CN102335855A - 一种49u/s石英晶片倒边工艺 - Google Patents
一种49u/s石英晶片倒边工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102335855A CN102335855A CN2011101465248A CN201110146524A CN102335855A CN 102335855 A CN102335855 A CN 102335855A CN 2011101465248 A CN2011101465248 A CN 2011101465248A CN 201110146524 A CN201110146524 A CN 201110146524A CN 102335855 A CN102335855 A CN 102335855A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- quartz wafer
- beveling
- bevelling
- putting
- parts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
一种49U/S石英晶片倒边工艺,其工艺为:将49U/S石英晶片放入直径80-90mm、长度350mm的直筒内,将倒边研磨液也放入直筒内,再将直筒放在石英晶片倒边机上,上转速控制在90-100转/分钟,砂号采用GC800#-1000#,环境湿度40%-45%、环境温度25℃±2℃,倒边研磨液由碳化硅、水和防锈剂组成,其重量份配比为:水1000 碳化硅20-30 防锈剂8-12。本发明的优点是:提高了49U/S小公差晶片温度特性的一致性,提高了生产效率,可用于8MHz-10MHz小公差晶片的倒边加工。
Description
技术领域
本项发明涉及电子元件加工工艺领域,具体涉及一种49S石英晶片倒边工艺。
技术背景
现在49U/S小公差石英晶片的倒边多采用干法倒边,未使用研磨液,现有的技术对于解决某一种49U/S小公差合格率偏低,生产效率低下,无法满足生产的需要。
发明内容
本发明的目的就是本实用新型的目的在于解决现在49U/S小公差晶片的倒边多采用干法倒边,不需要配制研磨液,现有的技术对于解决某一种49U/S小公差合格率偏低,生产效率低下,无法满足生产的需要。而提供一种全新的工艺进行49U/S石英晶片加工。
本发明工艺为:
将49U/S石英晶片放入直径80-90mm、长度350mm的直筒内,将倒边研磨液也放入直筒内,再将直筒放在石英晶片倒边机上,上转速控制在90-100转/分钟,环境湿度40%-45%、环境温度25℃±2℃,倒边研磨液由碳化硅、水和防锈剂组成,其重量份配比为:
水1000 碳化硅(800井)20-30 防锈剂8-12。
本发明的优点是:提高了49U/S小公差晶片温度特性的一致性,提高了生产效率,可用于8MHz-10MHz小公差晶片的倒边加工。
具体实施方式
1、本发明的工艺为:
将49U/S石英晶片放入直径80-90mm、长度350mm的直筒内,将倒边研磨液也放入直筒内,再将直筒放在石英晶片石英晶片倒边机上,上转速控制在90-100转/分钟,环境湿度40%-45%、环境温度25℃±2℃,倒边研磨液由碳化硅、水和防锈剂组成,将水1000g、碳化硅25g、防锈剂10g混合搅匀即成倒边研磨液。
石英晶片倒边机水平安装在恒温(环境温度25℃±2)恒湿(环境湿度40%-45%)的工作间,装有倒边液和晶片的直筒放在石英晶片倒边机上按照设置的转速和时间转动,经过约12小时间,对倒边液进行更换,直到达到所需要的频率,倒边机上装有定时器。
Claims (1)
1.一种49U/S石英晶片倒边工艺,其特征在于其工艺为:
将49U/S石英晶片放入直径80-90mm、长度350mm的直筒内,将倒边研磨液也放入直筒内,再将直筒放在石英晶片倒边机上,上转速控制在90-100转/分钟,环境湿度40%-45%、环境温度25℃±2℃,倒边研磨液由碳化硅、水和防锈剂组成,其重量份配比为:
水1000 碳化硅20-30 防锈剂8-12。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011101465248A CN102335855A (zh) | 2011-06-02 | 2011-06-02 | 一种49u/s石英晶片倒边工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011101465248A CN102335855A (zh) | 2011-06-02 | 2011-06-02 | 一种49u/s石英晶片倒边工艺 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102335855A true CN102335855A (zh) | 2012-02-01 |
Family
ID=45511938
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2011101465248A Pending CN102335855A (zh) | 2011-06-02 | 2011-06-02 | 一种49u/s石英晶片倒边工艺 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102335855A (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103293227A (zh) * | 2013-05-17 | 2013-09-11 | 廊坊中电熊猫晶体科技有限公司 | 一种压电石英晶体晶片倒边实现效果的测量方法 |
CN105751054A (zh) * | 2016-03-09 | 2016-07-13 | 应达利电子股份有限公司 | 一种石英晶片加工工艺 |
CN108177080A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-19 | 应达利电子股份有限公司 | 一种晶片的倒边方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201493744U (zh) * | 2009-09-11 | 2010-06-02 | 镇江市港南电子有限公司 | 一种直筒滚筒 |
