CN102410173A - 低温泵系统及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种低温泵系统及其控制方法，其在低温泵系统的多个压缩机之间更加均等地分担负载。本发明的低温泵系统(1000)具备：多个低温泵(10)；多个压缩机单元(102、104)，为了向多个低温泵(10)供给工作气体，分别按照控制输出而并列运行；及低温泵控制器(100)，决定相对于多个压缩机单元(102、104)各自的控制输出，其中，低温泵控制器(100)调整为了对至少1个压缩机单元(102、104)决定控制输出而使用的设定值，以使各压缩机单元(102、104)的运行状态均衡化。

Description

低温泵系统及其控制方法

技术领域

本申请主张基于2010年9月21日申请的日本专利申请第2010-211282号的优先权。其申请的所有内容通过参考援用于本说明书中。

本发明涉及一种具备多个低温泵的低温泵系统及其控制方法。

背景技术

为了对较大容积进行真空排气，有时对1个容积应用多个低温泵。并且，为了对具有多个真空腔的真空处理装置的各真空腔进行真空排气，有时在真空处理装置搭载多个低温泵。如果台数较少，则为了使工作气体在多个低温泵中循环而设置1个共同的压缩机。若是具有更多低温泵的大型真空排气系统，则有时还设置多个压缩机。相同地，具有多个超低温设备，例如超低温制冷机的超低温系统也能够包含多个压缩机(例如参考专利文献1、2)。

专利文献1：日本特开2004-3792号公报

专利文献2：日本特开2009-275579号公报

在具有多个压缩机的系统中，有任一个压缩机以比其他压缩机更高的频度或者以更高的负载运行的倾向时，与其他压缩机相比，该压缩机的磨损更快，其结果，有可能增加该系统的维护工作的频度。随此，有可能发生系统的停机时间也变大之类的不良情况。

发明内容

本发明的目的之一在于，当对多个超低温设备，例如低温泵应用多个压缩机时，能够在多个压缩机之间更加均等地分担负载。

本发明的一种形态的低温泵系统具备：多个低温泵；多个压缩机单元，为了向所述多个低温泵供给工作气体，分别按照控制输出而并列运行；及控制部，决定相对于所述多个压缩机单元各自的控制输出。所述控制部也可调整为了对至少1个压缩机单元决定所述控制输出而使用的设定值，以使各压缩机单元的运行状态均衡化。

本发明的另一形态是，为了向多个低温泵供给工作气体而并列运行的多个压缩机的控制方法。该方法具备：决定相对于所述多个压缩机各自的控制输出的步骤、及通过调整为了对至少1个压缩机决定所述控制输出而使用的设定值来使各压缩机的运行状态均衡化的步骤。

发明效果

根据本发明，能够在多个压缩机之间更加均等地分担负载。

附图说明

图1是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵系统的整体结构的图。

图2是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵的截面图。

图3是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的压缩机单元的图。

图4是有关本实施方式所涉及的低温泵系统的控制块图。

图5是用于说明本发明的一实施方式所涉及的差压恒定控制的控制流程的图。

图6是用于说明本发明的一实施方式所涉及的设定值调整处理的流程图。

图7是表示在本发明的一实施方式所涉及的调整处理中所使用的调整表的图。

图8是用于说明本发明的一实施方式所涉及的调整处理结果的一例的图。

图中：10-低温泵，12-制冷机，14-板结构体，16-热护罩，22-第1冷却台，23-第1温度传感器，24-第2冷却台，25-第2温度传感器，26-制冷机马达，28-闭塞部，31-开口部，32-挡板，100-CP控制器，102-第1压缩机单元，104-第2压缩机单元，140-压缩机主体，164-第1压力传感器，166-第2压力传感器，168-压缩机控制器，172-压缩机马达，1000-低温泵系统。

具体实施方式

首先，对在以下说明的本发明所涉及的实施方式的概要进行说明。根据本发明所涉及的一实施方式，提供一种并列设置有多个压缩机的低温泵系统。在一实施例中，至少有2台压缩机被独立地控制并同时运行。以某种频度调整对各个压缩机设定的设定值，以使各压缩机的运行状态均衡化。由此，能够抑制有可能随着时间的经过而扩大的各压缩机的运行状态的背离，且均等地分担负载。运行状态的背离例如起因于各压缩机的个体差。例如可以认为起因在于，压缩机主体或附带设置于此的传感器或其他设备类的个体差、或者连接各压缩机与低温泵的配管系统的长度或处理的差异。

在一实施方式中，提供用于从共同的负载回收工作气体并供给的工作气体循环装置。共同的负载为工作气体的供给目标端，可包含多个超低温设备。超低温设备可以是通过制冷循环产生寒冷的超低温制冷机。超低温设备还可以是具备通过超低温制冷机冷却的低温板的低温泵。工作气体循环装置可具备，各自并列连接于共同的负载且各自按照控制输出运行的多个压缩机单元、及决定相对于多个压缩机单元各自的控制输出的控制部。控制部可通过调整为了对至少1个压缩机单元决定控制输出而使用的设定值来使各压缩机单元的运行状态均衡化。

控制部可以由单一的控制器构成，也可包含各自发挥相同或不同功能的多个控制器。例如，控制部可具备，设置于各压缩机单元并决定各压缩机单元的控制输出的压缩机控制器、及统括控制低温泵系统的低温泵控制器。此时，设定值的调整可以由压缩机控制器执行，也可由低温泵控制器执行。

当运行状态的背离在容许范围内时，可以不用调整设定值。即，设定值可保持为恒定。例如当压缩机的台数或能力相对于负载有富余时，无需调整设定值，即，还可以期待通过压缩机的并列配置本身来实现运行状态的均衡化。因此，还可以说多个压缩机相对各个设备成为并列的工作气体供给源或排出目标端的系统结构本身具有优点。

随此，一实施方式所涉及的超低温系统可具备，多个超低温设备、为了向多个超低温设备给排(供给排出)工作气体而相互并列配置的多个压缩机单元、及为了向多个超低温设备给排工作气体而连接多个超低温设备和多个压缩机单元的配管系统。该配管系统可包含汇集多个超低温设备与多个压缩机单元之间的工作气体的流通的共同管路。共同管路可具备用于汇集分别从多个压缩机单元的每个送出的工作气体并供给至多个超低温设备的供给管路。共同管路也可具备用于汇集从多个超低温设备排出的工作气体并返回至多个压缩机单元的返回管路。

