KR20180119069A

KR20180119069A - 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20180119069A
Application number: KR1020170052565A
Authority: KR
Inventors: 한정훈
Original assignee: (주)엠에프에스
Priority date: 2017-04-24
Filing date: 2017-04-24
Publication date: 2018-11-01

Abstract

크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치 및 방법이 개시된다. 본 발명의 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치는 크라이오 펌프의 온도를 감지하는 온도 감지부; 크라이오 압축기 내 냉매 압축기에 전력을 인가하는 인버터; 및 온도 감지부에 의해 감지된 크라이오 펌프의 온도에 따라 인버터의 주파수를 제어하여 크라이오 압축기로부터 크라이오 펌프의 냉동기에 공급되는 냉매량을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치 및 방법{DRIVING CONTROL APPARATUS AND METHOD OF CRYO PUMP SYSTEM}

본 발명은 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 크라이오 압축기를 제어하여 크라이오 펌프의 온도를 제어하는 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치 및 방법에 관한 것이다.

크라이오 펌프(Cryo pump)는 액체 질소 또는 압축된 헬륨을 이용하여 진공 용기 속에 극저온(cryo-) 냉각면을 만들고, 그 차가운 표면 위에 냉각기체를 응축 또는 흡착시켜 제거함으로써 고진공 상태를 형성하게 된다.

크라이오 펌프는 기체를 유효하게 배기시키기 위해서 응축의 경우에는 증기압이, 흡착의 경우에는 흡착평형 압력이 10~8pa 이하로 되어 있어야 한다.

크라이오 펌프에서 사용되는 냉동기는 2단의 냉동기로 구성되는데, 그 중 1단 냉동기는 냉동능력이 큰 80K 이하로 냉각시킬 수 있으며, 2단 냉동기는 냉동능력이 작은 20K 이하로 냉각시킬 수 있다. 그리고, 15K 크라이오 패널의 응축패널과 15K 크라이오 패널의 흡착패널은 2단 냉동기에 부착되어 있다.

냉동능력이 큰 1단 냉동기에 부착되어 있는 80K의 실드와 버플(Buffle)은 실온의 복사열로부터 펌프를 보호하고 있다.

한편, 크라이오 펌프시스템은 주기적인 재생(Regeneration) 싸이클이 필요하다. 크라이오 펌프는 재생 싸이클을 통하여 2단 냉동기의 크라이오 패널에 흡착, 응축 또는 응고되어 있는 수분 및 가스를 탈착 및 증발시킴으로 펌핑 능력이 회복될 수 있다. 이러한 재생 싸이클은 웜업(warm up) 과정, 퍼지(purge) 과정, 러핑(roughing) 과정 및 쿨다운(cool down) 과정으로 이루어진다.

본 발명의 배경기술은 대한민국 등록특허공보 10-0706818호(2007.04.05)의 '크라이오 펌프'에 개시되어 있다.

종래의 크라이오 펌프 시스템에서 크라이오 펌프에 헬륨을 공급하는 크라이오 압축기는 대부분 정속형 압축기를 사용한다. 이러한 정속형 압축기는 크라이오 펌프가 진공을 형성하기 위한 최적의 온도에 도달한 이후에도 일정한 유량을 공급하므로, 크라이오 펌프의 온도가 진공 형성에 필요한 최적의 온도보다 낮게 형성되는 경우가 발생한다. 이에 크라이오 펌프의 온도를 최적의 온도를 유지하기 위하여 크라이오 펌프 내부에 히터를 설치하고, 크라이오 펌프에 열을 가하여 크라이오 펌프가 최적의 온도를 유지하도록 제어한다. 그러나, 이러한 방식은 크라이오 압축기 및 히터의 발열에 의하여 전력이 불필요하게 소모되는 문제점이 있었다.