CN101716738A (zh) * | 2009-12-11 | 2010-06-02 | 廊坊中电大成电子有限公司 | Smd石英方片圆孔游轮研磨工艺 |
US20100330885A1 (en) * | 2009-06-24 | 2010-12-30 | Siltronic Ag | Method For Polishing The Edge Of A Semiconductor Wafer |
CN101979450A (zh) * | 2009-11-05 | 2011-02-23 | 北京天科合达蓝光半导体有限公司 | 研磨液、研磨液的制备方法和使用该研磨液的研磨方法 |
CN201833492U (zh) * | 2010-10-28 | 2011-05-18 | 台州市永安机械有限公司 | 单开口高速倒边直球筒 |
-
2011
- 2011-06-02 CN CN2011101465248A patent/CN102335855A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100330885A1 (en) * | 2009-06-24 | 2010-12-30 | Siltronic Ag | Method For Polishing The Edge Of A Semiconductor Wafer |
CN201493744U (zh) * | 2009-09-11 | 2010-06-02 | 镇江市港南电子有限公司 | 一种直筒滚筒 |
CN101979450A (zh) * | 2009-11-05 | 2011-02-23 | 北京天科合达蓝光半导体有限公司 | 研磨液、研磨液的制备方法和使用该研磨液的研磨方法 |
CN101716738A (zh) * | 2009-12-11 | 2010-06-02 | 廊坊中电大成电子有限公司 | Smd石英方片圆孔游轮研磨工艺 |
CN201833492U (zh) * | 2010-10-28 | 2011-05-18 | 台州市永安机械有限公司 | 单开口高速倒边直球筒 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103293227A (zh) * | 2013-05-17 | 2013-09-11 | 廊坊中电熊猫晶体科技有限公司 | 一种压电石英晶体晶片倒边实现效果的测量方法 |
CN103293227B (zh) * | 2013-05-17 | 2015-02-18 | 廊坊中电熊猫晶体科技有限公司 | 一种压电石英晶体晶片倒边实现效果的测量方法 |
CN105751054A (zh) * | 2016-03-09 | 2016-07-13 | 应达利电子股份有限公司 | 一种石英晶片加工工艺 |
CN105751054B (zh) * | 2016-03-09 | 2018-11-27 | 应达利电子股份有限公司 | 一种石英晶片加工工艺 |
CN108177080A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-19 | 应达利电子股份有限公司 | 一种晶片的倒边方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104999365B (zh) | 蓝宝石晶片研磨抛光方法 | |
CN108500741B (zh) | 一种定点释放化学作用的力流变抛光方法 | |
CN105773449A (zh) | 一种细粒度高厚度陶瓷结合剂砂轮的制造方法 | |
CN102335855A (zh) | 一种49u/s石英晶片倒边工艺 | |
CN103014877A (zh) | 一种两面光泽度不同的单晶硅晶圆腐蚀片的加工方法 | |
CN104209879A (zh) | 一种可溶性固着软质磨料抛光薄膜制作方法 | |
CN102212333A (zh) | 蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法 | |
CN106112837A (zh) | 树脂金刚石线锯用金刚石微粉的表面处理方法 | |
CN102225837B (zh) | 用于多晶硅铸锭的免喷涂熔融石英坩埚的制造方法 | |
CN104860318A (zh) | 一种生产混合酸氧化高纯石英砂的酸洗系统 | |
CN102219360A (zh) | 多晶硅铸锭免喷涂熔融石英坩埚的制造方法 | |
CN108098569B (zh) | 一种抛光蓝宝石晶片的内含钕化物软质磨料固着磨具及其制作方法 | |
CN204917995U (zh) | 一种剔除高纯石英砂中气液包裹体的装置 | |
CN103692337A (zh) | 一种采用混合果糖粘贴硅片的硅抛光方法 | |
CN104962234A (zh) | 一种掺杂二氧化钛金刚石复合磨粒及其制备方法和应用 | |
CN203661002U (zh) | 一种旋转喷淋湿法蚀刻装置 | |
CN104369086B (zh) | 球状蓝宝石的精加工设备及方法 | |
CN208661233U (zh) | 一种二氧化硅晶体提纯装置 | |
CN202839562U (zh) | 一种多晶硅片制绒花蓝装置 | |
CN101648360B (zh) | 一种陶瓷砖抛光方法 | |
CN106381069A (zh) | 一种用于超精抛机床的研磨液的制备方法 | |
CN204382078U (zh) | 一种用于金相试样打磨的夹持装置 | |
CN109333173A (zh) | 一种晶元加工方法 | |
CN103666277A (zh) | 一种酸性抛光液及其在不同晶体抛光中应用 | |
CN203820470U (zh) | 新型生产混合酸氧化高纯石英砂的酸洗系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20120201 |