配管系统可包含多个压缩机单元各自附带的供给用的个别配管及返回用的个别配管。多个压缩机单元可分别通过各自的个别配管连接于共同管路上。其连接部可以是歧管。相同地，配管系统可包含多个超低温设备各自附带的个别配管，也可以是多个超低温设备分别通过各自的个别配管连接于共同管路上。

在一实施例中，控制部可以对该压缩机单元及其他压缩机单元中至少一方调整设定值，以便缩小多个压缩机单元中任一压缩机单元的控制输出与除该压缩机单元以外的其他压缩机单元的控制输出之差。可通过如此缩小控制输出之差来实现运行状态的均衡化。控制部可以决定各压缩机单元的控制输出，以使与各压缩机单元相关联的测定值接近对各压缩机单元设定的目标值。控制输出例如可以是用于使压缩机单元的压缩机主体动作的压缩机马达的运行频率。

在优选的一实施例中，可执行决定向各压缩机单元的控制输出的差压恒定控制，以使各压缩机单元中的吸入侧与吐出侧的差压与目标差压一致。差压恒定控制例如可以将使压缩机主体动作的压缩机马达的运行频率作为控制输出来执行。另外，在优选的一实施例中，可以与差压恒定控制一同执行调温控制，该调温控制对各低温泵的制冷机的运行频率进行控制，以便将各低温泵的低温板冷却至目标温度。如后述，差压恒定控制及调温控制有助于节能性。在一实施例中，可至少在差压恒定控制的执行期间调整至少1个压缩机单元的目标差压。能够实现差压恒定控制中的运行状态的均衡化。

图1是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵系统1000的整体结构的图。低温泵系统1000为了进行真空装置300的真空排气而使用。真空装置300是在真空环境下对物体进行处理的真空处理装置，例如是在离子注入装置或溅射装置等的半导体制造工序中使用的装置。

低温泵系统1000包含多台低温泵10。这些低温泵10安装于真空装置300的1个或多个真空腔内(未图示)，为了将真空腔内部的真空度提高至所希望的工艺所需的水平而使用。低温泵10按照低温泵控制器(以下还称CP控制器)100所决定的控制输出运行。例如可以在真空腔实现105Pa～10-8Pa左右的高真空度。在图示的例子中，低温泵系统1000中包含11台低温泵10。多个低温泵10可以是均具有相同的排气性能的低温泵，也可以是具有不同排气性能的低温泵。

低温泵系统1000具备CP控制器100。CP控制器100控制低温泵10及压缩机单元102、104。CP控制器100具备执行各种运算处理的CPU、储存各种控制程序的ROM、作为用于储存数据或执行程序的作业区而利用的RAM、输入输出界面、储存器等。另外，CP控制器100构成为还能够与用于控制真空装置300的主控制器(未图示)通信。真空装置300的主控制器也可以说是统括控制包含低温泵系统1000的真空装置300的各构成要件的高级控制器。

CP控制器100与低温泵10及压缩机单元102、104分体地构成。CP控制器100连接成能够与低温泵10及压缩机单元102、104相互通信。低温泵10分别具备用于对与CP控制器100通信的输入输出进行处理的I0模块50(参考图4)。CP控制器100和各I0模块50通过控制通信线连接。图1中，用虚线表示低温泵10与CP控制器100的控制通信线及压缩机单元102、104与CP控制器100的控制通信线。另外，CP控制器100可与任一低温泵10或压缩机单元102、104构成为一体。

低温泵系统1000具备至少包含第1压缩机单元102及第2压缩机单元104的多个压缩机单元。压缩机单元为了使工作气体在包含低温泵10的封闭的流体回路上循环而设置。压缩机单元从低温泵10回收工作气体并进行压缩并再次向低温泵10送出。压缩机单元远离真空装置300而设置，或者设置于真空装置300的附近。压缩机单元按照压缩机控制器168(参考图4)所决定的控制输出运行。或者按照CP控制器100所决定的控制输出运行。

以下，作为代表例，对具有2台压缩机单元102、104的低温泵系统1000进行说明，但本发明并不限定于此。可以以与这些压缩机单元102、104相同的方式构成3台以上的压缩机单元并列连接于多个低温泵10的低温泵系统1000。另外，图1所示的低温泵系统1000分别具备有多个低温泵10及压缩机单元102、104，但是可将低温泵10或压缩机单元102、104设为1台。

本实施例中，多个压缩机单元均为相同的压缩机单元。简言之，多个压缩机单元属于相同制品。即，可以认为多个压缩机单元除了装置所具有的个体差之外，实际上具有相同性能。另一实施例中，多个压缩机单元可包含不同的压缩机单元。

多个低温泵10和多个压缩机单元102、104通过工作气体配管系统106连接。配管系统106如下构成，即相互并列连接多个低温泵10和多个压缩机单元102、104，并使工作气体在多个低温泵10与多个压缩机单元102、104之间流通。通过配管系统106，1台低温泵10上分别并列连接有多个压缩机单元，1台压缩机单元上分别并列连接有多个低温泵10。

配管系统106包含内部配管108及外部配管110而构成。内部配管108形成于真空装置300的内部，且包括内部供给管路112及内部返回管路114。外部配管110设置于真空装置300的外部，且包括外部供给管路120及外部返回管路122。外部配管110连接真空装置300与多个压缩机单元102、104。

内部供给管路112连接于各低温泵10的气体供给口42(参考图2)，内部返回管路114连接于各低温泵10的气体排出口44(参考图2)。并且，内部供给管路112通过真空装置300的气体供给端口116连接于外部配管110的外部供给管路120的一端，内部返回管路114通过真空装置300的气体排出端口118连接于外部配管110的外部返回管路122的一端。

外部供给管路120的另一端连接于第1歧管124，外部返回管路122的另一端连接于第2歧管126。第1歧管124上连接有第1压缩机单元102的第1吐出配管128及第2压缩机单元104的第2吐出配管130的一端。第1吐出配管128及第2吐出配管130的另一端分别连接于所对应的各压缩机单元102、104的吐出端口148(参考图3)。第2歧管126上连接有第1压缩机单元102的第1吸入配管132及第2压缩机单元104的第2吸入配管134的一端。第1吸入配管132及第2吸入配管134的另一端分别连接于所对应的各压缩机单元102、104的吸入端口146(参考图3)。

如此，用于汇集分别从多个压缩机单元102、104送出的工作气体并供给至多个低温泵10的共同的供给管路，由内部供给管路112及外部供给管路120构成。另外，用于汇集从多个低温泵10排出的工作气体并返回至多个压缩机单元102、104的共同的返回管路，由内部返回管路114及外部返回管路122构成。并且，多个压缩机单元分别经各压缩机单元附带的个别配管而连接于共同管路上。个别配管与共同管路的连接部上设有用于使个别配管合流的歧管。第1歧管124在供给侧合流个别配管，第2歧管126在回收侧合流个别配管。