본 발명은 전술한 문제점을 개선하기 위해 창안된 것으로서, 본 발명의 일 측면에 따른 목적은 크라이오 펌프의 동작 상태를 모니터링하고 모니터링 결과에 따라 인버터의 주파수를 제어하여 크라이오 압축기로부터 크라이오 펌프에 공급되는 냉매량을 조절하는 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 측면에 따른 목적은 크라이오 펌프의 온도를 최적의 온도로 유지하고, 크라이오 펌프 시스템의 불필요한 전력 소비를 최소화하는 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따른 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치는 크라이오 펌프의 온도를 감지하는 온도 감지부; 크라이오 압축기 내 냉매 압축기에 전력을 인가하는 인버터; 및 상기 온도 감지부에 의해 감지된 크라이오 펌프의 온도에 따라 상기 인버터의 주파수를 제어하여 크라이오 압축기로부터 크라이오 펌프의 냉동기에 공급되는 냉매량을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 제어부는 크라이오 펌프의 온도가 기 설정된 최적 온도를 추종하도록 상기 인버터의 주파수를 제어하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 제어부는 크라이오 펌프의 온도가 최적 온도 미만이면 상기 인버터의 주파수를 감소시키고, 크라이오 펌프의 온도가 최적 온도를 초과하면 상기 인버터의 주파수를 증가시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 제어부는 크라이오 펌프의 초기 가동시 크라이오 펌프의 온도가 기 설정된 최적 온도 미만이 될 때까지 상기 인터버의 주파수를 최대 주파수로 제어하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일 측면에 따른 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 방법은 온도 감지부가 크라이오 펌프의 온도를 감지하는 단계; 및 제어부가 상기 온도 감지부에 의해 감지된 크라이오 펌프의 온도에 따라 인버터의 주파수를 제어하여 크라이오 압축기로부터 크라이오 펌프의 냉동기에 공급되는 냉매량을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 냉매량을 조절하는 단계는 크라이오 펌프를 초기 가동한 후 크라이오 펌프의 온도가 기 설정된 최적 온도 미만이 될 때까지 상기 인터버의 주파수를 최대 주파수로 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 냉매량을 조절하는 단계는 크라이오 펌프의 온도가 기 설정된 최적 온도를 추종하도록 상기 인버터의 주파수를 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 냉매량을 조절하는 단계는 크라이오 펌프의 온도가 상기 최적 온도 미만이면 상기 인버터의 주파수를 감소시키고, 크라이오 펌프의 온도가 상기 최적 온도를 초과하면 상기 인버터의 주파수를 증가시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일 측면에 따른 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치 및 방법은 크라이오 펌프의 동작 상태를 모니터링하고 모니터링 결과에 따라 인버터의 주파수를 제어하여 크라이오 압축기로부터 크라이오 펌프에 공급되는 냉매량을 조절함으로써, 크라이오 펌프의 온도를 최적 온도로 유지하고, 크라이오 펌프 시스템의 불필요한 전력 소비를 최소화한다.

도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프 시스템의 블럭 구성도이다.
도 2 는 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 압축기의 구성도이다.
도 3 은 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 방법의 순서도이다.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치 및 방법을 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 이는 이용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야할 것이다.

도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프 시스템의 블럭 구성도이고, 도 2 는 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 압축기의 구성도이다.

도 1 및 도 2 를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치는 가스 및 수분을 흡착, 응축 및 응축시켜 고진공을 실현하는 크라이오 펌프(100), 크라이오 펌프(100)의 온도를 감지하는 온도 감지부(200), 크라이오 압축기(500) 내 냉매 압축기(501)에 전력을 인가하는 인버터(400), 온도 감지부(200)에 의해 감지된 크라이오 펌프(100)의 온도에 따라 인버터(400)의 주파수를 제어하는 제어부(300), 및 크라이오 펌프(100)에 헬륨가스와 같은 냉매를 공급하는 크라이오 압축기(500)를 포함한다.

먼저, 크라이오 펌프(100)는 가스 및 수분을 흡착, 응축 및 응축시켜 고진공을 실현한다. 이러한 크라이오 펌프(100)는 공정챔버(미도시)와 냉동기(미도시)가 내장된 크라이오 펌프 용기를 포함하는데, 크라이오 펌프 용기에는 2개의 크라이오 패널(미도시)이 설치된다.

냉동기는 냉매 공급 라인(600) 및 냉매 회수 라인(700)을 통해 크라이오 압축기(500)와 연결되며, 냉매 공급 라인(600)을 통해 크라이오 압축기(500)로부터 냉매를 공급받고, 냉매 회수 라인(700)을 통해 냉매를 공급한다.

냉동기는 크라이오 압축기(500)로부터 고압의 헬륨가스를 공급받아 헬륨가스의 단열 팽창에 따른 냉각 원리를 이용하여 크라이오 패널을 극저온으로 냉각시킨다.

온도 감지부(200)는 크라이오 펌프(100)가 가동되는 과정에서 크라이오 펌프(100)의 온도를 감지한다.

