CN102374381A - 防止吹扫气体倒灌的气柜装置及方法 - Google Patents
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Abstract
一种防止吹扫气体倒灌的气柜装置，包括柜体和设置在所述柜体内的气体管路，所述气体管路包括工艺管路和与工艺管路可控连通的用于清洁工艺管路的吹扫管路，所述工艺管路通过特气瓶阀与特气瓶连接，所述吹扫管路和工艺管路之间由可抽真空的安全管路隔开。本发明通过在吹扫管路上设置安全气动阀，对安全管路抽至真空状态，消除了吹扫气体倒灌至工艺管路或者是特气瓶的安全隐患，防止整支特气瓶的报废。
Description
【技术领域】
本发明涉及一种吹扫气体的装置及方法，特别涉及一种防止吹扫气体倒灌的气柜装置及方法。
【背景技术】
科技水平的飞速发展，电子和半导体技术也得到迅猛发展。以集成电路为核心的电子信息产业已取代石油、钢铁等传统产业，成为全球第一大产业。而集成电路的核心是半导体技术，运用半导体技术所制造的电子元器件大量的应用在家用电器领域、通信领域、办公设备领域、电子娱乐消费领域等。
在大量的电子元器件中，芯片是最为重要的半导体元器件，被形象的称为电子设备的大脑。芯片的制造工艺步骤超过450道，在这些步骤中大约要使用50种不同种类的气体。这些特殊的气体一般把该气体分为大宗气体(Bulk Gas)和特种气体(Special Gas)两种。
特种气体(特气)主要有各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体以及其他广为各种制程设备所使用的惰性气体等。如扩散工艺中作为工艺腔清洁所用的ClF3，干层刻蚀时常用的CF4，CHF3与SF6等，以及离子注入法作为N型硅片离子注入磷源、砷源的PH3和AsH3等。从以上的应用可以看出，特种气体在半导体晶圆生产过程中有着非常重要的作用。因此根据不同气体的特性，要设计出不同的气体输送系统来满足各种不同制程设备的需求。
在特气输送过程中，需要通过特殊的装置气柜。然而一般的特气是有易燃性、有毒性、腐蚀性和氧化性。因此在专利号为200720066463.3的中国专利公开了一种特气柜，通过采用传感器及检测器的装置对低压气体的采集，防止低压气体的泄露。但是此类传统的气柜装置或方法并没有防止气柜在清洗管道的吹扫过程中，在阀门损坏或出现故障的时候，出现吹扫气体倒灌至工艺管路，并顺着工艺管路倒灌至特气瓶中，不仅使得整支特气钢瓶会报废，而且吹扫气体由工艺管路渗入工艺腔后会对生产造成重大的经济损失以及安全隐患。
【发明内容】
有鉴于此，有必要提供一种气柜在工作中防止吹扫气体倒灌的气柜装置。
此外，还有必要提供一种防止吹扫气体倒灌的方法。
一种防止吹扫气体倒灌的气柜装置，包括柜体和设置在所述柜体内的气体管路，所述气体管路包括工艺管路和与工艺管路可控连通的用于清洁工艺管路的吹扫管路，所述工艺管路通过特气瓶阀与特气瓶连接，所述吹扫管路和工艺管路之间由可抽真空的安全管路隔开。
优选地，所述气体管路还包括与工艺管路可控连通的用于抽真空的导气管路，所述导气管路的第一、第二端部分别通过第一、第二气动阀与工艺管道连接，第三端部通过第三气动阀与抽真空氮气管连接，第四端部与排气管连接；所述工艺管路的第一端部通过吹扫气动阀与吹扫管路连接，第二端部通过特气瓶阀与特气瓶连接，第三端部与特气出口连接；所述吹扫管路通过吹扫气瓶阀与吹扫气瓶连接，所述吹扫管路设有安全气动阀，所述安全气动阀把吹扫管路分成所述安全管路和子吹扫管路。
优选地，所述导气管路设有抽真空泵，用于把工艺管路中的气体抽至真空状态。
优选地，所述工艺管路设有第一工艺气动阀、第二工艺气动阀和工艺调节阀，第一工艺气动阀用于控制工艺管路，第二工艺气动阀用于保护特气出口，工艺调节阀用于调整传输特气的气压。
优选地，所述吹扫管路设有吹扫调节阀，用于调节吹扫气体的输入气压。
优选地，所述安全气动阀设置在吹扫气动阀与吹扫调节阀之间。
一种防止吹扫气体倒灌的方法，用在清洁气体管路，所述气体管路包括工艺管路和与工艺管路可控连通的用于清洁工艺管路的吹扫管路，所述吹扫管路和工艺管路之间由可抽真空的安全管路隔开，步骤如下：