在图示的例子中，真空装置300具备有1个气体供给端口116及1个气体排出端口118，但并不限于此。真空装置300可具备多个气体供给端口116及多个气体排出端口118。此时，多个压缩机单元的个别配管可连接于各自对应的气体供给端口及气体排出端口。

另外，配管系统106可构成为外部配管110直接连接于各低温泵10的气体供给口42及气体排出口44。此时，可在外部供给管路120及外部返回管路122各自的低温泵10侧的末端上也设置歧管，由此共同管路向各低温泵10分支。

另外，各压缩机单元102、104的吐出配管128、130及吸入配管132、134上可分别设置用于限制与规定的气体流动方向(图中为箭头方向)相反方向的流动的止回阀(未图示)。相同地，在供给管路112、120及返回管路114、122上也可设置止回阀。

根据使用低温泵系统1000的场所(例如半导体制造工厂)中的各种装置的布局设计，上述共同管路(与图示不同)有时还成为较长的长度。通过将工作气体汇集至共同管路中，比将多个压缩机的每一个分别连接于真空装置时更能够缩短总体配管长度。并且，由于采取按每个工作气体的供给对象(例如，在低温泵系统1000中为各个低温泵10)连接多个压缩机的配管结构，因此也有冗余性。通过将多个压缩机并列配置于各自的对象(例如低温泵)来运行，由此分担向多个压缩机的负载。

图2是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵10的截面图。低温泵10具备被冷却至第1冷却温度水平的第1低温板、及被冷却至比第1冷却温度水平更低温的第2冷却温度水平的第2低温板。在第1低温板上，在第1冷却温度水平下蒸汽压较低的气体通过凝结被捕捉并被排气。例如，蒸汽压低于基准蒸汽压(例如10^-8Pa)的气体被排气。在第2低温板上，在第2冷却温度水平下蒸汽压较低的气体通过凝结被捕捉并被排气。在第2低温板上，为了捕捉由于蒸汽压较高而在第2冷却温度水平下也不凝结的非凝结性气体，而在其表面上形成吸附区域。吸附区域例如通过在板表面上设置吸附剂来形成。非凝结性气体被吸附于冷却至第2冷却温度水平的吸附区域而被排气。

图2所示的低温泵10具备制冷机12、板结构体14及热护罩16。制冷机12通过吸入工作气体并使其在内部膨胀而吐出的热循环产生寒冷。板结构体14包括多个低温板，这些板通过制冷机12冷却。在板表面形成用于通过凝结或吸附来捕捉气体并排气的超低温面。在低温板的表面(例如背面)通常设置用于吸附气体的活性碳等吸附剂。热护罩16为了从周围的辐射热保护板结构体14而设置。

低温泵10为所谓立式低温泵。立式低温泵是指，沿热护罩16的轴向插入配置有制冷机12的低温泵。另外，本发明也可以同样地适用于所谓卧式低温泵。卧式低温泵是指，在与热护罩16的轴向交叉的方向(通常为正交方向)上插入配置有制冷机的第2级冷却台的低温泵。另外，图1中示意地示出有卧式低温泵10。

制冷机12是吉福德-麦克马洪式制冷机(所谓GM制冷机)。另外，制冷机12是2级式制冷机，且具有第1级缸18、第2级缸20、第1冷却台22、第2冷却台24及制冷机马达26。第1级缸18与第2级缸20串联连接，分别内置有相互连结的第1级置换器及第2级置换器(未图示)。第1级置换器及第2级置换器的内部组装有蓄冷材。另外，制冷机12也可以是2级GM制冷机以外的制冷机，例如可以利用单级GM制冷机，也可以利用脉冲管制冷机或苏尔威制冷机。

制冷机12包括流道切换机构，所述流道切换机构为了周期性地反复进行工作气体的吸入和吐出而周期性地切换工作气体的流道。流道切换机构例如包括阀部及驱动阀部的驱动部。阀部例如为回转阀，驱动部为用于使回转阀旋转的马达。马达例如可以是AC马达或DC马达。并且，流道切换机构可以是通过直线马达驱动的直动式机构。

第1级缸18的一端设置有制冷机马达26。制冷机马达26被设置在形成于第1级缸18的端部的马达用壳体27的内部。制冷机马达26被连接于第1级置换器及第2级置换器，以便第1级置换器及第2级置换器分别能够在第1级缸18及第2级缸20的内部往复移动。另外，制冷机马达26以使设置于马达用壳体27内部的可动阀(未图示)能够正反旋转的方式连接于该阀。

第1冷却台22设置于第1级缸18的靠第2级缸20侧的端部即第1级缸18与第2级缸20的连结部。另外，第2冷却台24设置于第2级缸20的末端。第1冷却台22及第2冷却台24例如通过钎焊被分别固定于第1级缸18及第2级缸20。

制冷机12经设置于马达用壳体27的外侧的气体供给口42及气体排出口44而连接于压缩机单元102或104。对于低温泵10与压缩机单元102、104的连接关系，为参考图1而进行说明的那样。

制冷机12使从压缩机单元102、104供给的高压工作气体(例如氦等)在内部膨胀而在第1冷却台22及第2冷却台24产生寒冷。压缩机单元102、104回收在制冷机12中膨胀的工作气体并再次加压而供给至制冷机12。

具体而言，首先从压缩机单元102、104向制冷机12供给高压工作气体。此时，制冷机马达26将马达用壳体27内部的可动阀驱动为连通气体供气口42和制冷机12的内部空间的状态。若制冷机12的内部空间被高压工作气体填满，则通过制冷机马达26切换可动阀而制冷机12的内部空间与气体排出口44连通。由此，工作气体膨胀而被回收至压缩机单元102、104。第1级置换器及第2级置换器分别与可动阀的动作同步而在第1级缸18及第2级缸20内部往复移动。通过反复这种热循环，制冷机12在第1冷却台22及第2冷却台24上产生寒冷。

第2冷却台24被冷却成低于第1冷却台22的温度。第2冷却台24例如被冷却至10K～20K左右，第1冷却台22例如被冷却至80K～100K左右。第1冷却台22上安装有用于测定第1冷却台22的温度的第1温度传感器23，第2冷却台24上安装有用于测定第2冷却台24的温度的第2温度传感器25。