재생 싸이클이 완료된 후 냉각 운전이 진행되면, 인버터(400)는 크라이오 압축기(500) 내 냉매 압축기(501)로 인가되는 전력의 주파수를 제어하여 냉매 압축기(501)로부터 크라이오 펌프(100)에 공급되는 냉매량을 조절한다. 인버터(400)는 가변용량형 AC 인버터(400)가 채용될 수 있다.

인버터(400)는 제어부(300)의 제어신호에 응답하여 냉매 압축기(501)에 인가되는 전력의 주파수를 조절한다.

예를 들어, 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도 미만이면, 인버터(400)는 냉매 압축기(501)에 인가되는 전력의 주파수를 감소시켜 크라이오 압축기(500)로부터 크라이오 펌프(100)에 공급되는 냉매량을 감소시킨다. 반면에, 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도를 초과하면, 인버터(400)는 냉매 압축기(501)에 인가되는 전력의 주파수를 증가시켜 크라이오 펌프(100)에 공급되는 냉매량을 증가시킨다.

즉, 인버터(400)는 제어부(300)의 제어신호에 따라 냉매 압축기(501)로 공급되는 인버터(400)의 주파수를 제어하여 크라이오 압축기(500)로부터 냉동기에 공급되는 냉매량을 조절함으로써, 크라이오 펌프(100)가 최적 온도를 유지할 수 있도록 한다.

크라이오 압축기(500)는 크라이오 펌프(100)에 냉매를 공급한다.

도 2 를 참조하면, 크라이오 압축기(500)는 냉매 압축기(501)에 전원을 공급하는 전원공급장치(515), 냉매를 압축하는 냉매 압축기(501), 냉매에 함유된 오일을 분리하는 유분리기(503), 냉매의 압축열을 제거하는 열교환기(505), 유분리기(503)에서 분리하지 못한 미세 오일을 흡착하여 제거하는 어드소버(507), 및 스토리지 탱크(509)를 포함한다.

여기서, 냉매 압축기(501)는 인버터(400)로부터 입력된 전력에 따라 냉매를 압축시킨다. 이 경우, 냉매 압축기(501)는 인버터(400)로부터 입력된 전력의 주파수에 따라 모터의 회전속도가 변화함으로써 용량을 가변시킨다.

스토리지 탱크(509)는 냉매 흡입 포트(511)와 연결되어 냉매 회수 라인(700)을 통해 냉동기와 연결되고, 어드소버(507)는 냉매 토출 포트(513)와 연결되며 냉매 공급 라인(600)을 통해 냉동기와 연결된다.

또한, 크라이오 압축기(500)는 냉매 압축기(501)와 스토리지 탱크(509)가 흡입 가스 라인으로 연결되고, 유분리기(503)와 어드소버(507)가 토출 가스 라인으로 연결되는데, 흡입 가스 라인에 형성되는 흡입 압력과 토출 가스 라인에 형성되는 토출 압력 간의 압력차에 따라 토출 가스를 흡입 가스 라인으로 바이패스시키는 바이패스 유로(517)를 구비한다.

제어부(300)는 온도 감지부(200)에 의해 감지된 크라이오 펌프(100)의 온도에 따라 인버터(400)의 주파수를 제어한다.

통상, 재생 싸이클이 완료되고 냉각 운전이 진행되면, 크라이오 펌프(100)가 필요로 하는 최소의 냉매를 공급하게 함으로써, 크라이오 압축기(500)의 소비전력을 최소화하여 유지비용을 감소시킬 수 있다.

재생 싸이클은 크라이오 압축기(500) 및 크라이오 펌프(100)의 냉동기를 동작 정지시키는 크라이오 재생 시작 과정, 크라이오 펌프(100) 내의 크라이오 패널의 온도를 상승시키기 위하여 퍼지 가스를 크라이오 펌프(100) 내로 주입시키는 웜업(warm up) 과정, 각 크라이오 패널에 잔존하는 수분 및 가스를 제거하기 위하여 일정시간 동안 퍼지 가스를 주입하는 퍼지(purge) 과정, 크라이오 펌프(100) 내의 초기 진공을 형성하는 러핑(roughing) 과정, 및 크라이오 압축기(500) 및 크라이오 펌프(100)의 냉동기가 가동을 시작하는 쿨다운 과정을 포함한다.

