堆叠与对准图像透镜模块10时，使用封装技术。公知封装的透镜模块遭遇一些问题，例如间隔物造价昂贵、所使用的基底受限、间隔物厚度不精确、透镜模块的光学中心因间隔物工艺而造成对不准。
发明内容
为了解决现有技术的问题，本发明一实施例提供一种透镜模块，包括：一第一透镜组，包括：一第一图案化基底；一第一凹陷，形成自该第一图案化基底的一第一表面；一第一透镜元件，设置于该第一凹陷之中；以及一第二透镜元件，设置于该第一图案化基底之上，其中该第二透镜元件对齐于穿过该第一透镜元件的一光轴。
本发明一实施例提供一种透镜模块的形成方法，包括：形成一第一透镜组，该第一透镜组的形成包括：提供一第一基底，具有一第一表面及一第二表面；自该第一基底的该第一表面移除部分的该第一基底以形成一第一凹陷；将一第一透镜元件设置于该第一凹陷之中；以及将一第二透镜元件设置于该第一基底之上，其中该第二透镜元件对齐于穿过该第一透镜元件的一光轴。
本发明的透镜元件可全部或至少部分对齐于相同的光轴。
附图说明
图1显示公知图像透镜模块的剖面图。
图2A-图2D显示根据本发明实施例，对基底进行处理的剖面图。
图3A-图3C显示根据本发明实施例的各种图案化基底。
图4A-图4F显示根据本发明实施例，于图案化基底上形成透镜的剖面图。
图5显示根据本发明实施例，堆叠两图案化基底，并接着将其切割成多个独立的透镜模块的立体图。
图6根据本发明一实施例的透镜组的剖面图。
图7根据本发明一实施例的堆叠透镜模块的剖面图。
图8A-图8D图显示根据本发明一实施例的透镜组的工艺剖面图。
图9A-图9E显示根据本发明另一实施例透镜组的工艺剖面图。
图10A-图10E显示根据本发明又一实施例的透镜组的工艺剖面图。
图11A-图11Z、图11AA显示根据本发明实施例的堆叠透镜模块的剖面图。
其中，附图标记说明如下：
10～透镜模块；
12～基底；
14、16～透镜；
18～黑色阻光层；
22～基底；
24、26～透镜；
28～抗反射膜；
32～堆叠胶；
34、36、38～间隔物；
100、100a、100b、101a、101b、101c～基底；
103a、103b～中间区域；
105a、105b、105c～墙；
110a、110b～开口；
122、124～透镜元件；
200～透镜组；
201～墙；
203～中间区域；
212、214～透镜元件；
216～抗反射层；
218～黑色阻光层；
221～墙；
223～中间区域；
232～透镜元件；
234～抗反射层；
235～粘着层；
300～透镜模块；
400～基底；
401～中间区域；
403、405～墙；
407～开口(或凹陷)；
410、410’～光致抗蚀剂层；
412、414～透镜元件；
416～抗反射层；
418～黑色阻光层；
422～粘着层；
424～间隔物；
500a、500a’、500b、500b’、500c、500c’、500d～透镜组；
501～基底；
502～透镜元件；
503、503b、503c、503d～基底；
504、506、508～透镜元件；
512～黑色阻光层；
514、516～抗反射层；
602～粘着层；
604、606、608～间隔物；
H1、H2、H3～厚度。
具体实施方式
以下将详细说明本发明实施例的制作与使用方式。然应注意的是，本发明提供许多可供应用的发明概念，其可以多种特定形式实施。文中所举例讨论的特定实施例仅为制造与使用本发明的特定方式，非用以限制本发明的范围。此外，在不同实施例中可能使用重复的标号或标示。这些重复仅为了简单清楚地叙述本发明，不代表所讨论的不同实施例及/或结构之间必然具有任何关连性。此外，当述及一第一材料层位于一第二材料层上或之上时，包括第一材料层与第二材料层直接接触或间隔有一或更多其他材料层的情形。为了简单与清楚化，许多结构可能会绘成不同的尺寸。
作为本发明的关键特征之一，本发明实施例提供图案化基底，其具有开口或凹陷阵列，其中可形成或设置透镜元件(lens elements)。可将两图案化基底对齐且堆叠，并接着将其切割成透镜模块。透镜模块包括第一图案化基底，其具有至少一第一凹陷。第一凹陷的底部可包括大抵平坦的中间区域，其由第一图案化基底的第一凹陷的突起侧壁所围绕。第一透镜元件可设置于大抵平坦的中间区域的前表面上，而第二透镜元件可设置于大抵平坦的中间区域的背表面上。透镜结构的制作可借由模制法(molding)而完成。透镜可由具有UV固化高分子化合物(UV curable polymer compounds)的材料形成。披覆层可选择性或择一设置于第一透镜元件或第二透镜元件之上。