S10，关闭特气瓶阀，暂停特气的传输；
S20，对工艺管路抽真空；
S30，清洁工艺管路；
S40，重复对步骤S20工艺管路抽真空和步骤S30清洁工艺管路；
S50，对安全管路抽真空。
优选地，所述步骤20工艺管路抽真空，开启第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀，使得抽真空氮气管中的抽真空氮气通过导气管路输入至工艺管路；启动抽真空泵，把工艺管路抽至为真空状态；关闭第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀。
优选地，所述步骤30清洁工艺管路，开启吹扫气瓶阀、安全气动阀和吹扫气动阀，使得吹扫气体输入至工艺管路；关闭吹扫气瓶阀、安全气动阀和吹扫气动阀；开启第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀，抽真空泵把工艺管路抽至真空状态。
优选地，所述步骤S50安全管路抽真空，经过多次对工艺管路清洁，在最后一次对工艺管抽真空，仅开启吹扫气动阀，抽真空泵把安全管路中的吹扫气体抽至真空状态；关闭吹扫气动阀，抽真空泵停止运行，关闭第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀。
通过在吹扫管路上设置安全气动阀，对安全管路抽至真空状态，消除了吹扫气体倒灌到工艺管路或者是倒灌至特气瓶的安全隐患，进而防止整支特气瓶的报废，提高了生产的安全性。
仅在吹扫管路上设置一个控制气动阀，成本低，提高经济效益。
【附图说明】
为更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的附图，然而所附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
图1为气柜装置的气体管路示意图；
图2为防止吹扫气体倒灌的方法流程图。
【具体实施方式】
下面结合附图对本发明的具体实施方式详细描述。
通过在吹扫管路20中设置一安全气动阀17，使得安全管路22区隔吹扫气体和特气。在传输特气时，如果吹扫气动阀11出现故障或者无法关严，安全气动阀17能够防止吹扫气体倒灌至工艺管路30或者特气瓶62中，达到保护作用。
参见图1所示，本发明较佳实施方式的防止气体倒灌的气柜装置包括：柜体和设置在该柜体内的气体管路，该气体管路包括工艺管路30和与工艺管路30可控连通的用于清洁工艺管路30的吹扫管路20，该工艺管路30通过特气瓶阀18与特气瓶62连接，且该吹扫管路20和工艺管路30之间由可抽真空的安全管路22隔开。
在其它实施例中，该防止气体倒灌的气柜装置还包括与工艺管路30可控连通的用于抽真空的导气管路40。具体地：
吹扫管路20的一端部设有吹扫气瓶阀19并与吹扫气瓶64连接，该吹扫管路20的另一端部通过吹扫气动阀11与工艺管路30的第一端部连接。
该工艺管路30的第二端部设有特气瓶阀18并与特气瓶62连接，工艺管路30的第三端部与特气出口Process连接。
导气管路40的第一、第二端部分别设有第一气动阀13、第二气动阀14并与工艺管路30连接，第三端部设有第三气动阀15并与抽真空氮气管Line N2连接，第四端部与排气管Vent连接。
吹扫管路20从吹扫气瓶阀19至吹扫气动阀11之间依次设有吹扫调节阀42、不死阀10以及安全气动阀17。吹扫调节阀42用于调节吹扫气体氮气的输入气压，不死阀10不锁死管路，吹扫气动阀11控制吹扫管路的吹扫气体输入。安全气动阀17把吹扫管路20区隔为安全管路22和子吹扫管路24，安全气动阀17可以在吹扫气动阀11出现故障或没有锁紧的情况下防止子吹扫管路24中的吹扫气体倒灌至工艺管路30或特气瓶62。
工艺管路30从靠近特气出口Process依次设有第二工艺气动阀16、工艺调节阀44以及第一工艺气动阀12。第二工艺气动阀16用于保护特气出口Process，工艺调节阀44用于调节传输特气时的气压，第一工艺气动阀12用于控制工艺管路30的特气传输。