한편, 제어부(300)는 온도 감지부(200)에 의해 감지된 크라이오 펌프(100)의 온도에 따라 인버터(400)의 주파수를 제어하는 경우, 크라이오 펌프(100)의 온도가 기 설정된 최적 온도를 추종하도록 인버터(400)의 주파수를 제어한다.

여기서, 최적 온도는 크라이오 펌프(100)가 진공을 형성하는데 적합한 온도로써, 사전에 설정된다.

좀 더 구체적으로 설명하면, 먼저 제어부(300)는 크라이오 펌프(100)의 초기 가동시 인버터(400)의 주파수를 최대 주파수로 제어한다. 이에 따라, 크라이오 압축기(500)로부터 크라이오 펌프(100)의 냉동기로 상대적으로 많은 냉매가 공급되고, 크라이오 펌프(100)의 온도는 상대적으로 빠르게 감소하게 된다. 이에 따라, 크라이오 펌프(100)의 냉동기의 냉각 효율은 크게 향상되게 된다.

이 과정에서, 온도 감지부(200)는 크라이오 펌프(100)의 온도를 감지하여 제어부(300)에 전달하는데, 제어부(300)는 온도 감지부(200)에 의해 감지된 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도 미만이 될 때까지 인버터(400)의 주파수를 최대 주파수로 제어한다.

크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도 미만이 되면, 제어부(300)는 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도를 추종하도록 온도 감지부(200)에 의해 감지된 온도에 따라 인버터(400)의 주파수를 제어한다.

더욱 상세히 설명하면, 제어부(300)는 온도 감지부(200)에 의해 감지된 온도를 최적 온도와 비교하고 비교 결과에 따라 인버터(400)의 주파수를 증가 또는 감소시킨다.

예를 들어, 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도 미만이면, 제어부(300)는 인버터(400)의 주파수를 감소시켜 크라이오 압축기(500)로부터 냉동기에 공급되는 냉매량을 감소시킴으로써 크라이오 펌프(100)의 온도를 증가시킨다.

반면에, 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도를 초과하면, 제어부(300)는 인버터(400)의 주파수를 증가시켜 크라이오 압축기(500)로부터 냉동기에 공급되는 냉매량을 증가시킴으로써 크라이오 펌프(100)의 온도를 감소시킨다. 이러한 과정은 냉각 과정에서 계속 반복될 수 있다.

이하 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 방법을 도 3 을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 3 은 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 방법의 순서도이다.

도 3 을 참조하면, 크라이오 펌프(100)가 가동되면(S10), 온도 감지부(200)는 크라이오 펌프(100)의 온도를 감지한다.

아울러, 제어부(300)는 크라이오 펌프(100)의 초기 가동시 인버터(400)의 주파수를 최대 주파수로 제어하여 인버터를 가동시킨다(S20). 이에 따라, 크라이오 압축기(500)로부터 냉동기로 상대적으로 많은 냉매가 공급되고, 크라이오 펌프(100)의 온도는 상대적으로 빠르게 감소하게 된다.

아울러, 상기한 바와 같이 온도 감지부(200)가 크라이오 펌프(100)의 온도를 감지하여 제어부(300)에 전달하는데, 제어부(300)는 온도 감지부(200)에 의해 감지된 크라이오 펌프(100)의 온도와 최적 온도를 비교하여 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도 미만인지 여부를 판단한다(S30).

단계(S30)에서의 판단 결과 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도 미만이 아니면, 제어부(300)는 인버터(400)의 주파수를 최대 주파수로 계속 제어한다. 이에 따라, 크라이오 펌프(100)의 온도는 빠르게 감소하게 된다.

반면에, 단계(S30)에서의 판단 결과 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도 미만이면, 제어부(300)는 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도를 추종하도록 온도 감지부(200)에 의해 감지된 온도에 따라 인버터(400)의 주파수를 제어한다.

즉, 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도 미만이면, 제어부(300)는 인버터(400)의 주파수를 감소시킨다(S40). 인버터(400)의 주파수가 감소됨에 따라, 크라이오 압축기(500)로부터 크라이오 펌프(100)로 공급되는 냉매량은 상대적으로 감소하게 되고, 그 결과 크라이오 펌프(100)의 온도는 증가하게 된다.