图2A及图2B显示根据本发明实施例处理一基底的剖面图。请参照图2A及图2B，提供基底100。基底100可为玻璃基底、熔融硅石(fused silica)基底、石英基底、氟化钙(CaF2)基底、或其他光学级透明基底。基底100例如借由蚀刻而部分移除以形成图案化开口110a或110b的阵列，其例如为沟槽(trenches)、凹陷(recesses)、或沟道(grooves)，具有大抵平坦的中间区域，其由开口的突起侧壁所围绕。开口的截面的形状可为圆形、矩形、六角形、八角形、或其他适合的几何形状。基底100也可两侧均部分移除，如图2C及图2D所示。图3A-图3C显示根据本发明实施例的图案化基底的剖面图。在图3A中，图案化基底101a中可形成有至少一第一凹陷及至少一第二凹陷。第一及第二凹陷的组合可为一两侧凹陷，其具有两侧突起的墙105a，其围绕大抵平坦的中间区域103a。两侧突起墙的厚度H1、H3及大抵平坦的中间区域的厚度H2分别小于300μm。两侧突起墙与大抵平坦的中间区域的总厚度(H1、H2、及H3)可小于300μm。在图3B中，图案化基底101b可形成有单侧凹陷(也称为第一凹陷)，其形成自基底101b的顶表面(或第一表面)。单侧凹陷包括向上突起的墙105b，其围绕大抵平坦的中间区域103b。向上突起的墙及大抵平坦的中间区域的厚度分别小于300μm。向上突起的墙与大抵平坦的中间区域的总厚度可小于300μm。在图3C中，图案化基底101c可形成有单侧凹陷(也称为第一凹陷)，其形成自基底101b的底表面(或第二表面)。单侧凹陷包括向上突起的墙105c，其围绕大抵平坦的中间区域103b。择一地或选择性地，可于图案化基底的一侧或两侧上沉积披覆层(未显示)，其例如是铬涂层(Cr coating)、IR涂层、AR涂层、及/或PR涂层。披覆层的沉积可借由溅镀或热蒸镀工艺而进行。
图4A-图4F显示根据本发明实施例而于图案化基底上形成透镜的剖面图。在图4A-图4C的实施例中，可分别于图案化基底101a、101b、及101c的大抵平坦的中间区域的第一表面上形成第一透镜元件122。在图4D-图4F的实施例中，可选择性分别于图案化基底101a、101b、及101c的大抵平坦的中间区域的第二表面上形成第二透镜元件124。第一透镜元件122可为设置于平坦的中间区域的第一表面上的凸透镜(convex lens)，而第二透镜元件124可为设置于平坦的中间区域的第二表面上的凸透镜。在一实施例中，第二透镜元件124对齐于穿过第一透镜元件122的光轴(optical axis)。第一及第二透镜元件可借由透镜形成技术而形成，特别是可使用玻璃上高分子透镜(polymer-on-glass lens)的UV光浮雕法(UV-embossing)来制作堆叠的透镜模块。可择一地或选择性地于第一透镜元件或第二透镜元件上形成披覆层，其例如是黑色阻光层或抗反射层。
图5显示一实施例，其中堆叠了两图案化基底，并接着切割成多个独立的透镜模块。提供第二基底100b，其具有第二透镜组的阵列(an array ofsecondlens assemblies)形成于其中或其上。每一第二透镜组对应至基底100a的其中一第一透镜组。第二基底100b对齐且堆叠于第一基底100a。可于第二透镜组与第一透镜组之间涂布粘着层。可进行堆叠基底的切割以将堆叠基底分离成多个独立的透镜模块。
据此，可因而提供透镜组(lens assembly)或堆叠透镜模块(stacked lensmodule)。图6显示根据本发明实施例的透镜组的剖面图。在图6中，透镜组200包括具有两侧凹陷的图案化基底。凹陷包括两侧突起的墙201，其围绕大抵平坦的中间区域203。可于大抵平坦的中间区域203的第一表面上设置凸透镜元件212。可于大抵平坦的中间区域203的第二表面上设置凸透镜元件214。换言之，透镜元件214可设置于自基底的下表面所形成的凹陷中。可于凸透镜元件212上设置抗反射层(antireflection layer，AR layer)216。可于凸透镜元件214上设置黑色阻光层218以作为透镜组200的光圈(aperture)。
图7显示根据本发明一实施例的堆叠透镜模块织剖面图。在图7中，堆叠透镜模块300包括第二透镜组，其对齐且堆叠于图6的第一透镜组200之上。第二透镜组包括图案化基底，其具有向下突起的墙221，其围绕大抵平坦中间区域223。可于大抵平坦中间区域223的第二表面上设置凸透镜元件232。可择一或选择性地于凸透镜元件232上设置抗反射(AR)层234。可于第二透镜组与第一透镜组之间夹置粘着层235。在一实施例中，透镜元件212、214、及232对齐于穿过透镜元件212的光轴。
图8A-图8D显示根据本发明一实施例的透镜组的工艺剖面图。请参照图8A，提供基底400，其例如是裸玻璃基底或玻璃晶片。于基底400的两侧上形成图案化光致抗蚀剂层410以露出将被部分移除的基底400的表面。进行适当的移除工艺(例如，湿式蚀刻、干式蚀刻、或其他物理处理)以于基底400的两侧上制造开口407(或凹陷407)，如图8B所示。
请参照图8C，紧接着将图案化光致抗蚀剂层410自基底移除，留下包含两侧凹陷的图案化基底。基底包括两侧突起的墙403及405，其围绕大抵平坦中间区域401。可于大抵平坦中间区域401的第一表面上设置凸透镜元件412。可于大抵平坦中间区域401的第二表面上设置凸透镜元件414。换言之，透镜元件412可设置于形成自图案化基底的上表面的凹陷中，而透镜元件414可设置于形成自图案化基底的下表面的凹陷中。可于凸透镜元件412上设置抗反射层416。可于凸透镜元件414上设置黑色阻光层418，如图8D所示。可进行附加的切割工艺以将基底分离成多个独立的透镜组。在一实施例中，透镜元件412及414对齐于穿过透镜元件412的光轴。