在制冷机12的第1冷却台22上以热连接的状态固定有热护罩16，在制冷机12的第2冷却台24上以热连接的状态固定有板结构体14。因此，热护罩16被冷却成与第1冷却台22相同程度的温度，板结构体14被冷却成与第2冷却台24相同程度的温度。热护罩16形成为在一端具有开口部31的圆筒状形状。开口部31被热护罩16的筒状侧面的端部内面划分。

另一方面，在与热护罩16的开口部31的相反侧，即泵底部侧的另一端上形成有闭塞部28。闭塞部28由在热护罩16的圆筒状侧面的泵底部侧端部朝向径向内侧延伸的法兰部形成。由于图2所示的低温泵10是立式低温泵，因此该法兰部安装于制冷机12的第1冷却台22上。由此，在热护罩16的内部形成圆柱状的内部空间30。制冷机12沿热护罩16的中心轴向内部空间30突出，第2冷却台24呈插入于内部空间30的状态。

另外，当为卧式低温泵时，闭塞部28通常完全闭塞。制冷机12从形成于热护罩16的侧面的制冷机安装用开口部沿与热护罩16的中心轴正交的方向，向内部空间30突出地配置。制冷机12的第1冷却台22安装于热护罩16的制冷机安装用开口部，制冷机12的第2冷却台24被配置于内部空间30。第2冷却台24上安装有板结构体14。由此，板结构体14配置于热护罩16的内部空间30内。板结构体14可通过适当形状的板安装部件安装于第2冷却台24。

另外，热护罩16的开口部31上设置有挡板32。挡板32在热护罩16的中心轴方向上与板结构体14隔开间隔而设置。挡板32安装于热护罩16的开口部31侧的端部，被冷却成与热护罩16相同程度的温度。从真空腔80侧观察时，挡板32例如可形成为同心圆状，或者也可形成为格子状等其他形状。另外，挡板32与真空腔80之间设置有闸阀(未图示)。该闸阀例如在再生低温泵10时被关闭，在通过低温泵10对真空腔80进行排气时被打开。真空腔80例如设置于图1所示的真空装置300内。

热护罩16、挡板32、板结构体14及制冷机12的第1冷却台22和第2冷却台24被容纳于泵壳34的内部。泵壳34串联连接不同直径的2个圆筒而形成。泵壳34的大径圆筒侧端部被开放，并且向径向外侧延伸而形成与真空腔80的连接用法兰部36。另外，泵壳34的小径圆筒侧端部固定于制冷机12的马达用壳体27。低温泵10通过泵壳34的法兰部36被气密地固定于真空腔80的排气用开口，且形成与真空腔80的内部空间一体的气密空间。泵壳34及热护罩16均形成为圆筒状，并配设于同轴上。由于泵壳34的内径稍微大于热护罩16的外径，因此热护罩16在与泵壳34的内面之间保持若干间隔而配置。

当低温泵10工作时，首先在其工作前利用其他适当的粗抽泵将真空腔80内部粗抽至1Pa～10Pa左右。之后使低温泵10工作。通过制冷机12的驱动来冷却第1冷却台22及第2冷却台24，与它们热连接的热护罩16、挡板32及板结构体14也被冷却。

被冷却的挡板32冷却从真空腔80朝向低温泵10内部飞来的气体分子，使在该冷却温度下蒸汽压充分变低的气体(例如水分等)凝结在表面上而被排气。在挡板32的冷却温度下蒸汽压不会充分变低的气体通过挡板32进入热护罩16的内部。进入的气体分子中，在板结构体14的冷却温度下蒸汽压充分变低的气体(例如氩等)凝结在板结构体14的表面上而被排气。在该冷却温度下蒸汽压也不会充分变低的气体(例如氢等)通过粘结于板结构体14的表面上并被已冷却的吸附剂吸附而被排气。这样，低温泵10能够使真空腔80内部的真空度到达所希望的水平。

图3是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的第1压缩机单元102的图。在本实施例中，第2压缩机单元104也具有与第1压缩机单元102相同的结构。压缩机单元102包含使气体升压的压缩机主体140、用于向压缩机主体140供给从外部供给的低压气体的低压配管142、及用于向外部送出通过压缩机主体140压缩的高压气体的高压配管144而构成。

如图1所示，低压气体通过第1吸入配管132而供给至第1压缩机单元102。第1压缩机单元102在吸入端口146接受来自低温泵10的返回气体，工作气体被送至低压配管142。吸入端口146在低压配管142的末端被设置于第1压缩机单元102的筐体。低压配管142连接吸入端口146和压缩机主体140的吸入口。

低压配管142在中途具备作为用于去除返回气体中所包含的脉动的容积的储罐150。储罐150设置于吸入端口146与向后述的旁通机构152的分支之间。在储罐150中被去除脉动的工作气体通过低压配管142被供给至压缩机主体140。储罐150的内部可设置用于从气体消除不需要的微粒等的过滤器。在储罐150与吸入端口146之间可连接用于从外部补充工作气体的接收端口及配管。

压缩机主体140例如为涡漩方式或回转式的泵，发挥使被吸入的气体升压的功能。压缩机主体140向高压配管144送出已升压的工作气体。压缩机主体140为利用油进行冷却的结构，压缩机主体140上附带设置有使油循环的油冷却配管。因此，已升压的工作气体以稍微混入了该油的状态被送出至高压配管144。

因此，高压配管144在其中途设置有油分离器154。通过油分离器154从工作气体分离的油可返回至低压配管142，也可通过低压配管142返回至压缩机主体140。油分离器154中可设置用于释放过度高压的安全阀。

在连接压缩机主体140和油分离器154的高压配管144的中途，可设置用于冷却从压缩机主体140送出的高压工作气体的热交换器(未图示)。热交换器例如通过冷却水冷却工作气体。另外，该冷却水还可以为了对冷却压缩机主体140的油进行冷却而利用。在高压配管144中，可以在热交换器的上游及下游的至少一方设置测定工作气体温度的温度传感器。

经由油分离器154的工作气体通过高压配管144送至吸附器156。吸附器156为了例如通过储罐150内的过滤器或油分离器154等的流道上的污染物质去除构件，从工作气体除去未被除去的污染成分而设置。吸附器156例如通过吸附去除气化的油成分。

吐出端口148在高压配管144的末端被设置于第1压缩机单元102的筐体。即，高压配管144连接压缩机主体140和吐出端口148，在其中途设置有油分离器154及吸附器156。经由吸附器156的工作气体通过吐出端口148被送出至低温泵10。