导气管路40中设有抽真空泵50，抽真空泵50用于在吹扫管路的过程中把工艺管路30中的气体通过导气管路40抽走，并达到真空状态。导气管路40的第一端部连接在工艺管路30中第一工艺气动阀12远离工艺调节阀44的一端，第二端部连接在第二工艺气动阀16与工艺调节阀44之间。
本实施例中所述的吹扫气体优选的为氮气。通过关闭安全气动阀17，使安全气动阀17至吹扫气动阀11之间形成真空状态的安全管路22，可以在吹扫气动阀11在传输特气的过程中出现故障或无法对管路锁紧的情况下起到保护作用，防止吹扫气体倒灌至工艺管路30，甚至是特气瓶62，达到保护作用。达到上述保护功能的过程在吹扫管路20中增设一安全气动阀17即可，成本低，有利于对提高生产的安全性和经济效益。
参见图2所示，用在清洁气体管路，该气体管路包括工艺管路30和与工艺管路30可控连通的用于清洁工艺管路30的吹扫管路20，该吹扫管路20和工艺管路30之间由可抽真空的安全管路22隔开。在传输特气的时候，吹扫气瓶阀19、安全气动阀17和吹扫气动阀11为关闭状态，第一气动阀13、第二气动阀14和第三气动阀15为关闭状态，第一工艺气动阀12、第二工艺气动阀16和特气瓶阀18为开启状态。
则，本发明的防止吹扫气体倒灌的方法步骤如下：
首先，步骤S10，关闭特气瓶阀18、第一工艺气动阀12和第二工艺气动阀16，暂停特气的传输；
步骤S20，对工艺管路30抽真空，抽真空氮气管Line N2输入抽真空氮气至工艺管路30，启动抽真空泵50并对工艺管路30抽真空；
步骤S30，清洁工艺管路30，输入吹扫气体于工艺管路30，启动抽真空泵50对工艺管路30清洁；
步骤S40，重复步骤S20和步骤S30，重复步骤S20和步骤S30约为50～60次，使得工艺管路30清洁；
步骤S50，对安全管路22抽真空，使得安全管路22为真空状态，区隔子吹扫管路24和工艺管路30。
在优选的实施方式中，步骤S20包括：
步骤S21，开启第一气动阀13、第二气动阀14和第三气动阀15，使得抽真空氮气管Line N2中的抽真空氮气通过导气管路40输入至工艺管路30；
步骤S22，启动抽真空泵50，把工艺管路30的气体通过导气管路40抽走，并使得工艺管路30为真空状态；
步骤S23，关闭第一气动阀13、第二气动阀14和第三气动阀15，为清洁工艺管路30做准备。
在优选的实施方式中，步骤S30还包括：
步骤S31，开启吹扫气瓶阀19、安全气动阀17和吹扫气动阀11，使得压缩的吹扫气体从吹扫气瓶64通过输入吹扫管路20输入至工艺管路30；
步骤S32，关闭吹扫气瓶阀19、安全气动阀17和吹扫气动阀11；
步骤S33，开启第一气动阀13、第二气动阀14和第三气动阀15，抽真空泵50把工艺管路30的气体通过导气管路40抽走，并使得工艺管路30为真空状态。
在优选的实施方式中，步骤S50还包括：
步骤S51，开启吹扫气动阀11，吹扫气瓶阀19和安全气动阀17仍为关闭状态，抽真空泵50把工艺管路30中的气体和安全管路22中的吹扫气体通过导气管路40抽至真空状态；
步骤S52，关闭吹扫气动阀11，抽真空泵50停止运行，然后关闭第一气动阀13、第二气动阀14和第三气动阀15。
通过上述步骤完成管路的清洁，清洁管路的最后对安全管路22抽真空，使得安全气动阀17至吹扫气动阀11之间形成的安全管路22为真空状态，并区隔开子吹扫管路24和工艺管路30。在传输特气的过程中，消除了吹扫气体倒灌到工艺管路30或者是倒灌至特气瓶62的安全隐患，提高了生产的安全性；同时也防止整支特气瓶62的报废，提高了生产的经济效益。
以上所述实施例仅表达了本发明的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种防止吹扫气体倒灌的气柜装置，包括柜体和设置在所述柜体内的气体管路，所述气体管路包括工艺管路和与工艺管路可控连通的用于清洁工艺管路的吹扫管路，所述工艺管路通过特气瓶阀与特气瓶连接，其特征在于：所述吹扫管路和工艺管路之间由可抽真空的安全管路隔开。