图9A-图9E显示根据本发明另一实施例的透镜组的工艺剖面图。请参照图9A，提供基底400，其例如是裸玻璃基底。于基底400的前表面(或第一表面)上形成图案化光致抗蚀剂层410，露出基底400的将被部分移除的表面。于基底400的背表面(或第二表面)上形成另一光致抗蚀剂层410’。进行适合的移除工艺(例如，湿式蚀刻、干式蚀刻、或其他物理处理工艺)以于基底400的前表面上制造开口407(或凹陷)，如图9B所示。
请参照图9C，紧接着自基底大抵移除光致抗蚀剂层410及410’，留下图案化基底，其包含单侧凹陷，形成自图案化基底的前表面(第一侧)，且朝向图案化基底的背表面(第二侧)。凹陷包括向上突起的墙403，其围绕大抵平坦中间区域401。可于大抵平坦中间区域401的第一表面上设置凸透镜元件412。换言之，可将凸透镜元件412设置于形成自前表面的凹陷中。可于大抵平坦中间区域401的第二表面上设置凸透镜元件414。可于凸透镜元件412上设置抗反射层416。可于凸透镜元件414上设置黑色阻光层418，如图9D所示。可于图案化基底的背表面上设置间隔物424，且间隔物424围绕凸透镜元件414，其中可于间隔物424与图案化基底的背表面之间使用粘着层422，如图9E所示。可进行附加的切割工艺以将基底分离成多个独立的透镜组。在一实施例中，透镜元件412及414对齐于穿过透镜元件412的光轴。
图10A-图10E显示根据本发明又一实施例的透镜组的工艺剖面图。请参照图10A，提供基底400，其例如是裸玻璃基底。于基底400的背表面(或第二表面)上形成图案化光致抗蚀剂层410，露出基底400的将被部分移除的表面。于基底400的前表面(或第一表面)上形成另一光致抗蚀剂层410’。进行适合的移除工艺(例如，湿式蚀刻、干式蚀刻、或其他物理处理工艺)以于基底400的背表面上制造开口407(或凹陷)，如图10B所示。
请参照图10C，紧接着自基底大抵移除光致抗蚀剂层410及410’，留下图案化基底，其包含单侧凹陷，形成自图案化基底的背表面(第二侧)。凹陷包括向下突起的墙405，其围绕大抵平坦中间区域401。可于大抵平坦中间区域401的第一表面上设置凸透镜元件412。可于大抵平坦中间区域401的第二表面上设置凸透镜元件414。换言之，可于图案化基底的前表面上设置凸透镜元件412，而可将凸透镜元件414设置于形成自图案化基底的背表面的凹陷中。可于凸透镜元件412上设置抗反射层416。可于凸透镜元件414上设置黑色阻光层418，如图10D所示。可于图案化基底的前表面上设置间隔物424，且间隔物424围绕凸透镜元件412，其中可于间隔物424与图案化基底的前表面之间使用粘着层422，如图10E所示。可进行附加的切割工艺以将基底分离成多个独立的透镜组。在一实施例中，透镜元件412及414对齐于穿过透镜元件412的光轴。
图11A-图11AA显示根据本发明各种实施例的堆叠透镜模块的剖面图。在图11A中，第二透镜组500a’对齐并堆叠于第一透镜组500a之下，其中第一透镜组500a与第二透镜组500a’之间夹置有粘着层602。在一实施例中，第一透镜组500a包括第一图案化基底501，其具有第一凹陷及第二凹陷。第一及第二凹陷包括突起墙，围绕大抵平坦中间区域。第一透镜元件502设置于大抵平坦中间区域的第一表面上，而第二透镜元件504设置于大抵平坦中间区域的第二表面上。换言之，第一透镜元件502及第二透镜元件504分别设置于形成自第一图案化基底501的相反表面的凹陷中。可于第一透镜元件502上设置抗反射层514，并可于第二透镜元件504上设置黑色阻光层512。第二透镜组500a’包括第二图案化基底503，其具有第三凹陷及第四凹陷。第三及第四凹陷包括突起墙，围绕大抵平坦中间区域。第三透镜元件506设置于第三凹陷(其包括大抵平坦中间区域)的第一表面上，而第四透镜元件508设置于第四凹陷(其包括大抵平坦中间区域)的第二表面上。换言之，第三透镜元件506及第四透镜元件508分别设置于形成自第二图案化基底503的相反表面的凹陷中。可于第四透镜元件508上设置抗反射层516。在一实施例中，所有的透镜元件对齐于相同的光轴。例如，透镜元件502、504、506、及508对齐于穿过第一透镜元件502的光轴。
在其他实施例中，图11A的堆叠透镜模块可还包括夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500a’之间的间隔物604，如图11Z所示。