第1压缩机单元102具备旁通机构152，所述旁通机构152具有连结低压配管142和高压配管144的旁通配管158。在图示的实施例中，旁通配管158在储罐150与压缩机主体140之间从低压配管142分支。另外，旁通配管158在油分离器154与吸附器156之间从高压配管144分支。

旁通机构152具备用于控制未送出至低温泵10而从高压配管144向低压配管142迂回的工作气体流量的控制阀。在图示的实施例中，在旁通配管158的中途并列设置有第1控制阀160及第2控制阀162。第1控制阀160及第2控制阀162例如为常闭型或常开型电磁阀。在本实施例中，使用第2控制阀162作为旁通配管158的流量控制阀。以下，还将第2控制阀162称作安全阀162。

第1压缩机单元102具备用于测定来自低温泵10的返回气体的压力的第1压力传感器164及用于测定向低温泵10的送出气体的压力的第2压力传感器166。由于在第1压缩机单元102动作期间，送出气体的压力高于返回气体的压力，因此以下有时还将第1压力传感器164及第2压力传感器166分别称作低压传感器及高压传感器。

第1压力传感器164设定为测定低压配管142的压力，第2压力传感器166设定为测定高压配管144的压力。第1压力传感器164例如设置于储罐150中，测定在储罐150中被去除脉动的返回气体的压力。第1压力传感器164可设置于低压配管142的任意位置。第2压力传感器166设置于油分离器154与吸附器156之间。第2压力传感器166可设置于高压配管144的任意位置。

另外，第1压力传感器164及第2压力传感器166可设置于第1压缩机单元102的外部，例如可设置于第1吸入配管132及第1吐出配管128。另外，旁通机构152也可设置于第1压缩机单元102的外部，例如也可由旁通配管158连接第1吸入配管132和第1吐出配管128。

图4是有关本实施方式所涉及的低温泵系统1000的控制块图。图4表示与本发明的一实施方式相关联的低温泵系统1000的主要部分。在多个低温泵10中，对其中1个示出内部的详细内容，对于其他低温泵10，由于相同所以省略图示。相同地，对第1压缩机单元102示出详细内容，由于第2压缩机单元104与其相同，因此省略内部的图示。

如上所述，CP控制器100可通信地连接于各低温泵10的I0模块50。I0模块50包括制冷机逆变器52及信号处理部54。制冷机逆变器52调整从外部电源，例如商用电源供给的规定电压及频率的电力并供给至制冷机马达26。通过CP控制器100控制应供给至制冷机马达26的电压及频率。

CP控制器100根据传感器输出信号决定控制输出。信号处理部54将从CP控制器100发送的控制输出中继至制冷机逆变器52。例如，信号处理部54将来自CP控制器100的控制信号转换成可在制冷机逆变器52处理的信号并发送至制冷机逆变器52。控制信号包括表示制冷机马达26的运行频率的信号。另外，信号处理部54将低温泵10的各种传感器的输出中继至CP控制器100。例如，信号处理部54将传感器输出信号转换为可在CP控制器100处理的信号并发送至CP控制器100。

I0模块50的信号处理部54上连接有包括第1温度传感器23及第2温度传感器25在内的各种传感器。如上所述，第1温度传感器23测定制冷机12的第1冷却台22的温度，第2温度传感器25测定制冷机12的第2冷却台24的温度。第1温度传感器23及第2温度传感器25分别周期性地测定第1冷却台22及第2冷却台24的温度，并输出表示测定温度的信号。第1温度传感器23及第2温度传感器25的测定值隔开预定时间被输入至CP控制器100，并被储存保持在CP控制器100的预定存储区域。

CP控制器100根据低温板的温度控制制冷机12。CP控制器100以低温板的实际温度追随目标温度的方式，将运行指令提供给制冷机12。例如，CP控制器100通过反馈控制对制冷机马达26的运行频率进行控制，以便最小化第1级低温板的目标温度与第1温度传感器23的测定温度的偏差。制冷机12的热循环频率按照制冷机马达26的运行频率规定。第1级低温板的目标温度例如按照在真空腔80中进行的工艺作为标准来规定。此时，制冷机12的第2冷却台24及板结构体14通过制冷机12的规格及来自外部的热负载而被冷却成规定温度。

当第1温度传感器23的测定温度高于目标温度时，CP控制器100对I0模块50输出指令值，以便增加制冷机马达26的运行频率。与马达运行频率的增加连动，制冷机12中的热循环的频率也增加，制冷机12的第1冷却台22向目标温度被冷却。相反地，当第1温度传感器23的测定温度低于目标温度时，制冷机马达26的运行频率被减少，制冷机12的第1冷却台22朝向目标温度升温。

通常，第1冷却台22的目标温度被设定为恒定值。因此，在向低温泵10的热负载增加时，CP控制器100以增加制冷机马达26的运行频率的方式输出指令值，在向低温泵10的热负载减少时，以减少制冷机马达26的运行频率的方式输出指令值。另外，可适当地变动目标温度，例如依次设定低温板的目标温度，以便在排气对象容积内实现作为目标的环境压力。另外，CP控制器100也可控制制冷机马达26的运行频率，以使第2级低温板的实际温度与目标温度一致。

在典型的低温泵中，热循环的频率始终恒定。并设定为以较大频率运行，以便可从常温快速冷却至泵工作温度，当来自外部的热负载较小时，通过由加热器加热来调整低温板的温度。因此，消耗电力变大。相反，在本实施方式中，由于按照向低温泵10的热负载控制热循环频率，因此能够实现节能性优异的低温泵。并且，无需一定要设置加热器也有助于消耗电力的降低。

CP控制器100可通信地连接于压缩机控制器168。本发明的一实施方式所涉及的低温泵系统1000的控制部由包含CP控制器100及压缩机控制器168的多个控制器构成。在另一实施例中，低温泵系统1000的控制部可由单一的CP控制器100构成，也可在压缩机单元102、104设置10模块来代替压缩机控制器168。此时，I0模块在CP控制器100与压缩机单元102、104的各构成要件之间中继控制信号。

压缩机控制器168根据来自CP控制器100的控制信号或者从CP控制器100独立地控制第1压缩机单元102。在一实施例中，压缩机控制器168从CP控制器100接收表示各种设定值的信号，并使用该设定值来控制第1压缩机单元102。压缩机控制器168根据传感器输出信号决定控制输出。压缩机控制器168与CP控制器100相同地具备执行各种运算处理的CPU、储存各种控制程序的ROM、作为用于储存数据或执行程序的作业区来利用的RAM、输入输出界面及储存器等。