2.根据权利要求1所述的防止吹扫气体倒灌的气柜装置，其特征在于，所述气体管路还包括与工艺管路可控连通的用于抽真空的导气管路，所述导气管路的第一、第二端部分别通过第一、第二气动阀与工艺管道连接，第三端部通过第三气动阀与抽真空氮气管连接，第四端部与排气管连接；所述工艺管路的第一端部通过吹扫气动阀与吹扫管路连接，第二端部通过特气瓶阀与特气瓶连接，第三端部与特气出口连接；所述吹扫管路通过吹扫气瓶阀与吹扫气瓶连接，所述吹扫管路设有安全气动阀，所述安全气动阀把吹扫管路分成所述安全管路和子吹扫管路。
3.根据权利要求2所述的防止吹扫气体倒灌的气柜装置，其特征在于，所述导气管路设有抽真空泵，用于把工艺管路中的气体抽至真空状态。
4.根据权利要求2所述的防止吹扫气体倒灌的气柜装置，其特征在于，所述工艺管路设有第一工艺气动阀、第二工艺气动阀和工艺调节阀，第一工艺气动阀用于控制工艺管路，第二工艺气动阀用于保护特气出口，工艺调节阀用于调整传输特气的气压。
5.根据权利要求2所述的防止吹扫气体倒灌的气柜装置，其特征在于，所述吹扫管路设有吹扫调节阀，用于调节吹扫气体的输入气压。
6.根据权利要求2所述的防止吹扫气体倒灌的气柜装置，其特征在于，所述安全气动阀设置在吹扫气动阀与吹扫调节阀之间。
7.一种防止吹扫气体倒灌的方法，用在清洁气体管路，所述气体管路包括工艺管路和与工艺管路可控连通的用于清洁工艺管路的吹扫管路，所述吹扫管路和工艺管路之间由可抽真空的安全管路隔开，步骤如下：
S10，关闭特气瓶阀，暂停特气的传输；
S20，对工艺管路抽真空；
S30，清洁工艺管路；
S40，重复对步骤S20工艺管路抽真空和步骤S30清洁工艺管路；
S50，对安全管路抽真空。
8.根据权利要求7所述的防止吹扫气体倒灌的气柜方法，其特征在于，所述步骤20工艺管路抽真空，开启第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀，使得抽真空氮气管中的抽真空氮气通过导气管路输入至工艺管路；启动抽真空泵，把工艺管路抽至为真空状态；关闭第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀。
9.根据权利要求7所述的防止吹扫气体倒灌的气柜方法，其特征在于，所述步骤30清洁工艺管路，开启吹扫气瓶阀、安全气动阀和吹扫气动阀，使得吹扫气体输入至工艺管路；关闭吹扫气瓶阀、安全气动阀和吹扫气动阀；开启第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀，抽真空泵把工艺管路抽至真空状态。
10.根据权利要求7所述的防止吹扫气体倒灌的气柜方法，其特征在于，所述步骤S50安全管路抽真空，经过多次对工艺管路清洁，在最后一次对工艺管抽真空，仅开启吹扫气动阀，抽真空泵把安全管路中的吹扫气体抽至真空状态；关闭吹扫气动阀，抽真空泵停止运行，关闭第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀。
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| GR01 | Patent grant | ||
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| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20170927 Address after: 214028 Xinzhou Road, Wuxi national hi tech Industrial Development Zone, Jiangsu, China, No. 8 Patentee after: Wuxi Huarun Shanghua Technology Co., Ltd. Address before: 214000 No. 5 Hanjiang Road, national hi tech Industrial Development Zone, Wuxi, Jiangsu, China Co-patentee before: Wuxi Huarun Shanghua Technology Co., Ltd. Patentee before: Wuxi CSMC Semiconductor Co., Ltd. |