请参照图11B，第二透镜组500b对齐且堆叠于第一透镜组500a之下，其中粘着层602夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500b之间。在一实施例中，第二透镜组500b包括第二图案化基底503b，其具有第三凹陷，形成自第二图案化基底503b的顶表面(或第三侧)。第三凹陷包括向上突起墙，其围绕大抵平坦中间区域。第三透镜元件506设置于第三凹陷的第一表面(或底表面)上，而第四透镜元件508设置于第二图案化基底相反于第三凹陷的背表面(或第四侧)上。第四透镜元件508上设置有第二抗反射层516。在第二图案化基底503b的第二表面上设置有第一间隔物606，其围绕第四透镜元件508。在其他实施例中，图11B的堆叠透镜模块可还包括夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500b之间的第二间隔物604，如图11AA所示。
请参照图11C，第二透镜组500c对齐且堆叠于第一透镜组500a之下，其中粘着层602夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500c之间。在一实施例中，第二透镜组500c包括第二图案化基底503c，其具有第四凹陷，形成自第二图案化基底503c的底表面。第四凹陷包括向下突起墙，其围绕大抵平坦中间区域。透镜元件508设置于第四凹陷的大抵平坦中间区域的第二表面上。透镜元件508上设置有第二抗反射层516。在其他实施例中，图11C的堆叠透镜模块可还包括夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500c之间的间隔物604，如图11D所示。透镜元件506设置于第二图案化基底的相反于第四凹陷的第二表面上。
请参照图11E，第二透镜组500d对齐且堆叠于第一透镜组500a之下，其中粘着层602夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500d之间。在一实施例中，第二透镜组500d包括双平面基底503d。透镜元件508设置于双平面基底503d的第二表面(或第二侧)上。透镜元件508上设置有第二抗反射层516。第一间隔物606设置于双平面基底503d的背侧上，且围绕透镜元件508。在其他实施例中，图11E的堆叠透镜模块可还包括夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500d之间的第二间隔物604，如图11F所示。
请参照图11H，第二透镜组500b对齐且堆叠于第一透镜组500a之上，其中第二粘着层602夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500c之间。在一实施例中，第二透镜组500b包括第二图案化基底503b，其具有第三凹陷，形成自第二图案化基底503b的顶表面。第三凹陷包括向上突起墙，其围绕大抵平坦中间区域。第三透镜元件506设置于第三凹陷的大抵平坦中间区域的第一表面上，而第四透镜元件508设置于第二图案化基底的相反于第三凹陷的第二表面上。第四透镜元件508上设置有黑色阻光层512，而第三透镜元件506上设置有抗反射层516。在其他实施例中，图11H的堆叠透镜模块可还包括夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500b之间的间隔物604，如图11所示。
请参照图11M，第二透镜组500c对齐且堆叠于第一透镜组500a之上，其中粘着层602夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500c之间。在一实施例中，第二透镜组500c包括第二图案化基底503c，其具有第四凹陷，形成自第二图案化基底的底表面。第四凹陷包括向下突起墙，其围绕大抵平坦中间区域。第三透镜元件设置于第二图案化基底的相反于第四凹陷的第一表面上，而第四透镜元件设置于第四凹陷的第二表面上。第三透镜元件上设置有抗反射层，而第四透镜元件上设置有黑色阻光层。第一间隔物608设置于第二图案化基底的第一表面上，且围绕第三透镜元件。在其他实施例中，图11M的堆叠透镜模块可还包括夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500c之间的第二间隔物604，如图11N所示。
请参照图11U，第二透镜组500d对齐且堆叠于第一透镜组500a之上，其中粘着层602夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500d之间。在一实施例中，第二透镜组500d包括双平面基底503d。第三透镜元件506设置于双平面基底503d的第一表面上，而第四透镜元件508设置于双平面基底503d的第二表面上。第三透镜元件506上设置有抗反射层514，而第四透镜元件508上设置有黑色阻光层512。第一间隔物608设置于双平面基底503d的前侧上，且围绕第三透镜元件506。在其他实施例中，图11U的堆叠透镜模块可还包括夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500d之间的第二间隔物604，如图11V所示。