另外，压缩机控制器168将表示第1压缩机单元102的运行状态的信号发送至CP控制器100。表示运行状态的信号例如包括第1压力传感器164及第2压力传感器166的测定压力、安全阀162的开度或控制电流、压缩机马达172的运行频率等。

第1压缩机单元102包括压缩机逆变器170及压缩机马达172。压缩机马达172为使压缩机主体140动作且可改变运行频率的马达，被设置于压缩机主体140上。能够与制冷机马达26相同地采用各种马达作为压缩机马达172。压缩机控制器168控制压缩机逆变器170。压缩机逆变器170调整从外部电源例如商用电源供给的规定电压及频率的电力并供给至压缩机马达172。通过压缩机控制器168决定应供给至压缩机马达172的电压及频率。

压缩机控制器168上连接有包括第1压力传感器164及第2压力传感器166的各种传感器。如上所述，第1压力传感器164周期性地测定压缩机主体140吸入侧的压力，第2压力传感器166周期性地测定压缩机主体140的吐出侧的压力。第1压力传感器164及第2压力传感器166的测定值每隔预定时间输入至压缩机控制器168，并被储存保持于压缩机控制器168的预定存储区域中。

压缩机控制器168上连接有上述安全阀162。在安全阀162附带设置有用于驱动安全阀162的安全阀驱动器174，安全阀驱动器174连接于压缩机控制器168。压缩机控制器168决定安全阀162的开度，对安全阀驱动器174提供表示其开度的控制信号。安全阀驱动器174将安全阀162控制在该开度。如此，控制旁通机构152的工作气体流量。安全阀驱动器174也可组装于压缩机控制器168。

压缩机控制器168控制压缩机主体140，以便将压缩机单元102的出入口之间的差压(以下，有时也称作压缩机差压)维持在目标差压。例如，压缩机控制器168以将压缩机单元102的出入口之间的差压设为恒定值的方式执行反馈控制。在一实施例中，压缩机控制器168由第1压力传感器164及第2压力传感器166的测定值求出压缩机差压。压缩机控制器168决定压缩机马达172的运行频率，以使压缩机差压与目标值一致。压缩机控制器168控制压缩机逆变器170，以便实现其运行频率。

通过这种差压恒定控制，可实现消耗电力的进一步降低。当向低温泵10及制冷机12的热负载较小时，制冷机12中的热循环频率通过上述低温板调温控制变小。若那样，则由于制冷机12所需的工作气体流量变小，因此压缩机单元102的出入口之间的差压欲扩大。然而，在本实施方式中，以将压缩机差压设为恒定的方式控制压缩机马达172的运行频率。此时，压缩机马达172的运行频率变小，以便将差压缩小至目标值。因此，与如典型的低温泵那样始终以恒定的运行频率运行压缩机的情况相比，能够降低消耗电力。

另一方面，当向低温泵10的热负载变大时，增加压缩机马达172的运行频率，以使压缩机差压恒定。因此，由于能够充分确保向制冷机12的工作气体流量，所以能够将起因于热负载的增加的低温板温度从目标温度的背离抑制在最小限度。

图5是用于说明本发明的一实施方式所涉及的差压恒定控制的控制流程的图。图5中示出有一实施例所涉及的控制流程的概要。组合压缩机马达172的运行频率和安全阀162的开度作为控制输出来执行差压恒定控制。在另一实施例中，可将压缩机马达172的运行频率及安全阀162的开度中的一方作为控制输出来执行差压恒定控制。

图5所示的控制处理在低温泵10的运行期间以预定周期通过压缩机控制器168反复执行。该处理在各压缩机单元102、104各自的压缩机控制器168中，与其他压缩机单元102、104相独立地执行。图5中用虚线划分表示压缩机控制器168中的运算处理的部分，用单点划线划分表示压缩机单元102、104的硬件的动作的部分。

如图5所示，压缩机控制器168中预先设定并输入有目标差压。目标差压例如在CP控制器100中设定，并提供给压缩机控制器168。通过第1压力传感器164测定吸入侧的测定压PL，通过第2压力传感器166测定吐出侧的测定压PH，并从各传感器提供给压缩机控制器168。在通常动作时，第1压力传感器164的测定压PL低于第2压力传感器166的测定压PH。

压缩机控制器168从吐出侧测定压PH减去吸入侧测定压PL来求出测定差压ΔP，进而从设定差压ΔPo减去测定差压ΔP来求出差压偏差e。压缩机控制器168例如通过包括PID运算在内的预定的控制输出运算处理，由差压偏差e计算出控制输出D。

压缩机控制器168进行输出分配处理，所述输出分配处理对提供给压缩机逆变器170的控制输出D1和提供给安全阀162的控制输出D2分配控制输出D。在一实施例中，当控制输出D小于预定阈值时，压缩机控制器168可将控制输出D的一大半分配给安全阀控制输出D2。例如，在控制输出D中，可将压缩机运行所需的最小限度的控制输出分配给逆变器控制输出D1，其余的所有控制输出分配给安全阀控制输出D2。另外，当控制输出D在该阈值以上时，可将控制输出D全部分配给逆变器控制输出D1(即D＝D1)。

若如此，当所需的控制输出比较小时，通过安全阀的控制从高压侧向低压侧放出压力，从而压缩机差压被调整为所希望的值。相反地，当所需的控制输出比较大时，通过逆变器控制调整压缩机的运行，实现所需的运行状态。另外，当控制输出D在包含阈值的中间范围内时，或者可以在控制输出D的整个范围内，可以将控制输出D分配给逆变器控制输出D1和安全阀控制输出D2来代替用阈值切换逆变器控制和安全阀控制。

压缩机控制器168由逆变器控制输出D1运算提供给压缩机逆变器170的指令值E，并由安全阀控制输出D2运算提供给安全阀驱动器174的指令值R。逆变器指令值E被提供给压缩机逆变器170，根据其指令控制压缩机主体140，即压缩机马达172的运行频率。另外，安全阀指令值R被提供给安全阀驱动器174，根据其指令控制安全阀162的开度。根据压缩机主体140及安全阀162的动作状态及相关联的配管或罐等的特性决定作为工作气体的氦气的压力。通过第1压力传感器164及第2压力传感器166测定如此决定的氦气压力。

如此，在各压缩机单元102、104中通过各个压缩机控制器168独立地执行差压恒定控制。压缩机控制器168执行反馈控制，以使差压偏差e最小化(优选设为零)。压缩机控制器168切换或共同使用以压缩机的运行频率为操作量的逆变器控制模式和以安全阀开度为操作量的安全阀控制模式来进行反馈控制。