이어 제어부(300)는 온도 감지부(200)에 의해 감지된 크라이오 펌프(100)의 온도를 최적 온도와 비교하여 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적온도를 초과하는지 여부를 판단하고(S50), 판단 결과 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도를 초과하지 않으면 제어부(300)는 단계(S40)으로 리턴하여 인버터(400)의 주파수를 계속 감소시킨다.

반면에, 단계(S50)에서의 판단 결과 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도를 초과하면, 제어부(300)는 인버터(400)의 주파수를 증가(S60)시켜 크라이오 압축기(500)로부터 냉동기에 공급되는 냉매량을 증가시킴으로써 크라이오 펌프(100)의 온도를 감소시킨다.

이후, 제어부(300)는 온도 감지부(200)에 의해 감지된 크라이오 펌프(100)의 온도와 최적 온도를 비교하여 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도 미만인지 여부를 판단하고(S70), 판단 결과 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도 미만이 아니면 단계(S60)로 리턴하여 인버터(400)의 주파수를 증가시킨다.

반면에 단계(S70)에서의 판단 결과 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도 미만이면 단계(S40)으로 리턴하여 인버터(400)의 주파수를 감소시킨다.

즉, 제어부(300)는 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도 미만이면 인버터(400)의 주파수를 감소시키고, 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도를 초과하면 인버터(400)의 주파수를 증가(S40~S70)시켜 크라이오 압축기(500)로부터 냉동기에 공급되는 냉매량을 조절함으로써, 크라이오 펌프(100)의 온도가 최적 온도로 유지될 수 있도록 한다.

이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치 및 방법은 크라이오 펌프(100)의 동작 상태를 모니터링하고 모니터링 결과에 따라 인버터의 주파수를 제어하여 크라이오 압축기(500)로부터 크라이오 펌프(100)에 공급되는 냉매량을 조절함으로써, 크라이오 펌프(100)의 온도를 최적 온도로 유지하고, 크라이오 펌프 시스템의 불필요한 전력 소비를 최소화한다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 기술이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야할 것이다.

100: 크라이오 펌프
200: 온도 감지부
300: 제어부
400: 인버터
500: 크라이오 압축기
501: 냉매 압축기
600: 냉매 공급 라인
700: 냉매 회수 라인

Claims

크라이오 펌프의 온도를 감지하는 온도 감지부;
크라이오 압축기 내 냉매 압축기에 전력을 인가하는 인버터; 및
상기 온도 감지부에 의해 감지된 크라이오 펌프의 온도에 따라 상기 인버터의 주파수를 제어하여 크라이오 압축기로부터 크라이오 펌프의 냉동기에 공급되는 냉매량을 제어하는 제어부를 포함하는 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제어부는 크라이오 펌프의 온도가 기 설정된 최적 온도를 추종하도록 상기 인버터의 주파수를 제어하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치.
제 2 항에 있어서, 상기 제어부는 크라이오 펌프의 온도가 최적 온도 미만이면 상기 인버터의 주파수를 감소시키고, 크라이오 펌프의 온도가 최적 온도를 초과하면 상기 인버터의 주파수를 증가시키는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제어부는 크라이오 펌프의 초기 가동시 크라이오 펌프의 온도가 기 설정된 최적 온도 미만이 될 때까지 상기 인터버의 주파수를 최대 주파수로 제어하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 장치.
온도 감지부가 크라이오 펌프의 온도를 감지하는 단계; 및
제어부가 상기 온도 감지부에 의해 감지된 크라이오 펌프의 온도에 따라 인버터의 주파수를 제어하여 크라이오 압축기로부터 크라이오 펌프의 냉동기에 공급되는 냉매량을 조절하는 단계를 포함하는 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 방법.
제 5 항에 있어서, 상기 냉매량을 조절하는 단계는
크라이오 펌프를 초기 가동한 후 크라이오 펌프의 온도가 기 설정된 최적 온도 미만이 될 때까지 상기 인터버의 주파수를 최대 주파수로 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 방법.
제 5 항에 있어서, 상기 냉매량을 조절하는 단계는
크라이오 펌프의 온도가 기 설정된 최적 온도를 추종하도록 상기 인버터의 주파수를 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 방법.
제 7 항에 있어서, 상기 냉매량을 조절하는 단계는
크라이오 펌프의 온도가 상기 최적 온도 미만이면 상기 인버터의 주파수를 감소시키고, 크라이오 펌프의 온도가 상기 최적 온도를 초과하면 상기 인버터의 주파수를 증가시키는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 시스템의 운전 제어 방법.