请参照图11I，第二透镜组500b’对齐且堆叠于第一透镜组500b之下，其中粘着层602夹置于第一透镜组500b与第二透镜组500b’之间。在一实施例中，第一透镜组500b包括第一图案化基底，其具有第一凹陷，形成自第一图案化基底的顶表面。第一凹陷包括向上突起墙，其围绕大抵平坦中间区域。第一透镜元件502设置于第一凹陷的第一表面上，而第二透镜元件504设置于第一图案化基底相反于第一凹陷的第二表面上。第一透镜元件502上设置有抗反射层，而第二透镜元件上设置有黑色阻光层。第二透镜组500b’包括第二图案化基底，其具有第三凹陷，形成自第二图案化基底的顶表面。第三凹陷包括向上突起墙，其围绕大抵平坦中间区域。第三透镜元件506设置于第二图案化基底的第三凹陷的第一表面上，而第四透镜元件508设置于第二图案化基底相反于第三凹陷的第二表面上。第四透镜元件508上设置有第二抗反射层。在第二图案化基底的背侧上设置有第一间隔物606，其围绕第四透镜元件508。在其他实施例中，图11I图堆叠透镜模块可还包括夹置于第一透镜组500b与第二透镜组500b’之间的第二间隔物604，如图11J所示。
请参照图11K，第二透镜组500c对齐且堆叠于第一透镜组500b之下，其中粘着层602夹置于第一透镜组500b与第二透镜组500c之间。在一实施例中，第二透镜组500c包括第二图案化基底，其具有第四凹陷，形成自第二图案化基底的底表面。第四凹陷包括向下突起墙，其围绕大抵平坦中间区域。第三透镜元件设置于第二图案化基底的相反于第四凹陷的第一表面上，而第四透镜元件设置于第二图案化基底的第四凹陷中。第四透镜元件上设置有抗反射层。间隔物604可夹置于第一透镜组500b与第二透镜组500c之间。
请参照图11L，第二透镜组500d对齐且堆叠于第一透镜组500b之下，其中粘着层602夹置于第一透镜组500b与第二透镜组500d之间。在一实施例中，第二透镜组500d包括双平面基底。第三透镜元件设置于双平面基底的第一表面上，而第四透镜元件设置于双平面基底的第二表面上。第四透镜元件上设置有第二抗反射层。第一间隔物606设置于双平面基底503d的背侧上，且围绕第四透镜元件508。第二间隔物604夹置于第一透镜组500a与第二透镜组500d之间。
请参照图11O，第二透镜组500b对齐且堆叠于第一透镜组500c之下，其中粘着层602夹置于第一透镜组500c与第二透镜组500b之间。在一实施例中，第一透镜组500c包括第一图案化基底，其具有第二凹陷，形成自第一图案化基底的底表面。第二凹陷包括向下突起墙，其围绕大抵平坦中间区域。第一透镜元件设置于第一图案化基底的相反于第二凹槽的第一表面上，而第二透镜元件设置于第二凹槽的第二表面上。第一透镜元件上设置有抗反射层，而第二透镜元件上设置有黑色阻光层。第二透镜组500b包括第二图案化基底，其具有第三凹陷，形成自第二图案化基底的顶表面。第三凹陷包括向上突起墙，其围绕大抵平坦中间区域。第三透镜元件设置于第二图案化基底的第三凹陷中，而第四透镜元件设置于第二图案化基底相反于第三凹陷的第二表面上。第四透镜元件508上设置有第二抗反射层。在第一图案化基底的前侧上设置有第一间隔物608，其围绕第一透镜元件。在第二图案化基底的背侧上设置有第二间隔物606，其围绕第四透镜元件。在其他实施例中，图11O的堆叠透镜模块可还包括夹置于第一透镜组500c与第二透镜组500b之间的第三间隔物604，如图11P所示。
请参照图11X，第二透镜组500d对齐且堆叠于第一透镜组500b之下，其中粘着层602夹置于第一透镜组500b与第二透镜组500d之间。在一实施例中，第二透镜组500d包括双平面基底。第三透镜元件设置于双平面基底的第一表面上，而第四透镜元件设置于双平面基底的第二表面上。第三透镜元件上设置有抗反射层，而第四透镜元件上设置有黑色阻光层。第一间隔物604设置于双平面基底的前侧上，且围绕第三透镜元件。第二间隔层606设置于第一图案化基底的背侧上，且围绕第二透镜元件。在其他实施例中，图11X的堆叠透镜模块可还包括夹置于第一透镜组500b与第二透镜组500d之间的第三间隔物604，如图11W所示。
请参照图11Q，第二透镜组500c’对齐且堆叠于第一透镜组500c之下，其中粘着层602夹置于第一透镜组500c与第二透镜组500c’之间。在一实施例中，第二透镜组500c’包括第二图案化基底，其具有第四凹陷，形成自第二图案化基底的底表面。第四凹陷包括向下突起墙，其围绕大抵平坦中间区域。第三透镜元件设置于第二图案化基底相反于第四凹陷的第一表面上，而第四透镜元件设置于第四凹陷中。第四透镜元件上设置有第二抗反射层。在第一图案化基底的前侧上设置有第一间隔物608，其围绕第一透镜元件。在其他实施例中，图11Q的堆叠透镜模块可还包括夹置于第一透镜组500c与第二透镜组500c’之间的第二间隔物604，如图11R所示。