在一实施例中，设定目标差压除了后述的设定值调整之外，保持为恒定。另外，可调整除目标差压以外的设定值。例如可调整在运算控制输出的PID运算中使用的增益或控制输出分配处理中的分配比率或上述阈值等为了决定控制输出而使用的任意设定值。另外，可在任一控制模式下对设定值进行调整，但是优选至少在逆变器控制模式下对设定值进行调整。

图5所示的偏差e并不限于差压的偏差。在一实施例中，压缩机控制器168可执行由吐出侧测定压PH与设定压之偏差运算控制输出的吐出压控制。此时，设定压可以是压缩机的吐出侧压力的上限值。当吐出侧测定压PH超过该上限值时，压缩机控制器168可由与吐出侧测定压PH的偏差运算出控制输出。上限值例如可根据保证低温泵10的排气能力的压缩机的最高吐出压来适当地经验性或实验性地设定。若如此，可抑制吐出压的过度上升，并进一步提高安全性。

另外，在一实施例中，压缩机控制器168也可执行由吸入侧测定压PL与设定压之偏差运算控制输出的吸入压控制。此时，设定压可以是压缩机的吸入侧压力的下限值。当吸入侧测定压PL低于该下限值时，压缩机控制器168也可由与吸入侧测定压PL的偏差运算出控制输出。下限值例如可根据保证低温泵10的排气能力的压缩机的最低吸入压适当地经验性或实验性地设定。若如此，可抑制由伴随吸入压的下降的工作气体流量的下降引起的压缩机主体的温度过度上升。压缩机控制器168可根据测定压选择上述差压恒定控制、吐出压控制及吸入压控制来执行。后述的设定值调整可在选择任一控制时执行。

但是，如图1所示，将多台压缩机单元并列应用于低温泵系统1000时，各压缩机单元均等地分担共同的负载(即多个低温泵10)。因此，可以期待各压缩机单元的运行状态大致相同。

然而，实际上，本发明人发现产生各压缩机单元的运行频率随时间背离的现象。并观察到具有在低温泵系统1000中持续并列运行一定时间2台压缩机时，其中一方的压缩机的运行频率始终比另一方的压缩机变高的倾向。尽管运行开始的最初例如均为50Hz的运行频率，之后其中一方谐调为30Hz的运行，而另一方变成70Hz的高负荷运行。其中一方的压缩机继续成为高负载，会不利于系统整体的长寿命化。

可以认为该背离起因于压缩机的个体差。个体差包括压缩机主体或附带设置于压缩机主体的传感器或其他设备类的个体差。或者，可以考虑起因于连接各压缩机和低温泵的个别配管的物理性差异，例如长度或处理的差异。

所以，在本发明的一实施方式中变更控制上的设定，以便补偿压缩机单元的个体差。由此，能够使多个压缩机单元的运行状态均衡化，并能够避免特定的压缩机集中运行并由各个压缩机适当地分担负载。实验性地确认到下述情况，通过微调实际上不会对作为压缩机单元的连接目标端的装置的性能带来任何影响的程度的设定，能够充分抑制起因于个体差的运行状态的背离。

图6是用于说明本发明的一实施方式所涉及的设定值调整处理的流程图。在同时运行多台压缩机单元时以预定周期通过CP控制器100反复执行图6所示的处理。CP控制器100作为监控各压缩机单元的压缩机控制器168的控制输出的高级控制器而发挥作用。当存在控制输出相对大的压缩机单元时，CP控制器100对与任一压缩机单元相关联的设定值进行微调，使各压缩机单元的控制输出作为结果变得相等。

另外，当运行的压缩机单元仅为1台时停止调整处理，当再一次开始多台运行时，再重新开始调整处理。另外，优选在执行差压恒定控制时进行调整处理。该调整处理可与压缩机单元的连接目标端的装置的状态无关地执行。例如，不管在通常的排气运行中还是在再生运行中均可执行低温泵10。

如图6所示，CP控制器100对判定时间是否经过进行判定(S10)。该判定时间能够作为在多个压缩机单元之间运行状态背离某种程度所需的时间来实验性或经验性地适当设定。例如为1小时。在距上次处理的经过时间未超过判定时间时(S10的否)，CP控制器100结束处理。

在距上次处理的经过时间达到判定时间时(S10的是)，CP控制器100判定在多个压缩机单元之间控制输出的背离是否变大(S12)。例如，在同时运行2台压缩机单元的状态下，CP控制器100判定那些2台压缩机单元的控制输出之差是否超过阈值。该阈值能够作为2台压缩机单元能够容许的控制输出差来适当地设定。控制输出例如可以是向压缩机逆变器170的控制输出或压缩机马达172的运行频率。控制输出还可以是向安全阀驱动器174的控制输出或安全阀162的控制电流。

在同时运行3台以上压缩机单元的状态下，例如可判定控制输出最大的压缩机单元与控制输出最小的压缩机单元的控制输出之差是否超过阈值。或者，可判定控制输出最大的压缩机单元的控制输出与各压缩机单元的控制输出的平均值之差是否超过阈值。即，CP控制器100可采用用于判定是否存在处于相对较高负载的运行状态的压缩机单元的任一判定基准。

当判定在多个压缩机单元之间控制输出的背离较小时(S12的否)，CP控制器100结束本调整处理。另一方面，当判定在多个压缩机单元之间控制输出的背离较大时(S12的是)，CP控制器100执行设定值的调整处理(S14)。在一实施例中，调整差压恒定控制的目标差压ΔPo(参考图5)。若通过调整处理变更了设定值，则CP控制器100结束本调整处理。

在一实施例中，CP控制器100按照图7所示的调整表执行调整处理。CP控制器100按照调整表更新保持在压缩机控制器168的例如储存器中的设定值。图7是表示在本发明的一实施方式所涉及的调整处理中使用的调整表的图。图7所示的表是在同时运行2台压缩机单元的状态下使用的调整表的一例。记载于图7所示的表中的记号A表示第1台压缩机单元，记号B表示第2台压缩机单元。图7所示的表的左栏表示(i)2台压缩机单元的设定目标差压相等时的调整法。表的中央栏表示(ii)一方的压缩机单元A的设定目标差压较大的情况，表的右栏表示(iii)另一方的压缩机单元B的设定目标差压较大的情况。

当作为2台压缩机单元A、B的控制输出的一例的运行频率之差无论在任何情况下都小于预定值(图7中为10Hz)时，不变更目标差压ΔPo而维持恒定。这是因为，若运行频率之差较小，则能够评价没有运行状态的背离，所以无需进行调整。