请参照图11S，第二透镜组500d对齐且堆叠于第一透镜组500c之下，其中粘着层602夹置于第一透镜组500c与第二透镜组500d之间。在一实施例中，第二透镜组500d包括双平面基底。第三透镜元件设置于双平面基底的第一表面上，而第四透镜元件设置于双平面基底的第二表面上。第四透镜元件上设置有第二抗反射层。第一间隔物608设置于第一图案化基底的前侧上，且围绕第一透镜元件。在其他实施例中，图11S的堆叠透镜模块可还包括夹置于第一透镜组500c与第二透镜组500d之间的第三间隔物604，如图11T所示。
请参照图11Y，第二透镜组500d对齐且堆叠于第一透镜组500c之上，其中粘着层602夹置于第一透镜组500c与第二透镜组500d之间。在一实施例中，第二透镜组500d包括双平面基底。第三透镜元件设置于双平面基底的第一表面上，而第四透镜元件设置于双平面基底的第二表面上。第三透镜元件上设置有抗反射层，而第四透镜元件上设置有黑色阻光层。第一间隔物608设置于双平面基底的前侧上，且围绕第三透镜元件。第二间隔物604设置于第一透镜组500c与第二透镜组500d之间。
在所有上述实施例中，透镜元件可全部或至少部分对齐于相同的光轴。
虽然本发明已以数个优选实施例披露如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作任意的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视所附的权利要求所界定的范围为准。

Claims (8)

1.一种透镜模块，包括：
一第一透镜组，包括：
一第一图案化基底；
一第一凹陷，形成自该第一图案化基底的一第一表面；
一第一透镜元件，设置于该第一凹陷之中；
一第二透镜元件，设置于该第一图案化基底之上，其中该第二透镜元件和该第一透镜元件对齐于相同的光轴，其中该第一图案化基底具有一厚度，且其中该厚度小于300μm；以及
一第二凹陷，形成自该第一图案化基底的一第二表面，其中该第二透镜元件设置于该第二凹陷之中。
2.如权利要求1所述的透镜模块，还包括一披覆层，设置于该第二透镜元件之上，其中该披覆层包括一黑色阻光层或一抗反射层。
3.如权利要求1所述的透镜模块，还包括：
一第二透镜组，对齐且堆叠于该第一透镜组之上；
一间隔物，夹置于该第二透镜组与该第一透镜组之间；以及
一粘着层，夹置于该第二透镜组与该第一透镜组之间，其中该第二透镜组包括：
一第二图案化基底；
一第三凹陷，形成自该第二图案化基底的一底表面；以及
一第三透镜元件，设置于该第三凹陷之中，其中该第三透镜元件和该第一透镜元件对齐于相同的光轴。
4.如权利要求3所述的透镜模块，还包括：
一第四透镜元件，设置于该第二图案化基底之上，其中该第四透镜元件和该第一透镜元件对齐于相同的光轴，且该第四透镜元件设置于该第二图案化基底的一顶表面之上；
一第四凹陷，形成自该第二图案化基底的该顶表面，其中该第四透镜元件设置于该第四凹陷之中；以及
一第二披覆层，设置于该第三透镜元件或该第四透镜元件之上。
5.如权利要求1所述的透镜模块，还包括一第二透镜组，对齐且堆叠于该第一透镜组之上，其中该第二透镜组包括：
一双平行面基底，具有一第一侧及一第二侧；
一第三透镜元件，设置于该双平行面基底的该第一侧之上，其中该第三透镜元件和该第一透镜元件对齐于相同的光轴；以及
一粘着层，夹置于该第二透镜组与该第一透镜组之间；
一第一间隔物，设置于该双平行面基底的该第一侧之上，且围绕该第三透镜元件；以及
一第二间隔物，设置于该双平行面基底的该第二侧之上，且围绕一第四透镜元件。
6.如权利要求5所述的透镜模块，其中该第四透镜元件，设置于该双平行面基底的该第二侧之上。
7.一种透镜模块的形成方法，包括：
形成一第一透镜组，该第一透镜组的形成包括：
提供一第一基底，具有一第一表面及一第二表面；
自该第一基底的该第一表面和该第二表面移除部分的该第一基底以形成包括一第一凹陷和一第二凹陷的第一图案化基底；
将一第一透镜元件设置于该第一凹陷之中；以及
将一第二透镜元件设置于该第二凹陷之中，其中该第二透镜元件和该第一透镜元件对齐于相同的光轴，其中该第一图案化基底具有一厚度，且其中该厚度小于300μm。
8.如权利要求7所述的透镜模块的形成方法，还包括：
形成一第二透镜组；
将该第一透镜组设置于该第二透镜组之上；以及
于该第一透镜组与该第二透镜组之间形成一粘着层。
CN201110085946.9A 2010-09-20 2011-04-02 透镜模块及其形成方法 Active CN102411185B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/886,129 2010-09-20
US12/886,129 US8000041B1 (en) 2010-09-20 2010-09-20 Lens modules and fabrication methods thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102411185A CN102411185A (zh) 2012-04-11
CN102411185B true CN102411185B (zh) 2014-12-31

Family

ID=44358578

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110085946.9A Active CN102411185B (zh) 2010-09-20 2011-04-02 透镜模块及其形成方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8000041B1 (zh)
CN (1) CN102411185B (zh)
TW (1) TWI435134B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110199215A (zh) * 2017-01-26 2019-09-03 索尼半导体解决方案公司 堆叠透镜结构、相机模块和电子装置

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100867520B1 (ko) * 2007-04-23 2008-11-07 삼성전기주식회사 결상 렌즈 및 그 제조 방법
CN102209622B (zh) 2008-09-18 2014-05-28 数字光学东方公司 光学块和形成光学块的方法
US8848286B2 (en) 2012-04-11 2014-09-30 Omni Version Technology, Inc. Lens plate for wafer-level camera and method of manufacturing same
TWI452000B (zh) * 2012-05-21 2014-09-11 Himax Tech Ltd 載具
US20150115129A1 (en) * 2013-10-29 2015-04-30 Omnivision Technologies, Inc. Coated Diamond-Turned Replication Master And Associated Process
US9798114B2 (en) 2014-06-17 2017-10-24 Omnivision Technologies, Inc. Concave spacer-wafer apertures and wafer-level optical elements formed therein
US10741613B2 (en) 2014-10-14 2020-08-11 Ams Sensors Singapore Pte. Ltd. Optical element stack assemblies
US10155330B2 (en) * 2015-09-29 2018-12-18 OmniVision Optoelectronics Technologies (Shanghai) Co., Ltd. Method of forming packaged lens modules
CN108700721B (zh) 2015-11-12 2021-12-31 赫普塔冈微光有限公司 光学元件堆叠组件
CN105549173A (zh) * 2016-01-28 2016-05-04 宁波舜宇光电信息有限公司 光学镜头和摄像模组及其组装方法
JP6918409B2 (ja) * 2017-01-26 2021-08-11 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 カメラモジュールおよびその製造方法、並びに電子機器
JP6976688B2 (ja) * 2017-01-26 2021-12-08 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 カメラモジュールおよびその製造方法、並びに電子機器

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101630123A (zh) * 2008-07-17 2010-01-20 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镜片、镜片阵列及其制造方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101630053A (zh) * 2008-07-15 2010-01-20 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 微组合镜片装置及其制造方法