对运行频率之差为预定值(图7中为10Hz)以上的情况进行说明。(i)当2台压缩机单元的设定目标差压相等的情况下，当一方的压缩机单元A的运行频率较小时，将另一方的压缩机单元B的目标差压ΔPo缩小0.01MPa。目标差压ΔPo例如为约1.5MPa。相反地，当一方的压缩机单元A的运行频率较大时，将该压缩机单元A的目标差压ΔPo缩小0.01MPa。

即，当2台压缩机单元的设定目标差压相等时，稍微缩小运行频率较大一方的目标差压。通过缩小目标差压，结果能够缩小压缩机马达的运行频率。因此，能够使2台压缩机单元的运行状态接近。另外，通过稍微增大运行频率较小一方的目标差压，还能够使2台压缩机单元的运行状态接近。

(ii)当压缩机单元A的设定目标差压较大时，维持该压缩机单元A的目标差压，并调整另一方的压缩机单元B的目标差压。具体而言，当压缩机单元A的运行频率较小时，将压缩机单元B的目标差压ΔPo缩小0.01MPa。相反地，当压缩机单元A的运行频率较大时，将压缩机单元B的目标差压ΔPo增大0.01MPa。

(iii)当压缩机单元B的设定目标差压较大时，也与(ii)相同地维持该压缩机单元B的目标差压，并调整压缩机单元A的目标差压。具体而言，当压缩机单元A的运行频率较小时，将压缩机单元A的目标差压ΔPo增大0.01MPa。相反地，当压缩机单元A的运行频率较大时，将压缩机单元A的目标差压ΔPo缩小0.01MPa。

如此，在多个压缩机单元中，调整设定有相对较小的目标差压的压缩机单元的目标差压。CP控制器100以缩小设定有相对较小的目标差压的压缩机单元与其他压缩机单元的运行频率之差的方式调整该压缩机单元的目标差压。另外，还可调整设定有相对较大的目标差压的压缩机单元的目标差压来缩小与其他压缩机单元的运行频率之差。

在同时运行3台以上压缩机单元的状态下，例如还可对控制输出最大的压缩机单元和控制输出最小的压缩机单元应用图7所示的调整表。

优选1次调整处理中的设定值的调整量为可以保证作为压缩机的连接目标端的低温泵10的排气性能的变化在容许范围内的调整量。即，优选1次的调整量小于最大调整量，所述最大调整量可以保证制冷机12的制冷能力的变化在容许范围内。优选设为能够保证不影响向制冷机12或低温泵10的性能的调整量。若如此，能够实际上不影响向制冷机12或低温泵10的性能而进行压缩机的调整。在一实施例中，设定值的调整量为最大在其设定值的10％以内，优选在5％以内，更优选在1％以内的大小。相对于上述约1.5MPa的目标差压的0.01MPa的调整量是不影响低温泵性能的调整量的一例。

另外，可对基于多次调整处理的合计调整量设置限制。例如，可通过对合计调整量设置上限值或下限值，或者通过对设定值设定调整容许范围来限制调整范围。在一实施例中，设定值的调整容许范围以设定值的最初值为基准，最大在10％以内，优选在5％以内，更优选在2％以内的范围。

图8是用于说明本发明的一实施方式所涉及的调整处理的结果的一例的图。如图示，从开始本发明的一实施方式所涉及的控制到经过1小时的判定时间时，一方的压缩机A以60Hz的运行频率运行，另一方的压缩机B以40Hz运行。可以判定运行状态中存在背离，根据图7所示的调整表将压缩机B的目标差压仅增大0.01MPa。作为其结果，在下一个调整时刻，2台压缩机的运行频率均收敛为50Hz，运行状态被均衡化。

如以上说明，根据本发明的一实施方式，在差压恒定控制下并列运行多台压缩机单元时，监控它们的控制输出，并在最大调整量的范围内微调目标差压，结果各压缩机单元的控制输出变得相等。最大调整量是可以看作实际上不影响作为压缩机的工作气体供给对象的装置的性能或对性能影响非常小的调整量。如此，能够抑制因多台压缩机单元的个体差引起的运行状态的背离，并实现作为整个系统的长寿命化。

Claims (8)

1.一种低温泵系统，其特征在于，具备：

多个低温泵；

多个压缩机单元，为了向所述多个低温泵供给工作气体，分别按照控制输出并列运行；及

控制部，决定相对于所述多个压缩机单元各自的控制输出，

其中，所述控制部调整为了对至少1个压缩机单元决定所述控制输出而使用的设定值，以使各压缩机单元的运行状态均衡化。

2.如权利要求1所述的低温泵系统，其特征在于，

所述多个压缩机单元分别具备压缩机主体及使该压缩机主体动作并能够改变运行频率的压缩机马达，所述运行频率由所述控制部决定，

所述控制部对所述多个压缩机单元中任一压缩机单元及除该压缩机单元以外的其他压缩机单元的至少一方调整所述设定值，以便缩小该压缩机单元的运行频率与所述其他压缩机单元的运行频率之差。

3.如权利要求1或2所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制部决定所述控制输出，以使与各压缩机单元相关联的测定值接近对各压缩机单元设定的目标值，所述设定值为所述目标值。

4.如权利要求1至3中任一项所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制部能够执行决定向各压缩机单元的控制输出的差压恒定控制，以使各压缩机单元中的吸入侧与吐出侧的差压与目标差压一致，当执行该差压恒定控制时，调整所述至少1个压缩机单元的目标差压。

5.如权利要求1至4中任一项所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制部根据保证基于调整的所述多个低温泵的排气性能的变化在容许范围内的调整量，调整所述至少1个压缩机单元的设定值。

6.如权利要求1至5中任一项所述的低温泵系统，其特征在于，进一步具备：

共同管路，连接所述多个低温泵和所述多个压缩机单元，且汇集所述多个低温泵与所述多个压缩机单元之间的工作气体的给排；及

多个个别配管，将所述多个压缩机单元分别连接于所述共同管路上。

7.一种为了向多个低温泵供给工作气体而并列运行的多个压缩机的控制方法，其特征在于，具备：

决定相对于所述多个压缩机各自的控制输出的步骤，及

通过调整为了对至少1个压缩机决定所述控制输出而使用的设定值来使各压缩机的运行状态均衡化的步骤。

8.一种低温泵系统，其特征在于，具备：

多个低温泵；

多个压缩机单元，为了向所述多个低温泵供给工作气体，分别按照控制输出并列运行；及

控制部，决定相对于所述多个压缩机单元各自的控制输出。

Images