CN101872049B (zh) * 2009-04-27 2014-10-15 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镜片结构的制作方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101630123A (zh) * 2008-07-17 2010-01-20 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镜片、镜片阵列及其制造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
说明书背景,附图13. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110199215A (zh) * 2017-01-26 2019-09-03 索尼半导体解决方案公司 堆叠透镜结构、相机模块和电子装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201213919A (en) 2012-04-01
US8000041B1 (en) 2011-08-16
TWI435134B (zh) 2014-04-21
CN102411185A (zh) 2012-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102411185B (zh) 透镜模块及其形成方法
US10955606B2 (en) Method of imprinting tilt angle light gratings
CN107219723B (zh) 一种金属光栅的制作方法、金属光栅及显示装置
CN113866876B (zh) 多波导光场显示
US20150369999A1 (en) Light guide plate and method of manufacturing the same, and backlight module
KR102444339B1 (ko) 도파관 결합기들의 제조 방법
CN102736139A (zh) 晶片级透镜模块及其制造方法
EP3462082B1 (en) Optical body and light emitting device
CN100419467C (zh) 微透镜基板及其制造方法、及其应用
US6289157B1 (en) Optical wave-guide, light-beam spot converter and optical transmission module
US20090246717A1 (en) Method for forming a patterned photoresist layer
CN103901559B (zh) 光耦合装置
US20100208346A1 (en) Multilayer Dielectric Transmission Gratings Having Maximal Transmitted Diffraction Efficiency
Lee et al. Mass-producible structural design and fabrication method for a slim light-guide plate having inverse-trapezoidal light out-couplers
CN103309006A (zh) 镜头片的制作方法
WO2020199015A1 (zh) 准直背光模组，其制备方法及显示装置
TWI824679B (zh) 顯示裝置及其製造方法
Rah et al. Waveguide-type multidirectional light field display
CN102856263A (zh) 分离第一基板与第二基板的方法
US20230358922A1 (en) Lens array and manufacturing method thereof
CN211148967U (zh) 红外光扩散片
Lim et al. Optically Tunable Bifunctional Structures Fabricated by Hybrid Imprint‐Photo Lithography (HIPL)
CN215575763U (zh) 衍射光波导、镜片和增强现实眼镜
JP2004050734A (ja) 転写フィルム及び該転写フィルムを用いた反射防止膜の形成方法、並びに該形成方法により得られる反射防止膜を備えた部材
CN111736259A (zh) 波导镜片模组及其制作方法、ar设备

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant